CN112269302B - 曝光机除尘装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种曝光机除尘装置，包括除尘辊、粘附带支架和粘附带剥离机构，粘附带支架可回转地支承粘附带卷筒，粘附带支架与除尘辊之间可相对移动使得粘附带卷筒最外层的粘附带能够与除尘辊接触，粘附带卷筒与除尘辊之间能够相对滚动，粘附带剥离机构包括粘附带卷取机构、剥离胶带支承部件和推压机构，剥离胶带支承部件可回转地支承剥离胶带卷筒且剥离胶带通过粘附带卷取机构牵引卷绕，推压机构能够将剥离胶带支承部件与粘附带卷取机构之间的剥离胶带推压至与最外层粘附有尘埃的粘附带接触粘结并将其从粘附带卷筒上剥离拉出。本发明能够实现粘附带的自动剥离换新，能够防止运行时灰尘进入到曝光机内部，提升曝光机工作时内部温度和压力的稳定性。

Description

曝光机除尘装置

技术领域

本发明属于曝光机中对感光工件表面进行除尘的技术领域，特别是涉及一种曝光机除尘装置。

背景技术

在印刷基板及半导体基板等各种基板的制造过程中，曝光机的使用已经应用相当普遍。上述曝光机针采用光刻法的手段，对已涂布光刻胶(感光材料)的工件进行电路图形等的曝光。然而在工件上附着了尘埃的状态下，使用曝光机进行曝光会产生制造方面的缺陷，因此在实施曝光前需要首先除去工件上的尘埃。

日本“特开2014-59494号公告”公开了一种符合上述描述的除尘装置(以下称“专利文献1”)。除尘装置中设有第一除尘辊、第二除尘辊等除尘辊以及裹覆了粘附带的转移辊，它可以通过转动除尘辊而将吸附在工件表面上的灰尘除去，然后通过使裹覆在滚移辊上的粘附带推压除尘辊的方法，将灰尘从除尘辊转移到粘附带上。此外，在灰尘被转移后，只需将一圈已被弄脏的粘附带剥离即可露出新的粘附面，从而方便的完成粘附带的更换。此外，被剥离(已被弄脏)的粘附带将被丢弃。

而在专利文献1所示的结构中，对于在更换新的粘附带时如何刚好剥离一圈粘附带以便露出新的粘附面，则并未作出具体的说明。然而，目前更换粘附带的常规手段是，在实施粘附带更换作业时，需要打开曝光机的门，然后由操作员手工剥离已被弄脏的粘附带来完成更换工序。在实施上述作业时，操作员可能会将灰尘带入曝光机内部。

为了实施更换胶带的作业，当打开和关闭曝光机的门时，存在着曝光机内部温度发生波动的可能性，同时曝光机内部的压力也有可能产生波动，影响曝光机连续工作的稳定性。

另外，在用卷取套筒来卷取已使用过的粘附带时，由于卷紧动作所产生的作用力，很难将已经卷取了粘附带的卷取套筒拆下。在目前情况下，由于用于卷取粘附带的卷取套筒大都是金属制的，在需要丢弃上述卷取了粘附带的卷取套筒时，还会产生需要将金属制的卷取套筒与树脂制的粘附带加以区分的麻烦。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种曝光机除尘装置，实现粘附带的自动剥离换新，能够防止运行时灰尘进入到曝光机内部，提升曝光机工作时内部温度和压力的稳定性。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种曝光机除尘装置，包括用于对工件表面附着的尘埃进行吸附的除尘辊，还包括粘附带支架和粘附带剥离机构，所述粘附带支架上可回转地支承有粘附带卷筒，所述粘附带支架与除尘辊之间可相对移动使得所述粘附带卷筒最外层的粘附带能够与除尘辊接触，所述粘附带卷筒与除尘辊之间通过相对滚动将除尘辊上附着的尘埃转移到最外层的粘附带表面，所述粘附带剥离机构包括粘附带卷取机构、剥离胶带支承部件和推压机构，所述剥离胶带支承部件上可回转地支承有剥离胶带卷筒且剥离胶带通过粘附带卷取机构牵引卷绕，所述推压机构能够可控地将剥离胶带支承部件与粘附带卷取机构之间的剥离胶带推压至与最外层粘附有尘埃的粘附带接触粘结并将其从粘附带卷筒上剥离拉出传送至粘附带卷取机构进行卷绕。

该除尘装置为曝光机的曝光单元的上游工位，所述除尘辊可升降地设置与工件表面相对应，所述工件受牵引进行传动时与除尘辊接触，所述除尘辊相对工件滚动对工件表面附着的尘埃进行吸附。

该除尘装置设置于曝光机的曝光单元内部，所述除尘辊可回转地安装在辊移动推送机构上，所述辊移动推送机构能够可控地将除尘辊移动至与放置于曝光台上的工件的表面接触并推送除尘辊沿工件表面滚动进行尘埃吸附。

所述粘附带卷筒支承在粘附带支架上并通过回转驱动源驱动进行回转与除尘辊之间产生相对滚动。

所述粘附带支架安装在粘附带移动机构上并通过粘附带移动机构驱动使得粘附带卷筒在与除尘辊相接触和脱离的方向进行移动。

所述粘附带沿长度方向均匀间隔设置有断开线，所述断开线之间的间距大于等于除尘辊的外圆周面周长。

所述粘附带卷取机构包括直径可缩胀的卷取套筒，所述卷取套筒的周向侧壁沿轴向设有穿孔，所述穿孔中插入拉出膜且拉出膜与所述剥离胶带的头端粘接用于牵引剥离胶带，所述卷取套筒内部沿周向设有均匀间隔分布的凸轮状部件，所述凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒周向侧壁的内表面形成支撑且能够相对卷取套筒回转，通过所述凸轮状部件相对卷取套筒回转将拉出膜夹持在凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒周向侧壁的内表面之间或者解除夹持，同时调整卷取套筒的直径。

所述粘附带卷取机构还包括驱动装置、驱动轴、主轴支承板、传动齿轮、从动齿轮、不少于三根的从动轴、凸轮状的回转支承圆筒、凸轮构件和制动机构，所述卷取套筒的两端分别设有主轴支承板，所述驱动轴沿卷取套筒的中心轴可转动地支承在主轴支承板上且端部与驱动装置连接，所述从动轴沿驱动轴的周向均匀分布且可转动地支承在主轴支承板上，所述驱动轴与从动轴之间通过相互啮合的传动齿轮与从动齿轮进行传动，所述回转支承圆筒和凸轮构件分别设置于从动轴上与卷取套筒周向侧壁的内表面形成支撑，所述凸轮构件的外圈设有凹槽，所述拉出膜插入到凹槽内部，所述制动机构能够可控地对卷取套筒的旋转进行制动，通过所述凸轮构件相对卷取套筒回转将拉出膜夹持在凸轮构件的外圈表面与卷取套筒周向侧壁的内表面之间或者解除夹持。

所述粘附带卷取机构还包括分别对穿孔和凹槽的位置进行检测的第一检出传感器，在对所述穿孔和凹槽实施对准定位时所述第一检出传感器的检测信号传输至控制器并通过控制器对驱动装置和制动机构的运行进行控制。

所述剥离胶带的头端也可以直接通过穿孔插入到卷取套筒内部并夹持在凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒周向侧壁的内表面之间。

所述推压机构包括推压辊和辊推压移动机构，所述推压辊通过辊推压移动机构驱动沿与粘附带卷筒相接触和脱离的方向移动。

对应所述粘附带卷筒设有对粘附带头端位置进行检测的第二检出传感器，所述第二检出传感器的检测信号传输至控制器并通过控制器对推压机构的运行进行控制，使得所述剥离胶带被推压至与粘附带的头端部位接触粘结并从头端部位对粘附带进行剥离拉出。

对应所述粘附带卷筒设有对粘附带头端位置进行检测的第二检出传感器，所述第二检出传感器的检测信号传输至控制器并通过控制器对粘附带卷取机构的启动进行控制。

还包括对被剥离的粘附带的后端位置进行检测的第一检出传感器，所述第一检出传感器的检测信号传输至控制器并通过控制器对粘附带卷取机构的停止进行控制。

有益效果

第一，在本发明中，工件表面附着的尘埃通过除尘辊除尘后，能够通过粘附带对除尘辊表面粘附的尘埃进行转移，实现除尘辊对工件进行反复的除尘工作。而且，本发明通过粘附带剥离机构能够实现粘附带的自动剥离换新，无需通过人工操作，避免在每次执行剥离更新粘附带的作业时需要打开曝光机的机门，能够防止曝光机在运行时灰尘进入到曝光机内部的现象发生，同时能够防止因机门开启导致的曝光机内部温度和压力波动，有利于提升曝光机工作时内部温度和压力的稳定性。

第二，在本发明中，粘附带卷取机构中用于卷绕粘附带和剥离胶带的卷取套筒，通过内部凸轮状部件的相对回转，一方面能够实现径向尺寸的控制(即能够进行直径缩胀调整)，在需要对卷绕成套筒的粘附带和剥离胶带进行丢弃时，能够通过控制卷取套筒收缩方便将其取下，另一方面，能够实现对拉出膜头端或者剥离胶带头端快速、稳定地夹持和快速解除夹持。

附图说明

图1为与本发明实施例1相关的曝光机的结构示意图。

图2为本发明实施例1的结构示意图。

图3为粘附带卷取机构的卷取套筒的结构示意图。

图4为粘附带卷取机构的侧向内部结构示意图。

图5为粘附带卷取机构的正向内部结构示意图。

图6a为粘附带卷取机构中卷取套筒与凸轮构件达到解除夹持拉出膜状态的结构示意图(对应卷取套筒径向收缩状态)。

图6b为粘附带卷取机构中卷取套筒与凸轮构件达到夹持拉出膜状态的结构示意图(对应卷取套筒径向扩胀状态)。

图7为粘附带卷取机构的制动机构的结构示意图。

图8为本发明除尘装置的控制系统的示意图。

图9为与本发明实施例2相关的曝光机的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。

实施例1

图1是表示曝光机10的简要结构的示意图。在图1所示的曝光机10中，工件W(以柔性印刷基板为例)是一种卷绕成卷筒状的薄膜状基板，即：薄膜状的工件W从将其卷绕成卷筒状的工件供料源W1被引导至曝光单元实施曝光，完成曝光后的薄膜状工件W则被卷入到卷取部件W2。在本项实施示例中，工件W的上、下两面各设有光刻胶层，可通过用指定波长范围的光(例如：紫外线)对进行照射而对其实施感光处理。

该曝光机10设有工件出料单元20、工件卷取单元30和工件处理单元40。工件处理单元40的内部设有温度调节机构50、曝光单元60和除尘装置70。其中的工件出料单元20设有工件供料室21，该工件供料室21的内部配置了被卷绕成卷筒状的工件供料源W1。通过上述方式，薄膜状工件W即可从工件供料室21内部的工件供料源W1被出料至曝光单元60。

该工件出料单元20的顶部设有第一正压单元23。第一正压单元23装有图示中被省略的滤气网和第一增压风扇24，该第一增压风扇24可以在增压状态下，向工件供料室21提供已过滤掉尘埃的清洁空气。通过上述方式，工件供料室21的内部能够产生压力高于大气压的正压。此外，也可以通过第一增压风扇24，将除空气以外的其他气体提供给工件供料室21(在以下的各部位中也同样如此)。

工件卷取单元30装有工件排出室31，该工件排出室31的内部配置了可以将工件W卷绕成卷筒状的卷取部件W2。接着，薄膜状工件W经曝光单元60完成曝光后，被卷取至工件排出室31的卷取部件W2。

工件卷取单元30的顶部也设有第二正压单元33，该第二正压单元33与上述第二正压单元33具备相同的结构，即：第二正压单元33装有图示中被省略的滤气网和第二增压风扇34，该第二增压风扇34可以在增压状态下，向工件排出室31提供已过滤掉尘埃的清洁空气。通过上述方式，工件供料室31的内部能够产生压力高于大气压的正压。

工件处理单元40的顶部空间41中配置了温度调节机构50。该温度调节机构50装有第三增压风扇51和温度调节器52。与上述第一增压风扇24和第二增压风扇34相同，第三增压风扇51可以在增压状态下，向下文的曝光室42及除尘室43提供已过滤掉尘埃的清洁空气。通过上述方式，曝光室42及除尘室43的内部能够产生压力高于大气压的正压。

温度调节器52配有用以实施温度调节处理的部件，能够对第三增压风扇51所提供的空气等气体进行加热或冷却。使用该温度调节器52将空气的温度调节至指定温度后，经温度调节后的空气可被提供给曝光室42及除尘室43。

下文将对被配置在曝光室42内部的曝光单元60加以说明。曝光单元60包括一组移动机构61、一组光掩模62和一组光源63。

一组移动机构61、一组光掩模62及一组光源63中的其中一侧被配置在工件W的上方(根据需要，下文有时也将其简称为“上侧曝光单元60A”)。此外，一组移动机构61、一组光掩模62及一组光源63中的另一侧则被配置在工件W的下方(根据需要，下文有时也将其简称为“下侧曝光单元60B”)。综上所述，在本实施示例中，通过对工件W的上、下两面进行曝光，则可以在其上、下两面形成电路图形。不过，如果只需要对工件W的正面进行曝光，则也可以省却对下侧曝光单元60B的设置。同样，如果只需要对工件W的底面进行曝光，则也可以省却对下侧曝光单元60A的设置。

在上述曝光单元60的各组成部分中，移动机构61中装有用以使光掩模62进行移动的机构，其目的是为了持续执行相对于工件W的光掩模62定位，从而使光掩模62时而接触或脱离工件W。该移动机构61宜采用相互直交且可以沿三个轴方向移动的方式。对于工件W，如果图示中所省略的工件W的进料方式采用马达输送方式，则对于移动机构61的结构，应当以至少可以在非工件W送料方向的上下方向、以及工件W的幅宽方向上进行移动的结构为佳。

至于光掩模62，光掩模62部件应当可以按照电路图形对工件W实施相应的曝光，并形成与上述曝光部位相对应的透光部位。此外，光掩模62一般采用材质为玻璃基板的部件，但也可以由PET薄膜等其他材质所制。光源63用于将指定波长的光对光掩模62进行照射的部分。所照射的光透过光掩模62后，完成对工件W的光刻胶层上与电路图形相对应的部位的感光处理。

下文将对除尘装置70加以说明。图2为表示除尘装置70的简要结构的示意图。如图2所示，除尘装置70包括一组除尘辊71、一副粘附带支架72、一副粘附带移动机构75和一副粘附带剥离机构80。

一组除尘辊71、一副粘附带支架72、一副粘附带移动机构75及一副粘附带剥离机构80的一侧被配置在工件W的上方。此外，一组除尘辊71、一副粘附带支架72、一副粘附带移动机构75及一副粘附带剥离机构80则被配置在工件W的下方。

不过，如果只需要对工件W的正面进行曝光，则不必设置被配置在工件W下方的除尘装置70的各组成部分。同样，如果只需要对工件W的底面进行曝光，则不必设置被配置在工件W上方的除尘装置70的各组成部分。

在上述除尘装置70中，除尘辊71包括回转轴71a和粘性橡胶层71b，粘性橡胶层71b被安装在回转轴71a外侧沿轴方向上的指定长度范围。该粘性橡胶层71b由能够吸附尘埃的粘性橡胶材质所构成。此外，在粘性橡胶层71b的表面侧设有吸附层(图示中被省略)，该吸附层由硅胶等具有优异的尘埃吸附性的材质所构成。吸附层的下层侧以采用带导电层(例如：丁腈橡胶或碳素橡胶等)的结构为佳。

粘附带支架72的用途是确保粘附带T1被卷绕成卷筒状后的粘附带卷筒T1R的两端部分能够自由回转。该粘附带支架72被安装在粘附带移动机构75上，粘附带移动机构75的驱动采用气缸或马达等驱动方式，能够使粘附带卷筒T1R在与除尘辊71相接触/脱离方向上进行移动。此外，粘附带移动机构75还可以使除尘辊71移动至下文的粘附带剥离机构80。

此外，粘附带支架72还可以采用仅用于支承粘附带卷筒T1R的结构(即：粘附带卷筒T1R也可以作为随工件W的进料动作而进行从动回转的部件)。不过，宜采用能够提供促使粘附带卷筒T1R进行回转所需的驱动力的结构，通过上述方式，在驱使粘附带卷筒T1R进行回转时，将更容易通过下文的第二检出传感器135对最外圈的粘附带T1前端(位差部分)进行检测。此外，除驱动粘附带卷筒T1R的驱动马达外，也可以采用驱动马达的结构驱使除尘辊71进行回转动作。

此处的粘附带T1呈薄膜状，且其表面为粘附面。粘附面可以黏住被上述除尘辊71所吸附的尘埃，因此在粘附带T1粘附面和除尘辊71各自对尘埃的粘附力方面，前者应当大于后者。通过上述方式，尘埃即可有效的从除尘辊71被转移到粘附带T1的粘附面上。此外，薄膜状的粘附带T1上带有断开线，同时该粘附带T1被卷绕成卷筒状后成为粘附带卷筒T1R。因此，粘附带T1被从粘附带卷筒T1R上拉出后，即会在断开线被切断，从而可以方便的将已被弄脏的粘附带T1更换为干净的粘附带T1。

下文将对粘附带剥离机构80加以说明。粘附带剥离机构80包括粘附带卷取机构90、制动机构110、剥离胶带支承部件120和推压机构130。

粘附带卷取机构90带有如图3所示的卷取套筒91。卷取套筒91是用于卷绕上述粘附带T1和下文剥离胶带T2的筒状部件，由容易变形的弹性材质(例如：树脂等)制成，同时还带有其内筒部分91a。在该卷取套筒91的轴方向上设有狭缝状的穿孔91b，穿孔91b沿轴方向被设置在贯通整个包覆内筒部分91a的外筒部分91c。由于设置了上述穿孔91b，从而使卷取套筒91更容易的根据其外径及内径的变化而作出变形。

图4为表示粘附带卷取机构90结构的侧面截面图。图5为表示粘附带卷取机构90结构的正面图。如图4及图5所示，除上述卷取套筒91外，构成粘附带卷取机构90的部件还包括驱动装置92(如马达)、连接件93、驱动轴94、主轴支承板95、传动齿轮96、从动齿轮97、从动轴98、凸轮状的回转支承圆筒99和凸轮构件100。

驱动装置92作为驱动源提供驱动力，驱动下文的凸轮构件100进行回转。该驱动装置92通过连接件93连接至驱动轴94的一端。驱动轴94设置在卷取套筒91的内筒部分91a，且贯通该内筒部分91a的整体。

主轴支承板95分别在卷取套筒91的一端和另一端各设置一个，并且被支承在上述卷取套筒91上的至少一个部分。主轴支承板95上设有沿轴方向贯通的开孔部分(符号省略)，被插入的驱动轴94及下文的从动轴98贯穿该开孔部分。此外，在主轴支承板95和驱动轴94之间，以及主轴支承板95和从动轴98之间，以分别配置轴承等部件为宜。

传动齿轮96安装在上述驱动轴94中从内筒部分91a向外突出的另一端上。如图5所示，传动齿轮96被配置在沿卷取套筒91直径方向的中心位置上。

上述传动齿轮96与从动齿轮97相啮合，因此从动齿轮97位于比传动齿轮96更靠近卷取套筒91的中心至外径侧的位置上。该从动齿轮97被安装在从动轴98的另一端，而从动轴98则插入并贯穿上述主轴支承板95的开孔部分。因此，由于传动齿轮96与从动齿轮97相互啮合，即使从动轴98处在回转状态下，从动轴98相对于驱动轴94的位置也能维持在不发生变化的状态。

此外，所配置的从动齿轮97共有两种，第一种设置了装有凸轮构件100的从动轴98，第二种设置了装有回转支承圆筒99的从动轴98，且设有两根。三根从动轴98沿驱动轴94的周向均匀分布

图6a和图6b为表示卷取套筒91、回转支承圆筒99及凸轮构件100配置关系的示意图。如图所示，回转支承圆筒99和凸轮构件100一样，与卷取套筒91的内筒表面相接，并从内筒部分91a侧为卷取套筒91提供支撑，其设计形状为凸轮状。此外，回转支承圆筒99在沿轴向上对应于回转构件100进行设置，该回转支承圆筒99随着从动轴98的回转而转动。如图5所示，以设置至少2个回转支承圆筒99为宜(图5中为2个)。在上述情形下，回转支承圆筒99与凸轮构件100一起，可以从卷取套筒91的内筒部分91a侧提供至少3点以上的支撑。

凸轮构件100在回转中心点至外圈表面之间的距离是可变的。在图6a和图6b中，凸轮构件100采用偏心凸轮，其外圈表面对回转中心点呈偏心状态。不过，对凸轮构件可采用任何结构，只要能够使回转中心点至外圈表面之间的距离可变即可。

该凸轮构件100上设有凹槽101，而且如图6(a)所示，在穿孔91b和凹槽101已经定位的状态下，拉出膜F1的一端被插入在凹槽内。在完成上述插入后，如图6(b)所示，通过凸轮构件100围绕卷取套筒91回转，被夹持在凸轮构件100的外圈表面与卷取套筒91的内筒表面之间的拉出膜F1将会处于无法被轻易拉下的状态。这样，拉出膜F1的一端可通过卷取套筒91而得到支承。

接着，将图7所示的制动机构110安装到粘附带卷取机构90上。制动机构110包括制动器驱动源111、连接臂112及制动部件113。其中，制动器驱动源111用于提供使制动部件113沿轴方向移动所需的驱动力，适用的驱动源包括气缸及马达等。连接臂112用于将制动器驱动源111所产生的驱动力传递至制动部件113。此外，由于制动器驱动源111和制动部件113采用直接连接的结构，因此也可以采用省却连接臂112的结构。

制动部件113的一端与连接臂112相连接。该制动部件113可以在制动器驱动源111的驱动下沿轴方向进行移动，从而与主轴支承板95相接触。通过上述接触，可以在主轴支承板95与制动部件113之间形成摩擦力，从而阻止卷取套筒91的回转。

即：当凸轮构件100在粘附带卷取机构90的驱动装置92的驱动下开始回转后，通过内筒表面与凸轮构件100相接触的卷取套筒91也随之进行回转。不过，在完成对驱动装置92的驱动后，由于制动器驱动源111被触发，导致制动部件113被推压至主轴支承板95。在此情形下，卷取套筒91不会回转。因此，凸轮构件100的外圈表面会相对与卷取套筒91的内筒表面进行滑动，从而使穿孔91b的位置处在沿圆周方向上不同于凹槽101的位置。此外，凸轮构件100的外圈表面与穿孔91b的周围相接触。通过上述方式，可以将拉出膜F1夹持在卷取套筒91的内筒表面与凸轮构件100的外圈表面之间。

为了检测出卷取套筒91的穿孔91b和凸轮构件100的凹槽101在回转方向上的位置，如图8所示，还设置了第一检出传感器115。图8为含第一检出传感器115在内的除尘装置70控制系统的结构概要图。如图8所示，在卷取套筒91的回转方向上，第一检出传感器115可以检测出有无穿孔91b。而在凸轮构件100的回转方向上，第一检出传感器115可以检测出有无凹槽101。此外，对第一检出传感器115，可以采用光反射式光电传感器或者各类接触式传感器等。

通过上述方式，为了对有无穿孔91b和凹槽101进行检测，以至少设置2个第一检出传感器115为宜。如需设置3个以上的检出传感器，则最好在粘附带T1送料方向的先端侧，以及在粘附带T1送料方向的后端侧，分别各设置至少一个专用的检出传感器。如采用上述结构，则可以有效的进行有无穿孔91b检出、有无凹槽101检出、以及粘附带T1送料方向先端及后端的检出，从而可以根据该检出结果对驱动装置92的驱动量加以正确的控制。

下文将对剥离胶带支承部件120加以说明。如图2所示的那样，剥离胶带支承部件120的作用是为了使剥离胶带卷筒T2R(由将剥离胶带T2卷绕而成的卷筒状部分)保持自由回转。此处的剥离胶带T2与粘附带卷筒T1R上存在位差的部分相接触，其目的是为了将粘附带T1拉出。因此，在粘附带卷筒T1R中，与粘附带T1d粘附面和粘附带T1背面之间的粘附力相比，对剥离胶带T2的粘附带T1背面的粘附力应当大于前者。

在可作为上述剥离胶带T2的制品中，尽管透明胶带是其中的典型制品，但也可以采用除透明胶带以外的其他胶带。该剥离胶带T2的宽度被设计成窄于粘附带T1的宽度，而在粘附带T1的宽度方向上，配置了多个剥离胶带T2。此外，剥离胶带支承部件120的设置数量，则与剥离胶带T2(剥离胶带卷筒T2R)的数量相同。

如果剥离胶带支承部件120(剥离胶带T2)的数量过少，则会难以使粘附带T1在平衡良好的状态下从粘附带卷筒T1R上被剥离下来。因此，以配置3个以上的剥离胶带支承部件120(剥离胶带T2)为宜。另一方面，如果剥离胶带支承部件120(剥离胶带T2)的数量过多，仅该部分的成本即会导致用于剥离粘附带T1的成本上升。考虑到成本因素，建议设置3个剥离胶带支承部件120(剥离胶带T2)，且其配置方式采用均等间隔为宜。此外，最好将3个剥离胶带支承部件120(剥离胶带T2)中的其中2个配置在靠近粘附带T1宽幅方向上的两端附近，而另一个则配置在粘附带T1宽度方向上的中央位置。

下文将对推压机构130加以说明。推压机构130包括推压辊131和辊推压移动机构132。推压辊131的作用是对剥离胶带T2(从剥离胶带卷筒T2R上被拉出的部分)的粘附面背面对其进行施压(推压)。

该推压辊131可以随着辊推压移动机构132进行移动。辊推压移动机构132的作用是对粘附带卷筒T1R产生驱动力，从而使推压辊131沿接触/剥离方向进行移动，适用的驱动源包括气缸或马达等。当上述辊推压移动机构132被触发产生推进动作，以便对推压辊131进行推压后，剥离胶带T2将与粘附带卷筒T1R的最外圈粘附带T1发生接触。在剥离胶带T2与最外圈的粘附带T1前端部分(指剥离方向，即送料方向的端部)相接触的状态下，当辊推压移动机构132被触发产生缩回动作，以便将推压辊131从粘附带卷筒T1R上剥离下来后，最外圈的粘附带T1则会处于从粘附带卷筒T1R上剥离下来后的状态。

为了检测出最外圈的粘附带T1前端位于哪个部位，粘附带卷筒T1R上设有第二检出传感器135。第二检出传感器135的作用，是对最外圈的粘附带T1前端附近所存在的位差部分进行检测。上述位差部分的作用，是在需要将最外圈的粘附带T1从粘附带卷筒T1R上剥离下来时作为起头部分使用。因此，在第二检出传感器135检测到最外圈的粘附带T1的位差部分后，即会触发辊推压移动机构132，以便使推压辊131向最外圈的粘附带T1侧进行移动，从而可以将最外圈的粘附带T1从粘附带卷筒T1R上剥离下来。

如图8所示，曝光机10的除尘装置70上设有控制器150。上述第一检出传感器115和135发送的检出信号被输入到该控制器150。根据相关检出信号的内容或者指定的控制程序，即可对驱动装置92、制动器驱动源111及辊推压移动机构132的驱动实施控制。在达到指定的移动时间后，控制器150将触发粘附带移动机构75，从而能够把粘附带T1向工件W进行推压，或者使粘附带T1脱离工件W。

下文将对具备上述结构的曝光机10的作用加以说明。在工件出料单元20的工件供料室21内，设有由工件W被卷绕成卷筒状后的工件供料源W1，并对上述除尘装置70进行设置。

在对上述除尘装置70进行设置时，作业人员可以将粘附带卷筒T1R支承在粘附带支架72上。接着，通过控制器150使驱动装置92进行回转，从而对卷取套筒91的穿孔91b实施检测。当控制器150接收到与穿孔91b检出相对应的检出信号后，控制器150将触发制动机构110的制动器驱动源111，从而形成制动部件113推压主轴支承板95的状态。这样，即使驱动装置92继续处于驱动状态，卷取套筒91的回转也会被停止。

在卷取套筒91的回转处于停止的状态下，如果驱动装置92继续进行回转，那么凸轮构件100将继续保持回转。因此，通过第一检出传感器115对凸轮构件100的凹槽101的检出作出响应，使驱动装置92停止驱动的方式，从而实现对穿孔91b和凹槽101之间的对准定位。

在完成上述穿孔91b与凹槽101之间定位的状态下，作业人员将拉出膜F1的前端部分插入穿孔91b及凹槽101。完成上述插入操作后，控制器150触发制动器驱动源111，使制动部件113保持在推压主轴支承板95的状态，从而实现驱动装置92的驱动。这样，在卷取套筒91的回转处于停止的状态下，凸轮构件100保持回转。因此，被其前端被插入在凹槽101内的拉出膜F1被拉进内筒部分91a的内部，这样就可以使拉出膜F1的一部分可以被夹持在卷取套筒91的内圈表面与凸轮构件100的外圈表面之间，从而使拉出膜F1处于被牢牢支承在卷取套筒91上的状态，而拉出膜F1的前端则处于不易从卷取套筒91的内筒部分91a上被拉脱的状态。这样，即使从拉出膜F1的后端施加拉力，也不易解除该拉出膜F1的卷取套筒91所产生的支承力。

