JP2006100728A - 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体ウエハの表面に貼り付けた保護テープに剥離テープを貼り付けて剥離することで、粘着テープと一体にして保護テープを半導体ウエハから精度よく剥離することのできる保護テープ剥離方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 リングフレームfの裏面からダイシングテープDTで保持されたウエハ表面の保護テープPTに剥離テープTsをエッジ部材33を押圧して貼り付ける前に、剥離テープTsの貼付開始端の前方にあるダイシングテープDTの裏面にピストンノズル48から純水を滴下する。
【選択図】 図2
【解決手段】 リングフレームfの裏面からダイシングテープDTで保持されたウエハ表面の保護テープPTに剥離テープTsをエッジ部材33を押圧して貼り付ける前に、剥離テープTsの貼付開始端の前方にあるダイシングテープDTの裏面にピストンノズル48から純水を滴下する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、リング状フレームに支持粘着テープを介して保持された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに粘着テープを貼り付け、当該粘着テープと一体にして保護テープを半導体ウエハから精度よく剥離することのできる保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置に関する。
半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)を薄型加工する手段として、研削や研磨などの機械的方法、またはエッチングを利用した化学的方法などを利用してウエハの裏面を加工してその厚みを薄くしている。また、これらの方法を利用してウエハを加工する際、配線パターンの形成されたウエハ表面を保護するために、その表面に保護テープが貼り付けられる。保護テープが貼り付けられて研磨処理されたウエハは、リング状フレームに支持粘着テープを介して裏面から接着保持される。その後、リング状フレームに保持されたウエハの表面から、保護テープを剥離除去する。
具体的には、保護テープの表面にローラを介して粘着テープを貼り付け、当該粘着テープを剥離することで、ウエハ表面から保護テープと一体にして剥離除去して巻き取ってゆく。粘着テープを保護テープ表面に貼り付けるとき、粘着テープの貼付開始端側の支持粘着テープと、ローラに巻き掛けられた粘着テープとが接触しないように、貼付開始端側の支持粘着テープに非粘着性の薄板を貼り付けて、両粘着テープの接触を回避している(例えば、特許文献1参照)。
WO97/08745
しかしながら、従来の保護テープ剥離方法では、次のような問題がある。
近年、アプリケーションの急速な進歩に伴ってウエハの薄型化が求められており、150μm以下にまで薄型加工されるようになっている。このように保護テープの貼り付けられた状態で薄型加工されたウエハをリング状フレームの裏面から支持粘着シートで保持し、ウエハ表面から保護テープを剥離する場合に、粘着テープの貼付開始端側の支持粘着テープにウエハよりも厚い非粘着性の薄板を貼り付けたとき、図8に示すように、ウエハ厚みと薄板61の厚み差によって段差G(ギャップ)が生じる。つまり、この段差Gによりローラ60による粘着テープDTの押圧が不均一となる。特に貼付開始端では段差Gにより粘着テープがしっかり保護テープの端部と密着しない。その結果、粘着テープTsを剥離して保護テープPTを一体にして剥離するとき、剥離安定性が低下するといった問題がある。
また、粘着テープTsを保護テープPTの表面に端部から均一に貼り付けるためには、非粘着性の薄板61をウエハ厚みより薄く加工すれば可能である。しかしながら、非粘着性の材料を板材に表面コーティングして厚み調整することがウエハを薄く加工するよりも困難であり、かつ、ウエハの一連の加工工程において薄板61を支持粘着テープDTに貼り付けるための取り扱いが困難になるといった問題がある。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、リング状フレームに支持粘着テープを介して保持された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに粘着テープを貼り付け、当該粘着テープを剥離することで保護テープを一体にして半導体ウエハから精度よく剥離することのできる保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置を提供することを主たる目的とする。
この発明は、上記目的を達成するために次のような構成をとる。
第1の発明は、リング状フレームに支持粘着テープを介して裏面から保持された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、貼付部材により剥離用粘着テープ類を押圧しながら貼り付け、当該剥離用粘着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用粘着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
