JP2014122111A

JP2014122111A - 長尺体の支持装置および支持方法

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Publication number: JP2014122111A
Application number: JP2012280219A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Sugishita; 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2012-12-21
Filing date: 2012-12-21
Publication date: 2014-07-03

Abstract

【課題】装置の大型化を防止することができる長尺体の支持装置および支持方法を提供すること。
【解決手段】長尺体ＲＳ、ＲＬの支持装置は、駆動機器３１によって回転駆動される回転駆動手段３と、前記回転駆動手段３との間に長尺体ＲＳ、ＲＬを挟み込み、当該長尺体ＲＳ、ＲＬを巻取可能または繰出可能に支持する追従回転手段４Ａ、４Ｂとを備え、前記追従回転手段４Ａ、４Ｂは、１の前記回転駆動手段３に対して複数設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、長尺体の支持装置および支持方法に関する。

従来、長尺体を巻取可能または繰出可能に支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の支持装置は、回動可能に設けられた巻取アームと、巻取アームの先端に回転可能に支持された巻取軸（追従回転手段）と、巻取軸の近傍に設けられた回転ドラム（回転駆動手段）と、巻取アームに連結された空圧シリンダとを備え、空圧シリンダにより巻取軸上の帯状紙（長尺体）を回転ドラムに押し付けながら、当該回転ドラムを回転駆動することにより巻取軸に帯状紙を巻き取るように構成されている。

特公平７−４２０１７号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の支持装置では、１の回転駆動手段に対して１の追従回転手段しか設けられていないため、巻き取ったり繰り出したりする長尺体が増加し、追従回転手段が増えると、その分回転駆動手段も増やさなければならず、装置の大型化を招くという不都合がある。

本発明の目的は、装置の大型化を防止できる長尺体の支持装置および支持方法を提供することにある。

本発明の長尺体の支持装置は、駆動機器によって回転駆動される回転駆動手段と、前記回転駆動手段との間に長尺体を挟み込み、当該長尺体を巻取可能または繰出可能に支持する追従回転手段とを備え、前記追従回転手段は、１の前記回転駆動手段に対して複数設けられていることを特徴とする。

本発明の長尺体の支持装置において、前記回転駆動手段は、回転可能な無端帯状体を備え、前記追従回転手段は、前記無端帯状体に沿って複数設けられていることが好ましい。

本発明の長尺体の支持方法は、１の回転駆動手段との間に長尺体を挟み込み、当該長尺体を巻取可能または繰出可能に支持する追従回転手段を複数設ける工程と、前記回転駆動手段を回転させ、前記複数の追従回転手段によって前記長尺体を巻き取るまたは繰り出す工程とを行うことを特徴とする。

以上のような本発明によれば、１の回転駆動手段に対して追従回転手段を複数設けることができるため、回転駆動手段の増加を抑制することができ、装置の大型化を防止することができる。

本発明において、回転駆動手段が無端帯状体を備える構成とすることで、１の回転駆動手段でより多くの追従回転手段を設けることができる。

本発明の第１実施形態に係る支持装置の側面図。本発明の第２実施形態に係る支持装置の側面図。

以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
また、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

［第１実施形態］
図１において、支持装置１は、長尺体としての原反ＲＳをシート貼付装置７に繰り出すとともに、シート貼付装置７から送られてきた長尺体としての剥離シートＲＬを巻き取るものである。ここで、原反ＲＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する接着シートＡＳが当該接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬの一方の面に仮着して構成されるとともに、筒状の紙管８Ａに巻回された巻回物ＲＢ１として予め準備されている。

支持装置１は、駆動機器としての回動モータ３１によって回転駆動される回転駆動手段３と、回転駆動手段３との間に原反ＲＳを挟み込み、当該原反ＲＳを繰出可能に支持する追従回転手段としての第１従動ローラ４Ａと、回転駆動手段３との間に剥離シートＲＬを挟み込み、当該剥離シートＲＬを巻取可能に支持する追従回転手段としての第２従動ローラ４Ｂと、第１従動ローラ４Ａを移動可能な第１変位手段５Ａと、第２従動ローラ４Ｂを移動可能な第２変位手段５Ｂと、回転駆動手段３の近傍に設けられた第１補助ローラ６Ａおよび第２補助ローラ６Ｂとを備えている。

回転駆動手段３は、回動モータ３１と、回動モータ３１の出力軸３２に支持された駆動ローラ３３とを備えている。

第１従動ローラ４Ａは、第１変位手段５Ａに支持され、原反ＲＳを繰り出すときに、回転軸心が駆動ローラ３３の回転軸心と平行に配置されるようになっており、巻回物ＲＢ１の紙管８Ａに挿抜可能に設けられ、当該巻回物ＲＢ１を支持可能に設けられている。

第２従動ローラ４Ｂは、第２変位手段５Ｂに支持され、剥離シートＲＬを巻き取るときに、回転軸心が駆動ローラ３３の回転軸心と平行に配置されるようになっており、剥離シートＲＬをその外周で巻き取る筒状の紙管８Ｂに挿抜可能に設けられ、当該紙管８Ｂを支持可能に設けられている。

第１変位手段５Ａは、第１従動ローラ４Ａの回転軸方向に延設された駆動機器としてのリニアモータ５１Ａのスライダ５２Ａに支持された駆動機器としての回動モータ５３Ａと、回動モータ５３Ａの出力軸５４Ａに基端部が支持され、先端部が第１従動ローラ４Ａを回転可能に支持するアーム５５Ａとを備えている。
第２変位手段５Ｂは、第１変位手段５Ａと同様の構成であり、第１変位手段５Ａの末尾Ａの記号をＢに置き換えることで説明ができるので、その説明を省略する。

シート貼付装置７は、原反ＲＳまたは剥離シートＲＬを案内する複数のガイドローラ７１と、原反ＲＳを折り返すことで剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板７２と、剥離板７２で剥離された接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧ローラ７３と、駆動機器としての回動モータ７４によって駆動される駆動ローラ７５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ７６とを備えている。

以上の支持装置１において、原反ＲＳを繰り出す手順および剥離シートＲＬを巻き取る手順を説明する。
先ず、図１中二点鎖線で示すように、巻回物ＲＢ１を移載テーブル等の載置面ＴＳ１上に載置するとともに、紙管８Ｂを移載テーブル等の載置面ＴＳ２上に載置する。そして、図示しない操作手段によって起動信号が入力されると、第１変位手段５Ａがリニアモータ５１Ａおよび回動モータ５３Ａを駆動し、第１従動ローラ４Ａを紙管８Ａに挿通するとともに、第２変位手段５Ｂがリニアモータ５１Ｂおよび回動モータ５３Ｂを駆動し、第２従動ローラ４Ｂを紙管８Ｂに挿通する。なお、第１および第２従動ローラ４Ａ、４Ｂを各紙管８Ａ、８Ｂに挿通するにあたっては、各紙管８Ａ、８Ｂが常に一定の位置である場合は、第１および第２変位手段５Ａ、５Ｂにそれらの位置を挿通位置として記憶させておき、これら挿通位置にそれぞれ第１および第２従動ローラ４Ａ、４Ｂを移動させるようにしてもよい。また、接着シートＡＳの巻回量により各紙管８Ａ、８Ｂの位置が不特定の位置である場合は、光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段によって各紙管８Ａ、８Ｂの位置を認識させ、第１および第２変位手段５Ａ、５Ｂにそれらの位置を挿通位置として記憶させた後、各挿通位置に第１および第２従動ローラ４Ａ、４Ｂを移動させるようにしてもよい。

次に、第１変位手段５Ａが回動モータ５３Ａを駆動し、巻回物ＲＢ１を第１従動ローラ４Ａで支持した状態でアーム５５Ａを移動させ、図１中実線で示すように、当該巻回物ＲＢ１を駆動ローラ３３および補助ローラ６Ａ上の繰出位置に移動する。その後も、第１変位手段５Ａが回動モータ５３Ａを駆動し続け、圧力センサ、光学センサまたは回動モータ５３Ａに内蔵されたトルクセンサ等の図示しない検知手段によって、第１従動ローラ４Ａと駆動ローラ３３とにより巻回物ＲＢ１を所定の挟持力で挟持する。
一方、第２変位手段５Ｂが回動モータ５３Ｂを駆動し、紙管８Ｂを第２従動ローラ４Ｂで支持した状態でアーム５５Ｂを移動させ、図１中実線で示すように、当該紙管８Ｂを駆動ローラ３３および補助ローラ６Ｂ上の巻取位置に移動する。その後、上述と同様にして第２従動ローラ４Ｂと駆動ローラ３３とにより紙管８Ｂを所定の挟持力で挟持する。