按上述方法支承好拉出膜F1后，作业人员将剥离胶带T2的前端粘贴在拉出膜F1上。此外，剥离胶带T2的剥离胶带卷筒T2R则保持被支承在剥离胶带支承部件120上的状态，而剥离胶带T2则处于被置于推压辊131上的状态。

完成上述操作后，即可完成除尘装置70的全部设置。

在结束上述设置后，即可启动第一增压风扇24、第二增压风扇34和第三增压风扇51，以便使工件供料室21、工件排出室31及曝光室42的内部形成正压。此外，启动温度调节器52，以便使曝光室42的内部保持指定的温度。

然后，工件供料源W1按照所需的曝光部位依次送出相应的工件W，而曝光室42内的曝光部位上，光掩模62分别与工件W的正面及底面相接触，然后从光源63发出指定波长的进行照射，从而对工件W实施曝光。

接着，完成曝光的工件W被卷取至工件卷取单元30的工件排出室31。

如果在工件W上粘附尘埃的状态下进行曝光，则会导致制造缺陷等。因此，在曝光室42内开始对工件W进行曝光前，应首先通过除尘装置70对工件W实施除尘。在进行除尘作业时，当工件W被送入除尘装置70后，用除尘辊71分别压紧其正面及底面，接着用除尘辊71压紧粘附带卷筒T1R的最外圈粘附带T1。

在图2所示的结构中，对于从工件W上脱离的除尘辊71，当粘附带移动机构75被启动、并将粘附带T1(粘附带卷筒T1R)推压到除尘辊71之上后，除尘辊71也会随之下降。当然，对除尘辊71也可采用独立于粘附带T1的升降结构。

在上述压紧工件W的状态下，除尘辊71随着工件W的送料动作而进行回转，当工件W的正面和底面中至少有一面附着了尘埃时，尘埃将被除尘辊71吸附，而被除尘辊71所吸附的尘埃将被转移到粘附带T1上。这样，当尘埃被转移到所指定的最外圈粘附带T1上时，其最外圈的粘附带T1将因被弄脏而需要进行更新(将最外圈的粘附带T1剥除)。

在需要更新粘附带T1时，首先通过第二检出传感器135检测出最外圈粘附带T1的前端部分(位差部分)。在检测到最外圈粘附带T1的前端部分(位差部分)后，控制器150将触发辊推压移动机构132，以便将剥离胶带T2推压到最外圈粘附带T1的前端部分(位差部分)上。

建议采用的结构是：该第二检出传感器135在最外圈的粘附带T1的前端部分(位差部分)的前后进行移动，当控制器150命令粘附带移动机构75启动后，能够使粘附带T1避让开除尘辊71。对于上述避让，建议采用下列方式：在通过第二检出传感器135检测到最外圈的粘附带T1的前端部分(位差部分)后再实施避让。

综上所述，将剥离胶带T2压紧到最外圈粘附带T1的前端部分(位差部分)后，控制器150命令辊推压移动机构132启动，使推压辊131脱离粘附带卷筒T1R。基于上述方式，对剥离胶带T2的粘附带T1背面的粘附力应当被设计成大于粘附带卷筒T1R的粘附带T1粘附面与粘附带T1背面之间的粘附力，因此，一旦推压辊131脱离粘附带卷筒T1R，随着其脱离的发生，最外圈的粘附带T1将从粘附带卷筒T1R上被剥离，即：最外圈的粘附带T1被粘附到了剥离胶带T2上，并从粘附带卷筒T1R上被剥离。

此后，控制器150通过命令驱动装置92启动而使卷取套筒91进行回转，从而对被剥离的粘附带T1及剥离胶带T2进行卷取操作，当通过第一检出传感器115检测出被剥离的粘附带T1的后端时，控制器150将命令驱动装置92停止驱动。通过上述方式，因附着了尘埃而被弄脏的粘附带T1被剥离，从而完成粘附带T1的更新。此后，当通过除尘装置70去除工件W上的尘埃，导致粘附带T1再次被弄脏后，则重复上述粘附带T1的更新操作。

采用上述结构的除尘装置70，则无需通过人工操作，即可自动执行将粘附带T1从粘附带卷筒T1R上剥离(更新)的作业，这样在执行剥离(更新)粘附带T1的作业时，就无需每次都打开曝光机10的开闭门，由此就可以避免发生因打开曝光机10的开闭门而使尘埃进入曝光机10内部的现象。

而在需要打开曝光机10的开闭门时，曝光机10的内部的温度、或者曝光机10内部的圧力都可能发生波动。当上述波动发生时，则要求温度调节器52在指定时间内启动，或者第一增压风扇24、第二增压风扇34、第三增压风扇51等在指定时间内启动。由于在本实施示例的除尘装置70中，从粘附带卷筒T1R上将粘附带T1剥离(更新)的作业可以自动进行，因此能够防止上述温度波动或压力波动力的发生。通过上述方式，可以使曝光机10的动作稳定化得以实现。

通过凸轮构件100的回转，可使增大或缩小卷取套筒91的外径。在此，从卷满粘附带T1或剥离胶带T2的胶带卷筒(废弃胶带卷筒)上，可以通过卷紧动作对卷取套筒91施加作用力，这使得废弃胶带卷筒无法轻易的从卷取套筒91上脱落。为解决这一问题，在本实施示例中，在需要对上述废弃胶带卷筒加以废弃的时候，通过转动凸轮构件100即可缩小卷取套筒91的外径，从而可以方便的将废弃胶带卷筒从卷取套筒91上取下来。