前記半導体ウエハの表面に貼付部材を介して剥離用粘着テープ類を貼り付けるとき、少なくとも剥離用粘着テープ類の貼付開始端側にある前記支持粘着テープの粘着面に液状物を滴下する
ことを特徴とする。
前記半導体ウエハの表面に貼付部材を介して剥離用粘着テープ類を貼り付けるとき、少なくとも剥離用粘着テープ類の貼付開始端側にある前記支持粘着テープの粘着面に液状物を滴下する
ことを特徴とする。
(作用・効果) この方法によると、貼付部材で押圧しながら保護テープの表面に剥離用粘着テープ類を貼り付けてゆくとき、剥離用粘着テープ類の貼付開始端側では剥離用粘着テープ類の高さが半導体ウエハと保護テープの厚み(高さ)よりも低い位置にある。半導体ウエハの厚みが、例えば、150μm以下の薄型化されたものであれば、貼付開始時に支持粘着テープの粘着面に剥離用粘着テープ類が接触する可能性がある。しかしながら、この発明によれば、剥離用粘着テープ類の貼付開始端側の支持粘着テープの粘着面に液状物が滴下されているので、剥離用粘着テープ類と支持粘着テープとが直接に接触することを回避することができる。すなわち、半導体ウエハの端部から均一な押圧力でもって保護テープの表面に密に剥離用粘着テープ類を貼り付けてゆくことができる。その結果、半導体ウエハの端部から保護テープと剥離用粘着テープ類を一体にして確実に剥離することができる。
なお、支持粘着テープの粘着面に滴下する液状物は、例えば、純水であることが好ましい。滴下する純水の量は、微量であり自然乾燥により支持粘着テープ裏面から蒸発する。また、蒸発しきれずに残った場合であっても、後工程のダイシング加工時に、同じく純水を利用するので、半導体ウエハに悪影響を与えない。
なお、剥離用粘着テープ類としては、例えば、粘着テープ、ラベルまたは板状を含む粘着シート、および加熱することにより粘着力を発揮する粘着テープや、ラベルまたは板状を含む粘着シートなどが挙げられる。
第4の発明は、リング状フレームに支持粘着テープを介して裏面から保持された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、貼付部材により剥離用粘着テープ類を押圧しながら貼り付け、当該剥離用粘着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用粘着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離装置であって、
前記リング状フレームに保持された半導体ウエハを載置保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された半導体ウエハに向けて剥離用粘着テープ類を供給する剥離用粘着テープ供給手段と、
前記半導体ウエハを載置保持した保持手段と前記貼付部材とを相対的に水平移動することにより、前記剥離用粘着テープ類を保護テープの表面に貼り付けるとともに、剥離用粘着テープ類と保護テープを半導体ウエハの表面から一体にして剥離する剥離手段と、
前記剥離用粘着テープ類を貼り付ける貼付開始端側にある前記支持粘着テープの粘着面に液状物を滴下する滴下手段と、
剥離した前記剥離用粘着テープ類と一体になった保護テープを回収するテープ回収手段と、
を備えたことを特徴とする。
前記リング状フレームに保持された半導体ウエハを載置保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された半導体ウエハに向けて剥離用粘着テープ類を供給する剥離用粘着テープ供給手段と、
前記半導体ウエハを載置保持した保持手段と前記貼付部材とを相対的に水平移動することにより、前記剥離用粘着テープ類を保護テープの表面に貼り付けるとともに、剥離用粘着テープ類と保護テープを半導体ウエハの表面から一体にして剥離する剥離手段と、
前記剥離用粘着テープ類を貼り付ける貼付開始端側にある前記支持粘着テープの粘着面に液状物を滴下する滴下手段と、
剥離した前記剥離用粘着テープ類と一体になった保護テープを回収するテープ回収手段と、
を備えたことを特徴とする。
(作用・効果) 第4の発明によると、保持手段は、リング状フレームに保持された半導体ウエハを載置保持する。剥離用粘着テープ供給手段は、保持手段に保持された半導体ウエハに向けて剥離用粘着テープ類を供給する。剥離手段は、半導体ウエハを載置保持した保持手段と貼付部材とを相対的に水平移動することにより、剥離用粘着テープ類を保護テープの表面に貼り付けるとともに、剥離用粘着テープ類と保護テープを半導体ウエハの表面から一体にして剥離する。滴下手段は、剥離用粘着テープ類を貼り付ける前に、剥離用粘着テープ類を貼り付ける貼付開始端側にある支持粘着テープの粘着面に液状物を滴下する。テープ回収手段は、剥離した剥離用粘着テープ類と一体になった保護テープを回収する。
