JP4326363B2 - 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 - Google Patents
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Description
前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、貼付けローラと保持手段とにより挟持しながら粘着シートをワークに貼付ける過程で、貼付けローラの移動に伴って貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラの移動速度を遅くするよう制御し、粘着シートの位置に応じて荷重を加える時間を調整することを特徴とする。
前記貼付けローラの貼付け移動速度を変化させる速度調整手段と、
前記貼付けローラの前記ワークに対するローラ移動方向での位置を検知する位置検知手段と、
検知された前記貼付けローラ位置において貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラの貼付け移動速度を遅くするように制御する速度制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
前記貼付けローラの荷重を変化させる荷重調整手段と、
前記位置検知手段により検知された前記貼付けローラ位置に応じて貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラに加える荷重を大きくするように前記荷重調整手段を制御する圧力制御手段と、
を備えたことを特徴とする。
30 … 貼付けローラ
42 … ロータリエンコーダ
43 … 制御装置
44 … レギュレータ
W … ワーク(ウエハ)
T … 粘着シート
Claims (10)
- 被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け方法において、
前記貼付けローラの進行方向に対して貼付け幅が変化するワークに対して、貼付けローラと保持手段とにより挟持しながら粘着シートをワークに貼付ける過程で、貼付けローラの移動に伴って貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラの移動速度を遅くするよう制御し、粘着シートの位置に応じて荷重を加える時間を調整することを特徴とする粘着シート貼付け方法。 - 請求項1に記載の粘着シート貼付け方法において、
貼付けローラの移動に伴って貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラと保持手段の挟持によってワークに加える荷重を大きくするように制御することを特徴とする粘着シート貼付け方法。 - 請求項2に記載の粘着シート貼付け方法において、
粘着シートをワークに貼り付けながら貼付けローラの高さを制御することを特徴とする粘着シート貼付け方法。 - 請求項1または請求項2に記載の粘着シート貼付け方法において、
粘着シートをワークに貼り付けながら保持手段の高さを制御することを特徴とする粘着シート貼付け方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の粘着シート貼付け方法において、
前記貼付けローラと保持手段の挟持によりワークに加える荷重を一定にしたことを特徴とする粘着シート貼付け方法。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の粘着シート貼付け方法において、
前記ワークは、半導体ウエハであることを特徴とする粘着シート貼付け方法。 - 被粘着面に貼付けローラを転動させながら粘着シートを保持手段に保持されたワーク面上に貼り付ける粘着シート貼付け装置において、
前記貼付けローラの貼付け移動速度を変化させる速度調整手段と、
前記貼付けローラの前記ワークに対するローラ移動方向での位置を検知する位置検知手段と、
検知された前記貼付けローラ位置において貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラの貼付け移動速度を遅くするように制御する速度制御手段と、
を備えたことを特徴とする粘着シート貼付け装置。 - 請求項7に記載の粘着シート貼付け装置において、前記装置はさらに、
前記貼付けローラにより前記ワークに加える荷重を変化させる荷重調整手段と、
前記位置検知手段により検知された前記貼付けローラ位置に応じて貼付け幅が広くなるに従って、貼付けローラによりワークに加える荷重を大きくするように前記荷重調整手段を制御する圧力制御手段と、
を備えたことを特徴とする粘着シート貼付け装置。 - 請求項8に記載の粘着シート貼付け装置において、
前記荷重調整手段は、前記貼付けローラの高さを調整することを特徴とする粘着シート貼付け装置。 - 請求項8に記載の粘着シート貼付け装置において、
前記荷重調整手段は、前記保持手段の高さを調整することを特徴とする粘着シート貼付け装置。
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