JP5133832B2 - シート貼付装置及び通紙方法 - Google Patents

Description

本発明はシート貼付装置及び通紙方法に係り、更に詳しくは、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰出可能にセットする際に、当該原反の掛け回しを容易且つ迅速に行うことのできるシート貼付装置及び通紙方法に関する。

半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）には、保護用の接着シートが貼付される他、ウエハとリングフレームとを一体化するためのマウントシートが貼付される。
特許文献１には、リングフレームとウエハとを一体化させるためのマウントシートをリングフレームに貼付するとともに、当該マウントシートが貼付されたリングフレームの内側にウエハを貼付して一体化させることのできるシート貼付装置が開示されている。
このシート貼付装置は、帯状の剥離シートにマウントシートが仮着されたロール状の原反を繰出可能に支持する支持ローラと、マウントシートが剥離された後の剥離シートを巻き取る巻取ローラと、原反の繰出経路を形成する複数のガイドローラとを備えて構成されている。
このようなシート貼付装置にあっては、初期作業において、支持ローラから巻取ローラに至るまでの繰出経路に原反を手作業で掛け回す作業が必要になり、この作業は、熟練の作業者でないと、相当の時間を費やしてしまう上、装置内に手を伸ばさなければならないため、危険な作業でもある、という不都合がある。

特許文献２には、帯状材を複数のガイドローラに掛け回すことのできる通紙装置が開示されている。
特開２００５−１５９０４４号公報 特開昭６４−６４９４９号公報

特許文献２に記載された通紙装置によれば、帯状材をガイドローラに掛け回す作業を自動的に行うことができる。
しかしながら、特許文献２に記載された通紙装置にあっては、原反の支持ローラ（アンワインダ）から巻取ローラ（ワインダ）に至る繰出経路が略円弧状の単純軌跡となっている。従って、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す途中で接着シートを剥離して被着体に貼付可能とするために、原反の繰出経路を反転させたり、上下方向に方向転換させたりするシート貼付装置には適用することができない、という不都合がある。

［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、繰出経路が複雑であっても、容易且つ迅速に原反を掛け回すことのできるシート貼付装置及び通紙方法を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を支持する支持手段と、前記原反の繰出経路を形成する複数のガイドローラと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートから接着シートを剥離して被着体に貼付する剥離手段と、前記原反に繰出力を付与する駆動ローラと、接着シートが剥離された剥離シートを回収する回収手段と、前記原反を支持手段から繰出経路に沿って複数のガイドローラと剥離手段と駆動ローラとに掛け回すとともに、前記回収手段の近傍に前記原反のリード端を導く通紙手段とを備え、前記通紙手段は、前記駆動ローラに対して離間接近可能に設けられたピンチローラが当該駆動ローラから離間した状態でこれらローラ間に前記原反を通過させ、当該原反のみを前記駆動ローラとピンチローラとで挟み込み可能に設けられる、という構成を採ることができる。

また、本発明は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を複数のガイドローラに掛け回して繰出可能とし、その途中で剥離シートから接着シートを剥離して被着体に貼付するとともに、接着シートが剥離された剥離シートを回収可能としたシート貼付装置の通紙方法であって、前記原反の幅よりも大きい間隔をおいた位置で、原反の繰出経路に沿って回行可能な一対の無端部材を設け、この無端部材間に原反のリード端を保持可能な保持部材を装着し、原反に繰出力を付与する駆動ローラとピンチローラとを離間させた状態で、これらローラ間を通過するように保持部材を剥離シートの回収側まで回行させた後、前記駆動ローラとピンチローラとで原反を挟み込む、という手法を採っている。

本発明は、原反を支持手段から駆動手段までの繰出経路に沿って掛け回し、回収手段の近傍に原反のリード端を案内する通紙手段を設けたため、熟練の作業者でなくとも極めて簡単に通紙ができる上、装置内に手を伸ばす必要がなくなり、安全に通紙作業が行える。
更に、原反のリード端を保持する保持部材が、ピンチローラが駆動ローラから離間した状態で、これらローラ間を通過可能に設けられているため、原反の繰出経路が複雑であっても難なく原反を繰出経路に沿って通紙させることができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

図１には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、図１中紙面直交方向に相対配置された一対のフレームＦ１、Ｆ２と、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＳが所定間隔を隔てて仮着された原反Ｒを支持するとともに、原反Ｒの繰出経路の始端位置となる支持手段１１と、原反Ｒの繰出経路を形成する複数のガイドローラ１３、１４と、原反Ｒを繰り出す途中で剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離して被着体としてのウエハＷに貼付する剥離手段１５と、原反Ｒに繰出力を付与する駆動ローラ１７及び当該駆動ローラ１７に対して離間接近可能なピンチローラ１８と、接着シートＳが剥離された剥離シートＲＬを回収するとともに、前記繰出経路の終端位置となる回収手段１９と、原反Ｒを繰出経路に沿って導く通紙手段２０とを備えて構成されている。ここで、接着シートＳは、ウエハＷの大きさに対応した略円形のシートにより構成されている。また、フレームＦ１、Ｆ２のうち、手前側に位置するフレームＦ２の右側上部及び下部に略Ｌ字状の切欠部Ｃ１、Ｃ２が形成され、これにより、支持手段１１に対する原反Ｒの装填と、回収手段１９に回収された剥離シートＲＬの取り出しが行えるようになっている。

前記支持手段１１は、図１中奥側のフレームＦ１に支持された支持ローラ２２により構成され、この支持ローラ２２にロール状に巻回された原反Ｒが切欠部Ｃ１を利用して装填されるようになっている。

前記剥離手段１５は、フレームＦ１、Ｆ２間に支持されたピールプレート２３により構成され、当該ピールプレート２３の先端で原反Ｒの繰出方向を反転させることで、剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離しつつウエハＷの上面に接着シートＳを貼付できるようになっている。ピールプレート２３の先端側上方位置には、カメラ、光電管、リミットスイッチ等からなる検知手段２５が配置されており、当該検知手段２５によって接着シートＳの繰出方向先端位置が検知可能となっている。

前記駆動ローラ１７は、フレームＦ１の背面側に設けられたモータＭ１の出力軸に接続されて回転可能に設けられており、ピンチローラ１８は、図示しないアームに回転可能に支持されて図１中実線で示される位置（動作位置）と、二点鎖線で示される位置（待避位置）との間で変位可能に設けられている。

前記回収手段１９は、駆動ローラ１７と同期回転可能に設けられた巻取ローラ２７により構成されている。

前記通紙手段２０は、原反Ｒの繰出経路に沿って配置された案内部材としての第１ないし第７のプーリＰ１〜Ｐ７と、これら第１ないし第７のプーリＰ１〜Ｐ７に掛け回されて回行する無端部材としてのベルトＢと、当該ベルトＢに支持されて原反Ｒのリード端を保持する保持部材４０とを備えて構成されている。

前記第１ないし第７のプーリＰ１〜Ｐ７は、フレームＦ１、Ｆ２の相対面側にそれぞれ位置するように、各一対の関係に設けられており、ベルトＢはフレームＦ１側とＦ２側における第１ないし第７のプーリＰ１〜Ｐ７にそれぞれ掛け回されている。なお、相対するプーリＰ１〜Ｐ７の間隔は、原反Ｒの幅よりも大きくなるように設定されている。

本実施形態では、前記第１のプーリＰ１が駆動することにより、ベルトＢを介して第２ないし第７のプーリＰ２〜Ｐ７が従動回転するように設けられている。第１のプーリＰ１は、図３に示されるように、フレームＦ１、Ｆ２間を貫通して延びる駆動軸４２に固定されており、当該駆動軸４２は、フレームＦ１の背面側に固定されたモータＭ２の出力軸に連結されている。駆動軸４２の外周側にはガイドローラ１３が配置され、図示しないベアリングを介して駆動軸４２とは独立して回転可能に設けられている。これにより、原反Ｒの繰り出しに際してガイドローラ１３が回転しても、駆動軸４２が回転することはない。

