JP5317280B2 - 保護テープの剥離装置 - Google Patents
保護テープの剥離装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5317280B2 JP5317280B2 JP2009168256A JP2009168256A JP5317280B2 JP 5317280 B2 JP5317280 B2 JP 5317280B2 JP 2009168256 A JP2009168256 A JP 2009168256A JP 2009168256 A JP2009168256 A JP 2009168256A JP 5317280 B2 JP5317280 B2 JP 5317280B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- peeling
- protective tape
- protective
- release
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims description 168
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 31
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 23
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 13
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
前記保護テープの貼り付けられた基板をその保護テープ面を上面にして保持すると共に前記剥離テープに対して相対的に水平動する剥離テーブルと、
前記保護テープ上にロール状の剥離テープを供給する剥離テープ供給手段と、
前記剥離テープに連結された保護テープを巻き取るテープ巻取手段と、
前記剥離テープを介して前記保護テープ上を押圧転動することで剥離テープを保護テープの外周端部近傍に貼り付ける貼付ローラーと、
前記保護テープの剥離前端側に剥離テープを貼り付けた後、その剥離テープの貼り付け後方側を切断するカッターと、
前記貼付ローラーの前方に位置し、前記カッターが走行するカッター溝が設けられると共に前記カッターで切断される剥離テープの後方側を吸着保持するカッター台と、
前記貼付ローラーの後方に位置し、前記カッターで剥離テープを切断する際にその剥離テープを吸着保持する剥離テープ保持機構とを備え、
前記剥離テープを貼付ローラーで保護テープの剥離前端側に貼り付け、前記剥離テープを巻き取ることで保護テープを剥離前端側から剥離すると共に前記カッター台と剥離テープ保持機構とで剥離テープを吸着保持しながら、前記剥離テープの貼り付け後方側を前記カッターで切断し、さらにテープ巻取手段によって剥離テープが貼り付けられた保護テープを巻き取ることで保護テープを剥離していき、続いて剥離テープ保持機構で吸着保持された剥離テープの前端部を前記保護テープの剥離後端側に貼り付けローラーで貼り付けることで保護テープを剥離テープで順次連結しながら剥離させるようにした保護テープの剥離装置である。
2 ウエハ
3 回路パターン
4 保護テープ
5 剥離テープ
6 機台
7 機枠
8 レール
9 スライダ
10 剥離テーブル
11 剥離テープ供給リール
12 テープ巻取リール
13 ガイドローラー
14 ニップローラー
15 シリンダ
16 ニップローラー
17 ガイドローラー
18 ローラー支持枠
19 シリンダ
20 押えローラー
21 支持板
22 シリンダ
23 シリンダ
24 シリンダ
25 剥離テープ保持機構
26 吸着孔
27 貼付ローラー
28 ヒーター
29 カッター台
30 カッター溝
31 吸着孔
32 カッター
33 カッター支持枠
34 ローラー支持枠
35 クラッチ付きモーター
36 機枠開口部
37 ロッドレスシリンダ
38 スライダ
39 ガイドレール
40 保護テープ検知センサー
41 センサー支持枠
42 スライドガイド
43 前端側貼付部
44 ヒーター圧着部
45 後端側貼付部
46 保護テープ検知部
Claims (3)
- 基板の表面に貼り付けられた保護テープを短片状の剥離テープで連結しながら、前記連結された保護テープを巻き取って剥離する保護テープの剥離装置において、
前記保護テープの貼り付けられた基板をその保護テープ面を上面にして保持すると共に前記剥離テープに対して相対的に水平動する剥離テーブルと、
前記保護テープ上にロール状の剥離テープを供給する剥離テープ供給手段と、
前記剥離テープに連結された保護テープを巻き取るテープ巻取手段と、
前記剥離テープを介して前記保護テープ上を押圧転動することで剥離テープを保護テープの外周端部近傍に貼り付ける貼付ローラーと、
前記保護テープの剥離前端側に剥離テープを貼り付けた後、その剥離テープの貼り付け後方側を切断するカッターと、
前記貼付ローラーの前方に位置し、前記カッターが走行するカッター溝が設けられると共に前記カッターで切断される剥離テープの後方側を吸着保持するカッター台と、
前記貼付ローラーの後方に位置し、前記カッターで剥離テープを切断する際にその剥離テープを吸着保持する剥離テープ保持機構とを備え、
前記剥離テープを貼付ローラーで保護テープの剥離前端側に貼り付け、前記剥離テープを巻き取ることで保護テープを剥離前端側から剥離すると共に前記カッター台と剥離テープ保持機構とで剥離テープを吸着保持しながら、前記剥離テープの貼り付け後方側を前記カッターで切断し、さらにテープ巻取手段によって剥離テープが貼り付けられた保護テープを巻き取ることで保護テープを剥離していき、続いて剥離テープ保持機構で吸着保持された剥離テープの前端部を前記保護テープの剥離後端側に貼り付けローラーで貼り付けることで保護テープを剥離テープで順次連結しながら剥離させるようにしたことを特徴とする保護テープの剥離装置。 - 前記貼付ローラーは、その外周の一部分にヒーターが設けられ、前記貼付ローラーの転動による剥離テープの貼り付けと前記ヒーターでの剥離テープの加熱貼り付けを1本の貼付ローラーで行なうようにしたことを特徴とする請求項1記載の保護テープの剥離装置。
- 前記テープ巻取手段とカッター台との間に検知手段を設け、剥離される保護テープの有無を検知するようにしたことを特徴とする請求項1から2記載の保護テープの剥離装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009168256A JP5317280B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | 保護テープの剥離装置 |
CN201010230381.4A CN101969018B (zh) | 2009-07-16 | 2010-07-15 | 保护胶带的剥离装置 |
TW099123482A TWI466185B (zh) | 2009-07-16 | 2010-07-16 | 保護膠帶的剝離裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009168256A JP5317280B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | 保護テープの剥離装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011023612A JP2011023612A (ja) | 2011-02-03 |
JP2011023612A5 JP2011023612A5 (ja) | 2012-07-26 |
JP5317280B2 true JP5317280B2 (ja) | 2013-10-16 |
Family
ID=43548155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009168256A Active JP5317280B2 (ja) | 2009-07-16 | 2009-07-16 | 保護テープの剥離装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5317280B2 (ja) |
CN (1) | CN101969018B (ja) |
TW (1) | TWI466185B (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5981229B2 (ja) * | 2012-06-01 | 2016-08-31 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP6247075B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-12-13 | 日東電工株式会社 | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 |
JP6325323B2 (ja) * | 2014-04-14 | 2018-05-16 | 株式会社ディスコ | テープ剥離装置 |
CN104960957B (zh) * | 2015-05-22 | 2017-07-28 | 泉州市汉威机械制造有限公司 | 一种线外放卷装置 |
JP6654831B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2020-02-26 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
TWI576978B (zh) * | 2016-04-12 | 2017-04-01 | 頎邦科技股份有限公司 | 用以切割可撓性基板及撕除保護膠帶的機台及其方法 |
TWI616343B (zh) * | 2016-08-10 | 2018-03-01 | Jhen Tou Technology Co Ltd | 自動晶圓保護層去除設備 |
CN108336413A (zh) * | 2017-04-01 | 2018-07-27 | 深圳市新嘉拓自动化技术有限公司 | 紧凑型收放胶带的贴胶装置 |
JP6963483B2 (ja) * | 2017-12-08 | 2021-11-10 | 株式会社ディスコ | 剥離用テープカッター |
DE112018007519T5 (de) * | 2018-04-24 | 2021-01-14 | Disco Hi-Tec Europe Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen eines Schutzbandes auf einem Halbleiterwafer |
JP7165572B2 (ja) * | 2018-12-07 | 2022-11-04 | リンテック株式会社 | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
JP7319889B2 (ja) * | 2019-10-21 | 2023-08-02 | 株式会社東京精密 | シート剥離装置 |
JP7454434B2 (ja) | 2020-04-14 | 2024-03-22 | リンテック株式会社 | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
CN112269302B (zh) * | 2020-09-16 | 2023-05-30 | 上海光起电子设备有限公司 | 曝光机除尘装置 |
CN114906660B (zh) * | 2022-05-06 | 2023-09-05 | 安徽省唯一纺织有限公司 | 一种魔术贴自动粘贴设备 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0749796Y2 (ja) * | 1989-11-07 | 1995-11-13 | 松下電子工業株式会社 | ウエハの保護シート剥がし装置 |
JP4204658B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2009-01-07 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および方法 |
US6149758A (en) * | 1997-06-20 | 2000-11-21 | Lintec Corporation | Sheet removing apparatus and method |
US6715524B2 (en) * | 2002-06-07 | 2004-04-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | DFR laminating and film removing system |
JP4057478B2 (ja) * | 2003-06-26 | 2008-03-05 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP4803751B2 (ja) * | 2007-08-09 | 2011-10-26 | 株式会社タカトリ | ウエハの保護テープ剥離装置 |
-
2009
- 2009-07-16 JP JP2009168256A patent/JP5317280B2/ja active Active
-
2010
- 2010-07-15 CN CN201010230381.4A patent/CN101969018B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-07-16 TW TW099123482A patent/TWI466185B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101969018A (zh) | 2011-02-09 |
CN101969018B (zh) | 2015-05-20 |
TW201104739A (en) | 2011-02-01 |
TWI466185B (zh) | 2014-12-21 |
JP2011023612A (ja) | 2011-02-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5317280B2 (ja) | 保護テープの剥離装置 | |
JP5061324B2 (ja) | ウエハの保護テープの剥離方法及び装置 | |
JP5937404B2 (ja) | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 | |
JP4836827B2 (ja) | 粘着テープ貼付け装置 | |
JP2011023612A5 (ja) | ||
JP6476151B2 (ja) | テープ貼付ユニット及びテープ貼付装置 | |
JP5750632B2 (ja) | 基板へのシート貼付装置 | |
TWI641492B (zh) | 保護帶剝離方法及保護帶剝離裝置 | |
JP2014133616A (ja) | 粘着テープ接合方法および粘着テープ接合装置 | |
KR101466343B1 (ko) | 자동 밴딩 유닛 및 그것을 갖는 배터리 셀 사이드 테이프 자동 부착 설비 | |
JP6007071B2 (ja) | 刃型、接着シート製造装置、剥離方法および接着シート製造方法 | |
JP4941944B2 (ja) | 基板への接着テープの貼り付け方法及び貼り付け装置 | |
JP2009026904A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JPH07209878A (ja) | 感光層積層装置 | |
JP2010023131A (ja) | フィルムの貼り付け装置及び貼り付け方法 | |
JP2006143453A (ja) | テープ貼付装置 | |
JP4583920B2 (ja) | テープ剥離方法と装置 | |
JP5474221B1 (ja) | 貼付装置 | |
JP5789463B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法 | |
JP5501049B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP5554167B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP5554100B2 (ja) | シート切断方法およびシート切断装置 | |
JP2012033531A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2011187465A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5627083B2 (ja) | シート製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120608 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120608 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130624 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130705 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5317280 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |