JP2004047976A - 保護テープ貼付方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウエハの表面に保護テープを精度よく貼り付ける保護テープ貼付方法およびその装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルにウエハWを載置保持したときに、ウエハ表面の高さと略同じ高さを有する枠材18をウエハWの周りに設けることにより、貼付ローラが保護テープT1の表面に接触しながら枠材18にこの保護テープT1を貼り付け、その後にこの保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けてゆく。したがって、保護テープT1の貼付時に加わる過剰な押圧力により発生しがちなテープの延伸が枠材18の表面で吸収され、ウエハWの表面には延伸のない保護テープが精度よく貼り付けられる。
【選択図】 図2
【解決手段】チャックテーブルにウエハWを載置保持したときに、ウエハ表面の高さと略同じ高さを有する枠材18をウエハWの周りに設けることにより、貼付ローラが保護テープT1の表面に接触しながら枠材18にこの保護テープT1を貼り付け、その後にこの保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けてゆく。したがって、保護テープT1の貼付時に加わる過剰な押圧力により発生しがちなテープの延伸が枠材18の表面で吸収され、ウエハWの表面には延伸のない保護テープが精度よく貼り付けられる。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを精度よく貼り付ける技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハの製造過程において、研削方法や研磨方法などの機械的方法、またはエッチングを利用した化学的方法などを利用して半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)の裏面を加工し、その厚みを薄くしている。これらの方法を利用してウエハを加工する際、パターンの形成された表面を保護するために、その表面に保護テープが貼り付けられている。
【0003】
つまり、バックグラインド工程に移載されたウエハは、その表面(パターン面)をチャックテーブルで吸着保持され、裏面を砥石で研削される。このとき、ウエハの表面には研削によるストレスが加わりパターンが破損したしり、汚れたりする恐れがあるので、その表面に保護テープを貼り付けている。
【0004】
具体的に保護テープの貼り付けは、次のようにして行なわれている。
図11および図12に示すように、保護テープT1に接触している貼付ローラ30が半導体ウエハWの表面高さよりも低い位置から移動開始し、保持テーブル17の周縁に接触(図11に示す)した後に半導体ウエハWの端部を乗り上げて(図12に示す)転動移動しながら保護テープT1を半導体ウエハWの上面に貼り付けてゆくようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の保護テープの貼付方法では、次のような問題がある。
【0006】
すなわち、貼付ローラが保持テーブル周縁に接触し、かつ、ウエハ端部を乗り上げる際、保護テープに過剰な押圧力が加わり、図13の矢印に示すように、ウエハ端部からテープ幅方向にテープが延伸されてしまう。したがって、このような状態で貼り付けられた保護テープT1には、元の形状に戻ろうとする応力が作用し、薄く加工されたウエハWに対して、図14に示す矢印方向に反りを発生させる、結果、このウエハの反りによって、搬送時の吸着不良や、カセットへの収納ができないといった問題がある。
【0007】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、半導体ウエハの表面に精度よく保護テープを貼り付ける保護テープ貼付方法およびその装置を提供することを主たる目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、ローラまたはエッジ部材などの貼付部材を保護テープの表面に接触させ、保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの表面にこの保護テープを貼り付ける保護テープ貼付方法において、
前記保護テープの粘着面が、前記半導体ウエハの載置保持された保持テーブルの載置面に接触しない状態で帯状の保護テープを半導体ウエハに貼り付けてゆくことを特徴とするものである。
【0009】
(作用・効果)保護テープの粘着面が保持テーブル載置面に接触しない状態で帯状の保護テープが半導体ウエハの表面に貼り付けられる。したがって、半導体ウエハ端部への貼付部材の乗り上げのギャップを小さくすることができ、保護テープに過剰な押圧力が加わらない、結果、テープの延伸により保護テープ貼付後に発生していた半導体ウエハの反りを解消することができる。
【0010】
また、請求項2に記載の発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
表面が前記保持テーブルに載置保持した半導体ウエハの表面と略同じ高さになるように半導体ウエハの周りに配置した枠材と、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて前記枠材と半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記枠材と半導体ウエハに貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【0011】
(作用・効果)保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの表面高さと略同じ高さを有する枠材を半導体ウエハの周りに設け、この枠材の表面を保護テープ貼り付け開始点として保護テープが半導体ウエハの表面に貼り付けられる。したがって、保護テープ貼付時に発生しがちな貼付部材の過剰な押圧力よる保護テープの延伸部分が枠材部分で吸収され、半導体ウエハ表面に保護テープを貼り付けるときには、均一な押圧力が保護テープに加わる、結果、保護テープの延伸により保護テープ貼付後に発生していた半導体ウエハの反りを解消することができる。つまり、請求項1に記載の方法を好適に実現することができる。
【0012】
また、請求項3に記載の発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に昇降可能な貼付部材を接触させて半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しない状態で保護テープを半導体ウエハに貼り付けるように、前記貼付部材の昇降を調節する第1制御手段と、
前記半導体ウエハの表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【0013】
(作用・効果)保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しない維持した状態で、貼付部材を保護テープの表面に接触させながら半導体ウエハの表面に保護テープが貼り付けられる。したがって、貼付部材が半導体ウエハ端部を乗り上げるときのギャップを小さくすることができ、保護テープに対して略均一な押圧力を加えながら半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けることができる。つまり、請求項1に記載の方法を好適に実現することができる。
【0014】
また、請求項4に記載の発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルを昇降移動する昇降手段と、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記半導体ウエハの表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と、
前記保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しない状態で貼付部材が保護テープを半導体ウエハの表面に貼り付けるように、前記昇降手段を操作して保持テーブルの高さを調節する第2制御手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【0015】
(作用・効果)保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しないように、保持テーブルの高さが調節される。したがって、保護テープ貼付時に半導体ウエハ端部を乗り上げる貼付部材のギャップを小さくすることができ、保護テープに対して略均一な押圧力を加えながら半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けることができる、つまり,請求項1に記載の方法を好適に実現することができる。
【0016】
また、請求項5に記載の発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持したときに、半導体ウエハの外周を取り囲み、かつ、半導体ウエハの表面の高さと略同じ表面高さを有する外周枠が形成された保持テーブルと、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて前記保持テーブルの外周枠と半導体ウエハの表面とに保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記半導体ウエハと外周枠の表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【0017】
(作用・効果)半導体ウエハを取り囲むように形成された外周枠を有する保持テーブルに半導体ウエハが載置保持される。半導体ウエハが載置保持されると、保護テープに貼付部材を接触させながら、外周枠の表面、半導体ウエハの表面の順に保護テープを貼り付けてゆく。したがって、保護テープ貼付時に発生しがちな貼付部材の過剰な押圧力よる保護テープの延伸部分が外周枠で吸収され、半導体ウエハ表面に保護テープを貼り付けるときには、均一な押圧力が保護テープに加わる、結果、保護テープの延伸により保護テープ貼付後に発生していた半導体ウエハの反りを解消することができる。つまり、請求項1に記載の方法を好適に実現することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
<第1実施例>
先ず、本実施例で使用する保護テープ貼付装置について、図面を参照して説明する。
図1は実施例装置に係る概略構成を示す斜視図、図2は実施例装置に係る概略構成を示す平面図、図3は実施例装置の保持テーブル周辺の要部構成を示す正面図である。
【0019】
実施例に係る半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)の保護テープ貼付装置1は、図1に示す基台2の左右手前に、ウエハが収納されたカセットC1が装填されるウエハ供給部3(左側)と、表面に保護テープT1が貼り付けられたウエハWを回収するウエハ回収部4(右側)とが配備されている。このウエハ供給部3とウエハ回収部4の間には、ロボットアーム6を備えたウエハ搬送機構5が配備されている。また、基台2の右側奥にはアライメントステージ7が配備され、その上方にはウエハWに向けて保護テープT1を供給するテープ供給部8が配備されている。また、テープ供給部8の右斜め下にはテープ供給部8から供給されたセパレータ付きの保護テープT1からセパレータSのみを回収するセパレータ回収部9が配備されている。アライメントステージ7の左横にはウエハWを載置保持する保持部10と、この保持部10に保持されたウエハWに保護テープT1を貼り付けるテープ貼付機構11と、ウエハWに保護テープT1を貼り付けた後の不要なテープT2を剥離するテープ剥離機構12とが配備され、その上方にはウエハWに貼り付けられた保護テープT1をウエハWの外形に沿って切断するカッターユニット13が配備されている。また、基台2の左側上方には、不要なテープT2を回収するテープ回収部14が配備されている。さらに、保持部10を挟んで、ウエハWに貼り付ける前の保護テープT1と、保護テープT1をウエハWに貼り付けた後の回収前の不要なテープT2から静電気を除去する静電気除去部15がそれぞれに配備されている。
【0020】
以下、各機構について具体的に説明する。
ウエハ供給部3は、昇降可能なカセット台を備え、このカセット台にウエハWを多段に収納したカセットC1が載置されるようになっている。このとき、ウエハWはパターン面を上向きにした水平姿勢を保っている。
【0021】
ウエハ搬送機構5は、ロボットアーム6を備えるとともに、図示しない駆動機構によって旋回するように構成されている。
【0022】
ロボットアーム6は、その先端に略矩形状のウエハ保持部16を備えている。このウエハ保持部16には図示しない吸着孔が設けられており、ウエハWを裏面から真空吸着するようになっている。なお、ウエハ保持部16の形状は矩形状に限定されるものではなく、馬蹄形などであってもよい。
【0023】
つまり、ロボットアーム6は、カセットC1に多段に収納されたウエハW同士の間隙をウエハ保持部16が進退してウエハWを裏面から吸着保持するとともに、吸着保持したウエハWを後述するアライメントステージ7、保持部10、およびウエハ回収部4の順に搬送するようになっている。
【0024】
アライメントステージ7は、載置されたウエハWをオリエンテーションフラットなどに基づいて位置合わせを行なうようになっている。
【0025】
保持部10は、図2および図3に示すように、ウエハWの全面を覆うようにウエハWと略同形状をしたチャックテーブル17と、チャックテーブル17をその中央部に収めて外周を取り囲むように貫通孔が設けられた枠材18とから構成されている。
【0026】
チャックテーブル17は、移載されたウエハWのオリエンテーションフラットなどを基準に位置合わせを行なうとともに、ウエハWの裏面全体を覆って真空吸着するようになっている。また、チャックテーブル17は、図3に示すように、駆動機構19によりガイド20に沿って昇降移動可能な構成をしている。なお、チャックテーブル17は、本発明の保持テーブルに相当する。
【0027】
枠材18において、図2および図3に示すテープ貼付方向の長さLは、この表面に保護テープT1を貼り付けたときにテープの延伸部分を吸収可能な長さに設定される。したがって、使用する保護テープなどによって適宜に変更することが好ましい。
【0028】
駆動機構19は、図3に示すように、チャックテーブル17の下部中央に取り付けられボール軸21と、モータ22と、ボール軸21とモータ22の駆動軸23のそれぞれの端部(図3では下部)に取り付けられた滑車24と、これら両滑車に懸架されてモータ22の駆動力をボール軸21に伝達するベルト25と、モータ21の正逆駆動を制御する駆動制御部26とから構成されている。なお、駆動制御部26は、本発明の第2制御手段に相当する。
【0029】
つまり、駆動制御部26からの信号に基づいてモータ22が正逆駆動し、この駆動力がボール軸21に伝達されてチャックテーブル17がガイド20に沿って昇降移動する。このとき、チャックテーブル17の高さは、チャックテーブル17に吸着保持されたウエハWの表面高さと枠材18の表面高さとが略同じになるように駆動制御部26によって調節されている。
【0030】
テープ供給部8は、図4に示すように、テープボビン27から繰り出されたセパレータSつきの保護テープT1をガイドローラ28群に巻回案内する。なお、テープ供給部8は装置本体の縦壁に軸支されブレーキ機構などを介して回転規制されている。
【0031】