此外，由于对卷取套筒91采用了树脂制品，从而可以省却将卷取套筒91与完成卷取后的树脂制的粘附带T1或剥离胶带T2加以区分的麻烦。

实施例2

在上述第1实施示例中，对工件W被卷绕成卷筒状时的情形进行了。不仅限于被卷绕成卷筒状的情形，还可以按指定长度将工件W剪裁成片状。关于用于对该片状工件W进行除尘的除尘装置70，如图9所示加以说明。在下文的说明中，对涉及第2实施示例的曝光机10及除尘装置70，有时会根据需要而被描述为曝光机10B及除尘装置70B，而在不需要将其与第1实施示例中的曝光机10及除尘装置70加以特别区别时，则简单的将其描述为曝光机10及除尘装置70。

如图9所示的曝光机10B可以在上述第1实施示例中的曝光室42的同等部位实施工件W的除尘及曝光操作，即：第2实施示例中的曝光机10B与第1实施示例中的曝光单元60和除尘装置70采用了一体化结构。在图9中显示的是在曝光单元60中省却了光源63的状态。

该曝光机10B带有用于输送工件W的工件送料机构200。工件送料机构200在曝光机10B的宽度方向上的一端及另一端分别设有长条状的导轨201，并可以沿着该导轨201在上游侧送料除尘单元210A与下游侧送料除尘单元210B之间进行移动。

上游侧送料除尘单元210A及下游侧送料除尘单元210B分别带有导轨移动机构220(带有图中未作显示的驱动源)，通过该导轨移动机构220，上游侧送料除尘单元210A和下游侧送料除尘单元210B可以沿着导轨201进行移动。在沿宽度方向上的一端导轨201上，以及沿宽度方向上的另一端导轨201上，分别配置了一个导轨移动机构220。

导轨移动机构220上还安装了连接框230。连接框230上以桥架方式装有导轨移动机构220(被分别设置在沿宽度方向上的一端和另一端的导轨201上)。在图9中，连接框230被安装在导轨移动机构220的顶端侧，而导轨移动机构220的连接框230安装部位也可以位于除导轨移动机构220顶端侧以外的其他部位。

上游侧送料除尘单元210A的连接框230上装有进料装置240A，下游侧送料除尘单元210B的连接框230上装有出料装置240B。进料装置240A用于将片状的工件W从工件供料室21等外部设备上送入曝光台260。该进料装置240A带有多个成对的吸附垫241，通过该吸附垫241可以对片状工件W加以支承。

出料装置240B用于将已完成曝光的工件W搬送至上述工件排出室31等。该出料装置240B也同样带有多个成对的吸附垫241，通过该吸附垫241可以对片状工件W加以支承。

导轨移动机构220上装有辊移动推送机构250。辊移动推送机构250可以沿上下方向或送料方向移动除尘辊71(例如：第1实施示例中所述的除尘辊)。该辊移动推送机构250上设有导轨251，可以沿着该导轨251移动Z轴曝光台252。

Z轴曝光台252与保持架253相连接，受到该保持架253的前端侧支撑的除尘辊71可以自由回转。上述保持架253可以沿送料方向进行伸缩，其伸缩由图示中被省略的驱动源实施驱动控制。通过上述方式，就可以通过除尘辊71对工件W实施除尘操作。此外在下文的说明中，有时会根据需要将上游侧送料除尘单元210A侧的除尘辊71描述为第1除尘辊71A，将下游侧送料除尘单元210B侧的A侧除尘辊71描述为第2除尘辊71B，而在不必对两者加以区分时，则统称为除尘辊71。

第1除尘辊71A是构成第1除尘装置70A的一部分。该第1除尘装置70A带有用于支承粘附带卷筒T1R的粘附带支架72、以及粘附带剥离机构80。同样，第2除尘辊71B是构成第2除尘装置70B的一部分。该第2除尘装置70B带有用于支承粘附带卷筒T1R的粘附带支架72、以及粘附带剥离机构80。由于粘附带支架72及粘附带剥离机构80与上述第1实施示例中的情形相同，故此处省略说明。

在由上述结构所构成的曝光机10B中，通过对第1除尘装置70A以及第2除尘装置70B的应用，可以产生与上述第1实施示例中所说明的除尘装置70相同的作用和效果。

在本实施示例的曝光机10B中，通过对第1除尘辊71A和第2除尘辊71B的应用，可以实现对工件W的除尘。因此，通过将第1除尘辊71A的周长与第2除尘辊71B的周长的合计值设计为大于工件W的接触移动距离，则可以防止从工件W上被吸附到第1除尘辊71A及第2除尘辊71B的尘埃被重新附着到工件W上。

上文对本项发明的各实施示例进行了说明，而除本项发明以外还可能存在各种变形，因此下文将对此类情形加以描述。

以上说明对下列情形进行了描述：在上述各实施示例中，通过将拉出膜F1插入卷取套筒91的穿孔91b及凸轮构件100的凹槽101，可以使拉出膜F1被卷取套筒91所支承，同时还可以将剥离胶带T2的一端粘贴在该拉出膜F1上。不过，也可以省却采用拉出膜F1的结构。在此情形下，可以采用将剥离胶带T2的一端直接粘贴在卷取套筒91上的结构。这样的话，不仅可以省却在卷取套筒91上设置穿孔91b的结构，同时还可以省却在凸轮构件100上设置凹槽101的结构。

此外，如果采用将剥离胶带T2的一端直接粘贴在卷取套筒91上的结构，则对卷取套筒91的材质宜采用树脂。与采用金属制的卷取套筒91相比，在上述情形下可以减少对金属制卷取套筒和树脂制粘附带加以区分的麻烦。

Claims (11)

1.一种曝光机除尘装置，包括用于对工件表面附着的尘埃进行吸附的除尘辊(71)，其特征在于：还包括粘附带支架(72)和粘附带剥离机构(80)，所述粘附带支架(72)上可回转地支承有粘附带卷筒(T1R)，所述粘附带支架(72)与除尘辊(71)之间可相对移动使得所述粘附带卷筒(T1R)最外层的粘附带(T1)能够与除尘辊(71)接触，所述粘附带卷筒(T1R)与除尘辊(71)之间通过相对滚动将除尘辊(71)上附着的尘埃转移到最外层的粘附带(T1)表面，所述粘附带剥离机构(80)包括粘附带卷取机构(90)、剥离胶带支承部件(120)和推压机构(130)，所述剥离胶带支承部件(120)上可回转地支承有剥离胶带卷筒(T2R)且剥离胶带(T2)通过粘附带卷取机构(90)牵引卷绕，所述推压机构(130)能够可控地将剥离胶带支承部件(120)与粘附带卷取机构(90)之间的剥离胶带(T2)推压至与最外层粘附有尘埃的粘附带(T1)接触粘结并将其从粘附带卷筒(T1R)上剥离拉出传送至粘附带卷取机构(90)进行卷绕；所述粘附带卷取机构(90)包括直径可缩胀的卷取套筒(91)，所述卷取套筒(91)的周向侧壁沿轴向设有穿孔(91b)，所述穿孔(91b)中插入拉出膜(F1)且拉出膜(F1)与所述剥离胶带(T2)的头端粘接用于牵引剥离胶带(T2)，所述卷取套筒(91)内部沿周向设有均匀间隔分布的凸轮状部件，所述凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒(91)周向侧壁的内表面形成支撑且能够相对卷取套筒(91)回转，通过所述凸轮状部件相对卷取套筒(91)回转将拉出膜(F1)夹持在凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒(91)周向侧壁的内表面之间或者解除夹持，同时调整卷取套筒(91)的直径；所述粘附带卷取机构(90)还包括驱动装置(92)、驱动轴(94)、主轴支承板(95)、传动齿轮(96)、从动齿轮(97)、不少于三根的从动轴(98)、凸轮状的回转支承圆筒(99)、凸轮构件(100)和制动机构(110)，所述卷取套筒(91)的两端分别设有主轴支承板(95)，所述驱动轴(94)沿卷取套筒(91)的中心轴可转动地支承在主轴支承板(95)上且端部与驱动装置(92)连接，所述从动轴(98)沿驱动轴(94)的周向均匀分布且可转动地支承在主轴支承板(95)上，所述驱动轴(94)与从动轴(98)之间通过相互啮合的传动齿轮(96)与从动齿轮(97)进行传动，所述回转支承圆筒(99)和凸轮构件(100)分别设置于从动轴(94)上与卷取套筒(91)周向侧壁的内表面形成支撑，所述凸轮构件(100)的外圈设有凹槽(101)，所述拉出膜(F1)插入到凹槽(101)内部，所述制动机构(110)能够可控地对卷取套筒(91)的旋转进行制动，通过所述凸轮构件(100)相对卷取套筒(91)回转将拉出膜(F1)夹持在凸轮构件(100)的外圈表面与卷取套筒(91)周向侧壁的内表面之间或者解除夹持；所述粘附带卷取机构(90)还包括分别对穿孔(91b)和凹槽(101)的位置进行检测的第一检出传感器(115)，在对所述穿孔(91b)和凹槽(101)实施对准定位时所述第一检出传感器(115)的检测信号传输至控制器(150)并通过控制器(150)对驱动装置(92)和制动机构(110)的运行进行控制。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：该除尘装置(70)为曝光机(10)的曝光单元(60)的上游工位，所述除尘辊(71)可升降地设置与工件表面相对应，所述工件受牵引进行传动时与除尘辊(71)接触，所述除尘辊(71)相对工件滚动对工件表面附着的尘埃进行吸附。

3.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：该除尘装置(70)设置于曝光机(10)的曝光单元内部，所述除尘辊(71)可回转地安装在辊移动推送机构(250)上，所述辊移动推送机构(250)能够可控地将除尘辊(71)移动至与放置于曝光台(260)上的工件的表面接触并推送除尘辊(71)沿工件表面滚动进行尘埃吸附。

4.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述粘附带卷筒(T1R)支承在粘附带支架(72)上并通过回转驱动源驱动进行回转与除尘辊(71)之间产生相对滚动。

5.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述粘附带支架(72)安装在粘附带移动机构(75)上并通过粘附带移动机构(75)驱动使得粘附带卷筒(T1R)在与除尘辊(71)相接触和脱离的方向进行移动。

6.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述粘附带(T1)沿长度方向均匀间隔设置有断开线，所述断开线之间的间距大于等于除尘辊(71)的外圆周面周长。

7.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述剥离胶带(T2)的头端也可以直接通过穿孔(91b)插入到卷取套筒(91)内部并夹持在凸轮状部件的外圈表面与卷取套筒(91)周向侧壁的内表面之间。

8.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：所述推压机构(130)包括推压辊(131)和辊推压移动机构(132)，所述推压辊(131)通过辊推压移动机构(132)驱动沿与粘附带卷筒(T1R)相接触和脱离的方向移动。

9.根据权利要求1或8所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：对应所述粘附带卷筒(T1R)设有对粘附带(T1)头端位置进行检测的第二检出传感器(135)，所述第二检出传感器(135)的检测信号传输至控制器(150)并通过控制器(150)对推压机构(130)的运行进行控制，使得所述剥离胶带(T2)被推压至与粘附带(T1)的头端部位接触粘结并从头端部位对粘附带(T1)进行剥离拉出。

10.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：对应所述粘附带卷筒(T1R)设有对粘附带(T1)头端位置进行检测的第二检出传感器(135)，所述第二检出传感器(135)的检测信号传输至控制器(150)并通过控制器(150)对粘附带卷取机构(90)的启动进行控制。

11.根据权利要求1所述的一种曝光机除尘装置，其特征在于：还包括对被剥离的粘附带(T1)的后端位置进行检测的第一检出传感器(115)，所述第一检出传感器(115)的检测信号传输至控制器(150)并通过控制器(150)对粘附带卷取机构(90)的停止进行控制。

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