前記各一対の第２、第６、第７のプーリＰ２，Ｐ６、Ｐ７は、図２に示されるように、フレームＦ１、Ｆ２間に設けられた連結軸４４、４５、４６に図示しないベアリングを介して回転可能に支持されている。第２の連結軸４４の外周側には、ガイドローラ１４が図示しないベアリングを介して回転可能に設けられている。なお、第３ないし第５のプーリＰ３〜Ｐ５は、個々に独立してフレームＦ１、Ｆ２の相対面側にそれぞれ回転可能に支持されている。

前記保持部材４０は、図３に示されるように、一対のベルトＢ間に回転可能に設けられたバー５０と、このバー５０に取り付けられた二つのクリップ５１とにより構成されている。バー５０の両端には軸５０Ａが設けられ、ベルトＢの側端部に設けられた凹部Ｂ１にこの軸５０Ａがはめ込まれ、当該バー５０は一対のベルトＢに対して回転可能に支持されている。クリップ５１は、原反Ｒのリード端を挟み込むことができる公知のものを用いることができる。

前記第３のプーリＰ３と第４のプーリＰ４間に延びるベルトＢは、ピンチローラ１８の動作位置と待避位置との間を通過するように掛け回されている。従って、ピンチローラ１８が待避位置にある状態で通紙を行った後に、当該ピンチローラ１８を動作位置に変位させることで、原反Ｒを駆動ローラ１７とピンチローラ１８との間に挟み込むことが可能となっている。

なお、ウエハＷは、フレームＦ１、Ｆ２の下部間を通過するテーブルＴに支持されており、当該テーブルＴは、単軸ロボット５０を介して図１中左右方向に移動可能に支持されている。

次に本実施形態に係る通紙方法と、シート貼付方法について、図４ないし図６をも参照しながら説明する。

原反Ｒの通紙を行う場合には、図４に示されるように、ピンチローラ１８を待避位置に変位させた状態で、支持ローラ２２に装填した原反Ｒを所定量引き出し、そのリード端を第１のプーリＰ１の近傍に位置する保持部材４０のクリップ５１で挟み込む。そして、モータＭ２を駆動させることにより、ベルトＢが回行されて保持部材４０が第２のプーリＰ２方向へ搬送される。

図５に示されるように、保持部材４０の動作によって、原反Ｒが支持ローラ２２からガイドローラ１３、１４とピールプレート２３と駆動ローラ１７とに掛け回され、巻取ローラ２７の近傍である第６のプーリＰ６を通過したときに、図示しないセンサによって保持部材４０が検出されてモータＭ２の駆動が停止される。そして、保持部材４０のクリップ５１を開放し、原反Ｒのリード端を図５中矢印ａで示される方向に原反Ｒを反転させてリード端を巻取ローラ２７に固定する。その後、ピンチローラ１８を動作位置に変位させて駆動ローラ１７との間に原反Ｒを挟み込む。次いで、モータＭ１を駆動させ、図６に示されるように、検知手段２５が接着シートＳの繰出方向先端位置を検知した位置で、モータＭ１の駆動が停止されて以後の貼付動作に備えることとなる。

接着シートＳの貼付動作は、図示しない移載手段を介してウエハＷがテーブルＴ上に移載された後、このテーブルＴが単軸ロボット５０を介して図１中左側に移動することによって開始される。そして、図示しないセンサによりテーブルＴが所定位置に達したことが検出されたときに、モータＭ１が駆動して原反Ｒの繰り出しが行われ、接着シートＳが剥離シートＲＬから剥離されながらウエハＷの上面に貼付される。なお、ここでは図示省略しているが、ピールプレート２３の先端側にプレスローラを配置し、当該プレスローラにより接着シートＳに押圧力を付与する構成としてもよい。

従って、このような実施形態によれば、支持ローラ２２から繰り出された原反Ｒがピールプレート２３を経由して巻取ローラ２７に巻き取られ、その中間に駆動ローラ１７とピンチローラ１８とで原反を挟み込むといった繰出経路であっても、通紙手段２０によって極めて容易且つ迅速に通紙作業を行うことができる、という効果を得る。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。

例えば、接着シートＳの貼付対象としてウエハＷを示したが、ウエハＷの外周側にリングフレームを配置し、当該リングフレームにウエハＷを一体化させるシート貼付装置としてもよい。更に、被着体は、ウエハＷ以外の板状部材、例えば、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また、シート貼付装置１０は、ラベルを被着体に貼付するラベル貼付装置としたり、光ディスク等に情報記録層や保護シート等を貼付する貼付装置に採用したりすることができる。

更に、前記支持手段１１は、支持ローラ２２に支持させる構成に限らず、円弧状の支持面を有する部材に原反Ｒを載置して繰出可能とした構成であってもよい。

また、剥離手段１５は、ピールプレート２３の他に、ローラ等も含む。

また、回収手段１９として巻取ローラ２７を用いたが、剥離シートＲＬを巻き取ることなく回収する構成としてもよい。

更に、案内部材や無端部材は、スプロケットやチェーン等、その他の構成の採用を妨げない。

通紙手段を備えたシート貼付装置の全体構成を示す概略正面図。 シート貼付装置の概略斜視図。 図１のｂ矢視図。 原反の通紙を行うときの初期動作説明図。 原反が回行された状態を示す動作説明図。 通紙を完了した状態を示す動作説明。

符号の説明

１０ シート貼付装置
１１ 支持手段
１３、１４ ガイドローラ
１５ 剥離手段
１７ 駆動ローラ
１８ ピンチローラ
１９ 回収手段
２０ 通紙手段
２３ ピールプレート
２５ 検知手段
Ｐ１〜Ｐ７ 第１〜第７プーリ（案内部材）
Ｂ ベルト（無端部材）
４０ 保持部材
５０ バー（保持部材）
５１ クリップ（保持部材）
Ｓ 接着シート
Ｒ 原反
ＲＬ 剥離シート
Ｗ 半導体ウエハ（被着体）

Claims (2)

1. 帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を支持する支持手段と、
   前記原反の繰出経路を形成する複数のガイドローラと、
   前記原反を繰り出す途中で剥離シートから接着シートを剥離して被着体に貼付する剥離手段と、
   前記原反に繰出力を付与する駆動ローラと、
   接着シートが剥離された剥離シートを回収する回収手段と、
   前記原反を支持手段から繰出経路に沿って複数のガイドローラと剥離手段と駆動ローラとに掛け回すとともに、前記回収手段の近傍に前記原反のリード端を導く通紙手段とを備え、
   前記通紙手段は、前記駆動ローラに対して離間接近可能に設けられたピンチローラが当該駆動ローラから離間した状態でこれらローラ間に前記原反を通過させ、当該原反のみを前記駆動ローラとピンチローラとで挟み込み可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を複数のガイドローラに掛け回して繰出可能とし、その途中で剥離シートから接着シートを剥離して被着体に貼付するとともに、接着シートが剥離された剥離シートを回収可能としたシート貼付装置の通紙方法であって、
   前記原反の幅よりも大きい間隔をおいた位置で、原反の繰出経路に沿って回行可能な一対の無端部材を設け、この無端部材間に原反のリード端を保持可能な保持部材を装着し、原反に繰出力を付与する駆動ローラとピンチローラとを離間させた状態で、これらローラ間を通過するように保持部材を剥離シートの回収側まで回行させた後、前記駆動ローラとピンチローラとで原反を挟み込むことを特徴とするシート貼付装置の通紙方法。

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