WO2007049441A1

WO2007049441A1 - シート切断用テーブル

Info

Publication number: WO2007049441A1
Application number: PCT/JP2006/319931
Authority: WO
Inventors: Hideaki Nonaka; Kenji Kobayashi; Yoshiaki Sugishita
Original assignee: Lintec Corporation
Priority date: 2005-10-24
Filing date: 2006-10-05
Publication date: 2007-05-03
Also published as: TWI391982B; US7954533B2; TW200746235A; JP2007111845A; CN101291785B; KR101278463B1; JP4795772B2; US20090151875A1; DE112006002689T5; CN101291785A; KR20080049065A

Abstract

　半導体ウエハＷに接着シートＳを貼付した後、半導体ウエハＷの外周からはみ出した不要接着シート領域を不要接着シートＳ１として切断装置１５で切断するためのシート切断用のテーブル１３であり、当該テーブル１３は、半導体ウエハＷを支持する内側テーブル５２と、半導体ウエハＷの外側にはみ出した不要接着シートＳ１に相対する外側テーブル５１とを備える。この外側テーブル５１の上面は非接着処理面５１Ａと、接着シートＳを接着させるリング部材５３若しくは板材６３からなる接着部材を備えている。

Description

明細書

シート切断用テーブル

技術分野

[0001] 本発明はシート切断用テーブルに係り、更に詳しくは、板状部材に接着された接着シートを当該板状部材の外周に沿って切断する際に、接着シートに皺を発生させることなく切断を行うことのできるシート切断用テーブルに関する。

背景技術

[0002] 従来より、半導体ウェハ（以下、単に、「ウェハ」と称する）等の板状部材には、その回路面を保護するための保護シートを貼付したり、裏面又は表面に感熱接着性の接着シートを貼付することが行われて、る。

[0003] このようなシートの貼付方法としては、帯状の剥離シートに帯状の接着シートが仮着された原反を用い、剥離シートから接着シートを剥離してウェハに貼付した後に、ゥェハ外周に沿って切断を行うことでウェハ上に接着シートを貼付する方法が知られている（例えば、特許文献 1参照)。

[0004] 特許文献 1 :特開 2002— 176011号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力しながら、特許文献 1に開示された切断装置にあっては、ウェハ回りに生ずる不要接着シートをテーブル力も剥離しなければならない。そこで、剥離の引張力によつて細くなつた不要接着シート部分がテーブルに強く接着して切れてしまうことがないように、テーブルの上面に特殊な力卩ェ、例えば、フッ素樹脂加工に代表されるような表面処理を施して非接着処理面とすることが通常となっている。

し力しながら、このような非接着処理面がウェハ回りのテーブルの上面全域に施されていると、カッター刃での切断の際に、接着シートが引っ張られ移動してしまうことによって皺が発生し、ウェハ W側にまで皺が混入してしまい、ウェハ外周に沿って接着シートが綺麗に切断できなくなる、という不都合を招来する。このような不具合は力ッター刃の磨耗が進むにつれより顕著に現れる。 [0006] [発明の目的]

本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、切断を行う際に、接着シートに皺が発生することを防止して当該接着シートを精度よく切断することのできるシート切断用テーブルを提供することにある。

課題を解決するための手段

[0007] 前記目的を達成するため、本発明は、板状部材の平面積よりも大きい平面積を備えた接着シートを前記板状部材に貼付した後、当該板状部材の外周からはみ出した領域を不要接着シートとして切断装置によって切断するためのシート切断用テープノレにおいて、

前記板状部材の載置面となる内側テーブルと、この内側テーブルの外側に位置して前記不要接着シート領域に相対する外側テーブルとを含み、

前記外側テーブルの上面は非接着処理面として構成されているとともに、その一部領域に前記不要接着シート領域が接着可能な接着部材が設けられる、とヽぅ構成を採っている。

[0008] 本発明にお、て、前記接着部材は前記シート切断用テーブルに着脱可能であって、前記接着シートの接着力に応じてその接着面積を増減可能に設けることができる。

[0009] また、前記接着部材は 1または複数によって構成され、前記シート切断用テーブルに着脱可能であって、前記接着シートの接着力に応じてその数量を増減可能に設けることちでさる。

[0010] 更に、前記接着部材は前記板状部材の外周を囲む閉ループ状に設けられるとよい [0011] また、前記接着部材は前記板状部材の外周側で断続的に設けられる、という構成を採用してもよい。

