JP2005019841A - 紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品 - Google Patents
紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005019841A JP2005019841A JP2003185006A JP2003185006A JP2005019841A JP 2005019841 A JP2005019841 A JP 2005019841A JP 2003185006 A JP2003185006 A JP 2003185006A JP 2003185006 A JP2003185006 A JP 2003185006A JP 2005019841 A JP2005019841 A JP 2005019841A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive tape
- workpiece
- tape
- wafer
- curable adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【課題】紫外線が予め照射されてワークの略外形部分の粘着材が硬化した粘着テープをワークに貼り付け、その硬化部分を切断することのできる紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置を提供する。
【解決手段】所定箇所に紫外線を予め照射して粘着材を硬化させた粘着材硬化パターンPの形成された紫外線硬化型の粘着テープTが、ウエハWに向けて供給される。このとき、粘着テープTの幅方向でパターンPの中心に位置するマークMが光学センサにより検出され、この検出結果に基づいて粘着テープTの送りが制御されて位置合わせが行われる、位置合わせが決まると貼付けユニットによって粘着テープTがウエハWの表面に貼り付けられる。貼り付けられた粘着テープTは、そのパターンPの部分、つまり、ウエハWの外形に沿って切断される。
【選択図】 図6
【解決手段】所定箇所に紫外線を予め照射して粘着材を硬化させた粘着材硬化パターンPの形成された紫外線硬化型の粘着テープTが、ウエハWに向けて供給される。このとき、粘着テープTの幅方向でパターンPの中心に位置するマークMが光学センサにより検出され、この検出結果に基づいて粘着テープTの送りが制御されて位置合わせが行われる、位置合わせが決まると貼付けユニットによって粘着テープTがウエハWの表面に貼り付けられる。貼り付けられた粘着テープTは、そのパターンPの部分、つまり、ウエハWの外形に沿って切断される。
【選択図】 図6
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、ガラス、金属などのワークの表面に幅広の紫外線硬化型の粘着テープを貼付ける紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法、および、これを行う貼付け装置、並びにそれを用いて形成した物品に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)の加工工程の一つとして薄型加工工程があり、この行程に利用される加工手段として、研削、研磨、あるいは、エッチングといった機械的あるいは化学的な手段が適宜選択されて利用される。これらの薄型加工手段では、ウエハ表面に形成したパターンが損傷や汚損するのを防止するために、ウエハの表面に粘着テープを貼付けて保護した上でウエハ裏面に機械的あるいは化学的な薄型加工処理を施すのが一般的となっている。したがって、ウエハの表面にウエハ径より幅広の粘着テープを貼付けた後に、ウエハの外形に沿ってカッタ刃を移動させて粘着テープを切り抜き切断するようにしている(特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−115469号公報(第4頁、図1〜図4)
【0004】
ここで、ウエハ表面に貼り付けられる保護用の粘着テープは、裏面加工後にウエハからの剥離を容易にするため、および、ウエハ表面に粘着剤成分の残渣を少なくするために、紫外線硬化型の粘着テープが使用されつつある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
紫外線硬化型の粘着テープは、紫外線照射前は粘着剤が柔軟であるので、ウエハ表面に粘着テープを貼り付けてウエハ外形に沿って切断する際に、粘着剤成分がはみ出して切断面(ウエハ周端面)に異物(パーティクル)として付着することがある。この異物がウエハの裏面(研削面)に付着すると、研削が安定して行えなくなる。つまり、この異物がウエハの裏面(研削面)に付着すると、カッタ刃がウエハの外形に沿って安定した状態で移動することができなくなり、研削が安定して行えなくなる。
【0006】
また、異物がウエハの表面側(粘着テープ側)に付着すると、見かけ上、その異物付着箇所の付近においてウエハが厚くなり、その箇所だけウエハが薄く加工されてウエハ全体として均一性を保てなくなるといった現象も発生する。
【0007】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、異物を発生させることなくワークに貼り付けられた粘着テープを切断することのできる紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品を提供することを主たる目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記目的を達成するために次のような手段をとる。
【0009】
すなわち、請求項1に記載の発明は、紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、
紫外線硬化型の前記粘着テープの所定箇所に予め紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた後に、前記ワークへの粘着テープの貼り付け位置を合わせることを特徴とする。
【0010】
(作用・効果)予め紫外線が照射されて粘着剤が硬化した部位をワークに対して所定の位置に配した状態で粘着テープをワークに貼り付けることができる。
【0011】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、予め紫外線を照射する粘着テープの所定箇所は、粘着テープをワークに貼り付けたときにワーク外周の外側部分であることを特徴とする。
【0012】
(作用・効果)粘着テープをワークに貼り付けた状態で、予め硬化された粘着剤部分がワークの外周に沿って位置することになる。
【0013】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、紫外線硬化型の前記粘着テープが帯状のものであって、ワークに貼り付けた後に、紫外線を照射して粘着剤を硬化させた所定箇所に沿って切断することを特徴とする。
【0014】
(作用・効果)粘着テープの所定箇所にワークの外形に対応したパターンで予め紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた粘着テープをワークに貼付けることで、ワークの外形に沿って粘着テープを切断する場合に、切断しようとしている部位の粘着剤が予め紫外線照射によって硬化しているので、切断によって粘着剤成分がはみ出てワーク外周端に異物として付着することがなくなる。
【0015】
また、請求項4に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、紫外線硬化型の前記粘着テープが、ワークの略外形に予め切断されたものであることを特徴とする。
【0016】
(作用・効果)粘着テープを1枚ずつワークに貼り付けることになり、かつ、この貼付け状態において、紫外線照射によって硬化している粘着剤部分をワークの外周部に位置させることができる。
【0017】
請求項5に記載の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、前記ワークが、半導体ウエハであることを特徴とする。
【0018】