その後、オペレータが原反ＲＳを図１に示すように通紙し、当該原反の先端部を紙管８Ｂに取り付ける。そして、図示しない操作手段によって自動運転信号が入力されると、シート貼付装置７が回動モータ７４を駆動し、原反ＲＳを繰り出し、接着シートＡＳが剥離板７２によって所定長さ繰り出されたことが光学センサ等の図示しない検知手段によって検知され、回動モータ７４が停止し、スタンバイ状態となる。

次に、被着体ＷＫがコンベア等の搬送手段ＣＶ上を搬送されてきたことが図示しないセンサによって検知されると、回転駆動手段３が回動モータ３１を駆動し、巻回物ＲＢ１を回転させて原反ＲＳを繰り出すとともに、紙管８Ｂを回転させて剥離シートＲＬを巻き取ると同時に、シート貼付装置７が同期して回動モータ７４を駆動し、支持装置１が繰り出した原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離板７２で剥離し、当該接着シートＡＳを押圧ローラ７３で被着体ＷＫに押圧して貼付する。なお、紙管８Ｂに剥離シートＲＬが巻き取られることで巻回物ＲＢ２が形成される。

ここで、原反ＲＳが繰り出されている間は、第１変位手段５Ａが回動モータ５３Ａの出力トルクを制御し、第１従動ローラ４Ａと駆動ローラ３３とで巻回物ＲＢ１に付与する挟持力を所定の値に維持するとともに、第２変位手段５Ｂが回動モータ５３Ｂの出力トルクを制御し、第２従動ローラ４Ｂと駆動ローラ３３とで巻回物ＲＢ２に付与する挟持力を所定の値に維持する。なお、第１および第２補助ローラ６Ａ、６Ｂは、駆動ローラ３３および第１、第２従動ローラ４Ａ、４Ｂとともに各巻回物ＲＢ１、ＲＢ２を支持しながら、これら巻回物ＲＢ１、ＲＢ２の回転を補助する。

なお、第１変位手段５Ａは、繰り出された原反ＲＳによる巻回物ＲＢ１の重量減や外径減等に応じて、第１従動ローラ４Ａと駆動ローラ３３とで巻回物ＲＢ１に付与する挟持力を徐々に増大または減少するように、回動モータ５３Ａの出力トルクを制御することもできる。また、第２変位手段５Ｂは、巻き取られた剥離シートＲＬによる巻回物ＲＢ２の重量増や外径増等に応じて、第２従動ローラ４Ｂと駆動ローラ３３とで巻回物ＲＢ２に付与する挟持力を徐々に増大または減少するように、回動モータ５３Ｂの出力トルクを制御することもできる。

そして、全てまたは所定量の原反ＲＳが巻回物ＲＢ１から繰り出されたことが図示しない接触型センサや光学センサ等の検知手段や目視等で確認されると、回転駆動手段３およびシート貼付装置７が回動モータ３１、７４の駆動を停止した後、剥離板７２で折り返されている部分で原反ＲＳが図示しない切断手段や人手等によって切断される。次いで、第１変位手段５Ａが回動モータ５３Ａを駆動し、巻回物ＲＢ１を一旦駆動ローラ３３から離間させた後、回転駆動手段３およびシート貼付装置７が回動モータ３１、７４を駆動し、切断された原反ＲＳ（剥離シートＲＬ）を第２従動ローラ４Ｂで巻き取り、各回動モータ３１、７４の駆動を停止する。その後、第２変位手段５Ｂが回動モータ５３Ｂを駆動し、巻回物ＲＢ２を載置面ＴＳ２上に載置し、圧力センサや光学センサ等の図示しない検知手段によって、紙管８Ｂの内面から第２従動ローラ４Ｂが離間したことが検知された時点で回動モータ５３Ｂの駆動を停止する。次いで、第２変位手段５Ｂがリニアモータ５１Ｂを駆動し、スライダ５２Ｂを手前側に移動させて紙管８Ｂから第２従動ローラ４Ｂを抜き取る。その後、紙管８Ｂは、図示しない搬送装置等によって別工程に搬送される。

