JP2008227242A - シート貼付装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ローラによる剥離方式のようなスムーズな接着シートの剥離と、ピールプレートによる剥離方式のような確実な接着シートの剥離とを達成しうるシート貼付装置を提供する。
【解決手段】帯状の剥離シートRL上に接着シートSが仮着された原反Rから接着シートSを剥離してウエハW上方に臨むように繰り出し、押圧ローラ3によって貼付するのにあたり、接着シートSは剥離手段12で急激に折り返されることにより原反Rから剥離されるものとし、また、その剥離の直前で当該原反Rは剥離手段12の支持面12Aで支持され、この支持面12のエッジ部12Bで剥離シートRLから接着シートSに最大の引張力が作用するものとする。
【選択図】図2
【解決手段】帯状の剥離シートRL上に接着シートSが仮着された原反Rから接着シートSを剥離してウエハW上方に臨むように繰り出し、押圧ローラ3によって貼付するのにあたり、接着シートSは剥離手段12で急激に折り返されることにより原反Rから剥離されるものとし、また、その剥離の直前で当該原反Rは剥離手段12の支持面12Aで支持され、この支持面12のエッジ部12Bで剥離シートRLから接着シートSに最大の引張力が作用するものとする。
【選択図】図2
Description
本発明は被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置に関する。
従来より、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と称する)には、その回路面を保護するために保護シート等の接着シートを貼付したり、裏面にダイボンディングシートのような接着シートを貼付したりすることが行われており、このような接着シートを貼付するシート貼付装置については、例えば特許文献1、特許文献2に記載されている。
特許文献1に記載のシート貼付装置では、図4のように、帯状の剥離シート(PS)上に接着シート(S)が仮着された原反(L)を用い、その剥離シート(PS)をピールプレート(22)で急激に折り返すことにより、当該原反(L)から接着シート(S)を剥離してウエハ(W)上方に臨むように繰り出し、押圧ローラ(14)でウエハ(W)の上面に接着シート(S)を貼付するようにしている。
前記のような特許文献1に記載のシート貼付装置によると、ピールプレート(22)を使用した剥離方式であるため、確実に接着シート(S)を剥離することができる。しかしながら、このピールプレート(22)による剥離方式では、図4のように、ピールプレート(22)から離れたP1の位置で、剥離シート(PS)に最大の引張力が作用する。つまり、剥離シート(PS)がピールプレート(22)の右下の角C1によって折り曲げられることなく一直線となったときに、剥離シート(PS)に最大の引張力が作用する。このため、特に剥離し難い接着シート(S)の場合は、剥離シート(PS)が接着シート(S)に接着したままP1の位置まで繰り出され、その瞬間に剥離シート(PS)に最大の引張力が作用し、剥離シート(PS)は、ピールプレート(22)の右上の角C2の位置まで急激に剥離される。このピッチ送りのような剥離が原因で、スムーズでない断片的な剥離を繰り返し、バリバリといった不快音を立てて剥離される。そのうえ、接着シート(S)の接着剤側には、図4中P1、C2にあたる位置に筋が入ってしまい、接着シート貼付後の見栄えが非常に悪くなるという問題点がある。尚、前記カッコ内の符号は特許文献1で用いられている符号である。
一方、特許文献2に記載のシート貼付装置は、図5のように、ピールプレートを使用せず、ローラ(ガイドローラ4)を用いて原反から接着シート(保護テープT1)を剥離する方式であるため、ピールプレートを使用した剥離方式のような前記問題は発生しにくく、剥離直前の原反がそのローラの面で支持されているためスムーズに接着シートを剥離することができる。しかしながら、このようなローラによる剥離方式では、剥離シート(セパレータS)に対して急激な折り返しができないため、同図のような剥離不良が発生しやすいという不具合がある。
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、ローラによる剥離方式のようなスムーズな接着シートの剥離と、ピールプレートによる剥離方式のような確実な接着シートの剥離とを同時に達成しうるシート貼付装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反から前記接着シートを剥離して被着体上方に臨むように繰り出し、押圧手段によって貼付するシート貼付装置であって、前記シート貼付装置は、前記原反を支持する支持手段と、前記原反を繰り出す繰出手段と、前記原反の接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧する押圧手段とを備え、前記剥離手段は、前記原反に相対する第1の面と、前記接着シートが剥離された剥離シートに相対する第2の面とを有する板状部材からなり、前記第1の面と第2の面とは、前記接着シートが剥離される直前で前記原反を支持する支持面によって連結され、この支持面と前記第2の面とで剥離シートを折り返すエッジ部を形成するように構成したことを特徴とする。
前記剥離手段の支持面は、側面視円弧状であってよい。
前記剥離手段の支持面は、前記押圧手段の方向に向かって傾斜し、前記接着シートは、前記エッジ部で剥離される前後において前記支持面の傾斜角度を維持するように直線的な姿勢、又は前記エッジ部から前記剥離シートの折り返し方向へ屈折した姿勢で剥離されるように構成してもよい。
前記剥離シートは、前記剥離手段の支持面の前端から一直線の姿勢で剥離されるように構成されるようにしてもよい。
前記剥離手段は、内部に温度調節手段を有する構成を採用することもできる。
本発明によると、前記の通り、剥離手段の構造として、接着シートを剥離する直前で原反を面で支持し、この支持面のエッジ部で接着シートと剥離シートとを剥離するように構成した。このため、剥離直前の原反が面で支持されるため、スムーズに接着シートを剥離することができるとともに、この支持面に連設されたエッジ部で剥離シートを急激に折り返すことができるため、確実に接着シートを剥離することができる。よって、従来のように、音を伴う剥離や、接着シートに筋が入る現象、更に、ローラによる剥離不良を回避することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は本発明を適用したシート貼付装置の正面図、図2は図1の剥離手段の前端部の拡大図である。
本シート貼付装置Mは、図1に示したように、被着体としてのウエハWの表面に例えば保護シート等の接着シートSを貼付する装置であって、図示しないベース上に設置されたシート繰出ユニット1と、ウエハWを吸着保持して支持する支持テーブル2と、接着シートSをウエハWに貼付する押圧手段としての押圧ローラ3と、ウエハWの外縁に沿って接着シートSを切断するカッタ装置4と、切断後の不要な接着シートSを巻き取る巻取装置5とを備えて構成される。
シート繰出ユニット1は、フレームFに取り付けられたユニット構成部品として、剥離シートRL上に接着シートSが仮着された原反R(図2参照)を支持する支持手段としての支持ローラ10と、支持ローラ10から原反Rを繰り出す繰出手段としてのドライブローラ11と、原反Rから接着シートSを剥離する剥離手段12と、接着シートSが剥離された剥離シートRLを巻き取る回収ローラ13、ガイドローラ14A、14B、ピンチローラ15などを備えて構成される。
原反Rは、支持ローラ10からガイドローラ14A、14Bを介して剥離手段12方向へ導かれる。
剥離手段12は、剥離シートRLを急激に折り返すことにより原反Rから接着シートSを剥離する手段であって、図2のように、前記原反Rに相対する第1の面12−1と、前記接着シートSが剥離された剥離シートRLに相対する第2の面12−2とを有する板状部材からなり、前記第1の面12−1と第2の面12−2とは、前記接着シートSが剥離される直前で前記原反Rを支持する支持面12Aによって連結され、この支持面12Aと前記第2の面12−2とで剥離シートRLを折り返すエッジ部12Bを形成している。
前記剥離手段12の支持面12Aは押圧ローラ3方向に向かって下り勾配の傾斜を有しており、接着シートSは、前記剥離手段12のエッジ部12Bで剥離される前後において前記支持面12Aの傾斜角度θを維持するように直線的な姿勢で剥離されるように構成されている。本実施形態では、前記支持面12Aを側面視略円弧状としたが、平面であってもよい。尚、前記「支持面12Aの傾斜角度θ」とは、剥離手段12の第2の面12−2と支持面12Aとの挟角(θ)であり、特に、本実施形態のように支持面12Aが側面視略円弧状の場合は、その円弧上に位置するエッジ部12Bに接する接線Lと第2の面12−2との挟角を「支持面12Aの傾斜角度θ」とする。
また、本実施形態では、剥離シートRLが前記エッジ部12Bからドライブローラ11方向へ一直線で剥離されるように構成しており、この構成により、剥離シートRLは図4で示したような折り曲げなくエッジ部12Bからドライブローラ11まで一直線の姿勢で剥離されるようになっている。
更に、剥離手段12は、その内部に温度調節手段としてのヒータ16を備えることができ、このようなヒータ16の採用により、当該ヒータ16によって暖められた剥離手段12の表面で接着シートSを加熱し、その接着剤を軟化させるようにしてもよい。
前記ドライブローラ11は、モータM1により回転駆動され、剥離手段12で剥離された剥離シートRLをピンチローラ15との間に挟んで引っ張ることにより、支持ローラ10から原反Rを繰り出すようになっており、ドライブローラ11を通過した剥離シートRLは、モータM2によって駆動される前記回収ローラ13で巻き取られて回収される。
前記支持テーブル2は、その下面に取り付けられたスライダ21を介してレール22上をスライド可能に設置され、かつ、モータM3により回転駆動されるネジ軸23と該ネジ軸23に係合するナット部材24とを介して、図中左右方向へ移動できるようになっている。