(作用・効果)半導体ウエハの表面を粘着テープで保護して裏面加工を行う場合に、はみ出た粘着剤により異物の付着に起因する裏面加工不良を防止することができる。つまり、薄型加工において、異物の付着により厚みが不均一になる現象を解消することができる。
【0019】
また、請求項6に記載の発明は、紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける粘着テープ貼付け装置において、
前記ワークを載置して保持する保持手段と、
前記ワークに貼り付けた後にワークの略外周部位に紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた帯状の紫外線硬化型の粘着テープをワークに向けて供給する粘着テープ供給手段と、
前記粘着テープとワークの貼り付け位置を合わせる位置合わせ手段と、
位置合わせした前記粘着テープをワークに貼り付ける貼付け手段と、
前記ワークに貼り付けた粘着テープのワーク外周部位を切断する切断手段と、
切断した後の不要な粘着テープを回収する不要テープ回収手段と
を備えたことを特徴とする。
【0020】
(作用・効果)所定位置に載置されたワークの表面に、予め紫外線照射処理が施された連続帯状の粘着テープが供給されて貼り付けられた後、ワーク外周に沿って粘着テープを切断する一連の粘着テープ貼付け切断処理が行われる。この場合、切断行程において、カッタ刃で切断しようとしている部位の粘着剤が予め紫外線照射によって硬化しているので、粘着剤成分がはみ出てワーク外周端に異物として付着することがなくなる。
【0021】
また、請求項7に記載の発明は、紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける粘着テープ貼付け装置において、
前記ワークを載置して保持する保持手段と、
帯状の紫外線硬化型の前記粘着テープをワークに向けて供給する粘着テープ供給手段と、
供給した前記粘着テープの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射手段と、
載置した前記ワークと所定部位に紫外線を照射した前記粘着テープの貼り付け位置を合わせる位置合わせ手段と、
位置合わせした前記粘着テープをワークに貼り付ける貼付け手段と、
前記ワークに貼り付けた粘着テープの紫外線を照射した所定部位を切断する切断手段と、
切断した後の不要な粘着テープを回収する不要テープ回収手段と
を備えたことを特徴とする。
【0022】
(作用・効果)所定位置に載置されたワークの表面に連続帯状の粘着テープが供給される間に紫外線照射処理が施され、紫外線照射を受けた粘着テープがワークに貼付けられた後、ワーク外周に沿って粘着テープを切断する一連の粘着テープ貼付け切断処理が行われる。この場合、切断行程において、カッタ刃で切断しようとしている部位の粘着剤が予め紫外線照射によって硬化しているので、粘着剤成分がはみ出てワーク外周端に異物として付着することがなくなる。
【0023】
また、請求項8に記載の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法を用いてワークに形成した物品であることを特徴とする。
【0024】
(作用・効果)端部に粘着剤のはみ出しのない状態でワークに紫外線硬化型粘着テープが貼り付けられた物品が得られる。例えば、物品が半導体ウエハなどの基板であって、これら基板の基板処理装置のクリーニング用として上記方法で紫外線硬化型粘着テープを貼り付けた物品を用いた場合、物品からはみ出る粘着剤が存在しないので、基板処理装置への汚染を防止することができる。したがって、汚染のない半導体ウエハなどの物品を常に提供することができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る紫外線硬化型粘着テープの切断方法を実施する保護テープ貼付装置を例に採って、図面を参照しながら説明する。
【0026】
図1は、保護テープ貼付け装置の全体構成を示す斜視図、図2はテープ切断機構の側面図である。
【0027】
本実施例の保護テープ貼付装置1は、基台2の手前に、ワークとしての半導体ウエハW(以下、単に「ウエハW」という)が収納されたカセットC1が装填されるウエハ供給部3と、表面に保護用の粘着テープTが貼付けられ切り抜かれた処理済みウエハW’を回収するウエハ回収部4とが配備されている。このウエハ供給部2とウエハ回収部3との間には、ロボットアーム5を備えたウエハ搬送機構6が配備されるとともに、基台2の右側奥にはアライメントステージ7が配備され、その上方にはウエハWに向けて粘着テープTを供給するテープ供給部8が配備されている。また、テープ供給部8の右斜め下にはテープ供給部から供給されたセパレータ付きの粘着テープTからセパレータSのみを回収するセパレータ回収部9が配備されている。アライメントステージ7の左横にはウエハWを載置して吸着保持するチャックテーブル10と、このチャックテーブル10に保持されたウエハWに粘着テープTを貼付けるテープ貼付けユニット11と、ウエハWに貼付けて切断処理した後の不要テープT’を剥離するテープ剥離ユニット12とが配備されるとともに、その上方には、ウエハWに貼付けられた粘着テープTをウエハWの外形に沿って切り抜き切断するテープ切断機構13が配備されている。また、基台2の左側上方には、テープ剥離ユニット12で剥離された不要テープT’を巻き取り回収するテープ回収部14が配備されている。さらに、チャックテーブル10を挟んで、ウエハWに貼付ける前の粘着テープTと、回収前の不要テープT’から静電気を除去する静電気除去装置15がそれぞれに配備されている。
【0028】
なお、テープ供給部8は、本発明の粘着テープ供給手段に、チャックテーブル10は保持手段に、貼付けユニット11は貼付け手段に、テープ回収部14は不要テープ回収手段にそれぞれ相当する。
【0029】
以下、各機構について具体的に説明する。
【0030】
ウエハ供給部3は、昇降可能なカセット台17を備え、このカセット台17にパターン面を上向きにしたウエハWを多段に水平姿勢で差込み収納したカセットC1が載置されるようになっている。
【0031】
ウエハ搬送機構6に備えられたロボットアーム5は、水平に進退移動可能に構成されるとともに、全体が駆動旋回されるようになっている。ロボットアーム5の先端には、馬蹄形をした真空吸着式のウエハ保持部5aが備えられており、カセットC1に多段に収納されたウエハW同士の間隙にウエハ保持部5aを差し入れてウエハWを裏面から吸着保持し、吸着保持したウエハWをカセットC1から引き出して、後述するアライメントステージ7、チャックテーブル10、および、ウエハ回収部4の順に搬送するようになっている。
【0032】
アライメントステージ7は、ウエハ搬送機構6によって搬入載置されたウエハWを、その外周に形成されたオリエンテーションフラットに基づいて位置合わせを行うようになっている。
【0033】
チャックテーブル10は、ウエハ搬送機構6から移載されたウエハWを所定の位置合わせ姿勢で載置するとともに、図6に示すように、ウエハWの裏面全体を覆って吸着孔18を介して真空吸着するようになっている。また、このチャックテーブ10の上面には、後述するテープ切断機構13のカッタ刃44をウエハWの外形に沿って旋回移動させて保護テープを切断するためにカッタ走行溝19が形成されている。このカッタ走行溝19は、サイズの異なったウエハWの外形に応じたものが複数本設けられている。また、カッタ走行溝19のカッタ刃が最初に挿入される初期位置は、幅広の放射溝20となって、各カッタ走行溝19につながっている。
【0034】
図1に戻り、テープ供給部8は、装置本体の縦壁21に軸支されたテープボビン22から繰り出されたセパレータ付きの紫外線硬化型粘着テープTをガイドローラ23群(図7に示す)に巻回案内し、セパレータSを剥離した粘着テープTをテープ貼付けユニット11に導くよう構成されている。また、テープボビン22に適度の回転抵抗を与えて過剰なテープ繰り出しが行われないように構成されている。なお、保護テープとしてはウエハWの直径よりも幅広のものが使用される。
【0035】
ここで、図6に示すように、粘着テープTには、ロール巻きされる前に予め紫外線照射がなされて、ウエハWの外形に応じた粘着剤硬化パターンPが形成されている。このパターンPは、テープの長手方向に等間隔で形成されている。
【0036】
セパレータ回収部9は、粘着テープTから剥離されたセパレータSを巻き取る回収ボビン24が装置本体の縦壁21に軸支されて、縦壁背部の図示されない駆動機構によって巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【0037】
テープ貼付けユニット11は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能になるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには、図7に示すように、貼付けローラ25が回転可能に軸支されているとともに、貼付けローラ25が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。つまり、貼付けローラ25が粘着テープTの表面を押圧して転動しながらウエハWの表面に粘着テープTを貼り付けてゆくようになっている。
【0038】
テープ剥離ユニット12は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能になるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには、図7に示すように、剥離ローラ26が回転可能に軸支されているとともに、剥離ローラ26が図示しないシリンダなどによって上下搖動駆動するようになっている。剥離ローラ26はウエハWの外形に沿って切断された後の不要な粘着テープをウエハWから剥離するためのものである。
【0039】
テープ回収部14は、不要テープT’を巻き取る回収ボビン27が装置本体の縦壁21に軸支されて、縦壁背部の図示されない駆動機構によって巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【0040】
図1に戻り、ウエハ回収部4は、昇降可能なカセット台28を備え、保護テープTが貼付けられ不要テープが切断除去された処理済みのウエハWを多段に水平姿勢で差込み収納したカセットC2がこのカセット台28に載置されるようになっている。
【0041】
テープ切断機構13は、図2に示すように、装置本体の縦壁21の背面には左右一対の縦レール30に沿ってスライド昇降可能に支持された可動台31が配備されている。この可動台31に連設した支持アーム31aが縦壁21の開口32を通して装置本体の前方に片持ち状に延出され、この支持アームにカッタユニット33が装備されている。
【0042】
可動台31は、ネジ軸34を正逆回転駆動することでねじ送り昇降されるようになっている。ネジ軸34は、図3に示すように、タイミングベルトなどを利用したスリップのない巻き掛け伝動機構35を介してモータ36に連動連結されている。また、可動台31の下降限度が、調節可能なストッパボルト37によって当接規制されるようになっている。
【0043】
図2に戻り、支持アーム31aの先端近くには、チャックテーブル10の中心上に位置する縦軸心X周りに回転可能な切断駆動軸38が装備され、この切断駆動軸38の下端に連結されたボス部39に、一対の伸縮アーム40が水平スライド可能に支持されている。伸縮アーム40の先端に亘って連結された支持部材41に、門形に構成された回動ブラケット42が縦軸心Y周りに回転可能に軸支されている。
【0044】
この回動ブラケット42に水平支点Zを中心に揺動可能にカッタホルダ43が支持されるとともに、このカッタホルダ43の下部に、刃先を下向きにしたカッタ刃44が脱着可能に取り付けられている。
【0045】
ここで、切断駆動軸38は、タイミングベルトなどを利用したスリップのない巻き掛け伝動機構45を介してモータ46に連動連結されている。つまり、切断駆動軸38を回転駆動することで、カッタ刃44を半径Rで縦軸心X周りに旋回移動させて、ウエハWに貼付けた粘着テープTを切り抜き切断するようになっている。
【0046】
また、回動ブラケット42は、図4に示すエアーシリンダ47によって縦軸心Y周りに回転操作可能となっており、この回動ブラケット42の回転位相調節によってカッタ刃44の刃縁の向きを調整することができるようになっている。
【0047】
また、カッタホルダ43も、図4に示すエアーシリンダ48によって支点Z周りに揺動操作可能となっており、カッタホルダ43と一体にカッタ刃44が上方の支点Z周りに揺動することで、カッタ刃44が縦軸心Xに対して遠近移動するようになっている。
【0048】
制御部49は、粘着テープTに対するカッタ刃44の接触位置(高さ)を調節するために、モータ36の回転駆動を操作してテープ切断機構13の昇降駆動を制御している。
【0049】
次に、上記実施例装置を用いて粘着テープTをウエハWの表面に貼付けるための一連の動作を説明する。
【0050】
ウエハWを多段に収納したカセットC1がウエハ供給部のカセット台17に載置されると、カセット台17が昇降移動し、取り出し対象のウエハWをロボットアーム5で取り出せる高さ位置で停止される。
【0051】
次に、ウエハ搬送機構6が旋回してロボットアーム5のウエハ保持部5aがカセットC1内のウエハ同士の隙間に挿入され、ロボットアーム5はそのウエハ保持部5aでウエハWを裏面(下面)から吸着保持して取り出し、ウエハWをアライメントステージ7に移載する。
【0052】
アライメントステージ7に載置されたウエハWは、オリエンテーションフラットを利用して位置合わせされ、位置合わせのすんだウエハWは再びロボットアーム5によって吸着保持されて搬出され、チャックテーブル10に移載される。
【0053】
チャックテーブル10に載置されたウエハWは、その中心がチャックテーブル10の中心上にあるように位置合わせされて吸着保持される。この時、図7に示すように、テープ貼付けユニット11とテープ剥離ユニット12は左側の初期位置に、また、テープ切断機構13のカッタユニット33は上方の初期位置でそれぞれ待機している。
【0054】
ウエハWの位置合わせがすむと、図8に示すように、テープ貼付けユニット11の貼付けローラ25が下降されるとともに、この貼付けローラ25で粘着テープTを下方に押圧しながらウエハW上をテープ走行方向と逆方向(図8では左から右方向)に転動し、これによって粘着テープTがウエハWの表面全体に均一に貼付けられる。そして、テープ貼付けユニット11が終端位置に達すると貼付けローラ25が上昇される。
【0055】
この場合、テープイ貼付けが実行される前に、粘着テープTに予め形成された粘着剤硬化パターンPをウエハWに対して正しく位置合わせする処理がなされることになり、この位置合わせには、粘着剤硬化パターンPの側に形成された位置決めマークMが利用され、この位置決めマークMを図示されない光学センサで検出して、粘着テープTの送り制御がなされる。なお、光学センサとしては、例えば、CCDカメラによりマークMを画像認識させるようにしてもよい。この場合、CCDカメラおよび粘着テープTの送り制御を含む機構が、本発明の位置合わせ手段に相当する。
【0056】
次に、モータ36が起動されてテープ切断機構13が下降され、図9に示すように、上方に待機していたカッタユニット33が切断作用位置まで下降され、カッタ刃44がチャックテーブル10の放射溝20の部位において粘着テープTに突き刺さり貫通されて、予め設定された所定の高さ位置まで下降されたところで停止される。この場合、カッタ刃44の縦軸心Xに対する旋回半径Rが、処理対象となっているウエハWのサイズに対応するように、伸縮アーム40が予めスライド調節されている。
【0057】
カッタ刃44が所定の高さ位置で停止されると、モータ46が起動されて切断駆動軸38が所定の方向に回転され、これに伴ってカッタ刃44が縦軸心X周りに旋回移動して、粘着テープTがウエハ外形に沿って切断される。このとき、テープ貼付けユニット11とテープ剥離ユニット12によって、粘着テープTには所定のテンションがかけられる。
【0058】
この場合、カッタ刃44が走行するウエハ外周領域には、予めの紫外線照射によって硬化された粘着剤硬化パターンPが位置しているので、はみ出た粘着剤成分がウエハ外周に異物として付着するようなことはない。
【0059】
ウエハW外周に沿ったテープ切断が終了すると、切断駆動軸38が停止されるとともに、図10に示すように、カッタユニット33は元の待機位置まで上昇される。次に、テープ剥離ユニット12がウエハWウエをテープ走行方向と逆方向へ移動しながらウエハW上で切り抜き切断されて残った不要テープT’を巻き上げ剥離する。
【0060】
テープ剥離ユニット12が剥離作業の終了位置に達すると、テープ剥離ユニット12とテープ貼付けユニット11とがテープ走行方向に移動して初期位置に復帰する。このとき、不要テープT’が回収ボビン27に巻き取られるとともに、一定量の粘着テープTがテープ供給部8から繰り出される。
【0061】
以上で粘着テープTをウエハWの表面に貼付ける一連の動作が終了し、以後、この動作が繰り返される。
【0062】
本発明は、以下のような形態で実施することもできる。
【0063】
(1)上記実施例では、予め紫外線照射した粘着テープTをロール巻きして供給するよういにしているが、図11に示すように、チャックテーブル10へ至るテープ走行径路中にウエハ外形に沿ったパターンで紫外線照射を行う紫外線照射機構50を固定配備して、貼り付け前の粘着テープTに紫外線照射を施すようにすることも可能である。
【0064】
(2)上記実施例では、粘着剤硬化パターンPの位置合わせを粘着テープTの送り制御により行なっていたが、この形態に限定されず、次のような形態であってもよい。例えば、CCDカメラでウエハの輪郭と粘着テープTに形成された粘着剤硬化パターンPの位置が略一致するようにチャックテーブル10をテープ送り方向の前後および幅方向の左右に移動させて調節するように構成してもよい。
【0065】
(3)粘着テープTは必ずしもロール状である必要はなく、ワークWごとにシート状の粘着テープを1枚づつ貼り付けて切断する形態でも実施することもできる。この場合、上記実施例のように粘着剤硬化パターンPがシート上に形成されていればよい。
【0066】
(4)粘着テープをワーク保護用に貼り付ける場合のほかに、ワーク表面の不要物の除去処理などの目的に利用する場合にも本発明を適用することができる。
【0067】
(5)上記実施例では、カッタユニット33のカッタ刃44をウヘハWの外形に沿って移動させて粘着テープを切断していたが、ウエハW側を回転移動さえて粘着テープを切断するようにしてもよい。
【0068】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、紫外線照射によって硬化した粘着剤部分がワーク外周領域に位置するように、紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼付けることができ、ワーク外周に沿って粘着テープを切断する際にも、ワーク外周からの粘着剤のはみ出しや異物の発生がない、品質の高い切断処理を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】粘着テープ貼付け装置の全体構成を示す斜視図である。
【図2】テープ切断機構の側面図である。
【図3】テープ切断機構の背面図である。
【図4】カッタユニットの要部を示す正面図である。
【図5】テープ切断機構の要部とチャックテーブルを示す斜視図である。
【図6】粘着テープとウエハとの関係を示す斜視図である。
【図7】粘着テープ貼付け行程の概略正面図である。
【図8】粘着テープ貼付け行程の概略正面図である。
【図9】粘着テープ切断行程の概略正面図である。
【図10】粘着テープ剥離行程の概略正面図である。
【図11】他の実施例の概略構成図である。
【符号の説明】
W … ワーク(半導体ウエハ)
T … 粘着テープ
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、ガラス、金属などのワークの表面に幅広の紫外線硬化型の粘着テープを貼付ける紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法、および、これを行う貼付け装置、並びにそれを用いて形成した物品に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)の加工工程の一つとして薄型加工工程があり、この行程に利用される加工手段として、研削、研磨、あるいは、エッチングといった機械的あるいは化学的な手段が適宜選択されて利用される。これらの薄型加工手段では、ウエハ表面に形成したパターンが損傷や汚損するのを防止するために、ウエハの表面に粘着テープを貼付けて保護した上でウエハ裏面に機械的あるいは化学的な薄型加工処理を施すのが一般的となっている。したがって、ウエハの表面にウエハ径より幅広の粘着テープを貼付けた後に、ウエハの外形に沿ってカッタ刃を移動させて粘着テープを切り抜き切断するようにしている(特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2000−115469号公報(第4頁、図1〜図4)
【0004】
ここで、ウエハ表面に貼り付けられる保護用の粘着テープは、裏面加工後にウエハからの剥離を容易にするため、および、ウエハ表面に粘着剤成分の残渣を少なくするために、紫外線硬化型の粘着テープが使用されつつある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
紫外線硬化型の粘着テープは、紫外線照射前は粘着剤が柔軟であるので、ウエハ表面に粘着テープを貼り付けてウエハ外形に沿って切断する際に、粘着剤成分がはみ出して切断面(ウエハ周端面)に異物(パーティクル)として付着することがある。この異物がウエハの裏面(研削面)に付着すると、研削が安定して行えなくなる。つまり、この異物がウエハの裏面(研削面)に付着すると、カッタ刃がウエハの外形に沿って安定した状態で移動することができなくなり、研削が安定して行えなくなる。
【0006】
また、異物がウエハの表面側(粘着テープ側)に付着すると、見かけ上、その異物付着箇所の付近においてウエハが厚くなり、その箇所だけウエハが薄く加工されてウエハ全体として均一性を保てなくなるといった現象も発生する。
【0007】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、異物を発生させることなくワークに貼り付けられた粘着テープを切断することのできる紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品を提供することを主たる目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明は、上記目的を達成するために次のような手段をとる。
【0009】
すなわち、請求項1に記載の発明は、紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、
紫外線硬化型の前記粘着テープの所定箇所に予め紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた後に、前記ワークへの粘着テープの貼り付け位置を合わせることを特徴とする。
【0010】
(作用・効果)予め紫外線が照射されて粘着剤が硬化した部位をワークに対して所定の位置に配した状態で粘着テープをワークに貼り付けることができる。
【0011】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、予め紫外線を照射する粘着テープの所定箇所は、粘着テープをワークに貼り付けたときにワーク外周の外側部分であることを特徴とする。
【0012】
(作用・効果)粘着テープをワークに貼り付けた状態で、予め硬化された粘着剤部分がワークの外周に沿って位置することになる。
【0013】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、紫外線硬化型の前記粘着テープが帯状のものであって、ワークに貼り付けた後に、紫外線を照射して粘着剤を硬化させた所定箇所に沿って切断することを特徴とする。
【0014】
(作用・効果)粘着テープの所定箇所にワークの外形に対応したパターンで予め紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた粘着テープをワークに貼付けることで、ワークの外形に沿って粘着テープを切断する場合に、切断しようとしている部位の粘着剤が予め紫外線照射によって硬化しているので、切断によって粘着剤成分がはみ出てワーク外周端に異物として付着することがなくなる。
【0015】
また、請求項4に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、紫外線硬化型の前記粘着テープが、ワークの略外形に予め切断されたものであることを特徴とする。
【0016】
(作用・効果)粘着テープを1枚ずつワークに貼り付けることになり、かつ、この貼付け状態において、紫外線照射によって硬化している粘着剤部分をワークの外周部に位置させることができる。
【0017】
請求項5に記載の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、前記ワークが、半導体ウエハであることを特徴とする。
【0018】
(作用・効果)半導体ウエハの表面を粘着テープで保護して裏面加工を行う場合に、はみ出た粘着剤により異物の付着に起因する裏面加工不良を防止することができる。つまり、薄型加工において、異物の付着により厚みが不均一になる現象を解消することができる。
【0019】
また、請求項6に記載の発明は、紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける粘着テープ貼付け装置において、
前記ワークを載置して保持する保持手段と、
前記ワークに貼り付けた後にワークの略外周部位に紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた帯状の紫外線硬化型の粘着テープをワークに向けて供給する粘着テープ供給手段と、
前記粘着テープとワークの貼り付け位置を合わせる位置合わせ手段と、
位置合わせした前記粘着テープをワークに貼り付ける貼付け手段と、
前記ワークに貼り付けた粘着テープのワーク外周部位を切断する切断手段と、
切断した後の不要な粘着テープを回収する不要テープ回収手段と
を備えたことを特徴とする。
【0020】
(作用・効果)所定位置に載置されたワークの表面に、予め紫外線照射処理が施された連続帯状の粘着テープが供給されて貼り付けられた後、ワーク外周に沿って粘着テープを切断する一連の粘着テープ貼付け切断処理が行われる。この場合、切断行程において、カッタ刃で切断しようとしている部位の粘着剤が予め紫外線照射によって硬化しているので、粘着剤成分がはみ出てワーク外周端に異物として付着することがなくなる。
【0021】
また、請求項7に記載の発明は、紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける粘着テープ貼付け装置において、
前記ワークを載置して保持する保持手段と、
帯状の紫外線硬化型の前記粘着テープをワークに向けて供給する粘着テープ供給手段と、
供給した前記粘着テープの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射手段と、
載置した前記ワークと所定部位に紫外線を照射した前記粘着テープの貼り付け位置を合わせる位置合わせ手段と、
位置合わせした前記粘着テープをワークに貼り付ける貼付け手段と、
前記ワークに貼り付けた粘着テープの紫外線を照射した所定部位を切断する切断手段と、
切断した後の不要な粘着テープを回収する不要テープ回収手段と
を備えたことを特徴とする。
【0022】
(作用・効果)所定位置に載置されたワークの表面に連続帯状の粘着テープが供給される間に紫外線照射処理が施され、紫外線照射を受けた粘着テープがワークに貼付けられた後、ワーク外周に沿って粘着テープを切断する一連の粘着テープ貼付け切断処理が行われる。この場合、切断行程において、カッタ刃で切断しようとしている部位の粘着剤が予め紫外線照射によって硬化しているので、粘着剤成分がはみ出てワーク外周端に異物として付着することがなくなる。
【0023】
また、請求項8に記載の発明は、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法を用いてワークに形成した物品であることを特徴とする。
【0024】
(作用・効果)端部に粘着剤のはみ出しのない状態でワークに紫外線硬化型粘着テープが貼り付けられた物品が得られる。例えば、物品が半導体ウエハなどの基板であって、これら基板の基板処理装置のクリーニング用として上記方法で紫外線硬化型粘着テープを貼り付けた物品を用いた場合、物品からはみ出る粘着剤が存在しないので、基板処理装置への汚染を防止することができる。したがって、汚染のない半導体ウエハなどの物品を常に提供することができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る紫外線硬化型粘着テープの切断方法を実施する保護テープ貼付装置を例に採って、図面を参照しながら説明する。
【0026】
図1は、保護テープ貼付け装置の全体構成を示す斜視図、図2はテープ切断機構の側面図である。
【0027】
本実施例の保護テープ貼付装置1は、基台2の手前に、ワークとしての半導体ウエハW(以下、単に「ウエハW」という)が収納されたカセットC1が装填されるウエハ供給部3と、表面に保護用の粘着テープTが貼付けられ切り抜かれた処理済みウエハW’を回収するウエハ回収部4とが配備されている。このウエハ供給部2とウエハ回収部3との間には、ロボットアーム5を備えたウエハ搬送機構6が配備されるとともに、基台2の右側奥にはアライメントステージ7が配備され、その上方にはウエハWに向けて粘着テープTを供給するテープ供給部8が配備されている。また、テープ供給部8の右斜め下にはテープ供給部から供給されたセパレータ付きの粘着テープTからセパレータSのみを回収するセパレータ回収部9が配備されている。アライメントステージ7の左横にはウエハWを載置して吸着保持するチャックテーブル10と、このチャックテーブル10に保持されたウエハWに粘着テープTを貼付けるテープ貼付けユニット11と、ウエハWに貼付けて切断処理した後の不要テープT’を剥離するテープ剥離ユニット12とが配備されるとともに、その上方には、ウエハWに貼付けられた粘着テープTをウエハWの外形に沿って切り抜き切断するテープ切断機構13が配備されている。また、基台2の左側上方には、テープ剥離ユニット12で剥離された不要テープT’を巻き取り回収するテープ回収部14が配備されている。さらに、チャックテーブル10を挟んで、ウエハWに貼付ける前の粘着テープTと、回収前の不要テープT’から静電気を除去する静電気除去装置15がそれぞれに配備されている。
【0028】
なお、テープ供給部8は、本発明の粘着テープ供給手段に、チャックテーブル10は保持手段に、貼付けユニット11は貼付け手段に、テープ回収部14は不要テープ回収手段にそれぞれ相当する。
【0029】
以下、各機構について具体的に説明する。
【0030】
ウエハ供給部3は、昇降可能なカセット台17を備え、このカセット台17にパターン面を上向きにしたウエハWを多段に水平姿勢で差込み収納したカセットC1が載置されるようになっている。
【0031】
ウエハ搬送機構6に備えられたロボットアーム5は、水平に進退移動可能に構成されるとともに、全体が駆動旋回されるようになっている。ロボットアーム5の先端には、馬蹄形をした真空吸着式のウエハ保持部5aが備えられており、カセットC1に多段に収納されたウエハW同士の間隙にウエハ保持部5aを差し入れてウエハWを裏面から吸着保持し、吸着保持したウエハWをカセットC1から引き出して、後述するアライメントステージ7、チャックテーブル10、および、ウエハ回収部4の順に搬送するようになっている。
【0032】
アライメントステージ7は、ウエハ搬送機構6によって搬入載置されたウエハWを、その外周に形成されたオリエンテーションフラットに基づいて位置合わせを行うようになっている。
【0033】
チャックテーブル10は、ウエハ搬送機構6から移載されたウエハWを所定の位置合わせ姿勢で載置するとともに、図6に示すように、ウエハWの裏面全体を覆って吸着孔18を介して真空吸着するようになっている。また、このチャックテーブ10の上面には、後述するテープ切断機構13のカッタ刃44をウエハWの外形に沿って旋回移動させて保護テープを切断するためにカッタ走行溝19が形成されている。このカッタ走行溝19は、サイズの異なったウエハWの外形に応じたものが複数本設けられている。また、カッタ走行溝19のカッタ刃が最初に挿入される初期位置は、幅広の放射溝20となって、各カッタ走行溝19につながっている。
【0034】
図1に戻り、テープ供給部8は、装置本体の縦壁21に軸支されたテープボビン22から繰り出されたセパレータ付きの紫外線硬化型粘着テープTをガイドローラ23群(図7に示す)に巻回案内し、セパレータSを剥離した粘着テープTをテープ貼付けユニット11に導くよう構成されている。また、テープボビン22に適度の回転抵抗を与えて過剰なテープ繰り出しが行われないように構成されている。なお、保護テープとしてはウエハWの直径よりも幅広のものが使用される。
【0035】
ここで、図6に示すように、粘着テープTには、ロール巻きされる前に予め紫外線照射がなされて、ウエハWの外形に応じた粘着剤硬化パターンPが形成されている。このパターンPは、テープの長手方向に等間隔で形成されている。
【0036】
セパレータ回収部9は、粘着テープTから剥離されたセパレータSを巻き取る回収ボビン24が装置本体の縦壁21に軸支されて、縦壁背部の図示されない駆動機構によって巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【0037】
テープ貼付けユニット11は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能になるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには、図7に示すように、貼付けローラ25が回転可能に軸支されているとともに、貼付けローラ25が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。つまり、貼付けローラ25が粘着テープTの表面を押圧して転動しながらウエハWの表面に粘着テープTを貼り付けてゆくようになっている。
【0038】
テープ剥離ユニット12は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能になるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには、図7に示すように、剥離ローラ26が回転可能に軸支されているとともに、剥離ローラ26が図示しないシリンダなどによって上下搖動駆動するようになっている。剥離ローラ26はウエハWの外形に沿って切断された後の不要な粘着テープをウエハWから剥離するためのものである。
【0039】
テープ回収部14は、不要テープT’を巻き取る回収ボビン27が装置本体の縦壁21に軸支されて、縦壁背部の図示されない駆動機構によって巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【0040】
図1に戻り、ウエハ回収部4は、昇降可能なカセット台28を備え、保護テープTが貼付けられ不要テープが切断除去された処理済みのウエハWを多段に水平姿勢で差込み収納したカセットC2がこのカセット台28に載置されるようになっている。
【0041】
テープ切断機構13は、図2に示すように、装置本体の縦壁21の背面には左右一対の縦レール30に沿ってスライド昇降可能に支持された可動台31が配備されている。この可動台31に連設した支持アーム31aが縦壁21の開口32を通して装置本体の前方に片持ち状に延出され、この支持アームにカッタユニット33が装備されている。
【0042】
可動台31は、ネジ軸34を正逆回転駆動することでねじ送り昇降されるようになっている。ネジ軸34は、図3に示すように、タイミングベルトなどを利用したスリップのない巻き掛け伝動機構35を介してモータ36に連動連結されている。また、可動台31の下降限度が、調節可能なストッパボルト37によって当接規制されるようになっている。
【0043】
図2に戻り、支持アーム31aの先端近くには、チャックテーブル10の中心上に位置する縦軸心X周りに回転可能な切断駆動軸38が装備され、この切断駆動軸38の下端に連結されたボス部39に、一対の伸縮アーム40が水平スライド可能に支持されている。伸縮アーム40の先端に亘って連結された支持部材41に、門形に構成された回動ブラケット42が縦軸心Y周りに回転可能に軸支されている。
【0044】
この回動ブラケット42に水平支点Zを中心に揺動可能にカッタホルダ43が支持されるとともに、このカッタホルダ43の下部に、刃先を下向きにしたカッタ刃44が脱着可能に取り付けられている。
【0045】
ここで、切断駆動軸38は、タイミングベルトなどを利用したスリップのない巻き掛け伝動機構45を介してモータ46に連動連結されている。つまり、切断駆動軸38を回転駆動することで、カッタ刃44を半径Rで縦軸心X周りに旋回移動させて、ウエハWに貼付けた粘着テープTを切り抜き切断するようになっている。
【0046】
また、回動ブラケット42は、図4に示すエアーシリンダ47によって縦軸心Y周りに回転操作可能となっており、この回動ブラケット42の回転位相調節によってカッタ刃44の刃縁の向きを調整することができるようになっている。
【0047】
また、カッタホルダ43も、図4に示すエアーシリンダ48によって支点Z周りに揺動操作可能となっており、カッタホルダ43と一体にカッタ刃44が上方の支点Z周りに揺動することで、カッタ刃44が縦軸心Xに対して遠近移動するようになっている。
【0048】
制御部49は、粘着テープTに対するカッタ刃44の接触位置(高さ)を調節するために、モータ36の回転駆動を操作してテープ切断機構13の昇降駆動を制御している。
【0049】
次に、上記実施例装置を用いて粘着テープTをウエハWの表面に貼付けるための一連の動作を説明する。
【0050】
ウエハWを多段に収納したカセットC1がウエハ供給部のカセット台17に載置されると、カセット台17が昇降移動し、取り出し対象のウエハWをロボットアーム5で取り出せる高さ位置で停止される。
【0051】
次に、ウエハ搬送機構6が旋回してロボットアーム5のウエハ保持部5aがカセットC1内のウエハ同士の隙間に挿入され、ロボットアーム5はそのウエハ保持部5aでウエハWを裏面(下面)から吸着保持して取り出し、ウエハWをアライメントステージ7に移載する。
【0052】
アライメントステージ7に載置されたウエハWは、オリエンテーションフラットを利用して位置合わせされ、位置合わせのすんだウエハWは再びロボットアーム5によって吸着保持されて搬出され、チャックテーブル10に移載される。
【0053】
チャックテーブル10に載置されたウエハWは、その中心がチャックテーブル10の中心上にあるように位置合わせされて吸着保持される。この時、図7に示すように、テープ貼付けユニット11とテープ剥離ユニット12は左側の初期位置に、また、テープ切断機構13のカッタユニット33は上方の初期位置でそれぞれ待機している。
【0054】
ウエハWの位置合わせがすむと、図8に示すように、テープ貼付けユニット11の貼付けローラ25が下降されるとともに、この貼付けローラ25で粘着テープTを下方に押圧しながらウエハW上をテープ走行方向と逆方向(図8では左から右方向)に転動し、これによって粘着テープTがウエハWの表面全体に均一に貼付けられる。そして、テープ貼付けユニット11が終端位置に達すると貼付けローラ25が上昇される。
【0055】
この場合、テープイ貼付けが実行される前に、粘着テープTに予め形成された粘着剤硬化パターンPをウエハWに対して正しく位置合わせする処理がなされることになり、この位置合わせには、粘着剤硬化パターンPの側に形成された位置決めマークMが利用され、この位置決めマークMを図示されない光学センサで検出して、粘着テープTの送り制御がなされる。なお、光学センサとしては、例えば、CCDカメラによりマークMを画像認識させるようにしてもよい。この場合、CCDカメラおよび粘着テープTの送り制御を含む機構が、本発明の位置合わせ手段に相当する。
【0056】
次に、モータ36が起動されてテープ切断機構13が下降され、図9に示すように、上方に待機していたカッタユニット33が切断作用位置まで下降され、カッタ刃44がチャックテーブル10の放射溝20の部位において粘着テープTに突き刺さり貫通されて、予め設定された所定の高さ位置まで下降されたところで停止される。この場合、カッタ刃44の縦軸心Xに対する旋回半径Rが、処理対象となっているウエハWのサイズに対応するように、伸縮アーム40が予めスライド調節されている。
