JP4740296B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
シート剥離装置及び剥離方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4740296B2 JP4740296B2 JP2008220399A JP2008220399A JP4740296B2 JP 4740296 B2 JP4740296 B2 JP 4740296B2 JP 2008220399 A JP2008220399 A JP 2008220399A JP 2008220399 A JP2008220399 A JP 2008220399A JP 4740296 B2 JP4740296 B2 JP 4740296B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peeling
- adhesive sheet
- sheet
- endless member
- tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 94
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 94
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 3
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10S156/918—Delaminating processes adapted for specified product, e.g. delaminating medical specimen slide
- Y10S156/93—Semiconductive product delaminating, e.g. delaminating emiconductive wafer from underlayer
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10S156/934—Apparatus having delaminating means adapted for delaminating a specified article
- Y10S156/941—Means for delaminating semiconductive product
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1105—Delaminating process responsive to feed or shape at delamination
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1168—Gripping and pulling work apart during delaminating
- Y10T156/1174—Using roller for delamination [e.g., roller pairs operating at differing speeds or directions, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/19—Delaminating means
- Y10T156/1906—Delaminating means responsive to feed or shape at delamination
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/19—Delaminating means
- Y10T156/1978—Delaminating bending means
Description
更に、図5に示されるように、エッジ部材を用いた剥離を行ったとしても、剥離用テープを引っ張って接着シートの剥離を行うと、剥離用テープの剥離方向に沿う延長線上は張力が伝わってエッジ剥離が実現できるが、エッジ部材の先端側に位置するその他の接着シート部分は、当該接着シートが延びることに起因した剥離遅れEを発生する。この剥離遅れEが生じると、接着シートの折り曲げ縁をエッジ部材に密着させるこができなくなり、エッジ部材での剥離効果が十分に得られない、という不都合を招来する。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートの剥離抵抗を増大させることなく、ウエハの浮き上がりを防止して接着シートのスムースなる剥離を行うことのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、接着シートを剥離する際に形成される折り曲げ縁を所定部材に密着させた状態を維持して当該接着シートを剥離することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、先尖部を備えたエッジ部材を採用することで、剥離角度(図4(D)のθで示す角度)を大きくすることができ、被着体の浮き上がりをより効果的に防止して剥離することができる。
更に、挟込手段として、ローラや、複数のローラに巻装された挟込用エンドレス部材を用いることで、当該挟込手段と剥離補助手段との間における抵抗を極小化して接着シートを通過させることができる。
また、エンドレス部材の内周側にプラテンを配置した場合には、エンドレス部材の回行軌跡を一定位置に保つことができる。
なお、上部テーブル17Bは、前記駆動装置19を介して、必要に応じて平面内で首振り動作させることもできる。これにより、接着シートSがジグザグに捲られるようにしてウエハWから徐々に剥離される。そして、支持手段11が剥離補助手段15の下部位置を通過したときに、接着シートSの剥離を完了することとなる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 支持手段
12 移動手段
13 剥離ヘッド(引張手段)
14 テープ供給ユニット(テープ貼付手段)
15 剥離補助手段
16 挟込手段
41 ガイド部材
42 エッジ部材
42A 先尖部
43、44、52、62、65、66 ローラ
45 エンドレス部材
60 挟込用エンドレス部材
64 プラテン
B 折り曲げ縁
T 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (6)
- 接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、前記接着シートに剥離用テープを貼付するテープ貼付手段と、前記剥離用テープを引っ張る引張手段と、前記接着シート上に位置するガイド部材に巻装されるとともに接着シートの剥離動作に追従して回行可能なエンドレス部材を含む剥離補助手段とを備え、当該剥離補助手段が接着シートに折り曲げ縁を形成するように引張手段で剥離用シートを引っ張ることで接着シートが剥離可能に設けられたシート剥離装置において、
前記エンドレス部材に対向する位置に配置され、当該エンドレス部材との間に前記接着シートを挟み込んで前記折り曲げ縁をエンドレス部材に密着させた状態に保つとともに、接着シートの剥離動作に伴って回行若しくは回転可能な挟込手段を備えたことを特徴とするシート剥離装置。 - 前記ガイド部材は先尖部を備えたエッジ部材を含み、当該エッジ部材の先尖部により前記接着シートの折り曲げ縁が形成されることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記挟込手段は前記エンドレス部材に対して離間接近可能に設けられたローラにより構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 前記挟込手段は前記エンドレス部材に対して離間接近可能に設けられた複数のローラと、これらローラに掛け回された挟込用エンドレス部材とにより構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 前記挟込手段は、前記エンドレス部材の外周側に位置するローラと、エンドレス部材の内周側に位置するプラテンとを含むことを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、この剥離用テープを所定の剥離方向に引っ張ることで前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートに、当該接着シートの剥離動作に追従して回行可能なエンドレス部材を接触させ、
前記剥離用テープを引っ張って接着シートをエンドレス部材の外面に接するように剥離方向に反転し、
次いで、前記エンドレス部材に離間接近可能に設けられた挟込手段をエンドレス部材に接近させ、接着シートを挟み込んで折り曲げ縁をエンドレス部材に密着させた状態に保って接着シートの剥離を行うことを特徴とするシート剥離方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008220399A JP4740296B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | シート剥離装置及び剥離方法 |
PCT/JP2009/063099 WO2010024066A1 (ja) | 2008-08-28 | 2009-07-22 | シート剥離装置及び剥離方法 |
KR1020117004025A KR101522585B1 (ko) | 2008-08-28 | 2009-07-22 | 시트 박리 장치 및 박리 방법 |
CN2009801346786A CN102138208B (zh) | 2008-08-28 | 2009-07-22 | 薄片剥离装置及剥离方法 |
US13/060,925 US8038824B2 (en) | 2008-08-28 | 2009-07-22 | Sheet peeling apparatus and peeling method |
TW098127609A TWI539501B (zh) | 2008-08-28 | 2009-08-17 | Sheet stripping device and peeling method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008220399A JP4740296B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010056342A JP2010056342A (ja) | 2010-03-11 |
JP4740296B2 true JP4740296B2 (ja) | 2011-08-03 |
Family
ID=41721240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008220399A Expired - Fee Related JP4740296B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8038824B2 (ja) |
JP (1) | JP4740296B2 (ja) |
KR (1) | KR101522585B1 (ja) |
CN (1) | CN102138208B (ja) |
TW (1) | TWI539501B (ja) |
WO (1) | WO2010024066A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5564409B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2014-07-30 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
CN102673094A (zh) * | 2012-05-07 | 2012-09-19 | 浚丰太阳能(江苏)有限公司 | 一种光伏组件返工撕背膜夹具 |
KR101929527B1 (ko) * | 2012-09-17 | 2018-12-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 필름 박리 장치 |
TWI571949B (zh) * | 2013-01-10 | 2017-02-21 | 晶元光電股份有限公司 | 半導體元件翻轉裝置 |
JP6247075B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-12-13 | 日東電工株式会社 | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 |
CN103786417B (zh) * | 2014-02-11 | 2015-11-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种剥离装置和方法 |
NL2012668B1 (en) * | 2014-04-23 | 2016-07-04 | Vmi Holland Bv | Foil removal device and a method for removing a foil from a tire tread. |
KR101546068B1 (ko) | 2014-08-14 | 2015-08-20 | 주식회사 엘지화학 | 패널로부터 편광 필름을 박리하기 위한 박리바, 이를 이용한 박리 장치 및 박리 방법 |
WO2016047486A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 株式会社アルバック | Xyステージ、アライメント装置、蒸着装置 |
JP6562778B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-08-21 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
US10384434B2 (en) * | 2017-08-31 | 2019-08-20 | Industrial Technology Research Institute | Separating device and separating method |
KR102424743B1 (ko) * | 2017-10-13 | 2022-07-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 보호 필름 박리 장치 및 보호 필름 박리 방법 |
CN108548779A (zh) * | 2018-05-23 | 2018-09-18 | 东莞市宝大仪器有限公司 | 双向同步剥离试验机 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2591065B2 (ja) * | 1988-05-31 | 1997-03-19 | 松下電器産業株式会社 | 製膜方法と製膜装置並びに印刷方法と印刷装置 |
DE68924555T2 (de) * | 1988-05-26 | 1996-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Beschichtungs- und Reinigungsverfahren bei dem ein thermoplastisches Material benutzt wird. |
JP2958772B2 (ja) * | 1988-05-26 | 1999-10-06 | 松下電器産業株式会社 | クリーニング方法とクリーニング装置並びに表示方法と表示装置 |
JP3567714B2 (ja) * | 1998-01-20 | 2004-09-22 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像形成材料除去装置 |
JP4502547B2 (ja) | 2000-08-07 | 2010-07-14 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの保護テープ除去方法およびその装置 |
CN1260779C (zh) * | 2001-06-11 | 2006-06-21 | 日东电工株式会社 | 从半导体晶片上清除无用物质的方法和装置 |
JP4739584B2 (ja) | 2001-07-05 | 2011-08-03 | リンテック株式会社 | 剥離装置 |
SG152245A1 (en) | 2004-04-28 | 2009-05-29 | Lintec Corp | Sheet peeling apparatus and sheet peeling method |
JP4485248B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-06-16 | リンテック株式会社 | 剥離装置及び剥離方法 |
JP4550510B2 (ja) * | 2004-07-27 | 2010-09-22 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP2007173495A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 粘着テープの剥離装置および剥離方法 |
JP2007329315A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置 |
JP4666514B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2011-04-06 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
-
2008
- 2008-08-28 JP JP2008220399A patent/JP4740296B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-07-22 WO PCT/JP2009/063099 patent/WO2010024066A1/ja active Application Filing
- 2009-07-22 KR KR1020117004025A patent/KR101522585B1/ko active IP Right Grant
- 2009-07-22 US US13/060,925 patent/US8038824B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2009-07-22 CN CN2009801346786A patent/CN102138208B/zh active Active
- 2009-08-17 TW TW098127609A patent/TWI539501B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102138208A (zh) | 2011-07-27 |
TW201023252A (en) | 2010-06-16 |
KR20110068981A (ko) | 2011-06-22 |
JP2010056342A (ja) | 2010-03-11 |
US20110155328A1 (en) | 2011-06-30 |
TWI539501B (zh) | 2016-06-21 |
US8038824B2 (en) | 2011-10-18 |
WO2010024066A1 (ja) | 2010-03-04 |
CN102138208B (zh) | 2013-06-19 |
KR101522585B1 (ko) | 2015-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4740296B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5149122B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4616160B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP4740298B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4824622B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4927686B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2011114270A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2012004290A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2010147123A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5185868B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP5113621B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4643512B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5203888B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP6054616B2 (ja) | シート製造装置及び製造方法、並びに、シート貼付装置 | |
JP2009111056A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5564409B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2009117509A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5690895B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2008227242A (ja) | シート貼付装置 | |
JP4922201B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2011114273A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5572254B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2011114275A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2007015818A (ja) | 巻取装置及び巻取方法 | |
JP2011138917A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110304 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20110307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20110420 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110426 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110428 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4740296 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140513 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |