JP6027324B2 - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

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本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
従来、半導体製造工程において、被着体である半導体ウェハ(以下、単に「ウェハ」という場合がある)の表面に保護シートやマウント用シート、ダイシングテープ、ダイボンディングテープ等の接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1の構成では、接着シートの一方の面に仮着した剥離シートを繰り出し途中に設けた剥離ローラで急激に折り返すことによって接着シートから剥離し、ガイドローラを経て剥離材巻き取り部に巻き取る。そして剥離シートが剥離された状態の接着シートを、ウェハの外形状に切断し、ウェハの裏面に貼付する構成がとられている。つまり、予め接着シートから一方の面の剥離シートを剥離し、接着面を表出させた状態で接着シートの切断と貼付を行う構成がとられている。
特開2002−367931
しかしながら、特許文献1のように、予め接着シートから一方の剥離シートを剥離して接着面が表出した状態で接着シートを切断する場合、剥離シートを剥離して巻き取るためのローラ群が必要なため、装置の構成が複雑になり、装置全体が大型化してしまうことや、シートのセッティングに時間がかかるという問題があった。
また、接着シートから剥離シートを剥離し、接着面を表出させた状態で接着シートを搬送するので、当該接着面が表出する時間が長くなり、接着面に塵埃などの不純物が付着し、この不純物が被着体との間に混入してしまうという問題もある。
さらに、接着シートから一方の面全体の剥離シートが剥離されているため、被着体の被着面よりも省スペースとなる接着シートを形成し、当該接着シートを他方の面側から押圧して貼付する場合、切り込みの外側の接着シートも被着面に貼付されてしまうという問題もある。
本発明の目的は、大型化を抑制し、セッティングに時間がかからないシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
また、別の目的は、接着シートと被着体との間に不純物が混入することを防止できるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
さらに、別の目的は、被着体に被着体の被着面よりも小さな接着シートを貼付するときに、当該接着シートの外側に位置する接着シート部分が被着面に貼付されることのないシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、帯状接着シートの第1接着面と第2接着面とのそれぞれに帯状の第1剥離シートと第2剥離シートとが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、繰り出された前記原反に前記第1剥離シート側から前記第2剥離シートに達する切り込みを形成し、当該切り込みの内側の前記帯状接着シートに所定形状の接着シートを形成するとともに、前記切り込みの内側の第1剥離シートに第1剥離シート切断部分を形成する切断手段と、前記原反から前記第1剥離シート切断部分のみを剥離する第1剥離手段と、前記第1剥離シート切断部分が剥離されて表出した前記接着シートの前記第1接着面を被着体に押圧して貼付する押圧手段と、前記原反から前記被着体に貼付された接着シートのみを剥離する第2剥離手段と、を備え、前記切断手段は、切断刃および当該切断刃を保持する切断刃保持手段を有し、当該切断刃保持手段に前記第1剥離手段が設けられ、前記第1剥離手段は、前記切断手段にて形成された前記第1剥離シート切断部分を外縁の一部から剥離する、という構成を採用している。
一方、本発明のシート貼付方法は、帯状接着シートの第1接着面と第2接着面とのそれぞれに帯状の第1剥離シートと第2剥離シートとが仮着された原反を繰り出す工程と、繰り出された前記原反に切断刃および当該切断刃を保持する切断刃保持手段を有する切断手段で前記第1剥離シート側から前記第2剥離シートに達する切り込みを形成し、当該切り込みの内側の前記帯状接着シートに所定形状の接着シートを形成するとともに、前記切り込みの内側の第1剥離シートに第1剥離シート切断部分を形成する工程と、前記原反から前記第1剥離シート切断部分のみを前記切断刃保持手段に設けられた第1剥離手段で前記第1剥離シート切断部分の外縁の一部から剥離する工程と、前記第1剥離シート切断部分が剥離されて表出した前記接着シートの前記第1接着面を被着体に押圧して貼付する工程と、前記原反から前記被着体に貼付された接着シートのみを剥離する工程と、を備える、という構成を採用している。
以上のような本発明によれば、第1剥離シート全体を原反から剥離する必要がなくなるので、第1剥離シートを剥離して巻き取るためのガイドローラ等の設備を必要とせず、装置の構成を簡素化でき、装置の大型化を抑制できるとともに、セッティングにかかる時間を削減することができる。
また、原反から第1剥離シートを剥離した状態で帯状接着シートを搬送することなく、原反から第1剥離シート切断部分のみを剥離した後に被着体を貼付するため、第1接着面が表出する時間を短縮することができ、接着シートと被着体との間に不純物が混入することを抑制することができる。
さらに、接着シートを被着体に貼付するときに、接着シートの外側に位置する第1接着面は、第1剥離シートで覆われているため、被着体の被着面よりも小さな接着シートを貼付するときに、当該接着シートの外側に位置する第1接着面が被着面に貼付されることを防止することができる。
さらに、切断刃保持手段に第1剥離手段を設ければ、切断手段で切込形成直後に第1剥離シート切断部分を剥離でき、処理時間を短縮することができる。また、切込形成時に用いる設備と第1剥離手段に用いる設備を一体化することで、装置の構成を簡素化できる。
また、接着シートの外縁の一部から第1剥離シート切断部分を剥離することで、第1剥離シート切断部分を円滑に剥離することができる。
本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 (A),(B)は、図1のシート貼付装置の動作説明図。 (C),(D)は、図1のシート貼付装置の動作説明図。 (A),(B)は、図1のシート貼付装置の変形例の部分断面図。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
図1において、原反RSは、一方の面に第1接着面AD1を有し、他方の面に第2接着面AD2を有する帯状接着シートASと、第1接着面AD1に仮着された帯状の第1剥離シートRL1と、第2接着面AD2に仮着された帯状の第2剥離シートRL2とを備える。また、ウェハWFは、裏面WF2(上面)が被着面とされ、表面WF1(下面)に回路が形成された半導体ウェハである。
なお、第1接着面AD1に仮着される第1剥離シートRL1は、第2接着面AD2に仮着される第2剥離シートRL2よりも、帯状接着シートASから剥がれやすいように設定されている。
シート貼付装置1は、原反RSを繰り出す繰出手段2と、繰り出された原反RSに第1剥離シートRL1側から第2剥離シートRL2に達する切り込みC(図2参照)を形成し、切り込みCの内側の帯状接着シートASに所定形状の接着シートAS1(図2参照)を形成するとともに、切り込みCの内側の第1剥離シートRL1に第1剥離シート切断部分RL1A(図2参照)を形成する切断手段4と、原反RSから第1剥離シート切断部分RL1Aを剥離する第1剥離手段5と、第1剥離シート切断部分RL1Aが剥離されて表出した接着シートAS1の第1接着面AD1をウェハWFに押圧して貼付する押圧手段6と、原反RSからウェハWFに貼付された接着シートAS1を剥離する第2剥離手段8と、を備えている。
繰出手段2は、駆動機器としての回動モータ21によって駆動し、巻回された原反RSを巻回して支持する支持ローラ22と、原反RSを左方向に案内するガイドローラ26と、原反RSから接着シートAS1及び第1剥離シート切断部分RL1Aが剥離された使用済み原反RS1を上方向に案内するガイドローラ29と、駆動機器としての回動モータ30によって駆動し、使用済み原反RS1を回収する回収ローラ31とを備えている。
切断手段4は、駆動機器としての直動モータ41と、当該直動モータ41の出力軸42の先端に支持された切断刃保持手段としての保持テーブル43と、保持テーブル43に保持され切り込みCを形成する切断刃44と、駆動機器としての直動モータ45と、この直動モータ45の出力軸46に支持された押圧プレート47とを備えている。切断刃44は、ウェハWFの形状より小さい平面視で円環状に形成されている。
第1剥離手段5は、保持テーブル43の上面431に設けられた図示しない複数の吸引孔と、当該吸引孔に吸引力を発生させるための吸引ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段51と、剥離した第1剥離シート切断部分RL1Aを破棄するための図示しない破棄装置と、を備えている。
押圧手段6は、駆動機器としてのリニアモータLMによって左右方向に搬送されるテーブルTBの上方に配置された駆動機器としてのリニアモータ64と、リニアモータ64のスライダ65に支持された駆動機器としての直動モータ61と、直動モータ61の出力軸61Aに支持されたブラケット62に回転可能に支持された押圧ローラ63とを備えている。
第2剥離手段8は、駆動機器としてのリニアモータ64のスライダ66に支持された駆動機器としての回動モータ84と、回動モータ84の出力軸84Aに支持された第1剥離ローラ81と、第1剥離ローラ81との間に使用済み原反RS1を挟み込む第2剥離ローラ82と、を備えている。
以上のシート貼付装置1において、ウェハWFに接着シートAS1を貼付する手順としては、まず、図1中実線に示すように、原反RSをセットする。