【0057】
カッタ刃44が所定の高さ位置で停止されると、モータ46が起動されて切断駆動軸38が所定の方向に回転され、これに伴ってカッタ刃44が縦軸心X周りに旋回移動して、粘着テープTがウエハ外形に沿って切断される。このとき、テープ貼付けユニット11とテープ剥離ユニット12によって、粘着テープTには所定のテンションがかけられる。
【0058】
この場合、カッタ刃44が走行するウエハ外周領域には、予めの紫外線照射によって硬化された粘着剤硬化パターンPが位置しているので、はみ出た粘着剤成分がウエハ外周に異物として付着するようなことはない。
【0059】
ウエハW外周に沿ったテープ切断が終了すると、切断駆動軸38が停止されるとともに、図10に示すように、カッタユニット33は元の待機位置まで上昇される。次に、テープ剥離ユニット12がウエハWウエをテープ走行方向と逆方向へ移動しながらウエハW上で切り抜き切断されて残った不要テープT’を巻き上げ剥離する。
【0060】
テープ剥離ユニット12が剥離作業の終了位置に達すると、テープ剥離ユニット12とテープ貼付けユニット11とがテープ走行方向に移動して初期位置に復帰する。このとき、不要テープT’が回収ボビン27に巻き取られるとともに、一定量の粘着テープTがテープ供給部8から繰り出される。
【0061】
以上で粘着テープTをウエハWの表面に貼付ける一連の動作が終了し、以後、この動作が繰り返される。
【0062】
本発明は、以下のような形態で実施することもできる。
【0063】
(1)上記実施例では、予め紫外線照射した粘着テープTをロール巻きして供給するよういにしているが、図11に示すように、チャックテーブル10へ至るテープ走行径路中にウエハ外形に沿ったパターンで紫外線照射を行う紫外線照射機構50を固定配備して、貼り付け前の粘着テープTに紫外線照射を施すようにすることも可能である。
【0064】
(2)上記実施例では、粘着剤硬化パターンPの位置合わせを粘着テープTの送り制御により行なっていたが、この形態に限定されず、次のような形態であってもよい。例えば、CCDカメラでウエハの輪郭と粘着テープTに形成された粘着剤硬化パターンPの位置が略一致するようにチャックテーブル10をテープ送り方向の前後および幅方向の左右に移動させて調節するように構成してもよい。
【0065】
(3)粘着テープTは必ずしもロール状である必要はなく、ワークWごとにシート状の粘着テープを1枚づつ貼り付けて切断する形態でも実施することもできる。この場合、上記実施例のように粘着剤硬化パターンPがシート上に形成されていればよい。
【0066】
(4)粘着テープをワーク保護用に貼り付ける場合のほかに、ワーク表面の不要物の除去処理などの目的に利用する場合にも本発明を適用することができる。
【0067】
(5)上記実施例では、カッタユニット33のカッタ刃44をウヘハWの外形に沿って移動させて粘着テープを切断していたが、ウエハW側を回転移動さえて粘着テープを切断するようにしてもよい。
【0068】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、紫外線照射によって硬化した粘着剤部分がワーク外周領域に位置するように、紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼付けることができ、ワーク外周に沿って粘着テープを切断する際にも、ワーク外周からの粘着剤のはみ出しや異物の発生がない、品質の高い切断処理を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】粘着テープ貼付け装置の全体構成を示す斜視図である。
【図2】テープ切断機構の側面図である。
【図3】テープ切断機構の背面図である。
【図4】カッタユニットの要部を示す正面図である。
【図5】テープ切断機構の要部とチャックテーブルを示す斜視図である。
【図6】粘着テープとウエハとの関係を示す斜視図である。
【図7】粘着テープ貼付け行程の概略正面図である。
【図8】粘着テープ貼付け行程の概略正面図である。
【図9】粘着テープ切断行程の概略正面図である。
【図10】粘着テープ剥離行程の概略正面図である。
【図11】他の実施例の概略構成図である。
【符号の説明】
W … ワーク(半導体ウエハ)
T … 粘着テープ
Claims (8)
- 紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、
紫外線硬化型の前記粘着テープの所定箇所に予め紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた後に、前記ワークへの粘着テープの貼り付け位置を合わせることを特徴とする紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法。 - 請求項1に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、
予め紫外線を照射する粘着テープの所定箇所は、粘着テープをワークに貼り付けたときにワーク外周の外側部分であることを特徴とする紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法。 - 請求項1または請求項2に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、
紫外線硬化型の前記粘着テープが帯状のものであって、ワークに貼り付けた後に、紫外線を照射して粘着剤を硬化させた所定箇所に沿って切断することを特徴とする紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法。 - 請求項1または請求項2に記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、
紫外線硬化型の前記粘着テープが、ワークの略外形に予め切断されたものであることを特徴とする紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法において、
前記ワークが、半導体ウエハであることを特徴とする紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法。 - 紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける粘着テープ貼付け装置において、
前記ワークを載置して保持する保持手段と、
前記ワークに貼り付けた後にワークの略外周部位に紫外線を予め照射して粘着剤を硬化させた帯状の紫外線硬化型の粘着テープをワークに向けて供給する粘着テープ供給手段と、
前記粘着テープとワークの貼り付け位置を合わせる位置合わせ手段と、
位置合わせした前記粘着テープをワークに貼り付ける貼付け手段と、
前記ワークに貼り付けた粘着テープのワーク外周部位を切断する切断手段と、
切断した後の不要な粘着テープを回収する不要テープ回収手段と
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。 - 紫外線硬化型の粘着テープをワークに貼り付ける粘着テープ貼付け装置において、
前記ワークを載置して保持する保持手段と、
帯状の紫外線硬化型の前記粘着テープをワークに向けて供給する粘着テープ供給手段と、
供給した前記粘着テープの所定部位に紫外線を照射する紫外線照射手段と、
載置した前記ワークと所定部位に紫外線を照射した前記粘着テープの貼り付け位置を合わせる位置合わせ手段と、
位置合わせした前記粘着テープをワークに貼り付ける貼付け手段と、
前記ワークに貼り付けた粘着テープの紫外線を照射した所定部位を切断する切断手段と、
切断した後の不要な粘着テープを回収する不要テープ回収手段と
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法を用いてワークに形成したことを特徴とする物品。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003185006A JP2005019841A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003185006A JP2005019841A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005019841A true JP2005019841A (ja) | 2005-01-20 |
Family
ID=34184609
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003185006A Pending JP2005019841A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005019841A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006222119A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
WO2007123007A1 (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Lintec Corporation | シート切断装置及び切断方法 |
JP2009065191A (ja) * | 2007-04-19 | 2009-03-26 | Sekisui Chem Co Ltd | ダイシング・ダイボンディングテープ及び半導体チップの製造方法 |
JP2009231779A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Lintec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2010098072A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体装置の製造方法及びそのための装置 |
JP2013243290A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護部材および保護テープ貼着方法 |
JP2013247171A (ja) * | 2012-05-24 | 2013-12-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護部材および保護テープ貼着方法 |
JP2013247279A (ja) * | 2012-05-28 | 2013-12-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 貼着方法 |
JP2015005561A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2015005562A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
-
2003
- 2003-06-27 JP JP2003185006A patent/JP2005019841A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006222119A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
WO2007123007A1 (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Lintec Corporation | シート切断装置及び切断方法 |
JP2009065191A (ja) * | 2007-04-19 | 2009-03-26 | Sekisui Chem Co Ltd | ダイシング・ダイボンディングテープ及び半導体チップの製造方法 |
JP2009231779A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Lintec Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2010098072A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体装置の製造方法及びそのための装置 |
JP2013243290A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護部材および保護テープ貼着方法 |
JP2013247171A (ja) * | 2012-05-24 | 2013-12-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護部材および保護テープ貼着方法 |
JP2013247279A (ja) * | 2012-05-28 | 2013-12-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 貼着方法 |
JP2015005561A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2015005562A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3770820B2 (ja) | 保護テープの貼付け方法 | |
TWI388489B (zh) | 半導體晶圓之黏著帶貼附方法及用利用該方法之裝置 | |
JP5261522B2 (ja) | 貼付装置及び貼付方法 | |
JP2003209082A (ja) | 保護テープの貼付方法およびその装置並びに保護テープの剥離方法 | |
JP5431053B2 (ja) | 粘着テープ貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 | |
JP2003209084A (ja) | 保護テープの切断方法およびそれを用いた保護テープ貼付装置 | |
JP2006100728A (ja) | 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 | |
WO2006057376A1 (ja) | 脆質部材の処理装置 | |
JP2010062356A (ja) | マウント装置及びマウント方法 | |
CN108987325B (zh) | 保护带的粘贴方法和保护带粘贴装置 | |
TW200529999A (en) | Method and apparatus for cutting protective tape | |
WO2006051684A1 (ja) | シート切断方法及びマウント方法 | |
JP4318471B2 (ja) | 保護テープの貼付・剥離方法 | |
JP2004047976A (ja) | 保護テープ貼付方法およびその装置 | |
TW201519304A (zh) | 黏著帶貼附方法及黏著帶貼附裝置 | |
JP2005019841A (ja) | 紫外線硬化型粘着テープの貼付け方法およびその装置並びにそれを用いて形成した物品 | |
KR20070085154A (ko) | 반도체 웨이퍼의 점착 테이프 부착 방법 및 이를 이용한장치 | |
TWI330582B (en) | Method and apparatus for cutting protective tape of semiconductor wafer | |
JP6087515B2 (ja) | 半導体ウエハの保護テープ切断方法および保護テープ切断装置 | |
TWI353647B (en) | Method of cutting a protective tape and protective | |
JP7461175B2 (ja) | 巻取装置および巻取方法 | |
TW200539331A (en) | Wafer processing apparatus and wafer processing method | |
JP4326363B2 (ja) | 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 | |
JP4886971B2 (ja) | 貼付装置 | |
JP2003318250A (ja) | 半導体ウエハの不要物除去方法およびその装置 |