CN107428427A - 片材供给装置及片材供给方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种能够在使第二粘接片材相对于第一粘接片材的层叠状态稳定的状态下对它们进行供给的片材供给装置及片材供给方法。片材供给装置的特征在于，具有：第一输出装置，其输出包含第一粘接片材的输出对象物；第一剥离装置，其从由第一输出装置输出的输出对象物剥离第一粘接片材；第二输出装置，其输出使第二粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第二剥离片材的一个面而成的第二卷材；第二剥离装置，其从由第二输出装置输出的第二卷材剥离第二粘接片材；第一输出装置具有剥离/粘接装置，该剥离/粘接装置相对于第一剥离装置配置在输出对象物的输出方向上游侧，从使第一粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第一剥离片材的一个面而成的第一卷材暂时剥离该第一粘接片材，并将暂时剥离的该第一粘接片材再次暂时粘接于第一剥离片材或带状的第三剥离片材，第二剥离装置向由剥离/粘接装置再次暂时粘接的第一粘接片材与第一剥离片材之间或者第一粘接片材与第三剥离片材之间插入第二粘接片材而形成输出对象物。

Description

片材供给装置及片材供给方法

技术领域

本发明涉及一种片材供给装置及片材供给方法。

背景技术

以往以来，公知有将第一粘接片材从剥离片材剥离，并使剥离的第一粘接片材与第二粘接片材层叠而进行供给的装置(例如，专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006－181991号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

但是，在专利文献1所记载的装置中，因为是将第一标签L1(第一粘接片材)和第二标签L2(第二粘接片材)分别供给到吸附板55的结构，所以有在第二标签L2相对于第一标签L1的层叠状态不稳定的状态下将它们供给到吸附板55的不良情况。

本发明的目的在于提供一种能够在使第二粘接片材相对于第一粘接片材的层叠状态稳定的状态下对它们进行供给的片材供给装置及片材供给方法。

用于解决技术问题的手段

为了解决上述技术问题，本发明的片材供给装置的特征在于，具有：第一输出装置，其输出包含第一粘接片材的输出对象物；第一剥离装置，其从由所述第一输出装置输出的输出对象物剥离所述第一粘接片材；第二输出装置，其输出使第二粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第二剥离片材的一个面而成的第二卷材；第二剥离装置，其从由所述第二输出装置输出的第二卷材剥离所述第二粘接片材；所述第一输出装置具有剥离/粘接装置，该剥离/粘接装置相对于所述第一剥离装置配置在所述输出对象物的输出方向上游侧，从使所述第一粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第一剥离片材的一个面而成的第一卷材暂时剥离该第一粘接片材，并将暂时剥离的该第一粘接片材再次暂时粘接于所述第一剥离片材或带状的第三剥离片材，所述第二剥离装置向由所述剥离/粘接装置再次暂时粘接的所述第一粘接片材与所述第一剥离片材之间或者所述第一粘接片材与所述第三剥离片材之间插入所述第二粘接片材而形成所述输出对象物。

本发明的片材供给装置的特征也可以在于，所述第一输出装置输出使带状的第一粘接片材基材暂时粘接在所述第一剥离片材的一个面而成的第一卷材，并且具有第一切断装置，所述第一切断装置相对于所述第一剥离装置配置在所述第一卷材的输出方向上游侧，在所述第一粘接片材基材上形成闭环状的切割线，在该切割线的内侧形成所述第一粘接片材。

本发明的片材供给装置的特征也可以在于，所述第二输出装置输出使带状的第二粘接片材基材暂时粘接在所述第二剥离片材的一个面而成的第二卷材，并且具有第二切断装置，所述第二切断装置相对于所述第二剥离装置配置在所述第二卷材的输出方向上游侧，在所述第二粘接片材基材上形成闭环状的切割线，在该切割线的内侧形成所述第二粘接片材。

本发明的片材供给装置的特征也可以在于，具有错位检测装置，所述错位检测装置检测所述第二粘接片材相对于所述第一粘接片材的层叠状态。

本发明的其他方式是片材供给方法，其特征在于，包含：第一输出工序，输出包含第一粘接片材的输出对象物；第一剥离工序，从由所述第一输出工序输出的输出对象物剥离所述第一粘接片材；第二输出工序，输出使第二粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第二剥离片材的一个面而成的第二卷材；第二剥离工序，从由所述第二输出工序输出的第二卷材剥离所述第二粘接片材；所述第一输出工序包含剥离/粘接工序，该剥离/粘接工序从使所述第一粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第一剥离片材的一个面而成的第一卷材暂时剥离该第一粘接片材，并将暂时剥离的该第一粘接片材再次暂时粘接于所述第一剥离片材或带状的第三剥离片材，在所述第二剥离工序中，向由所述剥离/粘接工序再次暂时粘接的所述第一粘接片材与所述第一剥离片材之间或者所述第一粘接片材与所述第三剥离片材之间插入所述第二粘接片材而形成所述输出对象物。

发明的效果

根据本发明，因为在供给第一粘接片材前将该第一粘接片材和第二粘接片材层叠，所以能够在使第二粘接片材相对于第一粘接片材的层叠状态稳定的状态下对它们进行供给。

附图说明

图1是片材粘贴装置的侧视图。

图2是变形例的局部放大图。

具体实施方式

以下，基于附图，对采用本发明的实施方式的片材供给装置的片材粘贴装置10进行说明。

需要说明的是，实施方式中的X轴、Y轴、Z轴是彼此正交的关系，将X轴及Y轴设为规定平面内的轴，将Z轴设为正交于该规定平面的轴。而且，在实施方式中，在以从平行于Y轴的图1的近前方向观察的情况为基准来表示方向的情况下，“上”是Z轴的箭头方向，“下”是它的相反方向，“左”是X轴的箭头方向，“右”是它的相反方向，“前”是正交于纸面的近前方向且是Y轴的箭头方向，“后”是它的相反方向。

在图1中，片材粘贴装置10具有：第一输出装置20，其输出包含第一粘接片材AS1的输出对象物LS；作为第一剥离装置的第一剥离板30，其从由第一输出装置20输出的输出对象物LS剥离第一粘接片材AS1；第二输出装置40，其输出使第二粘接片材AS2隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第二剥离片材RL2的一个面而成的第二卷材(第2原反)RS2；作为第二剥离装置的第二剥离板50，其从由第二输出装置40输出的第二卷材RS2剥离第二粘接片材AS2；作为按压装置的按压辊60，其将第一粘接片材AS1及第二粘接片材AS2向由环状框RF及半导体晶片(以下，有仅称为“晶片”的情况)WF构成的被粘接体WK的一个面上按压而粘贴；搬送装置70，其支承并搬送被粘接体WK；错位检测装置80，其检测第二粘接片材AS2相对于第一粘接片材AS1的层叠状态。此外，利用本实施方式中的第一输出装置20、第一剥离板30、第二输出装置40、第二剥离板50和错位检测装置80构成本发明的片材供给装置。

第一粘接片材AS1是具有基材片材BS和层叠于该基材片材BS的一个面上的粘接剂AD1层的双层结构，第二粘接片材AS2是具有粘接剂AD2层的单层结构。

第一输出装置20具有：支承辊21，其支承使第一粘接片材AS1隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第一剥离片材RL1的一个面而成的第一卷材(第1原反)RS1；多个引导辊22，其引导第一卷材RS1；驱动辊24，其由作为驱动设备的旋转马达2驱动；夹送辊25，其将第一剥离片材RL1夹在其与驱动辊24之间；回收辊26，其由未图示的驱动设备驱动，回收第一剥离片材RL1；剥离/粘接装置27，其相对于第一剥离板30配置在输出对象物LS的输出方向上游侧，从第一卷材RS1暂时剥离第一粘接片材AS1，将该暂时剥离的第一粘接片材AS1再暂时粘接于第一剥离片材RL1。

剥离/粘接装置27具有：剥离/粘接用剥离板27A，其从第一卷材RS1暂时剥离第一粘接片材AS1；多个引导辊27B，其使从第一粘接片材AS1剥离的第一剥离片材RL1迂回；托辊27D，其由作为驱动设备的旋转马达27C驱动；夹送辊27E，其通过托辊27D的驱动而从动旋转，与托辊27D一起夹持第一粘接片材AS1和第一剥离片材RL1。

第二输出装置40具有：支承辊41，其支承第二卷材RS2；多个引导辊42，其引导第二卷材RS2；驱动辊44，其由作为驱动设备的旋转马达43驱动；夹送辊45，其将第二剥离片材RL2夹在其与驱动辊44之间；回收辊46，其由未图示的驱动设备驱动，回收第二剥离片材RL2。

第二剥离板50将第二粘接片材AS2插入被剥离/粘接装置27再次暂时粘接的第一粘接片材AS1与第一剥离片材RL1之间而形成输出对象物LS。

搬送装置70具有搬送台72，所述搬送台72支承于作为驱动设备的线性马达71的滑块71A，具有能够利用减压泵、真空喷射器等未图示的减压装置保持被粘接体WK的支承面72A。

错位检测装置80由照相机等摄影装置、光学传感器等构成，透过透明、半透明或不透明的第一剥离片材RL1检测第二粘接片材AS2相对于第一粘接片材AS1的层叠状态。

接着，对本实施方式的片材粘贴装置10的动作进行说明。

首先，针对各部件在初始位置待机的图1中实线所示的片材粘贴装置10，作业者如该图所示那样设置第一卷材RS1及第二卷材RS2。此时，去除从第一剥离片材RL1利用剥离/粘接用剥离板27A折返的位置至第一剥离片材RL1利用第一剥离板30折返的位置之间的第一粘接片材AS1。

之后，如果经由未图示的操作面板或个人计算机等输入装置输入开始自动运转的信号，则第二输出装置40驱动旋转马达43，输出第二卷材RS2。接着，如图1所示，如果照相机等摄影装置或光学传感器等未图示的检测装置到第二粘接片材AS2被第二剥离板50从第二剥离片材RL2剥离出了规定长度，则第二输出装置40停止旋转马达43的驱动。

如果确认到旋转马达43的驱动停止，则第一输出装置20驱动旋转马达23、27C，输出第一卷材RS1。接着，利用剥离/粘接用剥离板27A从第一剥离片材RL1剥离第一粘接片材AS1，如果利用照相机等摄影装置或光学传感器等未图示的检测装置检测到剥离的第一粘接片材AS1到达规定的位置，则第二输出装置40驱动旋转马达43，与第一卷材RS1的输出速度匹配地输出第二卷材RS2。由此，利用托辊27D和夹送辊27E夹持第一粘接片材AS1、第二粘接片材AS2和第一剥离片材RL1，在第二粘接片材AS2被夹在第一粘接片材AS1和第一剥离片材RL1之间的状态下将第一粘接片材AS1再次暂时粘接于第一剥离片材RL1，形成输出对象物LS。

接着，如图1所示，如果照相机等摄影装置或光学传感器等未图示的检测装置检测到前头的第一粘接片材AS1被第一剥离板30从第一剥离片材RL1剥离出了规定长度，则第一输出装置20停止旋转马达23、27C的驱动，进入等待状态。

接着，如果通过人工方式或者通过多关节机械手或输送带等未图示的移送装置将被粘接体WK载置到了支承面72A上，则搬送装置70驱动未图示的减压装置，对它们进行吸附保持，之后，驱动线性马达71，使搬送台72向左方移动。接着，如果照相机等摄影装置或光学传感器等未图示的检测装置检测到被粘接体WK到达规定位置，则第一输出装置20驱动旋转马达23、27C，与搬送台72的搬送速度匹配地输出第一卷材RS1。由此，将前头的第一粘接片材AS1与第二粘接片材AS2一起从第一剥离片材RL1剥离，利用按压辊60将该第一粘接片材AS1的外缘部按压于环状框RF，并将第二粘接片材AS2按压于晶片WF，形成一体物WK1。

之后，如果未图示的检测装置检测到下一次计划粘贴的第一粘接片材AS1，则第一输出装置20停止旋转马达23、27C的驱动，再次进入等待状态。此外，在将由第一剥离板30剥离的第一、第二粘接片材AS1、AS2粘贴到被粘接体WK的过程中，第二输出装置40也与上述相同地驱动，形成输出对象物LS。

如果形成了一体物WK1，则搬送装置70停止线性马达71的驱动，使搬送台72在规定的位置停止，之后，停止未图示的减压装置的驱动，所以通过人工方式或者通过未图示的移送装置将一体物WK1搬送到下一工序。接着，搬送装置70驱动线性马达71，使搬送台72回归到初始位置，之后，重复与上述相同的动作。