この構成によれば、保護テープの表面に剥離用粘着テープ類を貼り付ける前に、貼付開始端側にある支持粘着テープの裏面に、滴下手段により液状物が滴下された後、貼付部材により剥離用粘着テープ類が押圧されながら保護テープの端部から貼り付けられてゆく。すなわち、剥離用粘着テープ類を貼り付けるとき、貼付開始端側の支持粘着シートの粘着面に滴下した液状物により剥離用粘着テープ類が支持粘着テープに接触するのを回避することができる。すなわち、半導体ウエハの端部から均一な押圧力でもって保護テープの表面に密に剥離用粘着テープ類を貼り付けてゆくことができる。その結果、半導体ウエハの端部から保護テープと剥離用粘着テープ類を一体にして確実に剥離することができる。
なお、滴下手段は、貼付部材の進行方向の前方に所定間隔をおいて配備され、貼付部材と一体となって、保持手段と相対的に水平移動することが好ましい。この構成によれば、保護テープを剥離する一連の工程内で、貼付開始端側の支持粘着シートの粘着面に液状物を容易に滴下できるので、第1の発明を好適に実現することができるとともに、作業効率の向上を図ることもできる。
この発明に係る保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置によれば、保護テープの表面に剥離用粘着テープ類を貼り付ける前に、剥離用粘着テープ類の貼付開始端側の支持粘着テープの粘着面に液状物が滴下されるので、剥離用粘着テープ類と支持粘着テープとが直接に接触することを回避することができる。すなわち、半導体ウエハの端部から均一な押圧力でもって剥離用粘着テープ類を保護テープの表面に密に貼り付けてゆくことができる。その結果、半導体ウエハの端部から保護テープと剥離用粘着テープ類を一体にして確実に剥離することができる。
以下、図面を参照して本発明の保護テープ剥離装置を備えた半導体ウエハマウント装置の実施例を説明する。
図1は、この発明の一実施例に係り、半導体ウエハマウント装置の全体構成を示した破断斜視図である。
この半導体ウエハマウント装置1は、バックグラインド処理を施したウエハWを多段に収納するカセットCが装填されるウエハ供給部2と、ロボットアーム4と押圧機構5とを備えたウエハ搬送機構3と、ウエハWの位置合わせをするアライメントステージ7と、アライメントステージ7に載置されたウエハWに向けて紫外線を照射する紫外線照射ユニット14と、ウエハWを吸着保持するチャックテーブル15と、リング状フレーム(以下、単に「リングフレームf」という)が多段に収納されたリングフレーム供給部16と、リングフレームfをダイシング用テープDTに移載するリングフレーム搬送機構17と、ダイシング用テープDTをリングフレームfの裏面から貼り付けるテープ処理部18と、ダイシング用テープDTが貼り付けられたリングフレームfを昇降移動させるリングフレーム昇降機構26と、ダイシング用テープDTが貼り付けられたリングフレームfにウエハWを貼り合わせて一体化したマウントフレームMFを作製するマウントフレーム作製部27と、作製されたマウントフレームMFを搬送する第1マウントフレーム搬送機構29と、ウエハWの表面に貼り付けられた保護テープPTを剥離する剥離機構30と、剥離機構30で保護テープPTが剥離されたマウントフレームMFを搬送する第2マウントフレーム搬送機構35と、マウントフレームMFの方向転換および搬送を行なうターンテーブル36と、マウントフレームMFを多段に収納するマウントフレーム回収部37とから構成されている。
ウエハ供給部2は、カセット台を備え、このカセット台に保護テープPTがパターン面(以下、適宜に「表面」という)に貼り付けられたウエハWを多段に収納したカセットCが載置されるようになっている。このとき、ウエハWはパターン面を上向きにした水平姿勢を保っている。
ウエハ搬送機構3は、図示しない駆動機構によって旋回および昇降移動するように構成されている。つまり、後述するロボットアーム4のウエハ保持部や、押圧機構5に備わった押圧プレート6の位置調整を行なうとともに、ウエハWをカセットCからアライメントステージ7に搬送するようになっている。
ウエハ搬送機構3のロボットアーム4は、その先端に図示しない馬蹄形をしたウエハ保持部を備えている。また、ロボットアーム4は、カセットCに多段に収納されたウエハW同士の間隙をウエハ保持部が進退可能に構成されている。
ウエハ保持部には吸着孔が設けられており、ウエハWを裏面から真空吸着して保持するようになっている。
ウエハ搬送機構3の押圧機構5は、その先端にウエハWと略同形状をした円形の押圧プレート6を備えており、この押圧プレート6がアライメントステージ7に載置されたウエハWの上方に移動するように、アーム部分が進退可能に構成されている。なお、押圧プレート6の形状は、円形に限定されるものではなく、ウエハWに発生している反りを矯正できる形状であればよい。例えば、ウエハWの反り部分に棒状物などの先端を押圧するようにしてもよい。
また、押圧機構5は、後述するアライメントステージ7の保持テーブル8にウエハWが載置されたときに、吸着不良が発生した場合に作動するようになっている。具体的には、ウエハWに反りが発生してウエハWを吸着保持できないとき、押圧プレート6がウエハWの表面を押圧し、反りを矯正して平面状態にする。この状態で保持テーブル8がウエハWを裏面から真空吸着するようになっている。
