CN110010539B - 卷取单元 - Google Patents
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Abstract
提供卷取单元，在带粘贴装置中连续地形成工件组，并将所卷取的保护膜废弃。卷取单元(5)具有：按照相向的方式配设的卷取部(50A、50B)，它们具有对带状的保护膜(21)进行把持的把持部(500)；旋转机构(51A、51B)，它们使卷取部旋转；以及进退构件(52A、52B)，它们使一方的卷取部相对于另一方的卷取部接近或远离，在对膜进行卷取时，利用把持部对膜(21)进行把持，利用旋转机构(51A、51B)使卷取部旋转而对膜(21)进行卷取，在要将所卷取的膜(21)废弃时，各把持部(500)将膜(21)放开，利用进退构件(52A、52B)使卷取部(50A、50B)按照它们之间的距离变得比膜(21)的宽度大的方式远离，将膜(21)拔下而废弃。
Description
技术领域
本发明涉及对剥离了粘接带的保护膜进行卷取的卷取单元。
背景技术
在形成将环状框架与晶片借助粘接带一体化而得的工件组(work set)的带粘贴装置(例如，参照专利文献1)中，在环状框架的开口内配置晶片，并在环状框架和晶片上粘贴粘接带。
专利文献1：日本特开2015-220365号公报
在专利文献1记载的带粘贴装置中所使用的粘接带构成为在封住环状框架的开口的大小的圆形的基材上具有粘接层。并且，粘接带按照在带状的保护膜上沿保护膜的延伸方向以均等间隔粘贴有粘接层的状态进行配设，粘贴有粘接带的保护膜在呈卷状卷绕而形成带卷的状态下流通。
在带粘贴装置中，将粘接带从保护膜剥离而粘贴于环状框架和晶片上。并且，剥离了粘接带的保护膜被带粘贴装置所具有的卷取棒卷取。若卷取棒卷取了一定的量的保护膜，则暂时停止粘接带对晶片和环状框架的粘贴，由作业者将卷取棒从带粘贴装置取下。并且，在从卷取棒拔下保护膜之后，由作业者再次将卷取棒安装于带粘贴装置而使装置再次运转。并且，将从卷取棒拔下的保护膜废弃。
如上所述，存在如下的问题：在将所卷取的保护膜废弃时，需要使带粘贴装置暂时停止然后由作业者进行将卷取棒取下的作业，花费工夫和时间。
由此，在带粘贴装置中，为了能够高效且连续地形成工件组，存在如下的课题：不必由作业者进行将卷绕有保护膜的卷取棒从带粘贴装置取下、将保护膜从卷取棒拔下并再次进行安装的作业而能够将所卷取的保护膜定期地废弃。
发明内容
本发明的目的在于提供一种卷取单元，无需像以往那样由作业者进行将卷取棒从带粘贴装置取下并再次进行安装的作业而能够将所卷取的保护膜定期地废弃。
用于解决上述课题的本发明是卷取单元，其在带粘贴装置中对剥离了粘接带的保护膜进行卷取，该带粘贴装置具有台，该台对具有开口的环状框架进行支承并且对定位于该开口的晶片进行支承，该带粘贴装置将被粘贴于带状的该保护膜并将环状框架的该开口封住的大小的圆形的该粘接带从该保护膜剥离并粘贴在环状框架和晶片上而进行一体化，从而形成工件单元，其中，该卷取单元具有：按照相向的方式配设的两个卷取部，它们分别具有对该带状的保护膜的侧端部分进行把持的把持部；两个旋转机构，它们分别使该卷取部旋转；以及进退构件，它们使该两个卷取部中的一方的卷取部相对于另一方的卷取部在轴方向上接近或远离，在该两个卷取部对该保护膜进行卷取时，利用各自的该把持部对该保护膜进行把持，利用该旋转机构使该卷取部旋转，将该保护膜卷取在该卷取部上，在要将卷取在该两个卷取部上的该保护膜废弃时，将各自的该把持部所把持的该保护膜放开，通过该进退构件使相向的两个该卷取部按照它们之间的距离变得比该保护膜的宽度大的方式远离，将该保护膜从该卷取部拔下而废弃。
优选所述卷取部具有在要通过所述把持部对所述保护膜进行把持时供该保护膜通过的进入口，在供该保护膜卷绕的该卷取部的外侧面上，在该进入口附近形成有使相向的该卷取部的前端缩径而成的锥面。
优选所述进退构件具有：进退用电动机，其作为使所述卷取部在所述轴方向上移动的驱动源；以及进退负荷检测部，其对该进退用电动机的负荷电流值进行检测，该卷取单元还具有把持判断部，在所述两个把持部对所述保护膜进行把持之后，当利用该进退构件使该两个卷取部向相互远离的方向移动时，在该进退负荷检测部所检测到的负荷电流值为预先设定的值以上的情况下，该把持判断部判断为该把持部已对该保护膜进行把持，在所检测到的该负荷电流值小于该设定值的情况下，该把持判断部判断为该把持部未对该保护膜进行把持。
优选所述旋转机构具有：作为旋转驱动源的旋转用电动机；以及旋转负荷检测部，其对该旋转用电动机的负荷电流值进行检测，该卷取单元还具有拔下判断部，在要将所述两个卷取部所卷取的所述保护膜废弃时，在利用所述进退构件使所述两个卷取部向相互远离的方向移动之后，当利用该旋转机构使该卷取部旋转时，在该旋转负荷检测部所检测到的负荷电流值小于预先设定的值的情况下，该拔下判断部判断为该保护膜已从该卷取部拔下，在该所检测到的负荷电流值为预先设定的值以上的情况下，该拔下判断部判断为该保护膜未从该卷取部拔下。
本发明的卷取单元具有：按照相向的方式配设的两个卷取部，它们分别具有对该带状的保护膜的侧端部分进行把持的把持部；两个旋转机构，它们分别使该卷取部旋转；以及进退构件，它们使该两个卷取部中的一方的卷取部相对于另一方的卷取部在轴方向上接近或远离，在该两个卷取部对该保护膜进行卷取时，利用各自的该把持部对该保护膜进行把持，利用该旋转机构使该卷取部旋转，将该保护膜卷取在该卷取部上，在要将卷取在该两个卷取部上的该保护膜废弃时，将各自的该把持部所把持的该保护膜放开，通过该进退构件使相向的两个该卷取部按照它们之间的距离变得比该保护膜的宽度大的方式远离，将该保护膜从该卷取部拔下而废弃。因此，无需像以往那样由作业者进行将卷绕有保护膜的卷取棒从带粘贴装置取下并将保护膜从卷取棒拔下而再次进行安装的作业而能够将所卷取的保护膜定期地废弃。
卷取部具有在要通过把持部对保护膜进行把持时供保护膜通过的进入口，在供保护膜卷绕的卷取部的外侧面上，在进入口附近形成有使相向的卷取部的前端缩径而成的锥面，从而两个卷取部按照使进入至进入口的保护膜重叠于该锥面上的方式进行卷取，从而在将保护膜废弃时，能够更容易地将保护膜从卷取部拔下。
进退构件具有：进退用电动机，其作为使卷取部在轴方向上移动的驱动源；以及进退负荷检测部，其对进退用电动机的负荷电流值进行检测，卷取单元还具有把持判断部，在两个把持部对保护膜进行把持之后，当利用进退构件使两个卷取部向相互远离的方向移动时，在进退负荷检测部所检测到的负荷电流值为预先设定的值以上的情况下，把持判断部判断为把持部已对保护膜进行把持，在所检测到的负荷电流值小于设定值的情况下，把持判断部判断为把持部未对保护膜进行把持，从而能够防止产生如下的情况：在把持部未对保护膜进行把持的状态下旋转机构使卷取部旋转而产生卷取错误。
旋转机构具有：作为旋转驱动源的旋转用电动机；以及旋转负荷检测部，其对旋转用电动机的负荷电流值进行检测，卷取单元还具有拔下判断部，在要将两个卷取部所卷取的保护膜废弃时，在利用进退构件使两个卷取部向相互远离的方向移动之后，当利用旋转机构使卷取部旋转时，在旋转负荷检测部所检测到的负荷电流值小于预先设定的值的情况下，拔下判断部判断为保护膜已从卷取部拔下，在所检测到的负荷电流值为预先设定的值以上的情况下，拔下判断部判断为保护膜未从卷取部拔下，从而例如能够防止产生如下的情况：在卷取成卷状的保护膜未从各卷取部拔下的状态下卷取单元开始新的保护膜的卷取而产生装置错误。
附图说明
图1是示出具有卷取单元的带粘贴装置的一例的示意图。
图2是示出卷取单元的一例的立体图。
图3是示出将卷取单元所卷取的保护膜废弃的情况的立体图。
标号说明
1：带粘贴装置；10：壳体；2：带卷；20：粘接带；21：保护膜；22：卷筒；30：台；14：剥离板；16：按压辊；5：卷取单元；50A、50B：卷取部；500：把持部；500c：气缸机构；501：旋转轴；502：外壳；502a：锥面；502b：进入口；503：支承台；503a：固定螺栓；51A、51B：旋转机构；510：旋转用电动机；511：主动带轮；512：环形带；513：从动带轮；518：旋转负荷检测部；519：拔下判断部；52A、52B：进退构件；520：滚珠丝杠；521：一对导轨；522：进退用电动机；523：可动部；527：进退负荷检测部；528：把持判断部；WU：工件单元；W：晶片；F：环状框架。
具体实施方式
图1所示的带粘贴装置1是能够形成由粘接带20、环状框架F和晶片W构成的工件单元WU的装置，带粘贴装置1例如具有箱状的壳体10。并且，在壳体10的内部配设有：台30，其对具有开口的环状框架F进行支承并且对定位于开口的晶片W进行支承；支承辊12，其对由粘接带20、保护膜21和卷筒22构成的带卷2进行支承；剥离板14，其将粘接带20从保护膜21剥离；按压辊16，其将粘接带20向环状框架F和晶片W按压；以及本发明的卷取单元5，其对剥离了粘接带20的保护膜21进行卷取。另外，配设有本发明的卷取单元5的带粘贴装置并不限于本实施方式所示的带粘贴装置1。
圆形状的粘接带20包含由树脂构成的基材层和设置于基材层的一个面的糊料层。粘接带20按照在带状的保护膜21上沿保护膜21的延伸方向以均等间隔粘贴有糊料层的状态进行配设，通过该保护膜21对粘贴前的粘接带20的粘接面进行保护。例如由聚酯等树脂构成的保护膜21按照将保护膜21侧定位于内侧的方式卷绕于圆筒状的卷筒22，由此，形成卷状的带卷2。在将粘接带20粘贴于晶片W和环状框架F之前将保护膜21剥离。
晶片W例如是外形为圆形状的半导体晶片。由SUS等构成的环状的环状框架F具有直径大于晶片W的直径的开口。粘接带20的直径大于环状框架F的开口直径，以便能够封住环状框架F的开口，并且粘接带20的直径小于保护膜21的Y轴方向的宽度。
在带卷2的卷筒22中例如贯穿插入有借助支承部件120而安装于壳体10的顶板的支承辊12，带卷2通过支承辊12按照中空且能够旋转的状态进行支承。在支承辊12的一端侧连结有电动机等旋转驱动机构(未图示)，通过该旋转驱动机构的旋转力，支承辊12绕Y轴方向的轴心旋转。支承辊12形成为与带卷2相比在Y轴方向上较长，对带卷2的整体进行支承。
在支承辊12的斜下方，按照在Y轴方向上延伸的方式设置有剥离板14，该剥离板14将保护膜21从粘接带20剥离。剥离板14按照将远离支承辊12的一端侧定位于下方的方式相对于X轴Y轴平面倾斜，并随着朝向一端侧而变薄。剥离板14的Y轴方向的宽度大于粘接带20的直径。
保护膜21在剥离板14的一端侧折回而从粘接带20剥离。在与剥离板14的一端接近的位置配置有按压辊16，其将已剥离了保护膜21且糊料层向下方露出的粘接带20向下按压。另外，在比剥离板14和按压辊16低的位置设置有对晶片W和环状框架F进行支承的台30。
例如在从剥离板14向-X方向至少分开环状框架F的直径以上的位置配设有在Y轴方向上延伸的未图示的一对防松弛辊，已剥离了粘接带20的保护膜21被一对防松弛辊从上下夹持，从而不会在晶片W和环状框架F的上方产生松弛，并且通过卷取单元5进行卷取。
在圆形的台30的上表面中央形成有对晶片W进行支承的第1支承面30a。另外，在第1支承面30a的周围设置有第2支承面30b，该第2支承面30b对晶片W定位于开口内的状态的环状框架F进行支承。例如第1支承面30a形成于比第2支承面30b略高的位置，晶片W和环状框架F的上表面定位于大致相同的高度。在台30的下方设置有移动机构(未图示)，台30通过该移动机构而能够沿着在水平面上与Y轴方向垂直的X轴方向移动。
例如，在支承辊12的下方，在从台30向-X方向侧分开规定的距离的位置配设有本发明的卷取单元5。
如图2所示，卷取单元5具有：两个卷取部50A、50B，它们配设成在Y轴方向上相向，卷取部50A、50B分别具有对带状的保护膜21的Y轴方向的侧端部分进行把持的把持部500；两个旋转机构51A、51B，它们分别使卷取部50A、50B旋转；进退构件52A，其使两个卷取部50A、50B中的一方的卷取部50A相对于另一方的卷取部50B在轴方向(Y轴方向)上接近或远离；以及进退构件52B，其使另一方的卷取部50B相对于一方的卷取部50A在轴方向(Y轴方向)上接近或远离。
进退构件52A例如配设在沿Y轴方向延伸的板状的支承基台59的前表面上，进退构件52A具有：滚珠丝杠520，其具有Y轴方向的轴心；一对导轨521，它们配设成与滚珠丝杠520平行；作为驱动源的进退用电动机522，其与滚珠丝杠520的+Y方向侧的一端连结，使卷取部50A在轴方向上移动；以及可动部件523，旋转机构51A和卷取部50A配设在其上。可动部件523在内部具有与滚珠丝杠520螺合的螺母，可动部件523具有：块523a，其以能够滑动的方式配设在一对导轨521上；以及支承板523b，其在块523a的上表面上朝向+X方向侧突出设置，在支承板523b的内侧面上配设有卷取部50A。
当进退用电动机522使滚珠丝杠520转动时，与此相伴可动部件523被一对导轨521引导而在Y轴方向上移动，被可动部件523支承的卷取部50A在Y轴方向上移动。
例如在进退用电动机522上电连接有对进退用电动机522的负荷电流值进行检测的进退负荷检测部527。
使卷取部50B在Y轴方向上移动的图2所示的进退构件52B采用与进退构件52A同样的结构，因此省略了说明。
使卷取部50A旋转的旋转机构51A具有作为旋转驱动源的旋转用电动机510，旋转用电动机510例如使电动机轴510b向支承板523b的外侧面侧突出而配设于支承板523b的前端侧。在支承板523b的内侧面上的位于旋转用电动机510的斜下方的位置配设有卷取部50A。卷取部50A具有轴方向为Y轴方向的旋转轴501，旋转轴501的后端侧(+Y方向侧)通过支承板523b而被支承为能够旋转，并且从支承板523b的外侧面突出。
在旋转用电动机510的电动机轴510b上安装有主动带轮511，在主动带轮511上卷绕有环形带512。在卷取部50A的旋转轴501的后端侧安装有从动带轮513，环形带512也卷绕于该从动带轮513。旋转用电动机510对主动带轮511进行旋转驱动，从而随着主动带轮511的旋转，环形带512转动，通过环形带512转动从而从动带轮513和旋转轴501进行旋转。
例如在旋转用电动机510上电连接有对旋转用电动机510的负荷电流值进行检测的旋转负荷检测部518。
图2所示的使卷取部50B旋转的旋转机构51B采用与旋转机构51A同样的结构，因此省略了说明。
如图2所示，卷取部50A例如具有：把持部500；所述旋转轴501；外壳502，其在内部收纳把持部500；以及支承台503，其固定于旋转轴501的前端侧，在外壳502内部对把持部500进行支承。
外壳502例如具有大致圆筒状的外形，在其外侧面上卷绕保护膜21。外壳502从长度方向(Y轴方向)的中间部起使外径朝向前端侧(-Y方向侧)缩径，外壳502的外侧面的一部分成为朝向外壳502的前端侧倾斜的锥面502a。
在外壳502的前端侧形成有在要通过把持部500对保护膜21进行把持时供保护膜21通过的进入口502b。例如进入口502b是将从外壳502的前端至长度方向的中间部附近呈缝状切除而形成的。
支承台503例如具有侧视L字状的外形，通过固定螺栓503a固定于外壳502上。并且，随着旋转轴501的旋转，支承台503、外壳502以及支承于支承台503的把持部500一体地旋转。
把持部500例如具有：夹持板500b，其固定于支承台503的上表面上；气缸机构500c，其配设在支承台503的上表面上，使夹持板500a上下移动；夹持板500a，其与夹持板500b一起对进入至夹持板500a与夹持板500b之间的保护膜21进行把持。
按照在Y轴方向上与卷取部50A相向的方式配设于进退构件52B的支承板523b上的卷取部50B具有与卷取部50A同样的结构，因此省略了说明。
例如在卷取单元5的下方设置有未图示的收集盒，当卷取单元5使已卷绕成卷状的保护膜21落下而废弃时，该收集盒对所废弃的保护膜21进行收纳。
以下，对通过图1所示的带粘贴装置1形成工件单元时的卷取单元5的动作进行说明。
例如带粘贴装置1具有未图示的保护膜拉出机构，通过该保护膜拉出机构将保护膜21的前端从带卷2朝向斜下方拉出。并且，将保护膜21勾挂在剥离板14上而朝向-X方向折回之后，导入至卷取单元5。
如图2所示，当保护膜21的前端侧被导入至卷取单元5时，卷取部50A通过进退构件52A按照接近保护膜21的侧端部分的方式向-Y方向侧移动，使保护膜21的侧端部分进入至进入口502b内。另外，卷取部50B通过进退构件52B按照接近保护膜21的侧端部分的方式向+Y方向侧移动，使保护膜21的侧端部分进入至进入口502b内。然后，气缸机构500c使夹持板500a下降而将保护膜21夹入至夹持板500a与夹持板500b之间，从而卷取部50A、50B的各把持部500对保护膜21的侧端部分进行把持。
接着，例如进退构件52A使卷取部50A向+Y方向侧移动，并且进退构件52B使卷取部50B向-Y方向侧移动，从而使两个卷取部50A、50B向相互远离的方向移动。这是为了防止下述情况而进行的操作：在保护膜拉出机构将保护膜21的前端侧导入至卷取单元5时，有时会产生保护膜21未相对于卷取部50A、50B适当地定位而卷取部50A、50B的各把持部500未对保护膜21的侧端部分进行把持的情况，上述操作用于防止在这样的状态下开始卷取部50A、50B的旋转。
在使两个卷取部50A、50B向相互远离的方向移动时，进退负荷检测部527对在进退构件52A、进退构件52B的各进退用电动机522中流动的电流值进行检测。
如图2所示，在进退负荷检测部527上连接有把持判断部528，该把持判断部528对是否已利用把持部500把持保护膜21进行判断。在把持判断部528中预先存储有关于进退用电动机522的负荷电流值的规定的设定值(电流值)。该规定的设定值例如是与保护膜21的材质等相对应地通过实验或经验而选择的值，是为了供把持判断部528对各把持部500是否把持保护膜21的侧端部分进行判断而存储的电流值。
将关于进退负荷检测部527所检测到的进退用电动机522的负荷电流值的信息发送至把持判断部528，把持判断部528对进退用电动机522的负荷电流值的值和上述规定的设定值进行比较。保护膜21例如由聚酯等树脂构成，因此对机械外力具有一定程度的拉伸强度。因此，当进退构件52A、52B使由各把持部500对保护膜21的侧端部分进行把持的状态的各卷取部50A、50B向相互远离的方向移动时，对进退构件52A、52B施加保护膜21的拉伸强度所带来的负荷。另一方面，当进退构件52A、52B使未由各把持部500对保护膜21的侧端部分进行把持的状态的各卷取部50A、50B向相互远离的方向移动时，不对进退构件52A、52B施加保护膜21的拉伸强度所带来的负荷。
进退构件52A、52B进行反馈控制，以便在各把持部500未对保护膜21的侧端部分进行把持的状态或各把持部500对保护膜21的侧端部分进行把持的状态中的任意状态下均使卷取部50A、50B以规定的速度移动。由此，在各把持部500对保护膜21的侧端部分进行把持的状态下，与各把持部500未对保护膜21的侧端部分进行把持的状态相比，提供至进退用电动机522的电力较多，以便进退用电动机522能够以一定的转速旋转，进退负荷检测部527所检测到的进退用电动机522的负荷电流值成为规定的设定值以上。其结果是，把持判断部528判断为卷取部50A、50B的各把持部500对保护膜21进行把持，按照程序使卷取部50A、50B对保护膜21的卷取动作开始。
另一方面，在各把持部500未对保护膜21的侧端部分进行把持的状态下，提供至进退用电动机522的电力不增加，进退负荷检测部527所检测到的进退用电动机522的负荷电流值不超过规定的设定值。其结果是，把持判断部528判断为卷取部50A、50B的各把持部500未对保护膜21进行把持。在该情况下，例如从把持判断部528报告把持错误的判断，按照程序，再次利用未图示的保护膜拉出机构进行保护膜21的前端侧相对于卷取部50A、50B的定位，再次实施卷取部50A、50B的各把持部500对保护膜21的把持。
进退构件52A、52B具有：作为驱动源的进退用电动机522，其使卷取部50A、50B在轴方向上移动；以及进退负荷检测部527，其对进退用电动机522的负荷电流值进行检测，进退构件52A、52B还具有把持判断部528，在两个把持部500对保护膜21进行了把持之后，当利用进退构件52A、52B使两个卷取部50A、50B向相互远离的方向移动时，在进退负荷检测部527所检测到的负荷电流值成为预先设定的值以上的情况下，把持判断部528判断为把持部500已对保护膜21进行把持，在所检测到的负荷电流值小于设定值的情况下，把持判断部528判断为把持部500未对保护膜21进行把持，从而能够防止产生如下的情况：在把持部500未对保护膜21进行把持的状态下旋转机构51A、51B使卷取部50A、50B旋转而产生卷取错误。
作出了各把持部500已对保护膜21进行把持的判断之后的卷取部50A、50B对保护膜21的卷取动作如以下所说明的那样进行。保护膜21通过各把持部500按照以不产生Y轴方向上的松弛的方式张紧的状态进行把持，当旋转机构51A、51B的旋转用电动机510进行驱动而使卷取部50A、50B向同一方向按照同一速度旋转时，如图3所示，将各把持部500所把持的保护膜21的各侧端部分卷绕于外壳502的锥面502a上，形成保护膜21的膜卷。
与使卷取单元5对保护膜21的卷取开始联动地，关于通过图1所示的支承辊12进行旋转从而从带卷2送出的粘接带20，通过剥离板14将保护膜21从端侧剥离，并且利用与基材层侧抵接的按压辊16向下按压而粘贴于定位在台30上的环状框架F的端部上。另外，通过台30支承的环状框架F的中心与晶片W的中心大致一致。然后，当一边实施支承辊12的旋转以及卷取单元5对保护膜21的卷取一边使台30向-X方向移动时，晶片W和环状框架F与按压辊16在X轴方向上相对移动。其结果是，通过按压辊16的向下的按压力将粘接带20粘贴于晶片W和环状框架F上而形成由粘接带20、环状框架F和晶片W构成的工件单元WU。
例如在从图1所示的带卷2送出全部的保护膜21从而将规定的长度的保护膜21卷取至卷取单元5的卷取部50A、50B上之后，将卷取至两个卷取部50A、50B的卷状的保护膜21废弃。首先，图3所示的各气缸机构500c使夹持板500a上升而放开卷取部50A、50B的各把持部500所把持的保护膜21的侧端部分。并且，按照卷取部50A、50B之间的距离变得比保护膜21的宽度大的方式，进退构件52A使卷取部50A移动至+Y方向侧的规定的位置，并且进退构件52B使卷取部50B移动至-Y方向侧的规定的位置。其结果是，保护膜21从卷取部50A、50B被拔下，保护膜21落入配设在卷取单元5的下方的未图示的收集盒中而被废弃。
另外，例如也可以在图1所示的台30与卷取单元5之间具有将剥离了粘接带的保护膜21切断的切割器构件等，在将保护膜21废弃时，通过该切割器构件将保护膜21在宽度方向上切断。
这样，本发明的卷取单元5具有：按照相向的方式配设的两个卷取部50A、50B，它们分别具有对带状的保护膜21的侧端部分进行把持的把持部500；两个旋转机构51A、51B，它们分别使卷取部50A、50B旋转；以及进退构件52A、52B，它们使两个卷取部50A、50B中的一方的卷取部相对于另一方的卷取部在轴方向上接近或远离，因此当两个卷取部50A、50B对保护膜21进行卷取时，利用各自的把持部500对保护膜21进行把持，利用旋转机构51A、51B使卷取部50A、50B旋转，将保护膜21卷取至卷取部50A、50B上，在将卷取至两个卷取部50A、50B上的保护膜21废弃时，将各自的把持部500所把持的保护膜21放开，通过进退构件52A、52B使相向的两个卷取部50A、50B按照它们之间的距离变得比保护膜21的宽度大的方式远离，从而能够将保护膜21从卷取部50A、50B拔下而废弃。因此，能够无需像以往那样由作业者进行将卷取棒从带粘贴装置1取下并再次进行安装的作业而将剥离了粘接带20且卷取的保护膜21定期地废弃。
另外，卷取部50A、50B具有在要通过把持部500对保护膜21进行把持时供保护膜21通过的进入口502b，在供保护膜21卷绕的外侧面上，在进入口502b附近形成有使相向的卷取部50A、50B的各外壳502缩径而成的锥面502a，从而两个卷取部50A、50B按照使已进入至进入口502b的保护膜21重叠于该锥面502a上的方式进行卷绕，从而在将保护膜21废弃时，能够更容易地将保护膜21从卷取部50A、50B拔下。这是因为，在保护膜21的卷取时，卷绕保护膜21的面是锥面502a，从而将保护膜21相对于卷取部50A、50B的接触部位(成为卷状的保护膜21的内周面)的面积保持得较小，并且能够将保护膜21卷取至卷取部50A、50B，因此在将保护膜21从卷取部50A、50B拔下时，能够减小作用于卷取部50A、50B与保护膜21的接触部位的摩擦力。
例如如上所述，进退构件52A、52B使卷取部50A、50B按照它们之间的距离变得比保护膜21的宽度大的方式远离，从而有时产生如下的情况：保护膜21仅从卷取部50A或卷取部50B中的任意一方拔下而依然卷绕于一方的卷取部。在这样的状态下，即使通过未图示的保护膜拉出机构将新的保护膜21的前端侧导入至卷取单元5，也无法开始两个卷取部50A、50B对保护膜21的卷取，也有可能由于卷取单元5进行不适当的动作而发生破损。为了防止产生这样的情况，卷取单元5进行下述所示的动作。
如上所述在通过进退构件52A、52B使卷取部50A、50B远离之后，对旋转机构51A、51B的旋转用电动机510进行驱动而使卷取部50A、50B向同一方向旋转。此时，旋转负荷检测部518对在旋转机构51A、51B的旋转用电动机510中流通的电流值进行检测。
例如如图3所示，在旋转负荷检测部518上连接有拔下判断部519，其对保护膜21是否已从卷取部50A、50B拔下进行判断。在拔下判断部519中预先存储有关于旋转用电动机510的负荷电流值的规定的设定值(电流值)。该规定的设定值例如是与保护膜21的材质或成为卷状的保护膜21的重量等相对应地在实验上或经验上选择的值，是拔下判断部519为了对是否将保护膜21从卷取部50A、50B拔下进行判断而存储的电流值。
将关于旋转负荷检测部518所检测到的各旋转用电动机510的负荷电流值的信息发送至拔下判断部519，拔下判断部519对各旋转用电动机510的负荷电流值的值和上述设定值进行比较。卷取成卷状的保护膜21的重量变重，因此例如在保护膜21依然卷绕于卷取部50A或卷取部50B中的任意一方的情况下，保护膜21的重量施加于卷绕有保护膜21的那一方的卷取部上。
并且，旋转机构51A、51B进行反馈控制，以便使卷取部50A、50B按照规定的同一旋转速度旋转。因此，与已将保护膜21拔下的那一方的卷取部相比，通过旋转用电动机510对卷绕有保护膜21的那一方的卷取部提供较多的电力。
例如旋转负荷检测部518所检测到的旋转机构51A的旋转用电动机510的负荷电流值为规定的设定值以上，旋转负荷检测部518所检测到的旋转机构51B的旋转用电动机510的负荷电流值小于规定的设定值。在该情况下，拔下判断部519判断为在卷取部50A上依然卷绕有保护膜21而保护膜21已从卷取部50B拔下。接着，例如从拔下判断部519报告拔下错误的判断，按照程序，使未图示的保护膜拉出机构将新的保护膜21导入至卷取单元5的操作停止。
例如旋转负荷检测部518所检测到的旋转机构51A和旋转机构51B的各旋转用电动机510的负荷电流值小于规定的设定值。在该情况下，拔下判断部519判断为保护膜21已从卷取部50A、50B拔下。并且，按照程序，例如再次通过未图示的保护膜拉出机构进行新的保护膜21相对于卷取部50A、50B的对位，再次实施卷取部50A、50B的各把持部500对保护膜21的把持。