セパレータ回収部9は、縦壁に回収ボビン29が軸支されており、モータなどの駆動機構に連動連結されている。
【0032】
テープ貼付機構11は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには貼付部材としての貼付ローラ30が回転可能に軸支されている。つまり、貼付ローラ30が保護テープT1の表面を押圧して転動しながら枠材18とウエハWの表面に保護テープT1を貼り付けてゆくようになっている。なお、テープ貼付機構11は、本発明の貼付手段に相当する。
【0033】
カッターユニット13は、図示しない昇降機構により待機位置と、保護テープを切断する作用位置とにわたって昇降移動するとともに、ウエハの周縁に沿って保護テープを切断する。
【0034】
テープ剥離機構12は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには剥離ローラ31が回転可能に軸支されているとともに、この剥離ローラ31が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。剥離ローラ31はウエハWの外周縁に沿って切断された後の不要なテープT2をウエハWから剥離するためのものである。なお、テープ剥離機構12は、本発明の剥離手段に相当する。
【0035】
テープ回収部14は、基台2の縦壁に回収ボビン32が軸支され、モータなどの駆動部に連動連結されている。つまり、テープ供給部11から所定量の保護テープT1が繰り出されてウエハW上に供給されるとともに、駆動部が作動することにより保護テープT1を切断後の不要なテープT2が回収ボビン32に巻き取られるようになっている。
【0036】
ウエハ回収部4は、昇降可能なカセット台を備え、このカセット台にカセットC2が載置されるようになっている。このカセットC2には、表面に保護テープT1の貼り付けられたウエハWが多段に収納されるようになっている。このとき、ウエハWはパターン面を上向きにした水平姿勢を保っている。
【0037】
次に、上記実施例装置を用いて保護テープT1をウエハWの表面に貼り付ける一巡の動作につてい図を参照しながら説明する。
【0038】
先ず操作部から使用する保護テープT1と処理対象のウエハWを選択する。この選択条件に基づいて予め登録されたウエハWなどの情報、例えば本実施例では保護テープT1およびウエハWの厚み情報を駆動制御部26が図示しないデータベースから抽出し、チャックテーブル17の高さを調節する。具体的には、チャックテーブル17に吸着保持されたウエハWの表面高さと枠材18の表面高さとが略同じになるように、チャックテーブル17の高さ調節を行なう。
【0039】
チャックテーブル17の高さ調節が終了すると、カセット台に載置されたカセットC1から取り出し対象のウエハWをロボットアーム6で取り出せるようにカセット台を昇降移動して位置調節する。
【0040】
カセットC1の位置合わせが終了すると、ウエハ搬送機構5が旋回してロボットアーム6のウエハ保持部16がカセットC1内のウエハW同士の隙間に挿入される。ロボットアーム6は、そのウエハ保持部16でウエハWを裏面から吸着保持して取り出し、ウエハWをアライメントステージ7に移載する。
【0041】
アライメントステージ7に載置されたウエハWは、オリエンテーションフラットやノッチなどに基づいてウエハWの位置合わせが行なわれる。位置合わせ後、ウエハWはロボットアーム6によって裏面を吸着保持されてチャックテーブル17に移載される。
【0042】
チャックテーブル17に載置されたウエハWは、位置合わせが行なわれ、吸着保持される。このとき、図4に示すように、テープ貼付機構11とテープ剥離機構12とは左側の初期位置に、およびカッターユニット13は上方の待機位置にそれぞれ位置する。
【0043】
ウエハWの位置合わせが終了すると、図5に示すように、テープ貼付機構11の貼付ローラ30が保護テープT1を押圧しながら、枠材18上をテープ走行方向とは逆方向(図5では左から右)に転動し、連続してウエハW上を転動して保護テープT1をウエハWの表面全体に均一に貼り付ける。
【0044】
テープ貼付機構11が終了位置に達すると、図6に示すように、カッターユニット13が切断作用位置に降下し、刃先が保護テープT1に突き刺さり貫通する。刃先がウエハWの周縁に沿って移動することにより、保護テープT1を略ウエハ形状に切断する。
【0045】
保護テープT1を切断した後、カッターユニット13は、図7に示すように、上昇して待機位置に戻る。
【0046】
次に、テープ剥離機構12が、図7に示すように、枠材18とウエハW上をテープ走行方向とは逆方向(図7では左から右)に移動しながらウエハW上で切断された不要なテープT2を巻き上げて剥離する。
【0047】
テープ剥離機構12が剥離作業の終了位置に達すると、テープ剥離機構12とテープ貼付機構11とがテープ走行方向に移動して、図4に示す初期位置に復帰する。このとき、不要なテープT2が回収ボビン32に巻き取られるとともに、一定量の保護テープT1がテープ供給部8から繰り出される。以上で保護テープT1をウエハWの表面に貼り付ける一巡の動作が終了する。
【0048】
以上のように、チャックテーブル17を囲むような枠材18を設けるとともに、この枠材18の表面高さと、チャックテーブル17にウエハWを吸着保持した時のウエハWの表面高さとが略同じ、つまり、同一平面上を貼付ローラ30が転動するようにチャックテーブル17の高さを調節する。したがって、保護テープ貼付時の貼付ローラ30のウエハWへの乗り上げによる押圧力の影響で発生するテープの延伸は枠材18の部分で吸収されるので、ウエハWの表面では保護テープT1に均一な押圧力が加わり、保護テープT1を精度よく貼り付けることができる、結果、保護テープ貼付後に発生していたウエハWの反りを解消することができる。
【0049】
また、ウエハ表面に保護テープT1を貼り付ける時点では、保護テープ表面に常に均一な押圧力が加わるので、ウエハWのノッチやオリエンテーションフラットの位置を考慮することなく、ウエハ端部のいずれの方向からでも保護テープT1を貼り付けることができる。
【0050】
<第2実施例>
本実施例装置では、保護テープT1を貼り付けるときの貼付ローラ30の高さを調節するようにしたものである。つまり、上述の第1実施例装置のように枠材18を設けることなく、かつチャックテーブル17が昇降移動するものではない。以下、上述の第1実施例装置と構成の同一部分については同一符号を付すに留め、異なる部分について説明する。
【0051】
貼付ローラ30は、図8に示すように、テープ貼付機構11のフレームに回転可能に軸支されているとともに、連結されたシリンダー33により上下揺動駆動する。また、このシリンダー33の伸縮駆動は、第1制御部34により制御されている。つまり、保護テープT1に貼付ローラ30を接触させてウエハWに貼り付ける際、保護テープT1の最下面がウエハWを載置保持したチャックテーブル17の載置面よりも上方の位置から保護テープT1を貼り付けるように、貼付ローラ30の高さ調節を第1制御部34により行なっている。
【0052】
次に、この貼付ローラ30を利用して保護テープT1をウエハWの表面に貼り付ける動作を説明する。
先ず操作部から処理対象のウエハWと保護テープT1を選択する。第1制御部34は、この選択に基づいてウエハWと保護テープT1の厚み情報を図示しないデータベースから抽出し、貼付ローラ30の高さ調節する。この高さ調節が終了すると、貼付ローラ30は保護テープT1の表面を押圧しながら転動し、保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けてゆく。保護テープ貼付後は、カッターユニット13によりウエハWの外形に沿って保護テープT1が切断され、保護テープT1の貼り付けられたウエハWはカセットC2に収納される。
【0053】
したがって、保護テープT1の貼付開始時に、貼付ローラ30がウエハWに乗り上げるギャップを小さくすることができるので、ウエハ周縁領域での保護テープT1の延伸を抑制することができる、結果、保護テープ貼付後に発生しがちなウエハWの反りを解消することができる。
【0054】
<第3実施例>
本実施例装置では、チャックテーブル17の形態を変更したものである。したがって、第1実施例装置と構成の同一部分については同一符号を付すに留め、異なる部分について説明する。
【0055】
具体的に本実施例のチャックテーブル17Aは、図9の平面図に示すように、ウエハWの外周を取り囲む外周枠35が形成されている。この外周枠35の高さは、図10に示すように、このチャックテーブル17Aに所定のウエハWを吸着保持したときのウエハWの表面高さと略同じに設定されている。なお、このチャックテーブル17Aは、ウエハWの種類に応じて用意され、交換可能になっている。なお、本実施例のチャックテーブル17Aは、第1実施例のように昇降移動するものではない。
【0056】
次に、このチャックテーブル17Aを利用して保護テープT1をウエハWの表面に貼り付ける動作を説明する。
図10に示すように、先ず貼付ローラ30が保護テープT1を押圧してチャックテーブル30の外周枠上35を転動しながら、この外周枠35の表面に保護テープT1を貼り付ける。次いで、貼付ローラ30は、ウエハW上を転動しながら保護テープT1をウエハWに貼り付けてゆく。保護テープ貼付後は、カッターユニット13によりウエハWの外形に沿って保護テープT1が切断され、保護テープT1の貼り付けられたウエハWはカセットC2に収納される。
【0057】
したがって、保護テープT1の貼付開始時に貼付ローラ30の過剰な押圧力によって発生しがちなテープの延伸は、チャックテーブル17Aの外周枠34で吸収され、ウエハ表面上に保護テープT1を貼り付ける時点では、延伸のない保護テープT1に均一な押圧力が加わる、結果、保護テープT1の延伸よって発生していた保護テープ貼付後のウエハWの反りが解消される。
【0058】
本発明は、上記の実施例に限らず、次のように変形実施することもできる。
(1)上記各実施例装置では、保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けるのに貼付ローラ30を使用していが、先端が先鋭なエッジ部材を利用して保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けるようにしてもよい。
【0059】
(2)上記第1および第2実施例装置では、チャックテーブル17および貼付ローラ30の高さ調節を、予め入力設定されているウエハWと保護テープT1の厚みに応じて決定しているが、次のようにしてそれぞれの部材の高さを調節してもよい。
【0060】
つまり、保護テープT1を貼り付ける時点のウエハWまたは保護テープT1の厚みの少なくともいずれかを非接触センサなどで検出し、これらの厚みのバラツキに応じてチャックテーブル17および貼付ローラ30の高さを処理対象のウエハWごとに変更するようにしてもよい。
【0061】
(3)上記第1および第2実施例装置では、チャックテーブル17および貼付ローラ30の高さをそれぞれの制御部により行なっていたが、ガイド20やシリンダー33にストッパーを設けて、それぞれの高さの下限を規制するようにしてもよい。
【0062】
(4)上記第1実施例装置では、ウエハWの周囲を囲む形状の枠材18であったが、保護テープの延伸の発生しやすい保護テープの貼付を開始する前半部分のみに枠材を設けるようにしてもよい。したがって、枠材18の形状は、第1実施例に使用した形状に限定されるものではなく、保護テープT1の貼付開始時点におけるテープの延伸部分を吸収できる長さをもった形状であればよい。
【0063】
(5)上記各実施例では、図中でウエハWの表面が上方を向いた状態でチャックテーブル17に保持され、その表面に保護テープT1が貼り付けられていたが、この形態に限定されるものではなく、チャックテーブル17に吸着保持されたウエハWの表面が下方に向いた状態、つまり、装置を反転させた構成で貼付けローラ30をウエハWの表面に転動させて保護テープT1を貼り付けるようにしてもよい。つまり、保護テープT1の粘着面がウエハWを吸着保持したチャックテーブル17の載置面に接触しない状態で保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けられれば、保護テープT1の貼付けについて上下方向は特に限定されない。
【0064】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、粘着面が保持テーブルに半導体ウエハを載置保持したときの載置面に保護テープの粘着面が接触しない状態を維持して保護テープの表面に貼付部材を接触させながら保護テープを半導体ウエハに貼り付けることで、保護テープ貼付時に半導体ウエハ周縁領域で加わりがちであった過剰な押圧力が軽減できる。したがって、半導体ウエハの周縁領域で延伸された状態で貼り付けられた保護テープの応力により、保護テープ貼付後に発生していた半導体ウエハの反りを解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例に係る保護テープ貼付装置の概略構成を示した斜視図である。
【図2】第1実施例に係る保護テープ貼付装置の概略構成を示した平面図である。
【図3】第1実施例装置の保持部の要部構成を示した正面図である。
【図4】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図5】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図6】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図7】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図8】第2実施例装置に係るテープ貼付機構の要部構成を示した概略正面図である。
【図9】第3実施例装置に係るチャックテーブルを示した平面図である。
【図10】第3実施例装置に係るテープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図11】従来装置のテープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図12】従来装置のテープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図13】従来装置のテープ貼付工程を説明する概略平面図である。
【図14】従来装置で保護テープを貼り付けたウエハの状態を示した平面図である。
【符号の説明】
W … ウエハ
T1… 保護テープ
1 … 保護テープ貼付装置
3 … ウエハ供給部
4 … ウエハ回収部
5 … ウエハ搬送機構
7 … アライメントステージ
8 … テープ供給部
11 … テープ貼付機構
12 … テープ剥離機構
13 … カッターユニット
14 … テープ回収部
17,17A … チャックテーブル
18 … 枠材
19 … 駆動機構
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを精度よく貼り付ける技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体ウエハの製造過程において、研削方法や研磨方法などの機械的方法、またはエッチングを利用した化学的方法などを利用して半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)の裏面を加工し、その厚みを薄くしている。これらの方法を利用してウエハを加工する際、パターンの形成された表面を保護するために、その表面に保護テープが貼り付けられている。
【0003】
つまり、バックグラインド工程に移載されたウエハは、その表面(パターン面)をチャックテーブルで吸着保持され、裏面を砥石で研削される。このとき、ウエハの表面には研削によるストレスが加わりパターンが破損したしり、汚れたりする恐れがあるので、その表面に保護テープを貼り付けている。