アライメントステージ7は、載置されたウエハWをオリエンテーションフラットなどに基づいて位置合わせを行なうとともに、ウエハWの裏面全体を覆って真空吸着する保持テーブル8を備えている。
また、アライメントステージ7は、ウエハWを真空吸着したときの圧力値を検出し、正常動作時(ウエハWが保持テーブル8に正常に吸着されたとき)の圧力値に関連して予め定められた基準値とを比較する。圧力値が基準値よりも高い(すなわち、吸気管R内の圧力が十分に低下していない)場合は、ウエハWに反りがあって保持テーブル8に吸着されていないものと判断する。そして、押圧プレート6を作動させてウエハWを押圧し、反りを矯正することによって、ウエハWが保持テーブル8に吸着されるようになっている。
アライメントステージ7は、ウエハWを載置して位置合わせを行なう初期位置と、後述するテープ処理部18の上方に多段に配備されたチャックテーブル15とリングフレーム昇降機構26との中間位置とにわたってウエハWを吸着保持した状態で搬送移動できるように構成されている。つまり、アライメントステージ7は、ウエハWの反りを矯正して平面状態に保持したまま次の工程まで搬送する。
紫外線照射ユニット14は、初期位置にあるアライメントステージ7の上方に位置している。紫外線照射ユニット14は、ウエハWの表面に貼り付けられた紫外線硬化型粘着テープである保護テープPTに向けて紫外線を照射する。つまり、紫外線の照射によって保護テープPTの接着力を低下させるようになっている。
チャックテーブル15は、ウエハWの表面を覆って真空吸着できるようにウエハWと略同一形状の円形をしており、図示しない駆動機構によって、テープ処理部18の上方の待機位置からウエハWをリングフレームfに貼り合わせる位置にわたって昇降移動するようになっている。
つまり、チャックテーブル15は、図11に示すように、保持テーブル8によって反りを矯正されて平面状態に保持されたウエハWと当接し、吸着保持するようになっている。
また、チャックテーブル15は、後述するダイシング用テープDTが裏面から貼り付けられたリングフレームfを吸着保持するリングフレーム昇降機構26の開口部に収まってウエハWがリングフレームfの中央のダイシング用テープDTに近接する位置まで降下するようになっている。
このとき、チャックテーブル15とリングフレーム昇降機構26とは、図示しない保持機構によって保持されている。
リングフレーム供給部16は底部に滑車が設けられたワゴン状のものであって、装置本体1内に装填されるようになっている。また、その上部が開口して内部に多段に収納されているリングフレームfをスライド上昇させて送り出すようになっている。
リングフレーム搬送機構17は、リングフレーム供給部16に収納されているリングフレームfを上側から1枚ずつ順番に真空吸着し、図示しないアライメントステージと、ダイシング用テープDTを貼り付ける位置とにリングフレームfを順番に搬送するようになっている。また、リングフレーム搬送機構17は、ダイシング用テープDTの貼付の際、ダイシング用テープDTの貼付位置でリングフレームfを保持する保持機構としても作用している。
テープ処理部18は、ダイシング用テープDTを供給するテープ供給部19、ダイシング用テープDTにテンションをかける引張機構20、ダイシング用テープDTをリングフレームfに貼り付ける貼付ユニット21、リングフレームfに貼り付けられたダンシング用テープDTを裁断するカッター機構24、カッター機構24によって裁断された後の不要なテープをリングフレームfから剥離する剥離ユニット23、および裁断後の不要な残存テープを回収するテープ回収部25とを備えている。
引張機構20は、ダイシング用テープDTを幅方向の両端から挟み込んで、テープ幅方向にテンションをかけるようになっている。つまり、柔らかいダイシング用テープDTを用いると、テープ供給方向に加わるテンションによって、その供給方向に沿ってダイシング用テープDTの表面に縦皺が発生してしまう。この縦皺を回避してリングフレームfにダイシング用テープDTを均一に貼り付けるために、テープ幅方向側からテンションをかけている。
貼付ユニット21は、ダイシング用テープDTの上方に保持されたリングフレームfの斜め下方(図1では左斜め下)の待機位置に配備されている。この貼付ユニット21に設けられた貼付ローラ22は、ダイシング用テープDTの貼付位置にリングフレーム搬送機構17によってリングフレームfが搬送および保持され、テープ供給部19からのダイシング用テープDTの供給が開始されると同時に、テープ供給方向の右側の貼付開始位置に移動する。
貼付開始位置に到達した貼付ローラ22は、上昇してダイシング用テープDTをリングフレームfに押圧して貼り付け、貼付開始位置から待機位置方向に転動してダイシング用テープDTを押圧しながらリングフレームfに貼り付けるようになっている。