[0012] 更に、前記接着部材は熱伝導または、ヒータによって加温可能である、という構成を採ることができる。

発明の効果

[0013] 本発明によれば、外側テーブルの上面を非接着処理面として構成し、その一部領域に接着シートが接着可能な接着部材を設けているため、不要接着シート領域は、部分的に接着部材に接着することとなる。従って、カッター刃によって接着シートに引張力が作用しても、ウェハ回りの不要接着シート領域は移動することがなくなり、接着シートに生じ得る皺の発生を回避して切断を精度よく行うことができる。

[0014] 特に、接着部材が板状部材の外周を囲む閉ループ状に設けられて、れば、接着シートに皺を発生させる余地を完全に無くすことができ、切断精度を更に高めることができる。

[0015] また、前記接着部材が板状部材の外周側で断続的に設けられている場合でも、接着面の位置、配分を工夫することで、接着シートに皺を発生させることが防止可能となる。

図面の簡単な説明

[0016] [図 1]本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。

[図 2]前記シート貼付装置の概略斜視図。

[図 3]シート切断用テーブルの概略平面図。

[図 4]図 3の A— A線に沿う矢視拡大断面図。

[図 5]シート切断用テーブルの変形例を示す概略平面図。

[図 6]シート切断用テーブルの他の変形例を示す概略平面図。

[図 7]シート切断用テーブルの更に他の変形例を示す概略平面図。

符号の説明

[0017] 13 テーブル

51 外側テーブル

51A 非接着処理面

53 リング部材 (接着部材）

63 板材 (接着部材）

52 内側テーブル

W ウェハ (板状部材）

S 接着シート

S1 不要接着シート

発明を実施するための最良の形態 [0018] 以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

[0019] 図 1には、本発明に係るシート切断用テーブルが適用されたシート貼付装置の概略正面図が示され、図 2には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置 10は、ベース 11の上部に配置されたシート繰出ユニット 12と、板状部材としてのウェハ Wを支持するテーブル 13と、ウェハ Wの上面側に繰り出された感圧接着性の接着シート Sに押圧力を付与して当該接着シート Sをウェハ Wに貼付する押圧ローラ 14と、ウェハ Wに接着シート Sを貼付した後に当該ウェハ Wの外周に沿って接着シート Sを切断する切断装置 15と、ウェハ Wの外側にはみ出した領域を不要接着シート S1 (図 3,図 4参照）としてテーブル 13の上面力も剥離する剥離装置 18と、不要接着シート S1を巻き取る卷取装置 19とを備えて構成されている。

[0020] 前記シート繰出ユニット 12は、帯状の剥離シート PSの一方の面に帯状の接着シート Sが仮着されたロール状の原反 Lを支持する支持ローラ 20と、この支持ローラ 20から繰り出された原反 Lを急激に反転して接着シート Sを剥離シート PSから剥離するピールプレート 22と、剥離シート PSを巻き取って回収する回収ローラ 23と、支持ローラ 20と回収ローラ 23との間に配置された複数のガイドローラ 25〜31と、ガイドローラ 25 , 26間に配置されたバッファローラ 33と、ガイドローラ 27, 28間に配置されるとともに、ロードセル 39及び当該ロードセル 39に支持されて前記ピールプレート 22の基部側に位置する張力測定ローラ 40とを含む張力測定手段 35と、ピールプレート 22、ガイドローラ 27, 28, 29及び張力測定手段 35を一体的に支持して前記押圧ローラ 14と相互に作用してウェハ Wに対する接着シート Sの貼付角度 Θを一定に保つ貼付角度維持手段 37とを備えて構成されている。前記ガイドローラ 27, 29には、ブレーキシユー 32, 42が併設されており、これらブレーキシュ一 32, 42は、接着シート Sをゥェハ Wに貼付する際に、シリンダ 38、 48によって対応するガイドローラ 27, 29に対して進退することによって接着シート Sを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている

[0021] なお、前記シート繰出ユニット 12並びに当該ユニットを構成する前記張力測定手段 35及び貼付角度維持手段 37は、本出願人によって出願された特願 2005— 19880 6号に開示されたものと同一であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。 [0022] 前記テーブル 13は、図 3及び図 4に示されるように、ウェハ Wを吸着支持して当該ウェハ Wの載置面をなす平面視略円形の内側テーブル 52と、この内側テーブル 52 の外周縁との間に隙間 Cを形成するように設けられた平面視略方形の外側テーブル 51とにより構成されている。外側テーブル 51は内側テーブル 52を受容可能な凹部を備えて、るとともに、図示しな!ヽ単軸ロボットを介してベース 11に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル 52は、単軸ロボット 56を介して外側テーブル 51に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル 51と内側テープル 52は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、接着シート Sの厚み、ウェハ Wの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。