次に、図2(A)に示すように、切断手段4が直動モータ41および直動モータ45を駆動し、保持テーブル43を上昇させるとともに、押圧プレート47を下降させることで、原反RSに第1剥離シートRL1側から切断刃44を差し込み、第1剥離シートRL1および帯状接着シートASを貫通し、第2剥離シートRL2を貫通しない切り込みCを形成する。これにより、切り込みCの内側に位置する帯状接着シートASに所定形状の接着シートAS1を形成するとともに、切り込みCの内側に位置する第1剥離シートRL1に第1剥離シート切断部分RL1Aを形成する。なお、切り込みCの外側に位置する帯状接着シートASおよび第1剥離シートRL1それぞれに、使用済み原反RS1を構成する接着シート周囲部分AS2および第1剥離シート周囲部分RL1Bが形成される。
次いで、図2(B)に示すように、第1剥離手段5が吸引手段51を駆動し、複数の吸引孔で第1剥離シート切断部分RL1Aを吸引する。そして、直動モータ41および直動モータ45を駆動し、保持テーブル43を下降させるとともに、押圧プレート47を上昇させることで、第1剥離シート切断部分RL1Aを接着シートAS1から剥離する。このとき、第1剥離シートRL1が第2剥離シートRL2よりも帯状接着シートASから剥がれやすいように設定されているので、接着シートAS1が第2剥離シートRL2から剥離されることはない。そして、第1剥離手段5が吸引手段51の駆動を停止させた後、図示しない破棄手段を駆動し、第1剥離シート切断部分RL1Aを破棄する。これにより、接着シートAS1の第1接着面AD1が表出した状態となる。
その後、図3(C)に示すように、テーブルTB上に載置されたウェハWFが搬送され、図1中二点鎖線で示す位置に停止すると、押圧手段6が直動モータ61およびリニアモータ64を駆動し、押圧ローラ63を下降させるとともに、押圧ローラ63を左方向に移動させる。これにより、第2剥離シートRL2側から接着シートAS1が押圧されてウェハ裏面WF2に貼付される。このように、押圧ローラ63を転動させながら接着シートAS1をウェハ裏面WF2に貼付することにより、ウェハ裏面WF2と接着シートAS1との間に介在する空気を追い出しながら貼付することができる。その後、押圧手段6が直動モータ61およびリニアモータ64を駆動し、押圧ローラ63を上昇させるとともに、押圧ローラ63を図1中二点鎖線で示す位置から図1中実線で示す位置まで移動させる。ここで、接着シートAS1をウェハWFに貼付するとき、接着シート周囲部分AS2は、第1剥離シート周囲部分RL1Bで覆われているため、本実施形態のようにウェハ裏面WF2にウェハWFの形状よりも小さい接着シートAS1を貼付する、いわゆる内径貼りを行うときに、接着シート周囲部分AS2が裏面WF2に貼付されてしまうことを防止することができる。
次に、図3(D)に示すように、第2剥離手段8が回動モータ84を駆動し、第1剥離ローラ81を回転させるとともに、押圧手段6がリニアモータ64を駆動し、第1、2剥離ローラ81、82を同図中二点鎖線で示す位置から実線で示す位置に移動する。これにより、接着シートAS1から、使用済み原反RS1が剥離され、接着シートAS1のみがウェハWFに貼付された状態となる。
次いで、接着シートAS1が貼付されたウェハWFは、図示しない搬送手段により次の加工工程へと搬送される。
そして、テーブルTBが図1中実線で示す位置に移動した後、第2剥離手段8が第1剥離ローラ81を停止させたまま、押圧手段6がリニアモータ64を駆動し、第1、2剥離ローラ81、82を図1中実線で示す位置まで移動させる。この移動に同期して繰出手段2が回動モータ21および回動モータ30を駆動し、支持ローラ22から帯状接着シートASの未使用部分を繰り出すとともに、回収ローラ31で使用済み原反RS1を巻き取る。これにより、新たな原反RSがウェハWFの裏面WF2に対向する位置に供給される。以降上述と同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、第1剥離シートRL1を単体で巻き取るための設備を必要とせず、装置の構成を簡素化でき、装置の大型化を抑制できる。また、原反RSを装置にセッティングする作業時間を短縮することができる。
さらに、原反RSから第1剥離シート切断部分RL1Aのみを剥離した後にウェハWFを貼付するため、第1接着面AD1が表出する時間を短縮することができ、接着シートAS1の第1接着面AD1に不純物が付着することを抑制することができる。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、第1剥離手段5において、図4(A)に示すように、出力軸42に保持板91Aを設けるとともに、保持板91Aの上面における左右両端に直動モータ92Aを設け、これらの直動モータ92Aの出力軸93Aに保持テーブル43を設ける構成としてもよい。そして、直動モータ92Aの出力軸93Aの出力量を調節して、保持テーブル43を傾けるようにして第1剥離シート切断部分RL1Aを順次剥離することで、第1剥離シート切断部分RL1Aの外縁の一部から当該第1剥離シート切断部分RL1Aを剥離することができ、第1剥離シート切断部分RL1Aを円滑に剥離することができる。
さらに、図4(B)に示すように、駆動機器としての回動モータ95Bで回転可能かつ図示しないリニアモータで左右方向に移動可能に設けられた切断刃保持手段としてのダイカットローラ94Bと、当該ダイカットローラ94Bの外周面に設けられた環状の切断刃44Bと、ダイカットローラ94Bにおける切断刃44Bに囲まれた部分に設けられた図示しない吸引手段とを備えていてもよい。
このような構成により、ダイカットローラ94Bを矢印の方向に回転させながら右側に移動させることで、切断刃44Bにより帯状接着シートASと第1剥離シートRL1に切り込みCを形成しつつ、第1剥離シート切断部分RL1Aを、ダイカットローラ94Bによる吸引でその外縁の一部から順次剥離することができる。
なお、第1剥離シート切断部分RL1Aに吸引力を付与する吸引手段の代わりに粘着シートを用いてもよい。
また、本発明における帯状接着シートASの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、基材シートの両面にそれぞれ第1接着剤層と第2接着剤層とを有するものや、基材シートのない接着剤層1層のみからなるものや、基材シートが2層以上のものでもよい。また、基材シートの一方の面に接着剤層を有するものでもよい。この場合は、基材シート側に仮着する剥離シートは、擬似接着などによって接着されたものが例示できる。また、被着体としての半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、表面WF1に回路が設けられていてもよいし、設けられていなくてもよい。このような半導体ウェハに貼付するシートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
さらに、テーブルTBにウェハWFを表面WF1が上向きとなるように載置し、表面WF1に接着シートAS1を貼付してもよい。
また、切断刃44の形状は、ウェハWFと同形状であってもよいし、大きくてもよく、四角、三角、楕円等形状に限定されることはない。
1…シート貼付装置
2…繰出手段
4…切断手段
5…第1剥離手段
6…押圧手段
8…第2剥離手段
43…保持テーブル(切断刃保持手段)
44、44B…切断刃
94B…ダイカットローラ(切断刃保持手段)
AD1…第1接着面
AD2…第2接着面
AS…帯状接着シート
AS1…接着シート
C…切り込み
RL1…第1剥離シート
RL1A…第1剥離シート切断部分
RL2…第2剥離シート
RS…原反
RS1…使用済み原反
WF…ウェハ(被着体)

Claims (2)

  1. 帯状接着シートの第1接着面と第2接着面とのそれぞれに帯状の第1剥離シートと第2剥離シートとが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
    繰り出された前記原反に前記第1剥離シート側から前記第2剥離シートに達する切り込みを形成し、当該切り込みの内側の前記帯状接着シートに所定形状の接着シートを形成するとともに、前記切り込みの内側の第1剥離シートに第1剥離シート切断部分を形成する切断手段と、
    前記原反から前記第1剥離シート切断部分のみを剥離する第1剥離手段と、
    前記第1剥離シート切断部分が剥離されて表出した前記接着シートの前記第1接着面を被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
    前記原反から前記被着体に貼付された接着シートのみを剥離する第2剥離手段と、を備え
    前記切断手段は、切断刃および当該切断刃を保持する切断刃保持手段を有し、当該切断刃保持手段に前記第1剥離手段が設けられ、
    前記第1剥離手段は、前記切断手段にて形成された前記第1剥離シート切断部分を外縁の一部から剥離することを特徴とするシート貼付装置。
  2. 帯状接着シートの第1接着面と第2接着面とのそれぞれに帯状の第1剥離シートと第2剥離シートとが仮着された原反を繰り出す工程と、
    繰り出された前記原反に切断刃および当該切断刃を保持する切断刃保持手段を有する切断手段で前記第1剥離シート側から前記第2剥離シートに達する切り込みを形成し、当該切り込みの内側の前記帯状接着シートに所定形状の接着シートを形成するとともに、前記切り込みの内側の第1剥離シートに第1剥離シート切断部分を形成する工程と、
    前記原反から前記第1剥離シート切断部分のみを前記切断刃保持手段に設けられた第1剥離手段で前記第1剥離シート切断部分の外縁の一部から剥離する工程と、
    前記第1剥離シート切断部分が剥離されて表出した前記接着シートの前記第1接着面を被着体に押圧して貼付する工程と、
    前記原反から前記被着体に貼付された接着シートのみを剥離する工程と、を備えることを特徴とするシート貼付方法。
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