剥離ユニット23は、後述するカッター機構24によって裁断されたダイシング用テープDTの不要な部分をリングフレームfから剥離するようになっている。具体的には、リングフレームfへのダイシング用テープDTの貼り付けおよび裁断が終了すると、引張機構20によるダイシング用テープDTの保持が開放される。次いで、剥離ユニット23が、リングフレームf上をテープ供給部19側に向かって移動し、裁断後の不要なダイシング用テープDTを剥離する。
カッター機構24は、リングフレームfが載置されたダイシング用テープDTの下方に配備されている。ダイシング用テープDTが貼付ユニット21によってリングフレームfに貼り付けられると、引張機構20によるダイシング用テープDTの保持が開放され、このカッター機構24が上昇する。上昇したカッター機構24は、リングフレームfに沿ってダイシング用テープDTを裁断する。
リングフレーム昇降機構26は、リングフレームfにダイシング用テープDTを貼り付ける位置の上方の待機位置にある。このリングフレーム昇降機構26は、リングフレームfにダイシング用テープDTの貼付処理が終了すると降下し、リングフレームfを吸着保持する。このとき、リングフレームfを保持していたリングフレーム搬送機構18は、リングフレーム供給部16の上方の初期位置に戻る。
また、リングフレーム昇降機構26はリングフレームfを吸着保持すると、ウエハWとの貼り合わせ位置へと上昇する。このとき、ウエハWを吸着保持したチャックテーブル15もウエハWの貼り合わせ位置まで降下する。
マウントフレーム作製部27は、貼付ローラ28を備えている。貼付ローラ28は、リングフレームfの裏面に貼り付けられているダイシング用テープDTの非接着面を押圧しながら転動するようになっている。なお、貼付ローラ28には、例えばゴムや樹脂製などの軟らかいものが使用される。
第1マウントフレーム搬送機構29は、リングフレームfとウエハWとが一体形成されたマウントフレームMFを真空吸着して剥離機構30の図示しない剥離テーブルに移載するようになっている。
剥離機構30は、図2に示すように、ウエハWを載置して移動させる剥離テーブル38、剥離テープTsを供給するテープ供給部31、剥離テープTsの貼り付けおよび剥離を行なう剥離ユニット32、剥離テープTsを貼り付ける貼付開始端側のダイシングテープDTの粘着面に純水を滴下する滴下機構39、および剥離された剥離テープTsと保護テープPTを回収するテープ回収部34とから構成されている。なお、剥離機構30のうち剥離テーブル38を除く構成は、装置本体1の図示しない全面に装備されている。なお、剥離テーブル38は、本発明の保持手段に、テープ供給部31は剥離用テープ供給手段に、剥離ユニット32は剥離手段に、滴下機構39は滴下手段に、剥離テープTsは、剥離用粘着テープ類にそれぞれ相当する。
剥離テーブル38は、多孔質で構成されており、マウントフレームMFを裏面側から真空吸着する。また、剥離テーブル38は、前後一対のレールに沿って左右にスライド移動可能に支持された可動台を装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。
テープ供給部31は、原反ローラから導出した剥離テープTsを剥離テーブルの上方を通って供給するようになっている。
剥離ユニット32は、図3および図4に示すように、先端が先鋭なテープ剥離用のエッジ部材33を備えている。このエッジ部材33は、ウエハ直径より幅広の板材で構成されており、剥離ユニット32に揺動可能に回転軸40に支軸されたエッジユニット41に取り付けられている。また、剥離テープ搬送用ローラRも取り付けられている。
エッジユニット41は、その側部にエアーシリンダ46の連結ロッド47がピストンロッド46aを介して連結されており、ピストンロッド46aの出退動作に応じて、エッジユニット41がエッジ部材33の進行方向の前後に揺動され、これによって、エッジ部材33のエッジの先端部が上下動、つまり高さ変更が可能にされるとともに、角度も変更されるように構成されている。
また、エアーシリンダ46の対向側には、パルスモータPMの回転駆動が伝達され、パルスモータPMの正・逆転に応じて調節軸44が出退動作する2つのマイクロメータ43がエッジユニット41の左右に取り付けられている。
つまり、2つのマイクロメータ43には、ギアGと同軸に取り付けられた滑車K同士に掛け渡されているベルトVによって、互いが1個のパルスモータPMから同じ回転率の回転駆動が伝達される構造となっている。つまり、一方のギアGにはパルスモータPMの回転が直接に伝達され、この回転がマイクロメータ43に伝達される。他方のギアGにはベルトVによって間接的に回転が伝達され、この伝達された回転がマイクロマータ43に伝達される。そして、左右のマイクロメータ43の調節軸44が同じスケールで出退動作するようになっている。
また、マイクロメータ43の調節軸44の先端は、エッジユニット41のフレームの側部に当接するようになっている。つまり、エッジが所定の角度となるようにピストロンド46aによって傾斜角が与えられたエッジユニット41は、与えられた傾斜角以上に傾いてエッジの位置が高さ方向に上下動、特に下方向に移動しないように、エッジユニット41のフレームに当接し、ストッパーとして機能している。
滴下機構39は、エッジ部材33の前方からその手前に所定間隔をおいて「L」字状のピストンノズル48の先端が下方を向いて位置するように配備されている。このピストンノズル48は、ピストンロッド49を押圧することで、内部に貯留した純水WAを所定量ずつ滴下する。ピストンロッド49の対向側には、パルスモータPMの回転駆動が伝達され、パルスモータPMの正・逆転に応じて調節軸50が出退動作するマイクロメータ51が取り付けられている。
マイクロメータ51には、ギアGを介してパルスモータPMから同じ回転率の回転駆動が伝達される構造となっている。つまり、ギアGにはパルスモータPMの回転が直接に伝達され、この回転がマイクロメータ51に伝達される。そして、マイクロメータ51の調節軸50が所定のスケールで出退動作することでピストンロッド49を押圧するようになっている。すなわち、所定量の純水WAが、エッジ部材33の前方、つまり、剥離テープTsの貼付開始端側のダイシングテープDTの粘着面に滴下されるようになっている。
第2マウントフレーム搬送機構35は、剥離機構30から払い出されたマウントフレームMFを真空吸着してターンテーブル36に移載するようになっている。
ターンテーブル36は、マウントフレームMFの位置合わせおよびマウントフレーム回収部37への収納を行なうように構成されている。つまり、第2マウントフレーム搬送機構35によってターンテーブル36上にマウントフレームMFが載置されると、ウエハWのオリエンテーションフラットや、リングフレームfの位置決め形状などに基づいて位置合わせを行なう。またマウントフレーム回収部37へのマウントフレームMFの収納方向を変更するために、ターンテーブル36は旋回するようになっている。また、ターンテーブル36は、収納方向が定まるとマウントフレームMFを図示しないプッシャーによって押出してマウントフレーム回収部37にマウントフレームMFを収納するようになっている。
マウントフレーム回収部37は、図示しない昇降可能な載置テーブルに載置されている。つまり、載置テーブルが昇降移動することによって、プッシャーによって押出されたマウントフレームMFをマウントフレーム回収部37の任意の段に収納できるようになっている。
次に、上述の実施例装置について一巡の動作を図1から図7を参照しながら説明する。
ロボットアーム4のウエハ保持部がカセットCの隙間に挿入される。ウエハWは下方から吸着保持されて1枚ずつ取り出される。取り出されたウエハWは、アライメントステージ7に搬送される。
ロボットアーム4によってウエハWが保持テーブル8に載置され、裏面から吸着保持される。このとき、図示しない圧力計によってウエハWの吸着レベルが検出され、正常動作時の圧力値に関連して予め定められた基準値とを比較される。
吸着異常が検知された場合は、押圧プレート6によりウエハWが表面から押圧され、反りの矯正された平面状態でウエハWが吸着保持される。また、ウエハWは、オリエンテーションフラットやノッチに基づいて位置合わせが行なわれる。
アライメントステージ7上で位置合わせが終了すると、紫外線照射ユニット14によってウエハWの表面に紫外線が照射される。
ウエハWは、紫外線の照射処理が施されると、保持テーブル8に吸着保持されたままアライメントステージ7ごと次のマウントフレーム作製部27へと搬送される。つまり、アライメントステージ7は、チャックテーブル15とリングフレーム昇降機構26との中間位置に移動する。
アライメントステージ7が所定の位置で待機すると、上方に位置するチャックテーブル15が降下し、チャックテーブル15の底面がウエハWに当接して真空吸着を開始する。チャックテーブル15の真空吸着が開始すると、保持テーブル8側の吸着保持が開放され、ウエハWはチャックテーブル15に反りを矯正して平面保持した状態のまま受け取られる。ウエハWを受け渡したアライメントステージ7は、図12に示すように、初期位置へと戻る。
次に、リングフレーム供給部16に多段に収納されたリングフレームfが、リングフレーム搬送機構17によって上方から1枚ずつ真空吸着されて取り出される。取り出されたリングフレームfは、図示しないアライメントステージで位置合わせが行なわれたのち、ダイシング用テープDTの上方のダイシング用テープDT貼り付け位置に搬送される。
リングフレームfがリングフレーム搬送機構17によって保持されてダイシング用テープDTの貼付位置にあると、テープ供給部19からダイシング用テープDTの供給が開始される。同時に貼付ローラ22が貼付開始位置に移動する。
貼付開始位置に貼付ローラ22が到達すると、ダイシング用テープDTの幅方向の両端を引張機構20が保持し、テープ幅方向にテンションをかける。
次いで貼付ローラ22が上昇し、ダイシング用テープDTをリングフレームfの端部に押圧して貼り付ける。リングフレームfの端部にダイシング用テープDTを貼り付けると、貼付ローラ22は待機位置であるテープ供給部19側に向かって転動する。このとき、貼付ローラ22は、ダイシング用テープDT(非接着面)を押圧しながら転動し、リングフレームfにダイシング用テープDTを貼り付けてゆく。貼付ローラ22が貼付位置の終端に到達すると、引張機構20によるダイシング用テープDTの保持が開放される。