前記押圧ローラ3は、剥離手段12によって剥離された接着シートSを支持テーブル2上のウエハW上方に臨むように導く機能と、その支持テーブル2が図中右方向へ移動することにより接着シートSをウエハWに押圧して貼付する機能とを備えている。また、ウエハW上方に繰り出された接着シートSは、押圧ローラ3から巻取装置5側のガイドローラ51へ導かれ、これら2つのローラ3、51によってウエハWの上面と略平行になるようにセットされる。
前記カッタ装置4は、支持テーブル2の上方位置で図示しない昇降装置を介して昇降可能に設けられるとともに、回転中心軸40に取り付けられた回転アーム41と、回転アーム41に支持されたカッタ刃42とを含んで構成されており、この構成のカッタ装置4では、回転中心軸40周りにカッタ刃42を回転させることにより、ウエハWの外縁に沿って接着シートSを切断できるようになっている。そして、その切断後の不要な接着シートSはモータM4により回転駆動される巻取装置5の回収ローラ50で巻き取られる。
次に、上記の如く構成された本シート貼付装置の動作について説明する。
本シート貼付装置によると、初めに、図示しない搬送装置が図1のように支持テーブル2の上面にウエハWを配置し、図示しない吸着手段が当該ウエハWを吸着保持する。そして、支持テーブル2が図中右方向へ前進し、ウエハWの先端部W1が押圧ローラ3の直下に移動したことを図示しないセンサが検知すると、ドライブローラ11および回収ローラ13、50が支持テーブル2の移動速度に同期して回転する。
ドライブローラ11は、モータM1の駆動により剥離シートRLを引っ張り、支持ローラ10から剥離手段12方向へ原反Rを繰り出し、剥離手段12のエッジ部12Bで剥離シートRLが急激に折り返され、当該原反Rから接着シートSが剥離される。
このとき、エッジ部12Bからドライブローラ11方向へ、折り曲げられることなく一直線上に剥離シートRLが引っ張られることにより、エッジ部12Bで接着シートSに最大の引張力が作用し、剥離開始の直前まで接着シートSは支持面12Aで支持されることから、スムーズに接着シートSを剥離することができるとともに、この支持面12Aに連設されたエッジ部12Bで剥離シートRLを急激に折り返すことができるため、確実に接着シートSを剥離することができる。よって、従来のように音を伴う剥離や、接着シートSに筋が入る現象、更に、ローラによる剥離不良が起きることを防止することができる。
また、剥離手段12にヒータ16を内蔵する構成の場合は、ヒータ16を動作させ、剥離手段12の表面で接着シートSを積極的に加熱し、その接着剤を軟化させることにより前記のような接着シートSの断片的な剥離現象をより効果的に防止することができる。
前記のように剥離された接着シートSはウエハWの上方に繰り出され、図中右方向への支持テーブル2の移動に伴い、押圧ローラ3が接着シートSをウエハWの上面に押し付け貼付する。
そして、ウエハWの後端部W2が押圧ローラ3の直下を通過すると、当該ウエハWへの接着シートSの貼付は完了し、引き続き接着シートSの繰り出しと支持テーブル2の移動は行われる。そして、ウエハWが図中二点破線で示すカッタ装置4の直下に移動したことを図示しないセンサが検知すると、支持テーブル2、ドライブローラ11、回収ローラ13、50が停止する。
その後、カッタ装置4が図中二点破線で示すように下降し、カッタ刃42が回転中心軸40回りに回転することによりウエハWの外縁に沿って接着シートSを切断する。この切断が完了すると、支持テーブル2は、図示しない昇降装置によって一旦下降して図中左方向へ後退し、カッタ装置4は上昇して元の位置へ復帰する。その後、ドライブローラ11、回収ローラ13、50の回転が再開し、回収ローラ50によって切断後の不要な接着シートSが巻き取られる。
前記実施形態では、図2のように、接着シートSはエッジ部12Bで剥離する前後において支持面12Aの傾斜角度θを維持するように直線的な姿勢で剥離される構成を採用したが、この接着シートSは、図3のように、エッジ部12Bから剥離シートRLの折り返し方向へ所定の角度α範囲内で屈折した姿勢で剥離されるよう構成することもできる。ここで、前記「所定の角度α範囲内」とは、図2の直線的な姿勢の接着シートSをエッジ部12Bで折り返した剥離シートRLの直前まで折り曲げたときの折曲げ角(α)の範囲内である。
以上のように、本発明の実施形態を開示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、前記実施形態では、接着シートとして保護シートを例示したが、これに替えてダイボンディングシート等の感熱接着性の接着シートを貼付することも可能である。また、被着体の面を保護するための感熱接着性の保護シートであってもよい。更に、特開2002−280329号に開示された保護膜形成用のシートや、ドライレジストフイルムを対象とすることもできる。
また、被着体としてウエハWを対象としたが、これに替えて、ガラス、鋼板、樹脂板その他の板状部材や、それ以外の他の形状の部材も対象とすることができ、ウエハはシリコーンウエハや化合物ウエハであってもよい。また、板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。
