WO2016166927A1

WO2016166927A1 - シート供給装置およびシート供給方法

Info

Publication number: WO2016166927A1
Application number: PCT/JP2016/001145
Authority: WO
Inventors: 芳昭杉下
Original assignee: リンテック株式会社
Priority date: 2015-04-17
Filing date: 2016-03-03
Publication date: 2016-10-20
Also published as: JP2016203999A; TW201637875A; CN107428427A; KR20170137715A

Abstract

本発明の目的は、第１接着シートに対する第２接着シートの積層状態を安定した状態でそれらを供給することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供することにある。シート供給装置は、第１接着シートを含む繰出対象物を繰り出す第１繰出手段と、第１繰出手段で繰り出される繰出対象物から第１接着シートを剥離する第１剥離手段と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第２原反を繰り出す第２繰出手段と、第２繰出手段で繰り出される第２原反から第２接着シートを剥離する第２剥離手段とを備え、第１繰出手段は、第１剥離手段に対して繰出対象物の繰出方向上流側に配置され、帯状の第１剥離シートの一方の面に第１接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第１原反から当該第１接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第１接着シートを第１剥離シートまたは帯状の第３剥離シートに再仮着する脱着手段を備え、第２剥離手段は、脱着手段で再仮着される第１接着シートと第１剥離シートとの間、または、第１接着シートと第３剥離シートとの間に第２接着シートを挿入して繰出対象物を形成することを特徴とする。

Description

シート供給装置およびシート供給方法

　本発明は、シート供給装置およびシート供給方法に関する。

　従来から、第１接着シートを剥離シートから剥離し、剥離した第１接着シートと第２接着シートとを積層させて供給する装置が知られている（例えば、特許文献１）。

特開２００６－１８１９９１号公報

　しかしながら、特許文献１に記載の装置では、第１のラベルＬ１（第１接着シート）と第２のラベルＬ２（第２接着シート）とを別々に吸着プレート５５に供給する構成なので、第１のラベルＬ１に対する第２のラベルＬ２の積層状態が安定しないままそれらが吸着プレート５５に供給されてしまうという不都合がある。

　本発明の目的は、第１接着シートに対する第２接着シートの積層状態を安定した状態でそれらを供給することができるシート供給装置およびシート供給方法を提供することにある。

　上述した課題を解決するために、本発明は、第１接着シートを含む繰出対象物を繰り出す第１繰出手段と、前記第１繰出手段で繰り出される繰出対象物から前記第１接着シートを剥離する第１剥離手段と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第２原反を繰り出す第２繰出手段と、前記第２繰出手段で繰り出される第２原反から前記第２接着シートを剥離する第２剥離手段とを備え、前記第１繰出手段は、前記第１剥離手段に対して前記繰出対象物の繰出方向上流側に配置され、帯状の第１剥離シートの一方の面に前記第１接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第１原反から当該第１接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第１接着シートを前記第１剥離シートまたは帯状の第３剥離シートに再仮着する脱着手段を備え、前記第２剥離手段は、前記脱着手段で再仮着される前記第１接着シートと前記第１剥離シートとの間、または、前記第１接着シートと前記第３剥離シートとの間に前記第２接着シートを挿入して前記繰出対象物を形成することを特徴とするシート供給装置である。

　前記第１繰出手段は、前記第１剥離シートの一方の面に帯状の第１接着シート基材が仮着された第１原反を繰り出すとともに、前記第１剥離手段に対して前記第１原反の繰出方向上流側に配置され、前記第１接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に前記第１接着シートを形成する第１切断手段を備えていることを特徴としてもよい。

　前記第２繰出手段は、前記第２剥離シートの一方の面に帯状の第２接着シート基材が仮着された第２原反を繰り出すとともに、前記第２剥離手段に対して前記第２原反の繰出方向上流側に配置され、前記第２接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に前記第２接着シートを形成する第２切断手段を備えていることを特徴としてもよい。

　前記第１接着シートに対する前記第２接着シートの積層状態を検知する位置ずれ検知手段を備えていることを特徴としてもよい。

　本発明の他の態様は、第１接着シートを含む繰出対象物を繰り出す第１繰出工程と、前記第１繰出工程で繰り出される繰出対象物から前記第１接着シートを剥離する第１剥離工程と、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第２原反を繰り出す第２繰出工程と、前記第２繰出工程で繰り出される第２原反から前記第２接着シートを剥離する第２剥離工程とを含み、前記第１繰出工程は、帯状の第１剥離シートの一方の面に前記第１接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第１原反から当該第１接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第１接着シートを前記第１剥離シートまたは帯状の第３剥離シートに再仮着する脱着工程を含み、前記第２剥離工程において、前記脱着工程で再仮着される前記第１接着シートと前記第１剥離シートとの間、または、前記第１接着シートと前記第３剥離シートとの間に前記第２接着シートを挿入して前記繰出対象物を形成することを特徴とするシート供給方法である。

　本発明によれば、第１接着シートを供給する前に、当該第１接着シートと第２接着シートとを積層するので、第１接着シートに対する第２接着シートの積層状態を安定した状態でそれらを供給することができる。

シート貼付装置の側面図。変形例の部分拡大図。

　以下、本発明の実施形態に係るシート供給装置を採用したシート貼付装置１０を図面に基づいて説明する。
　なお、実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

　図１において、シート貼付装置１０は、第１接着シートＡＳ１を含む繰出対象物ＬＳを繰り出す第１繰出手段２０と、第１繰出手段２０で繰り出される繰出対象物ＬＳから第１接着シートＡＳ１を剥離する第１剥離手段としての第１剥離板３０と、帯状の第２剥離シートＲＬ２の一方の面に第２接着シートＡＳ２が所定の間隔をあけて仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出す第２繰出手段４０と、第２繰出手段４０で繰り出される第２原反ＲＳ２から第２接着シートＡＳ２を剥離する第２剥離手段としての第２剥離板５０と、第１接着シートＡＳ１および第２接着シートＡＳ２をリングフレームＲＦおよび半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦからなる被着体ＷＫの一方の面に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ６０と、被着体ＷＫを支持して搬送する搬送手段７０と、第１接着シートＡＳ１に対する第２接着シートＡＳ２の積層状態を検知する位置ずれ検知手段８０とを備えている。なお、本実施形態における第１繰出手段２０と第１剥離板３０と第２繰出手段４０と第２剥離板５０と位置ずれ検知手段８０とで本願発明のシート供給装置が構成される。

　第１接着シートＡＳ１は、基材シートＢＳと当該基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤ＡＤ１層とを備えた２層構造とされ、第２接着シートＡＳ２は、接着剤ＡＤ２層を備えた１層構造とされている。

　第１繰出手段２０は、帯状の第１剥離シートＲＬ１の一方の面に第１接着シートＡＳ１が所定の間隔をあけて仮着された第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ２１と、第１原反ＲＳ１を案内する複数のガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３によって駆動される駆動ローラ２４と、第１剥離シートＲＬ１を駆動ローラ２４との間に挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって駆動され、第１剥離シートＲＬ１を回収する回収ローラ２６と、第１剥離板３０に対して繰出対象物ＬＳの繰出方向上流側に配置され、第１原反ＲＳ１から第１接着シートＡＳ１を一旦剥離し、当該一旦剥離した第１接着シートＡＳ１を第１剥離シートＲＬ１に再仮着する脱着手段２７とを備えている。
　脱着手段２７は、第１原反ＲＳ１から第１接着シートＡＳ１を一旦剥離する脱着用剥離板２７Ａと、第１接着シートＡＳ１から剥離した第１剥離シートＲＬ１を迂回させる複数のガイドローラ２７Ｂと、駆動機器としての回動モータ２７Ｃにより駆動される受けローラ２７Ｄと、受けローラ２７Ｄの駆動により従動回転し、第１接着シートＡＳ１と第１剥離シートＲＬ１とを受けローラ２７Ｄとで挟み込むピンチローラ２７Ｅとを備えている。

　第２繰出手段４０は、第２原反ＲＳ２を支持する支持ローラ４１と、第２原反ＲＳ２を案内する複数のガイドローラ４２と、駆動機器としての回動モータ４３によって駆動される駆動ローラ４４と、第２剥離シートＲＬ２を駆動ローラ４４との間に挟み込むピンチローラ４５と、図示しない駆動機器によって駆動され、第２剥離シートＲＬ２を回収する回収ローラ４６とを備えている。

　第２剥離板５０は、脱着手段２７で再仮着される第１接着シートＡＳ１と第１剥離シートＲＬ１との間に第２接着シートＡＳ２を挿入して繰出対象物ＬＳを形成するようになっている。

　搬送手段７０は、駆動機器としてのリニアモータ７１のスライダ７１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体ＷＫを保持可能な支持面７２Ａを有する搬送テーブル７２を備えている。

　位置ずれ検知手段８０は、カメラ等の撮像手段や光学センサ等からなり、透明、半透明または不透明の第１剥離シートＲＬ１を透過して第１接着シートＡＳ１に対する第２接着シートＡＳ２の積層状態を検知するようになっている。

　次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の動作について説明する。
　先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、作業者が第１原反ＲＳ１および第２原反ＲＳ２を同図のようにセットする。この際、脱着用剥離板２７Ａで第１剥離シートＲＬ１を折り返す位置から第１剥離板３０で第１剥離シートＲＬ１を折り返す位置までの間に位置する第１接着シートＡＳ１は除去しておく。

　その後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、第２繰出手段４０が回動モータ４３を駆動し、第２原反ＲＳ２を繰り出す。そして、図１に示すように、第２接着シートＡＳ２が第２剥離板５０で第２剥離シートＲＬ２から所定長さ剥離したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第２繰出手段４０が回動モータ４３の駆動を停止する。

　回動モータ４３の駆動が停止したことが確認されると、第１繰出手段２０が回動モータ２３、２７Ｃを駆動し、第１原反ＲＳ１を繰り出す。そして、第１接着シートＡＳ１が脱着用剥離板２７Ａで第１剥離シートＲＬ１から剥離され、剥離された第１接着シートＡＳ１がカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段で所定の位置に到達したことが検出されると、第２繰出手段４０が回動モータ４３を駆動し、第１原反ＲＳ１の繰出速度に合わせて第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２と第１剥離シートＲＬ１とが受けローラ２７Ｄとピンチローラ２７Ｅとで挟み込まれ、第２接着シートＡＳ２を間に挟んだ状態で第１接着シートＡＳ１が第１剥離シートＲＬ１に再仮着された繰出対象物ＬＳが形成される。

　そして、図１に示すように、先頭の第１接着シートＡＳ１が第１剥離板３０で第１剥離シートＲＬ１から所定長さ剥離したことが、カメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第１繰出手段２０が回動モータ２３、２７Ｃの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

　次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が被着体ＷＫを支持面７２Ａ上に載置すると、搬送手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、それらを吸着保持した後、リニアモータ７１を駆動し、搬送テーブル７２を左方に移動させる。そして、被着体ＷＫが所定位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検出手段に検出されると、第１繰出手段２０が回動モータ２３、２７Ｃを駆動し、搬送テーブル７２の搬送速度に合わせて第１原反ＲＳ１を繰り出す。これにより、先頭の第１接着シートＡＳ１が第２接着シートＡＳ２と共に第１剥離シートＲＬ１から剥離され、当該第１接着シートＡＳ１の外縁部がリングフレームＲＦに、第２接着シートＡＳ２がウエハＷＦに押圧ローラ６０によって押圧されて貼付され、一体物ＷＫ１が形成される。

　その後、次回貼付予定の第１接着シートＡＳ１が図示しない検出手段に検出されると、第１繰出手段２０が回動モータ２３、２７Ｃの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。なお、第１剥離板３０で剥離した第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を被着体ＷＫに貼付している最中も、第２繰出手段４０が上記と同様に駆動し、繰出対象物ＬＳを形成する。

　一体物ＷＫ１が形成されると、搬送手段７０がリニアモータ７１の駆動を停止し、搬送テーブル７２を所定の位置で停止させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止するので、人手または図示しない移送手段が、一体物ＷＫ１を次工程に搬送する。そして、搬送手段７０がリニアモータ７１を駆動し、搬送テーブル７２を初期位置に復帰させた後、上記同様の動作が繰り返される。

　なお、位置ずれ検知手段８０が第１接着シートＡＳ１に対する第２接着シートＡＳ２の積層状態を検知し、それらが所望の積層状態と違って位置ずれした状態で積層されていたり、第２接着シートＡＳ２が折れた状態で積層されていたり、第２接着シートＡＳ２が破損した状態で積層されていたりした場合、シート貼付装置１０の貼付動作を停止したり、警告ライトやブザー等の警告手段を駆動して作業者に知らせたりすることができる。

　以上のような本実施形態によれば、第１接着シートＡＳ１を供給する前に、当該第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とを積層するので、第１接着シートＡＳ１に対する第２接着シートＡＳ２の積層状態を安定した状態でそれらを供給することができる。

　本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第２繰出手段は、帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第２原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。

　第１繰出手段２０は、第１剥離シートＲＬ１の一方の面に帯状の第１接着シート基材が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出してもよい。この場合、第１繰出手段２０は、第１剥離板３０に対して第１原反ＲＳ１の繰出方向上流側に配置され、第１接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第１接着シートＡＳ１を形成する第１切断手段を備えていてもよい。
　第１切断手段としては、図１中二点鎖線で示すように、駆動機器としての回動モータ２８Ａにより回転可能に設けられ、外周に閉ループ状の切断刃２８Ｂを備えたカッターローラ２８を例示することができる。
　カッターローラ２８は、支持ローラ２１と脱着用剥離板２７Ａとの間に配置されてもよいし、脱着手段２７と第１剥離板３０との間に配置されてもよく、第１接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成できるかぎり任意の場所に配置することができる。この場合、第１繰出手段２０は、第１接着シートＡＳ１の外側に位置する不要な第１接着シート部分が第１剥離板３０に到達する前に、当該不要な第１接着シート部分を回収する回収手段を備えてもよい。
　第１繰出手段２０は、図２に示すように、第３剥離シートＲＬ３を支持する支持ローラ２９Ａと、第３剥離シートＲＬ３を案内するガイドローラ２９Ｂとを備えてもよい。この場合、第１繰出手段２０は、脱着用剥離板２７Ａで第１接着シートＡＳ１が一旦剥離された第１剥離シートＲＬ１を駆動機器によって回収する回収手段を設ければよい。そして、第２剥離板５０は、脱着手段２７で再仮着される第１接着シートＡＳ１と第３剥離シートＲＬ３との間に第２接着シートＡＳ２を挿入して繰出対象物ＬＳを形成するように配置されればよい。

　脱着手段２７は、図２に示すように、ピンチローラ２７Ｅを回動モータ２７Ｃや別の駆動機器により受けローラ２７Ｄと共に回転するようにした駆動プーリと、従動プーリ２７Ｆと、駆動プーリおよび従動プーリ２７Ｆに掛け回された平ベルトや丸ベルト等のベルト部材２７Ｇとを備えた構成としてもよいし、ベルト部材２７Ｇを介して第１接着シートＡＳ１を吸引可能な吸引手段２７Ｈを設けてもよい。
　脱着手段２７は、第１接着シートＡＳ１の繰出方向先端部や第２接着シートＡＳ２の繰出方向先端部に大気、窒素ガスやネオン等のガスや混合気を吹き付けたり、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引することで、各繰出方向先端部の折れ曲がりを防止する折れ曲がり防止手段を備えていてもよい。
　ガイドローラ２７Ｂは、１体でもよいし２体以上でもよく、ガイドローラ２７Ｂにより形成される迂回ルートの形状は、円形状、半円形状、楕円形状、矩形状、五角形以上の多角形状、それらが部分的に組み合わさった形状等何でもよい。
　脱着手段２７は、ガイドローラ２７Ｂの代わり、または、それと併用して平面や曲面で第１剥離シートＲＬ１を案内する板状のガイドプレートを採用してもよい。
　脱着手段２７は、図１、２中二点鎖線で示すように、受けローラ２７Ｄとピンチローラ２７Ｅとで第１接着シートＡＳ１を挟み込む位置よりも第１剥離シートＲＬ１または第３剥離シートＲＬ３の繰出方向上流側で、当該第１剥離シートＲＬ１または第３剥離シートＲＬ３に第２接着シートＡＳ２を仮着する構成としてもよい。
　脱着手段２７は、第２接着シートＡＳ２を第１剥離シートＲＬ１または第３剥離シートＲＬ３に仮着させてもよくさせなくてもよい。
　脱着手段２７は、ピンチローラ２７Ｅを駆動機器で駆動させ、受けローラ２７Ｄがピンチローラ２７Ｅに従動回転するように構成してもよいし、受けローラ２７Ｄおよびピンチローラ２７Ｅが駆動機器で駆動するように構成してもよい。
　脱着手段２７は、ピンチローラ２７Ｅの代わりに、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができるし、大気やガス等のエアの噴き付けにより第１接着シートＡＳ１を第１剥離シートＲＬ１に再仮着する構成も採用することができる。

　第１、第２剥離手段や脱着用剥離板２７Ａは、回転可能な剥離用ローラで構成してもよい。

　第２繰出手段４０は、第２剥離シートＲＬ２の一方の面に帯状の第２接着シート基材が仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出してもよい。この場合、第２繰出手段４０は、第２剥離板５０に対して第２原反ＲＳ２の繰出方向上流側に配置され、第２接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に第２接着シートＡＳ２を形成する第２切断手段を備えていてもよい。
　第２切断手段としては、図１中二点鎖線で示すように、例えば、駆動機器としての回動モータ４７Ａにより回転可能に設けられ、外周に閉ループ状の切断刃４７Ｂを備えたカッターローラ４７を例示することができる。この場合、第２繰出手段４０は、第２接着シートＡＳ２の外側に位置する不要な第２接着シート部分が第２剥離板５０に到達する前に、当該不要な第２接着シート部分を回収する回収手段を備えてもよい。
　第１、第２切断手段は、レーザカッタ、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材で構成してもよく、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので構成してもよい。
　第１、第２切断手段により形成される切り込みの形状は、円形、半円形状、楕円形状、矩形、五角形以上の多角形等何でもよい。
　第１、第２切断手段は、両方設けてもよいし、いずれか一方だけ設けてもよく、接着シートの形状（切込が形成されていない接着シート基材であるか否か）に合わせて任意の構成を採用することができる。

　押圧手段は、押圧ローラ６０の代わりに、第２接着シートＡＳ２が積層された第１接着シートＡＳ１を減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持し、被着体ＷＫに押圧して貼付する構成でもよい。
　押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができるし、大気やガス等のエアの噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
　押圧手段は、押圧部材を停止させておき、被着体ＷＫを移動させてもよいし、押圧部材と被着体ＷＫとの両方を移動させて押圧して貼付してもよい。

　搬送手段７０は、被着体ＷＫを停止させておき、または、被着体ＷＫを移動させつつ、第１繰出手段２０、押圧ローラ６０等の他の手段を適宜な方向に移動させて上記と同様の貼付動作を行ってもよい。
　搬送手段７０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等で被着体ＷＫを保持する構成でもよい。
　被着体ＷＫを他の装置で搬送する場合、シート貼付装置１０において搬送手段７０はあってもよいしなくてもよく、その他押圧手段等は、それぞれ必要に応じて採用すればよく、あってもよいしなくてもよい。
　シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体ＷＫの下面や側面に第２接着シートＡＳ２が積層された第１接着シートＡＳ１を貼付するように構成してもよい。

　位置ずれ検知手段８０は、第１接着シートＡＳ１を透過して当該第１接着シートＡＳ１に対する第２接着シートＡＳ２の積層状態を検知するように構成してもよいし、シート貼付装置１０や本願発明のシート供給装置においてなくてもよい。なお、基材シートＢＳおよび接着剤ＡＤ１層は、それぞれが透明、半透明または不透明でもよく、位置ずれ検知手段８０は、そのような第１接着シートＡＳ１を透過して第２接着シートＡＳ２の積層状態を検知することができる。

　前記実施形態では、本願発明のシート供給装置を採用したシート貼付装置１０を図示して説明したが、シート供給装置を単体として使用してもよく、この場合、シート供給装置から供給された、第２接着シートＡＳ２が積層された第１接着シートＡＳ１を人手で保持し、被着体ＷＫに貼付することができる。
　第１接着シートＡＳ１の平面形状の大きさは、第２接着シートＡＳ２よりも大きくてもよいし、同じ大きさでもよいし、小さくてもよい。
　シート貼付装置１０（本願発明のシート供給装置）がスタンバイ状態のとき、または、停止中に、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とが受けローラ２７Ｄとピンチローラ２７Ｅとの間に挟み込まれていない状態とする変位手段を設けてもよい。このような変位手段は、脱着用剥離板２７Ａと受けローラ２７Ｄとピンチローラ２７Ｅとを第１原反ＲＳ１の繰出方向上流側または下流側に移動させる構成とすることができる。これにより、第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とが受けローラ２７Ｄとピンチローラ２７Ｅとの間に挟み込まれている状態で再び繰り出されたときに、それらに速度差ができて何れか一方が引っ張られたり、何れか一方に皺ができたりすることを防止したり、受けローラ２７Ｄとピンチローラ２７Ｅとで第１接着シートＡＳ１と第２接着シートＡＳ２とに押し跡が形成されることを防止したりすることができる。

　さらに、本発明における第１接着シートＡＳ１、第２接着シートＡＳ２、被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とからなるもの、それらの間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよいし、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、ウエハＷＦだけでもよいしリングフレームＲＦだけでもよいし、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

　また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

２０・・・第１繰出手段
２７・・・脱着手段
２８・・・カッターローラ（第１切断手段）
３０・・・第１剥離板（第１剥離手段）
４０・・・第２繰出手段
４７・・・カッターローラ（第２切断手段）
５０・・・第２剥離板（第２剥離手段）
８０・・・位置ずれ検知手段
ＡＳ１・・・第１接着シート
ＡＳ２・・・第２接着シート
ＬＳ・・・繰出対象物
ＲＬ１・・・第１剥離シート
ＲＬ２・・・第２剥離シート
ＲＬ３・・・第３剥離シート
ＲＳ１・・・第１原反
ＲＳ２・・・第２原反

Claims

　第１接着シートを含む繰出対象物を繰り出す第１繰出手段と、
　前記第１繰出手段で繰り出される繰出対象物から前記第１接着シートを剥離する第１剥離手段と、
　帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第２原反を繰り出す第２繰出手段と、
　前記第２繰出手段で繰り出される第２原反から前記第２接着シートを剥離する第２剥離手段とを備え、
　前記第１繰出手段は、前記第１剥離手段に対して前記繰出対象物の繰出方向上流側に配置され、帯状の第１剥離シートの一方の面に前記第１接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第１原反から当該第１接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第１接着シートを前記第１剥離シートまたは帯状の第３剥離シートに再仮着する脱着手段を備え、
　前記第２剥離手段は、前記脱着手段で再仮着される前記第１接着シートと前記第１剥離シートとの間、または、前記第１接着シートと前記第３剥離シートとの間に前記第２接着シートを挿入して前記繰出対象物を形成することを特徴とするシート供給装置。
　前記第１繰出手段は、前記第１剥離シートの一方の面に帯状の第１接着シート基材が仮着された第１原反を繰り出すとともに、前記第１剥離手段に対して前記第１原反の繰出方向上流側に配置され、前記第１接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に前記第１接着シートを形成する第１切断手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート供給装置。
　前記第２繰出手段は、前記第２剥離シートの一方の面に帯状の第２接着シート基材が仮着された第２原反を繰り出すとともに、前記第２剥離手段に対して前記第２原反の繰出方向上流側に配置され、前記第２接着シート基材に閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に前記第２接着シートを形成する第２切断手段を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のシート供給装置。
　前記第１接着シートに対する前記第２接着シートの積層状態を検知する位置ずれ検知手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のシート供給装置。
　第１接着シートを含む繰出対象物を繰り出す第１繰出工程と、
　前記第１繰出工程で繰り出される繰出対象物から前記第１接着シートを剥離する第１剥離工程と、
　帯状の第２剥離シートの一方の面に第２接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第２原反を繰り出す第２繰出工程と、
　前記第２繰出工程で繰り出される第２原反から前記第２接着シートを剥離する第２剥離工程とを含み、
　前記第１繰出工程は、帯状の第１剥離シートの一方の面に前記第１接着シートが所定の間隔をあけて仮着された第１原反から当該第１接着シートを一旦剥離し、当該一旦剥離した第１接着シートを前記第１剥離シートまたは帯状の第３剥離シートに再仮着する脱着工程を含み、
　前記第２剥離工程において、前記脱着工程で再仮着される前記第１接着シートと前記第１剥離シートとの間、または、前記第１接着シートと前記第３剥離シートとの間に前記第２接着シートを挿入して前記繰出対象物を形成することを特徴とするシート供給方法。