同時にカッター機構24が上昇し、リングフレームfに沿ってダイシング用テープDTを裁断する。ダイシング用テープDTの裁断が終了すると、剥離ユニット23がテープ供給部19側に向かって移動し、不要なダイシング用テープDTを剥離する。
次いでテープ供給部19が作動してダイシング用テープDTを繰り出すとともに、裁断された不要部分のテープは、テープ回収部25へと送り出される。ことのとき、貼付ローラ22は、次のリングフレームfにダイシング用テープDTを貼り付けるように、貼付開始位置に移動する。
ダイシング用テープDTが貼り付けられたリングフレームfは、リングフレーム昇降機構26によってフレーム部が吸着保持されて上方へ移動する。このとき、チャックテーブル15も降下する。つまり、チャックテーブル15とリングフレーム昇降機構26とは、互いにウエハWを貼り合わせる位置まで移動する。
各機構15、26が所定位置に到達すると、それぞれが図示しない保持機構によって保持される。次いで、貼付ローラ28が、ダイシング用テープDTの貼付開始位置に移動し、リングフレームf底面に貼り付けられているダイシング用テープDTの非接着面を押圧しながら転動し、ダイシング用テープDTをウエハWに貼り付けてゆく。その結果、リングフレームfとウエハWとが一体化されたマウントフレームMFが作製される。
マウントフレームMFが作製されると、チャックテーブル15とリングフレーム昇降機構26とは、上方に移動する。このとき、図示しない保持テーブルがマウントフレームMFの下方に移動し、マウントフレームMFがこの保持テーブルに載置される。載置されたマウントフレームMFは、第1マウントフレーム搬送機構29によって吸着保持され、剥離テーブル38に移載される。
マウントフレームMFが載置された剥離テーブル38は、図6に示すように、剥離ユニット32の下方に向かって移動する。マウントフレームMFが剥離ユニット下方の所定の位置に到達すると一旦停止して滴下機構39が作動し、剥離テープTsの貼付開始端側のダイシングテープDTの粘着面に、図5に示すように、ダイシングテープDTの幅より略幅広となるように、ピストンノズル48から純水WAが滴下される。
その後、エッジ部材33がテープ供給部31から供給される剥離テープTsを巻き掛けた状態で所定高さまで降下する。このとき、エッジ部材33の降下した貼付開始端の位置には、純水WAが滴下されているので、剥離テープTsとダイシングテープDTとが接触しない。そして、剥離テーブル38は、エッジ部材33が降下した状態で再び移動開始する。この移動にともなって、エッジ部材33がウエハWの表面の保護テープPTに剥離テープTsを押圧しながら貼り付けてゆく。エッジ部材33は剥離テープTsの貼り付けと同時に、貼り付けた剥離テープTsを剥離しながら保護テープPTを一緒にウエハWの表面から剥離してゆく。
保持テーブル38が、図7に示すように、保護テープの剥離終端位置に到達すると、エッジ部材33が上昇するとともに、剥離ユニット32は初期位置に復帰する。
保護テープPTの剥離処理が終了したマウントフレームMFは、剥離テーブル33によって第2マウントフレーム搬送機構35の待機位置まで移動する。
剥離機構30から払い出されたマウントフレームMFは、第2マウントフレーム搬送機構35によってターンテーブル36に移載される。移載されたマウントフレームMFは、オリエンテーションフラットやノッチによって位置合わせが行なわれるとともに、収納方向の調節が行なわれる。位置合わせおよび収納方向が定まるとマウントフレームMFは、プッシャーによって押出されてマウントフレーム回収部37に収納される。
以上で、本実施例の半導体ウエハマウント装置1の一巡の動作が終了する。なお、上述の装置では、剥離テーブル38の移動量、停止位置、タイミング、エッジ部材33の昇降およびそのタイミング、並びに、滴下機構39のピストンノズル48からの純水に滴下量などが予め制御部に設定入力されており、これら設定条件に基づいて、制御部が各部を総括的に制御している。
上述のように、リングフレームfにより保持されたウエハWの表面に剥離テープTsを貼り付ける前に、貼付開始端側にあるダイシングテープDTの裏面の粘着面に、剥離テープTsよも幅広となり、かつ、ウエハWの端部まで純水WAを滴下しておくことにより、剥離テープTsを貼り付け時にエッジ部材33が貼付開始端側で降下しても、当該エッジ部材33に巻き掛けられた剥離テープTsは、ダイシングテープDTの裏面と直接に接触しない。すなわち、ダイシングテープDTと剥離テープTsが接着することなしに、ウエハ端部の貼付開始端から剥離テープTsを一定の押圧力でもって保護テープPTの表面に貼り付けてゆくことができる。その結果、剥離テープTsの貼り付けムラにより発生する保護テープPTの剥離精度の低下を解消することができる。
また、ダイシングテープDTの裏面に滴下する液状物に純水WAを利用することにより、保護テープ剥離後のマウントフレームMFを搬送して次工程に搬送する過程で自然乾燥させて蒸発させることができる。また、次工程のダイシング工程にまで純水が残っていても、ダイシング加工時に純水を利用する都合上、特に悪影響を与えない。
本発明は上述した実施例のものに限らず、次のように変形実施することもできる。
(1)上記実施例では、剥離テープTsの貼り付けにエッジ部材33を利用していたが、ローラを利用してもよい。
(2)また、ピストンノズル48から純水を滴下するとき、保持テーブル38を一旦停止させていたが、停止させることのないように、保持テーブル38の移動速度を制御部で調整するように構成にしてもよい。
(3)上記実施例では、液状物として純水を利用していたが、アルコール、オイルなどダイシングテープDTと剥離テープTsとの接着が回避できる液状物であればよい。
(4)上記実施例では、ダイシングテープDT側に純水を滴下したが、マウントフレームMFを反転させて下方から保護テープを剥離する場合、剥離テープTs側に液状物を滴下するように構成してもよい。
(5)上記実施例では、剥離テープTsの貼り付け時に保持テーブル38を移動させていたが、エッジ部材33および滴下機構39を一緒に移動させるように構成してもよい。
(6)上記実施例では、剥離ユニット32に滴下機構39が一体構成されていたが、別体で剥離ユニット32と滴下機構39とが個別に移動するように構成してもよい。
(7)上記実施例では、ピストンノズル48の先端が真下を向いていたが、ウエハWの端部側に向くように傾斜姿勢で取り付けられていてもよい。
(8)上記実施例では、保護テープPTを剥離するのに帯状の剥離テープTsを貼り付けていたが、例えば、粘着テープ、ラベルまたは板状を含む粘着シート、および加熱することにより粘着力を発揮する粘着テープや、ラベルまたは板状を含む粘着シートなどを利用することができる。
30 … 剥離機構
33 … エッジ部材
38 … 剥離テーブル
39 … ピストンノズル
49 … ピストンロッド
50 … 調整軸
51 … マイクロメータ
PT … 保護テープ
Ts … 剥離テープ
W … ウエハ
WA … 純水
33 … エッジ部材
38 … 剥離テーブル
39 … ピストンノズル
49 … ピストンロッド
50 … 調整軸
51 … マイクロメータ
PT … 保護テープ
Ts … 剥離テープ
W … ウエハ
WA … 純水
Claims (4)
- リング状フレームに支持粘着テープを介して裏面から保持された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、貼付部材により剥離用粘着テープ類を押圧しながら貼り付け、当該剥離用粘着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用粘着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
前記半導体ウエハの表面に貼付部材を介して剥離用粘着テープ類を貼り付けるとき、少なくとも剥離用粘着テープ類の貼付開始端側にある前記支持粘着テープの粘着面に液状物を滴下する
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。 - 請求項1に記載の保護テープ剥離方法において、
前記支持粘着テープの粘着面に滴下する前記液状物は、純水である
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。 - リング状フレームに支持粘着テープを介して裏面から保持された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、貼付部材により剥離用粘着テープ類を押圧しながら貼り付け、当該剥離用粘着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用粘着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離装置であって、
前記リング状フレームに保持された半導体ウエハを載置保持する保持手段と、
前記保持手段に保持された半導体ウエハに向けて剥離用粘着テープ類を供給する剥離用粘着テープ供給手段と、
前記半導体ウエハを載置保持した保持手段と前記貼付部材とを相対的に水平移動することにより、前記剥離用粘着テープ類を保護テープの表面に貼り付けるとともに、剥離用粘着テープ類と保護テープを半導体ウエハの表面から一体にして剥離する剥離手段と、
前記剥離用粘着テープ類を貼り付ける前に、剥離用粘着テープ類を貼り付ける貼付開始端側にある前記支持粘着テープの粘着面に液状物を滴下する滴下手段と、
剥離した前記剥離用粘着テープ類と一体になった保護テープを回収するテープ回収手段と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離装置。 - 請求項3に記載の保護テープ剥離装置において、
前記滴下手段は、前記貼付部材の進行方向の前方に所定間隔をおいて配備され、貼付部材と一体となって、保持手段と相対的に水平移動する
ことを特徴とする保護テープ剥離装置。
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