这样，旋转机构51A、51B具有：作为旋转驱动源的旋转用电动机510；以及对旋转用电动机510的负荷电流值进行检测的旋转负荷检测部518，还具有拔下判断部519，在要将两个卷取部50A、50B所卷取的保护膜21废弃时，在通过进退构件52A、52B使两个卷取部50A、50B向相互远离的方向移动之后，当利用旋转机构51A、51B使卷取部50A、50B旋转时，在旋转负荷检测部518所检测到的负荷电流值小于预先设定的值的情况下，拔下判断部519判断为保护膜21已从卷取部50A、50B拔下，在所检测到的负荷电流值为预先设定的值以上的情况下，拔下判断部519判断为保护膜21未从卷取部50A、50B拔下，从而例如能够防止产生如下的情况：在未将卷取成卷状的保护膜21从各卷取部50A、50B拔下的状态下，卷取单元5开始新的保护膜21的卷取而产生装置错误。
另外，本发明的卷取单元5并不限于上述实施方式，另外，对于附图所示的带粘贴装置1和卷取单元5的各结构，也不限于此，可以在能够发挥本发明的效果的范围内进行适当变更。
Claims (4)
1.一种卷取单元，其在带粘贴装置中对剥离了粘接带的保护膜进行卷取，该带粘贴装置具有台，该台对具有开口的环状框架进行支承并且对定位于该开口的晶片进行支承，该带粘贴装置将被粘贴于带状的该保护膜并将环状框架的该开口封住的大小的圆形的该粘接带从该保护膜剥离并粘贴在环状框架和晶片上而进行一体化，从而形成工件单元，其中，
该卷取单元具有：
按照相向的方式配设的两个卷取部，它们分别具有对该带状的保护膜的侧端部分进行把持的把持部；
两个旋转机构，它们分别使该卷取部旋转；以及
进退构件，它们使该两个卷取部中的一方的卷取部相对于另一方的卷取部在轴方向上接近或远离，
在该两个卷取部对该保护膜进行卷取时，利用各自的该把持部对该保护膜进行把持，利用该旋转机构使该卷取部旋转，将该保护膜卷取在该卷取部上，
在要将卷取在该两个卷取部上的该保护膜废弃时，将各自的该把持部所把持的该保护膜放开，通过该进退构件使相向的两个该卷取部按照它们之间的距离变得比该保护膜的宽度大的方式远离，将该保护膜从该卷取部拔下而废弃。
2.根据权利要求1所述的卷取单元，其中，
所述卷取部具有在要通过所述把持部对所述保护膜进行把持时供该保护膜通过的进入口，在供该保护膜卷绕的该卷取部的外侧面上，在该进入口附近形成有使相向的该卷取部的前端缩径而成的锥面。
3.根据权利要求1或2所述的卷取单元，其中，
所述进退构件具有：
进退用电动机，其作为使所述卷取部在所述轴方向上移动的驱动源；以及
进退负荷检测部，其对该进退用电动机的负荷电流值进行检测，
该卷取单元还具有把持判断部，在所述两个把持部对所述保护膜进行把持之后，当利用该进退构件使该两个卷取部向相互远离的方向移动时，在该进退负荷检测部所检测到的负荷电流值为预先设定的值以上的情况下，该把持判断部判断为该把持部已对该保护膜进行把持，在所检测到的该负荷电流值小于该设定值的情况下，该把持判断部判断为该把持部未对该保护膜进行把持。
4.根据权利要求1、2或3所述的卷取单元，其中，
所述旋转机构具有：
作为旋转驱动源的旋转用电动机；以及
旋转负荷检测部，其对该旋转用电动机的负荷电流值进行检测，
该卷取单元还具有拔下判断部，在要将所述两个卷取部所卷取的所述保护膜废弃时，在利用所述进退构件使所述两个卷取部向相互远离的方向移动之后，当利用该旋转机构使该卷取部旋转时，在该旋转负荷检测部所检测到的负荷电流值小于预先设定的值的情况下，该拔下判断部判断为该保护膜已从该卷取部拔下，在该所检测到的负荷电流值为预先设定的值以上的情况下，该拔下判断部判断为该保护膜未从该卷取部拔下。
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