一方、巻回物ＲＢ２が駆動ローラ３３から離間すると、第１変位手段５Ａが回動モータ５３Ａを駆動し、巻回物ＲＢ１を再度駆動ローラ３３に押し当て、回転駆動手段３が回動モータ３１を駆動し、駆動ローラ３３を図１中時計回転方向に回転させて第１従動ローラ４Ａで切断された原反ＲＳを巻き取る。次いで、回転駆動手段３が回動モータ３１の駆動を停止した後、第１変位手段５Ａが回動モータ５３Ａを駆動し、巻回物ＲＢ１を載置面ＴＳ２上に載置し、上述と同様にして紙管８Ａから第１従動ローラ４Ａを抜き取る。その後、巻回物ＲＢ１は、図示しない搬送装置等によって別工程に搬送される。

以上のような本実施形態によれば、１の回転駆動手段３に対して第１および第２従動ローラ４Ａ、４Ｂを設けることができるため、回転駆動手段３の増加を抑制することができ、支持装置１の大型化を防止することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図２に基づいて説明する。
本実施形態の支持装置１Ａでは、回転駆動手段３Ａの構成と、１の回転駆動手段３Ａに対して追従回転手段としての第３から第６従動ローラ４Ｃ〜４Ｆを設けた点と、第３から第６変位手段５Ｃ〜５Ｆを設けた点とが、第１実施形態と相違する。

支持装置１Ａは、例えば、シート貼付装置７（図１）に繰り出す原反ＲＳを第３従動ローラ４Ｃにより繰出可能に支持し、シート貼付装置７または別のシート貼付装置等から送られてきた剥離シートＲＬを第４従動ローラ４Ｄにより巻取可能に支持するとともに、図示しない印刷装置に繰り出す帯状の接着シートＡＳを第５従動ローラ４Ｅにより繰出可能に支持し、当該印刷装置または別の印刷装置等で印刷が施された接着シートＡＳを第６従動ローラ４Ｆにより巻取可能に支持する。

回転駆動手段３Ａは、駆動機器としての回動モータ３１Ａの出力軸３２Ａに支持された駆動プーリ３３Ａと、駆動プーリ３３Ａから所定間隔離れた位置に設けられた従動プーリ３４Ａと、駆動プーリ３３Ａおよび従動プーリ３４Ａに巻回された無端帯状体としての無端ベルト３５Ａとを備えている。

第３から第６変位手段５Ｃ〜５Ｆは、第１実施形態の第１変位手段５Ａと同様の構成であり、それぞれの末尾Ａの記号をＣ〜Ｆに置き換えることで説明ができるので、その説明を省略する。
なお、このような第３から第６変位手段５Ｃ〜５Ｆが制御する回動モータ５３Ｃ〜５３Ｆの出力トルクは、上記度同様に、繰り出されたり、巻き取られたりすることで各巻回物ＲＢ３〜ＲＢ６の重量減や外径減、重量増や外径増等に応じて、第３から第６従動ローラ４Ｃ〜４Ｆと無端ベルト３５Ａとで各巻回物ＲＢ３〜ＲＢ６に付与する挟持力が徐々に増大または減少するように制御してもよい。

以上のような本実施形態によっても第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、１の回転駆動手段３Ａに対して第３から第６従動ローラ４Ｃ〜４Ｆを設けることができるため、１の回転駆動手段でより多くの追従回転手段を設けることができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、支持装置１、１Ａは、前記実施形態と異なる装置に対して長尺体を繰り出したり巻き取ったりしてもよい。さらに、支持装置１Ａは、２つの同じ装置に対して長尺体を繰り出したり巻き取ったりしてもよいし、４つの同じ装置または異なる装置に対し、長尺体の繰り出しと巻き取りを行う構成してもよい。さらに、支持装置１、１Ａが長尺体の繰り出しや巻き取りを行う装置は１台でも２台以上でもよいし、必ずしも繰り出しと巻き取りとを行う必要もなく、１台または２台以上の装置に長尺体を繰り出すだけの構成としてもよいし、１台または２台以上の装置から長尺体を巻き取るだけの構成としてもよい。