1 シート繰出ユニット
3 押圧ローラ(押圧手段)
10 支持ローラ(支持手段)
11 ドライブローラ(繰出手段)
12 剥離手段
12−1 第1の面
12−2 第2の面
12A 支持面
12B エッジ部
14A、14B ガイドローラ
16 ヒータ(温度調節手段)
R 原反
RL 剥離シート
S 接着シート
M シート貼付装置
W ウエハ(被着体)
3 押圧ローラ(押圧手段)
10 支持ローラ(支持手段)
11 ドライブローラ(繰出手段)
12 剥離手段
12−1 第1の面
12−2 第2の面
12A 支持面
12B エッジ部
14A、14B ガイドローラ
16 ヒータ(温度調節手段)
R 原反
RL 剥離シート
S 接着シート
M シート貼付装置
W ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 帯状の剥離シート上に接着シートが仮着された原反から前記接着シートを剥離して被着体上方に臨むように繰り出し、押圧手段によって貼付するシート貼付装置であって、
前記シート貼付装置は、
前記原反を支持する支持手段と、
前記原反を繰り出す繰出手段と、
前記原反の接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、
前記接着シートを被着体に押圧する押圧手段とを備え、
前記剥離手段は、前記原反に相対する第1の面と、前記接着シートが剥離された剥離シートに相対する第2の面とを有する板状部材からなり、前記第1の面と第2の面とは、前記接着シートが剥離される直前で前記原反を支持する支持面によって連結され、この支持面と前記第2の面とで剥離シートを折り返すエッジ部を形成すること
を特徴とするシート貼付装置。 - 前記剥離手段の支持面は、側面視略円弧状であること
を特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。 - 前記剥離手段の支持面は、前記押圧手段の方向に向かって傾斜し、
前記接着シートは、前記エッジ部で剥離される前後において前記支持面の傾斜角度を維持するように直線的な姿勢、又は前記エッジ部から前記剥離シートの折り返し方向へ屈折した姿勢で剥離されるように構成されていること
を特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のシート貼付装置。 - 前記剥離シートは、前記剥離手段の支持面の前端から一直線の姿勢で剥離されるように構成されていること
を特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のシート貼付装置。 - 前記剥離手段は、内部に温度調節手段を有すること
を特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のシート貼付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064903A JP2008227242A (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | シート貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007064903A JP2008227242A (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | シート貼付装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008227242A true JP2008227242A (ja) | 2008-09-25 |
Family
ID=39845491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007064903A Withdrawn JP2008227242A (ja) | 2007-03-14 | 2007-03-14 | シート貼付装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008227242A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012023087A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2012023086A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
-
2007
- 2007-03-14 JP JP2007064903A patent/JP2008227242A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
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JP2012023087A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100601 |