[0023] 前記外側テーブル 51は、その上面にフッ素樹脂加工が施されて接着シート Sの接着面側が接着することのない非接着処理面 51Aとして構成され、その内周領域に、非接着処を施して、な、接着部材を構成するステンレス材カもなるリング部材 53が配置され、図示しない固定具によつて固定されている。本実施形態では接着部材をステンレス材で構成した力これに限定されることなく鉄材、アルミ材等によって構成してもよい。このリング部材 53は、ウェハ W及び外側テーブル 51上に接着シート Sが位置して押圧ローラ 14で接着シート Sに貼付圧力が付与されたときに、ウェハ Wの上面と共に接着シート Sが接着するようになっている。なお、リング部材 53は、その内部に-クロム線等によるヒータを仕込むことで、接着シート Sのリング部材 53への接着力をコントロールできるうえ、接着シート Sが感熱接着性の接着シートで、非感熱接着性であった場合の対応も可能となる。また、ヒータはリング部材 53内部ではなぐ外側テ一ブル 51の内部に設けてリング部材 53を間接的に加温するように構成してもよ!/、。そのうえ、図 3、 4中二点鎖線で示されるように、リング部材 53は複数装着可能とし、接着シート Sの接着力に応じてその数量が増減可能に設けられている。

[0024] 前記押圧ローラ 14は、門型フレーム 57を介して支持されている。門型フレーム 57 の上面側には、シリンダ 59, 59力設けられており、これらシリンダ 59の作動により押圧ローラ 14が上下に昇降可能に設けられている。なお、門型フレーム 57は、図 2に示されるように、単軸ロボット 60及びガイドレール 61を介して同図中 X方向に移動可能に設けられている。

[0025] 前記切断装置 15は多関節ロボットにより構成されている。この切断装置 15は、ロボット本体 62と、当該ロボット本体 62の自由端側に支持されたカッター刃 63とを備えて構成されている。ロボット本体 62は、ベース部 64と、当該ベース 64部の上面側に配置されて所定方向に回転可能に設けられた第 1アーム 65A〜第 6アーム 65Fと、第 6 アーム 65Fの先端側すなわちロボット本体 52の自由端側に取り付けられた工具保持チャック 69とを含む。工具保持チャック 69は、略円筒状をなすカッター刃受容体 70と、当該カッター刃受容体 70の周方向略 120度間隔を隔てた位置に配置されて刃 63 Bを有するカッター刃 63を着脱自在に保持する三つのチャック爪 71とを備えて構成されている。本実施形態における切断装置 15は、具体的には、本出願人によって既に出願された特願 2005— 229226号に開示されたものと同一であり、従って、その詳細な説明を省略する。

[0026] 前記剥離装置 18は、図 1に示されるように、小径ローラ 80と、大径ローラ 81とにより構成されている。これら小径ローラ 80及び大径ローラ 81は、移動フレーム Fに支持されている。この移動フレーム Fは、図 2中 Y方向沿って相対配置された前部フレーム F 1と、この前部フレーム F1に連結部材 83を介して連結された後部フレーム F2とからなり、後部フレーム F2は、単軸ロボット 85に支持されている一方、前部フレーム F1は、前記ガイドレール 61に支持され、これにより、移動フレーム Fは、図 2中 X方向に移動可能となっている。大径ローラ 81は、アーム部材 84に支持されているとともに、当該アーム部材 84はシリンダ 88によって大径ローラ 81が小径ローラ 80に対して離間、接近する方向に変位可能とされて、る。

[0027] 前記卷取装置 19は、移動フレーム Fに支持された駆動ローラ 90と、回転アーム 91 の自由端側に支持され、ばね 92を介して駆動ローラ 90の外周面に接して不要接着シート S1を-ップする卷取ローラ 93とにより構成されている。駆動ローラ 90の軸端には、駆動モータ Mが配置されており、当該モータ Mの駆動により、駆動ローラ 90が回転し、卷取ローラ 93がこれに追従回転することで不要接着シート S1が巻き取られるようになつている。なお、卷取ローラ 93は、卷取量が増大するに従って、ばね 92の力に抗して図 1中右方向へ回転することとなる。 [0028] 次に、本実施形態における接着シート Sの切断方法について説明する。なお、接着シート Sの貼付方法は、実質的に、特願 2005— 198806号と同一である。この際、ゥエノ、 W回りの不要接着シート S1は、前記リング部材 53の上面に対応する領域のみが比較的強固に接着し、その他の領域は、外側テーブル 51の上面すなわち非接着処理面 51Aに微接着もしくは接着しない状態に保たれる。

[0029] 切断装置 15は、図示しない制御装置の記憶部に格納された移動軌跡データを読み出し、刃 63Bが内側テーブル 52上にあるウェハ Wの外周に沿って接着シート Sを切断する。この際、リング部材 53が不要接着シート S1に部分的に接着しているので、ウェハ _Wの外周縁とリング部材 53との間の接着シート領域は張設された状態となり、これにより、刃 63Bが移動する際にその引張力で接着シート Sが刃 63Bに引きづられて移動することがなくなり、ウエノ、 W側に皺を発生させるようなことはない。

[0030] ウェハ Wの外縁に沿って接着シート Sの切断が完了した後、図示しない移載装置を介してウェハ Wが内側テーブル 52から取り去られると、卷取装置 19によって不要接着シート S1が巻き取られる。この巻き取りに際して、不要接着シート S1は部分的にリング部材 53に接着しているだけなので、小径ローラ 80によって巻き上げることによつて簡単に剥離が行え、不要接着シート S1の切れや伸び等の巻き取りにおける不具合は発生しない。なお、この巻き取りは、特願 2005— 198806号に開示された作用と同一であるため、ここでは詳細な説明を省略する。

[0031] 従って、このような実施形態によれば、ウェハ Wの外周に沿って接着シート Sを切断する際に、ウェハ W回りの不要接着シート S1の一部が閉ループの軌跡に沿ってリング部材 53の上面に接着するため、刃 63Bがウェハ Wの外周に沿って切断を行っている際に、切断位置より外側の不要接着シート S1領域が引っ張られて移動してしまうようなことがなくなり、これによつて接着シート Sやウェハ W側に皺等を発生させることなく切断を精度良く行うことができる、という効果を得る。

[0032] 以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されている力本発明は、これに限定されるものではない。

すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなぐ以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更をカロえることができるものである。

[0033] 例えば、前記実施形態では、リング部材 53を複数装着可能とし、接着シート Sの接着力に応じてその数量を増減させる構成を示したが、それに替えて、リング部材 53の接着領域の大きさの違うものを数種類用意しておき、その接着力に応じて取り換えるようにしてもよい。また、前記実施形態では、接着面がウェハ Wの外周に沿うリング部材 53によって構成された場合を図示説明した力図 5ないし図 7に示される構成を採用することもできる。すなわち、図 5に示される例は、外側テーブル 51の外形に対応して略方形の軌跡に沿うフレーム力もなる接着部材としての板材 63を複数配置したものである。図 6に示される例は、外側テーブル 51の四方に接着部材としての板材 6 3を配置したものである。更に、図 7に示される例は、内側テーブル 52の外周に沿つて断続的に円盤状の接着部材としての板材 63を配置したものである。ここで、図 7中、符号 51Bは、有底の穴を示し、当該穴 51Bに円盤状の板材 63が着脱自在に配置される。なお、前記板材 63を配置することなぐ外側テーブル 51の上面処理に際して、接着部材に相当する領域に非接着処理を施さないことによって接着面を形成して接着部材に代替することもできる。

[0034] また、前記実施形態では、板状部材としてウェハ Wを対象としたが、本発明における板状部材は半導体ウェハ Wに限定されるものではなぐガラス、鋼板、または、榭脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウェハや化合物ウェハであってもよい。また板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であつてもよい。

Claims

請求の範囲

[1] 板状部材の平面積よりも大きい平面積を備えた接着シートを前記板状部材に貼付した後、当該板状部材の外周からはみ出した領域を不要接着シートとして切断装置によって切断するためのシート切断用テーブルにおいて、

前記外側テーブルの上面は非接着処理面として構成されているとともに、その一部領域に前記不要接着シート領域が接着可能な接着部材が設けられていることを特徴とするシート切断用テーブル。

[2] 前記接着部材は前記シート切断用テーブルに着脱可能であって、前記接着シートの接着力に応じてその接着面積を増減可能に設けられていることを特徴とする請求項

1記載のシート切断用テーブル。

[3] 前記接着部材は 1または複数によって構成され、前記シート切断用テーブルに着脱可能であって、前記接着シートの接着力に応じてその数量を増減可能に設けられていることを特徴とする請求項 1記載のシート切断用テーブル。

[4] 前記接着部材は前記板状部材の外周を囲む閉ループ状に設けられていることを特徴とする請求項 1ないし 3の何れかに記載のシート切断用テーブル。

[5] 前記接着部材は前記板状部材の外周側で断続的に設けられていることを特徴とする請求項 1ないし 3の何れかに記載のシート切断用テーブル。

[6] 前記接着部材は熱伝導または、ヒータによって加温可能であることを特徴とする請求項 1ないし 5の何れかに記載のシート切断用テーブル。