また、各従動ローラ４Ａ〜４Ｆおよび各変位手段５Ａ〜５Ｆは、１の回転駆動手段３、３Ａに対して複数設けられていれば、任意の数設けてもよい。
さらに、各変位手段５Ａ〜５Ｆは、各従動ローラ４Ａ〜４Ｆを支持するアームを複数設け、各従動ローラ４Ａ〜４Ｆを各紙管８Ａ〜８Ｆに貫通させた後、それら従動ローラ４Ａ〜４Ｆを回転軸方向の両側から支持する構成としてもよい。

また、各変位手段５Ａ〜５Ｆの構成は、前記実施形態で示したものに限らない。要するに、紙管８Ａ〜８Ｆや巻回物ＲＢ１〜ＲＢ６をＸ、Ｙ、Ｚ空間で任意の方向または任意の位置に移動できればよく、例えば、所謂６軸ロボット、３軸ロボット等の多関節ロボットやＸＹテーブル等で構成してもよい。

さらに、第１から第６従動ローラ４Ａ〜４Ｆで支持した長尺体の巻き取り元となるものや、繰り出し先となるものは、シート貼付装置、印刷装置以外に、例えば、長尺体の巻取装置、長尺体を所定の長さに切断する切断装置、長尺体の回収装置等、長尺体の巻き取りまたは、繰り出しを要求するものであれば何ら限定されることはない。

また、第１および第２補助ローラ６Ａ、６Ｂは必須ではないが、各補助ローラ６Ａ、６Ｂを設けることにより、駆動ローラ３３、各従動ローラ４Ａ〜４Ｆ、および各補助ローラ６Ａ、６Ｂの３点で紙管８Ａ〜８Ｆや巻回物ＲＢ１〜ＲＢ６を挟んで確実に支持することができる。

さらに、紙管８Ａ〜８Ｆに換えて樹脂管、ゴム管等であってもよいし、紙管８Ａ〜８Ｆを採用しなくてもよい。採用しない場合は、巻回された原反ＲＳの巻取中心に各従動ローラ４Ａ〜４Ｆを挿通して支持したり、各従動ローラ４Ａ〜４Ｆで剥離シートＲＬを直接巻き取るようにしたりしてもよい。
また、紙管８Ａ〜８Ｆは、長尺体によって形成されたものでもよい。

また、長尺体としては、帯状の接着シート、紙、布、鋼板、ベルト、樹脂、木板などであってもよく、長尺の糸、紐、針金、コード、チューブ、ホースなどであってもよい。
さらに、接着シートＡＳの種別や材質なども、特に限定されず、例えば、基材シートと接着剤層との間に設けられる中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。さらに、被着体ＷＫは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。また、被着体ＷＫが光ディスクの基板であって、接着シートＡＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。また、被着体ＷＫとしては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。さらに、ウェハの表面にパターン回路が形成されたものも対象とすることができる。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１、１Ａ支持装置
３、３Ａ回転駆動手段
４Ａ〜４Ｆ第１〜第６従動ローラ（追従回転手段）
３１回動モータ（駆動機器）
３５Ａ無端ベルト（無端帯状体）
ＲＬ剥離シート（長尺体）
ＲＳ原反（長尺体）

Claims

駆動機器によって回転駆動される回転駆動手段と、
前記回転駆動手段との間に長尺体を挟み込み、当該長尺体を巻取可能または繰出可能に支持する追従回転手段とを備え、
前記追従回転手段は、１の前記回転駆動手段に対して複数設けられていることを特徴とする長尺体の支持装置。
前記回転駆動手段は、回転可能な無端帯状体を備え、
前記追従回転手段は、前記無端帯状体に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載の長尺体の支持装置。
１の回転駆動手段との間に長尺体を挟み込み、当該長尺体を巻取可能または繰出可能に支持する追従回転手段を複数設ける工程と、
前記回転駆動手段を回転させ、前記複数の追従回転手段によって前記長尺体を巻き取るまたは繰り出す工程とを行うことを特徴とする長尺体の支持方法。