JP5203888B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離用テープを貼付するときに、当該剥離用テープが他の部位に接着することを防止して剥離を行うことができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記剥離用テープを支持する支持手段と、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記剥離用テープを把持可能なチャックを含んで接着シートに貼付されて前記チャックに把持された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段と、前記剥離用テープを切断可能なテープ切断手段とを備え、
前記繰出手段は、前記チャックによって剥離用テープが把持されてから、前記貼付手段によって前記剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープが前記テープ切断手段によって切断される迄の間、当該剥離用テープの張力を所定値に維持可能な張力調整手段を備え、
前記張力調整手段は、前記剥離用テープを貼付手段側に繰り出す方向と、当該繰り出す方向の反対方向とに正逆回転可能なモータと、前記モータの出力軸に連結された駆動ローラと、この駆動ローラとの間に剥離用テープを挟み込むピンチローラとからなり、前記剥離用テープの繰り出し経路上における前記支持手段と貼付手段との間に位置する、という構成を採っている。
前記被着体を保持手段で保持する工程と、
前記剥離用テープを繰り出し、被着体に貼付された接着シートに対向する位置に剥離用テープを繰り出す工程と、
前記剥離用テープの張力を所定値に維持しつつ、チャックによる剥離用テープの把持と、前記接着シートへの剥離用テープの押圧貼付と、当該剥離用テープの切断とを行う工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、剥離用テープPTは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
また、剥離角度αは180°に限定されることなく、適宜変更が可能である。
11 保持手段
13 繰出手段
16 貼付手段
20 駆動ローラ(張力調整手段)
21 ピンチローラ(張力調整手段)
29 移動手段
PT 剥離用テープ
S 接着シート
M2 モータ(張力調整手段)
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記剥離用テープを支持する支持手段と、前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記剥離用テープを把持可能なチャックを含んで接着シートに貼付されて前記チャックに把持された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段と、前記剥離用テープを切断可能なテープ切断手段とを備え、
前記繰出手段は、前記チャックによって剥離用テープが把持されてから、前記貼付手段によって前記剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープが前記テープ切断手段によって切断される迄の間、当該剥離用テープの張力を所定値に維持可能な張力調整手段を備え、
前記張力調整手段は、前記剥離用テープを貼付手段側に繰り出す方向と、当該繰り出す方向の反対方向とに正逆回転可能なモータと、前記モータの出力軸に連結された駆動ローラと、この駆動ローラとの間に剥離用テープを挟み込むピンチローラとからなり、前記剥離用テープの繰り出し経路上における前記支持手段と貼付手段との間に位置することを特徴とするシート剥離装置。 - 請求項1記載のシート剥離装置を用いたシート剥離方法において、
前記被着体を保持手段で保持する工程と、
前記剥離用テープを繰り出し、被着体に貼付された接着シートに対向する位置に剥離用テープを繰り出す工程と、
前記剥離用テープの張力を所定値に維持しつつ、チャックによる剥離用テープの把持と、前記接着シートへの剥離用テープの押圧貼付と、当該剥離用テープの切断とを行う工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する工程とを行うことを特徴とするシート剥離方法。
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