【0004】
具体的に保護テープの貼り付けは、次のようにして行なわれている。
図11および図12に示すように、保護テープT1に接触している貼付ローラ30が半導体ウエハWの表面高さよりも低い位置から移動開始し、保持テーブル17の周縁に接触(図11に示す)した後に半導体ウエハWの端部を乗り上げて(図12に示す)転動移動しながら保護テープT1を半導体ウエハWの上面に貼り付けてゆくようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の保護テープの貼付方法では、次のような問題がある。
【0006】
すなわち、貼付ローラが保持テーブル周縁に接触し、かつ、ウエハ端部を乗り上げる際、保護テープに過剰な押圧力が加わり、図13の矢印に示すように、ウエハ端部からテープ幅方向にテープが延伸されてしまう。したがって、このような状態で貼り付けられた保護テープT1には、元の形状に戻ろうとする応力が作用し、薄く加工されたウエハWに対して、図14に示す矢印方向に反りを発生させる、結果、このウエハの反りによって、搬送時の吸着不良や、カセットへの収納ができないといった問題がある。
【0007】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、半導体ウエハの表面に精度よく保護テープを貼り付ける保護テープ貼付方法およびその装置を提供することを主たる目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、ローラまたはエッジ部材などの貼付部材を保護テープの表面に接触させ、保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの表面にこの保護テープを貼り付ける保護テープ貼付方法において、
前記保護テープの粘着面が、前記半導体ウエハの載置保持された保持テーブルの載置面に接触しない状態で帯状の保護テープを半導体ウエハに貼り付けてゆくことを特徴とするものである。
【0009】
(作用・効果)保護テープの粘着面が保持テーブル載置面に接触しない状態で帯状の保護テープが半導体ウエハの表面に貼り付けられる。したがって、半導体ウエハ端部への貼付部材の乗り上げのギャップを小さくすることができ、保護テープに過剰な押圧力が加わらない、結果、テープの延伸により保護テープ貼付後に発生していた半導体ウエハの反りを解消することができる。
【0010】
また、請求項2に記載の発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
表面が前記保持テーブルに載置保持した半導体ウエハの表面と略同じ高さになるように半導体ウエハの周りに配置した枠材と、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて前記枠材と半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記枠材と半導体ウエハに貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【0011】
(作用・効果)保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの表面高さと略同じ高さを有する枠材を半導体ウエハの周りに設け、この枠材の表面を保護テープ貼り付け開始点として保護テープが半導体ウエハの表面に貼り付けられる。したがって、保護テープ貼付時に発生しがちな貼付部材の過剰な押圧力よる保護テープの延伸部分が枠材部分で吸収され、半導体ウエハ表面に保護テープを貼り付けるときには、均一な押圧力が保護テープに加わる、結果、保護テープの延伸により保護テープ貼付後に発生していた半導体ウエハの反りを解消することができる。つまり、請求項1に記載の方法を好適に実現することができる。
【0012】
また、請求項3に記載の発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に昇降可能な貼付部材を接触させて半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しない状態で保護テープを半導体ウエハに貼り付けるように、前記貼付部材の昇降を調節する第1制御手段と、
前記半導体ウエハの表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【0013】
(作用・効果)保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しない維持した状態で、貼付部材を保護テープの表面に接触させながら半導体ウエハの表面に保護テープが貼り付けられる。したがって、貼付部材が半導体ウエハ端部を乗り上げるときのギャップを小さくすることができ、保護テープに対して略均一な押圧力を加えながら半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けることができる。つまり、請求項1に記載の方法を好適に実現することができる。
【0014】
また、請求項4に記載の発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルを昇降移動する昇降手段と、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記半導体ウエハの表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と、
前記保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しない状態で貼付部材が保護テープを半導体ウエハの表面に貼り付けるように、前記昇降手段を操作して保持テーブルの高さを調節する第2制御手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【0015】
(作用・効果)保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しないように、保持テーブルの高さが調節される。したがって、保護テープ貼付時に半導体ウエハ端部を乗り上げる貼付部材のギャップを小さくすることができ、保護テープに対して略均一な押圧力を加えながら半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付けることができる、つまり,請求項1に記載の方法を好適に実現することができる。
【0016】
また、請求項5に記載の発明は、半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持したときに、半導体ウエハの外周を取り囲み、かつ、半導体ウエハの表面の高さと略同じ表面高さを有する外周枠が形成された保持テーブルと、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて前記保持テーブルの外周枠と半導体ウエハの表面とに保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記半導体ウエハと外周枠の表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【0017】
(作用・効果)半導体ウエハを取り囲むように形成された外周枠を有する保持テーブルに半導体ウエハが載置保持される。半導体ウエハが載置保持されると、保護テープに貼付部材を接触させながら、外周枠の表面、半導体ウエハの表面の順に保護テープを貼り付けてゆく。したがって、保護テープ貼付時に発生しがちな貼付部材の過剰な押圧力よる保護テープの延伸部分が外周枠で吸収され、半導体ウエハ表面に保護テープを貼り付けるときには、均一な押圧力が保護テープに加わる、結果、保護テープの延伸により保護テープ貼付後に発生していた半導体ウエハの反りを解消することができる。つまり、請求項1に記載の方法を好適に実現することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
<第1実施例>
先ず、本実施例で使用する保護テープ貼付装置について、図面を参照して説明する。
図1は実施例装置に係る概略構成を示す斜視図、図2は実施例装置に係る概略構成を示す平面図、図3は実施例装置の保持テーブル周辺の要部構成を示す正面図である。
【0019】
実施例に係る半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)の保護テープ貼付装置1は、図1に示す基台2の左右手前に、ウエハが収納されたカセットC1が装填されるウエハ供給部3(左側)と、表面に保護テープT1が貼り付けられたウエハWを回収するウエハ回収部4(右側)とが配備されている。このウエハ供給部3とウエハ回収部4の間には、ロボットアーム6を備えたウエハ搬送機構5が配備されている。また、基台2の右側奥にはアライメントステージ7が配備され、その上方にはウエハWに向けて保護テープT1を供給するテープ供給部8が配備されている。また、テープ供給部8の右斜め下にはテープ供給部8から供給されたセパレータ付きの保護テープT1からセパレータSのみを回収するセパレータ回収部9が配備されている。アライメントステージ7の左横にはウエハWを載置保持する保持部10と、この保持部10に保持されたウエハWに保護テープT1を貼り付けるテープ貼付機構11と、ウエハWに保護テープT1を貼り付けた後の不要なテープT2を剥離するテープ剥離機構12とが配備され、その上方にはウエハWに貼り付けられた保護テープT1をウエハWの外形に沿って切断するカッターユニット13が配備されている。また、基台2の左側上方には、不要なテープT2を回収するテープ回収部14が配備されている。さらに、保持部10を挟んで、ウエハWに貼り付ける前の保護テープT1と、保護テープT1をウエハWに貼り付けた後の回収前の不要なテープT2から静電気を除去する静電気除去部15がそれぞれに配備されている。
【0020】
以下、各機構について具体的に説明する。
ウエハ供給部3は、昇降可能なカセット台を備え、このカセット台にウエハWを多段に収納したカセットC1が載置されるようになっている。このとき、ウエハWはパターン面を上向きにした水平姿勢を保っている。
【0021】
ウエハ搬送機構5は、ロボットアーム6を備えるとともに、図示しない駆動機構によって旋回するように構成されている。
【0022】
ロボットアーム6は、その先端に略矩形状のウエハ保持部16を備えている。このウエハ保持部16には図示しない吸着孔が設けられており、ウエハWを裏面から真空吸着するようになっている。なお、ウエハ保持部16の形状は矩形状に限定されるものではなく、馬蹄形などであってもよい。
【0023】
つまり、ロボットアーム6は、カセットC1に多段に収納されたウエハW同士の間隙をウエハ保持部16が進退してウエハWを裏面から吸着保持するとともに、吸着保持したウエハWを後述するアライメントステージ7、保持部10、およびウエハ回収部4の順に搬送するようになっている。
【0024】
アライメントステージ7は、載置されたウエハWをオリエンテーションフラットなどに基づいて位置合わせを行なうようになっている。
【0025】
保持部10は、図2および図3に示すように、ウエハWの全面を覆うようにウエハWと略同形状をしたチャックテーブル17と、チャックテーブル17をその中央部に収めて外周を取り囲むように貫通孔が設けられた枠材18とから構成されている。
【0026】
チャックテーブル17は、移載されたウエハWのオリエンテーションフラットなどを基準に位置合わせを行なうとともに、ウエハWの裏面全体を覆って真空吸着するようになっている。また、チャックテーブル17は、図3に示すように、駆動機構19によりガイド20に沿って昇降移動可能な構成をしている。なお、チャックテーブル17は、本発明の保持テーブルに相当する。
【0027】
枠材18において、図2および図3に示すテープ貼付方向の長さLは、この表面に保護テープT1を貼り付けたときにテープの延伸部分を吸収可能な長さに設定される。したがって、使用する保護テープなどによって適宜に変更することが好ましい。
【0028】
駆動機構19は、図3に示すように、チャックテーブル17の下部中央に取り付けられボール軸21と、モータ22と、ボール軸21とモータ22の駆動軸23のそれぞれの端部(図3では下部)に取り付けられた滑車24と、これら両滑車に懸架されてモータ22の駆動力をボール軸21に伝達するベルト25と、モータ21の正逆駆動を制御する駆動制御部26とから構成されている。なお、駆動制御部26は、本発明の第2制御手段に相当する。
【0029】
つまり、駆動制御部26からの信号に基づいてモータ22が正逆駆動し、この駆動力がボール軸21に伝達されてチャックテーブル17がガイド20に沿って昇降移動する。このとき、チャックテーブル17の高さは、チャックテーブル17に吸着保持されたウエハWの表面高さと枠材18の表面高さとが略同じになるように駆動制御部26によって調節されている。
【0030】
テープ供給部8は、図4に示すように、テープボビン27から繰り出されたセパレータSつきの保護テープT1をガイドローラ28群に巻回案内する。なお、テープ供給部8は装置本体の縦壁に軸支されブレーキ機構などを介して回転規制されている。
【0031】
セパレータ回収部9は、縦壁に回収ボビン29が軸支されており、モータなどの駆動機構に連動連結されている。
【0032】
テープ貼付機構11は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには貼付部材としての貼付ローラ30が回転可能に軸支されている。つまり、貼付ローラ30が保護テープT1の表面を押圧して転動しながら枠材18とウエハWの表面に保護テープT1を貼り付けてゆくようになっている。なお、テープ貼付機構11は、本発明の貼付手段に相当する。
【0033】
カッターユニット13は、図示しない昇降機構により待機位置と、保護テープを切断する作用位置とにわたって昇降移動するとともに、ウエハの周縁に沿って保護テープを切断する。
【0034】
テープ剥離機構12は、そのフレームがテープ走行方向にスライド可能となるように装置本体のレールに把持され、図示しないモータなどの駆動部を介して連動連結されている。また、フレームには剥離ローラ31が回転可能に軸支されているとともに、この剥離ローラ31が図示しないシリンダなどによって上下揺動駆動するようになっている。剥離ローラ31はウエハWの外周縁に沿って切断された後の不要なテープT2をウエハWから剥離するためのものである。なお、テープ剥離機構12は、本発明の剥離手段に相当する。
【0035】
テープ回収部14は、基台2の縦壁に回収ボビン32が軸支され、モータなどの駆動部に連動連結されている。つまり、テープ供給部11から所定量の保護テープT1が繰り出されてウエハW上に供給されるとともに、駆動部が作動することにより保護テープT1を切断後の不要なテープT2が回収ボビン32に巻き取られるようになっている。
【0036】
ウエハ回収部4は、昇降可能なカセット台を備え、このカセット台にカセットC2が載置されるようになっている。このカセットC2には、表面に保護テープT1の貼り付けられたウエハWが多段に収納されるようになっている。このとき、ウエハWはパターン面を上向きにした水平姿勢を保っている。
【0037】
次に、上記実施例装置を用いて保護テープT1をウエハWの表面に貼り付ける一巡の動作につてい図を参照しながら説明する。
【0038】
先ず操作部から使用する保護テープT1と処理対象のウエハWを選択する。この選択条件に基づいて予め登録されたウエハWなどの情報、例えば本実施例では保護テープT1およびウエハWの厚み情報を駆動制御部26が図示しないデータベースから抽出し、チャックテーブル17の高さを調節する。具体的には、チャックテーブル17に吸着保持されたウエハWの表面高さと枠材18の表面高さとが略同じになるように、チャックテーブル17の高さ調節を行なう。
【0039】
チャックテーブル17の高さ調節が終了すると、カセット台に載置されたカセットC1から取り出し対象のウエハWをロボットアーム6で取り出せるようにカセット台を昇降移動して位置調節する。
【0040】
カセットC1の位置合わせが終了すると、ウエハ搬送機構5が旋回してロボットアーム6のウエハ保持部16がカセットC1内のウエハW同士の隙間に挿入される。ロボットアーム6は、そのウエハ保持部16でウエハWを裏面から吸着保持して取り出し、ウエハWをアライメントステージ7に移載する。
【0041】
アライメントステージ7に載置されたウエハWは、オリエンテーションフラットやノッチなどに基づいてウエハWの位置合わせが行なわれる。位置合わせ後、ウエハWはロボットアーム6によって裏面を吸着保持されてチャックテーブル17に移載される。
【0042】
チャックテーブル17に載置されたウエハWは、位置合わせが行なわれ、吸着保持される。このとき、図4に示すように、テープ貼付機構11とテープ剥離機構12とは左側の初期位置に、およびカッターユニット13は上方の待機位置にそれぞれ位置する。
【0043】
ウエハWの位置合わせが終了すると、図5に示すように、テープ貼付機構11の貼付ローラ30が保護テープT1を押圧しながら、枠材18上をテープ走行方向とは逆方向(図5では左から右)に転動し、連続してウエハW上を転動して保護テープT1をウエハWの表面全体に均一に貼り付ける。
【0044】
テープ貼付機構11が終了位置に達すると、図6に示すように、カッターユニット13が切断作用位置に降下し、刃先が保護テープT1に突き刺さり貫通する。刃先がウエハWの周縁に沿って移動することにより、保護テープT1を略ウエハ形状に切断する。
【0045】
保護テープT1を切断した後、カッターユニット13は、図7に示すように、上昇して待機位置に戻る。
【0046】
次に、テープ剥離機構12が、図7に示すように、枠材18とウエハW上をテープ走行方向とは逆方向(図7では左から右)に移動しながらウエハW上で切断された不要なテープT2を巻き上げて剥離する。
【0047】
テープ剥離機構12が剥離作業の終了位置に達すると、テープ剥離機構12とテープ貼付機構11とがテープ走行方向に移動して、図4に示す初期位置に復帰する。このとき、不要なテープT2が回収ボビン32に巻き取られるとともに、一定量の保護テープT1がテープ供給部8から繰り出される。以上で保護テープT1をウエハWの表面に貼り付ける一巡の動作が終了する。
【0048】
以上のように、チャックテーブル17を囲むような枠材18を設けるとともに、この枠材18の表面高さと、チャックテーブル17にウエハWを吸着保持した時のウエハWの表面高さとが略同じ、つまり、同一平面上を貼付ローラ30が転動するようにチャックテーブル17の高さを調節する。したがって、保護テープ貼付時の貼付ローラ30のウエハWへの乗り上げによる押圧力の影響で発生するテープの延伸は枠材18の部分で吸収されるので、ウエハWの表面では保護テープT1に均一な押圧力が加わり、保護テープT1を精度よく貼り付けることができる、結果、保護テープ貼付後に発生していたウエハWの反りを解消することができる。
【0049】
また、ウエハ表面に保護テープT1を貼り付ける時点では、保護テープ表面に常に均一な押圧力が加わるので、ウエハWのノッチやオリエンテーションフラットの位置を考慮することなく、ウエハ端部のいずれの方向からでも保護テープT1を貼り付けることができる。
【0050】
<第2実施例>
本実施例装置では、保護テープT1を貼り付けるときの貼付ローラ30の高さを調節するようにしたものである。つまり、上述の第1実施例装置のように枠材18を設けることなく、かつチャックテーブル17が昇降移動するものではない。以下、上述の第1実施例装置と構成の同一部分については同一符号を付すに留め、異なる部分について説明する。
【0051】
貼付ローラ30は、図8に示すように、テープ貼付機構11のフレームに回転可能に軸支されているとともに、連結されたシリンダー33により上下揺動駆動する。また、このシリンダー33の伸縮駆動は、第1制御部34により制御されている。つまり、保護テープT1に貼付ローラ30を接触させてウエハWに貼り付ける際、保護テープT1の最下面がウエハWを載置保持したチャックテーブル17の載置面よりも上方の位置から保護テープT1を貼り付けるように、貼付ローラ30の高さ調節を第1制御部34により行なっている。
【0052】
次に、この貼付ローラ30を利用して保護テープT1をウエハWの表面に貼り付ける動作を説明する。
先ず操作部から処理対象のウエハWと保護テープT1を選択する。第1制御部34は、この選択に基づいてウエハWと保護テープT1の厚み情報を図示しないデータベースから抽出し、貼付ローラ30の高さ調節する。この高さ調節が終了すると、貼付ローラ30は保護テープT1の表面を押圧しながら転動し、保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けてゆく。保護テープ貼付後は、カッターユニット13によりウエハWの外形に沿って保護テープT1が切断され、保護テープT1の貼り付けられたウエハWはカセットC2に収納される。
【0053】
したがって、保護テープT1の貼付開始時に、貼付ローラ30がウエハWに乗り上げるギャップを小さくすることができるので、ウエハ周縁領域での保護テープT1の延伸を抑制することができる、結果、保護テープ貼付後に発生しがちなウエハWの反りを解消することができる。
【0054】
<第3実施例>
本実施例装置では、チャックテーブル17の形態を変更したものである。したがって、第1実施例装置と構成の同一部分については同一符号を付すに留め、異なる部分について説明する。
【0055】
具体的に本実施例のチャックテーブル17Aは、図9の平面図に示すように、ウエハWの外周を取り囲む外周枠35が形成されている。この外周枠35の高さは、図10に示すように、このチャックテーブル17Aに所定のウエハWを吸着保持したときのウエハWの表面高さと略同じに設定されている。なお、このチャックテーブル17Aは、ウエハWの種類に応じて用意され、交換可能になっている。なお、本実施例のチャックテーブル17Aは、第1実施例のように昇降移動するものではない。
【0056】
次に、このチャックテーブル17Aを利用して保護テープT1をウエハWの表面に貼り付ける動作を説明する。
図10に示すように、先ず貼付ローラ30が保護テープT1を押圧してチャックテーブル30の外周枠上35を転動しながら、この外周枠35の表面に保護テープT1を貼り付ける。次いで、貼付ローラ30は、ウエハW上を転動しながら保護テープT1をウエハWに貼り付けてゆく。保護テープ貼付後は、カッターユニット13によりウエハWの外形に沿って保護テープT1が切断され、保護テープT1の貼り付けられたウエハWはカセットC2に収納される。
【0057】
したがって、保護テープT1の貼付開始時に貼付ローラ30の過剰な押圧力によって発生しがちなテープの延伸は、チャックテーブル17Aの外周枠34で吸収され、ウエハ表面上に保護テープT1を貼り付ける時点では、延伸のない保護テープT1に均一な押圧力が加わる、結果、保護テープT1の延伸よって発生していた保護テープ貼付後のウエハWの反りが解消される。
【0058】
本発明は、上記の実施例に限らず、次のように変形実施することもできる。
(1)上記各実施例装置では、保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けるのに貼付ローラ30を使用していが、先端が先鋭なエッジ部材を利用して保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けるようにしてもよい。
【0059】
(2)上記第1および第2実施例装置では、チャックテーブル17および貼付ローラ30の高さ調節を、予め入力設定されているウエハWと保護テープT1の厚みに応じて決定しているが、次のようにしてそれぞれの部材の高さを調節してもよい。
【0060】
つまり、保護テープT1を貼り付ける時点のウエハWまたは保護テープT1の厚みの少なくともいずれかを非接触センサなどで検出し、これらの厚みのバラツキに応じてチャックテーブル17および貼付ローラ30の高さを処理対象のウエハWごとに変更するようにしてもよい。
【0061】
(3)上記第1および第2実施例装置では、チャックテーブル17および貼付ローラ30の高さをそれぞれの制御部により行なっていたが、ガイド20やシリンダー33にストッパーを設けて、それぞれの高さの下限を規制するようにしてもよい。
【0062】
(4)上記第1実施例装置では、ウエハWの周囲を囲む形状の枠材18であったが、保護テープの延伸の発生しやすい保護テープの貼付を開始する前半部分のみに枠材を設けるようにしてもよい。したがって、枠材18の形状は、第1実施例に使用した形状に限定されるものではなく、保護テープT1の貼付開始時点におけるテープの延伸部分を吸収できる長さをもった形状であればよい。
【0063】
(5)上記各実施例では、図中でウエハWの表面が上方を向いた状態でチャックテーブル17に保持され、その表面に保護テープT1が貼り付けられていたが、この形態に限定されるものではなく、チャックテーブル17に吸着保持されたウエハWの表面が下方に向いた状態、つまり、装置を反転させた構成で貼付けローラ30をウエハWの表面に転動させて保護テープT1を貼り付けるようにしてもよい。つまり、保護テープT1の粘着面がウエハWを吸着保持したチャックテーブル17の載置面に接触しない状態で保護テープT1をウエハWの表面に貼り付けられれば、保護テープT1の貼付けについて上下方向は特に限定されない。
【0064】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、粘着面が保持テーブルに半導体ウエハを載置保持したときの載置面に保護テープの粘着面が接触しない状態を維持して保護テープの表面に貼付部材を接触させながら保護テープを半導体ウエハに貼り付けることで、保護テープ貼付時に半導体ウエハ周縁領域で加わりがちであった過剰な押圧力が軽減できる。したがって、半導体ウエハの周縁領域で延伸された状態で貼り付けられた保護テープの応力により、保護テープ貼付後に発生していた半導体ウエハの反りを解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例に係る保護テープ貼付装置の概略構成を示した斜視図である。
【図2】第1実施例に係る保護テープ貼付装置の概略構成を示した平面図である。
【図3】第1実施例装置の保持部の要部構成を示した正面図である。
【図4】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図5】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図6】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図7】テープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図8】第2実施例装置に係るテープ貼付機構の要部構成を示した概略正面図である。
【図9】第3実施例装置に係るチャックテーブルを示した平面図である。
【図10】第3実施例装置に係るテープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図11】従来装置のテープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図12】従来装置のテープ貼付工程を説明する概略正面図である。
【図13】従来装置のテープ貼付工程を説明する概略平面図である。
【図14】従来装置で保護テープを貼り付けたウエハの状態を示した平面図である。
【符号の説明】
W … ウエハ
T1… 保護テープ
1 … 保護テープ貼付装置
3 … ウエハ供給部
4 … ウエハ回収部
5 … ウエハ搬送機構
7 … アライメントステージ
8 … テープ供給部
11 … テープ貼付機構
12 … テープ剥離機構
13 … カッターユニット
14 … テープ回収部
17,17A … チャックテーブル
18 … 枠材
19 … 駆動機構
Claims (5)
- ローラまたはエッジ部材などの貼付部材を保護テープの表面に接触させ、保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの表面にこの保護テープを貼り付ける保護テープ貼付方法において、
前記保護テープの粘着面が、前記半導体ウエハの載置保持された保持テーブルの載置面に接触しない状態で帯状の保護テープを半導体ウエハに貼り付けてゆくことを特徴とする保護テープ貼付方法。 - 半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
表面が前記保持テーブルに載置保持した半導体ウエハの表面と略同じ高さになるように半導体ウエハの周りに配置した枠材と、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて前記枠材と半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記枠材と半導体ウエハに貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とする保護テープ貼付装置。 - 半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に昇降可能な貼付部材を接触させて半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しない状態で保護テープを半導体ウエハに貼り付けるように、前記貼付部材の昇降を調節する第1制御手段と、
前記半導体ウエハの表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とする保護テープ貼付装置。 - 半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルを昇降移動する昇降手段と、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記半導体ウエハの表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と、
前記保護テープの粘着面が半導体ウエハを載置保持した保持テーブルの載置面に接触しない状態で貼付部材が保護テープを半導体ウエハの表面に貼り付けるように、前記昇降手段を操作して保持テーブルの高さを調節する第2制御手段と
を備えたことを特徴とする保護テープ貼付装置。 - 半導体ウエハの表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付装置において、
前記半導体ウエハを載置保持したときに、半導体ウエハの外周を取り囲み、かつ、半導体ウエハの表面の高さと略同じ表面高さを有する外周枠が形成された保持テーブルと、
前記載置保持された半導体ウエハに向けて帯状の保護テープを供給するテープ供給手段と、
前記供給される保護テープの表面に貼付部材を接触させて前記保持テーブルの外周枠と半導体ウエハの表面とに保護テープを貼り付ける貼付手段と、
前記半導体ウエハと外周枠の表面に貼り付けた保護テープを、半導体ウエハの周縁に沿って切断するカッターユニットと、
前記カッターユニットによって保護テープを切断した後の不要なテープを剥離する剥離手段と、
前記剥離した不要テープを回収するテープ回収手段と
を備えたことを特徴とする保護テープ貼付装置。
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