此外，错位检测装置80检测第二粘接片材AS2相对于第一粘接片材AS1的层叠状态，在第二粘接片材AS2和第一粘接片材AS1以与所希望的层叠状态不同而错位的状态层叠、或以第二粘接片材AS2弯折的状态层叠、或以第二粘接片材AS2破损的状态层叠的情况下，能够停止片材粘贴装置10的粘贴动作或驱动警报灯、蜂鸣器等警报装置而通知作业者。

根据以上本实施方式，因为在供给第一粘接片材AS1前将该第一粘接片材AS1和第二粘接片材AS2层叠，所以能够在使第二粘接片材AS2相对于第一粘接片材AS1的层叠状态稳定的状态下对它们进行供给。

本发明的装置及工序只要能够实现对这些装置及工序进行说明的动作、功能或工序即可，没有任何限定，而且，完全不限定于所述实施方式所示的一实施方式的结构部和工序。例如，第二输出装置如果是能够输出使第二粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第二剥离片材的一个面而成的第二卷材的装置，则只要对照申请之初的技术常识在其范围内即可，没有任何限定(省略对其他装置及工序的说明)。

第一输出装置20也可以输出使带状的第一粘接片材基材暂时粘接在第一剥离片材RL1的一个面而成的第一卷材RS1。在该情况下，第一输出装置20也可以具有第一切断装置，所述第一切断装置相对于第一剥离板30配置在第一卷材RS1的输出方向上游侧，在第一粘接片材基材上形成闭环状的切割线，在该切割线的内侧形成第一粘接片材AS1。

作为第一切断装置，可列举出切断辊28，如图1中双点划线所示，切断辊28被设置为能够利用作为驱动设备的旋转马达28A而旋转，在外周具有闭环状的切断刀28B。

切断辊28既可以配置在支承辊21与剥离/粘接用剥离板27A之间，也可以配置在剥离/粘接装置27与第一剥离板30之间，切断辊28能够配置在任意部位，只要能够在第一粘接片材基材上形成闭环状的切割线即可。在该情况下，第一输出装置20也可以具有回收装置，所述回收装置在位于第一粘接片材AS1的外侧的不需要的第一粘接片材部分到达第一剥离板30前，回收该不需要的第一粘接片材部分。

如图2所示，第一输出装置20也可以具有支承第三剥离片材RL3的支承辊29A和引导第三剥离片材RL3的引导辊29B。在该情况下，第一输出装置20也可以设置回收装置，该回收装置利用驱动设备回收由剥离/粘接用剥离板27A暂时剥离了第一粘接片材AS1的第一剥离片材RL1。并且，第二剥离板50只要配置为向由剥离/粘接装置27再次暂时粘接的第一粘接片材AS1与第三剥离片材RL3之间插入第二粘接片材AS2而形成输出对象物LS即可。

如图2所示，剥离/粘接装置27既可以构成为具有利用旋转马达27C或其他驱动设备使夹送辊27E与托辊27D一起旋转的驱动带轮、从动带轮27F和卷挂于驱动带轮及从动带轮27F的平带或圆带等带部件27G，也可以设置能够经由带部件27G吸引第一粘接片材AS1的吸引装置27H。

剥离/粘接装置27也可以具有弯折防止装置，所述弯折防止装置向第一粘接片材AS1的输出方向前端部和第二粘接片材AS2的输出方向前端部吹出大气、氮气、氖等气体或混合气体，或利用减压泵、真空喷射器等未图示的减压装置进行吸引，从而防止各输出方向前端部的弯折。

引导辊27B既可以是一个，也可以是两个以上，由引导辊27B形成的迂回路径的形状可以是圆形形状、半圆形形状、椭圆形形状、矩形形状、五边形以上的多边形形状、将它们局部组合而成的形状等。

剥离/粘接装置27也可以取代引导辊27B、或者同时采用利用平面或曲面引导第一剥离片材RL1的板状的导向板。

如图1、图2中双点划线所示，剥离/粘接装置27可以构成为，在比利用托辊27D和夹送辊27E夹持第一粘接片材AS1的位置更靠第一剥离片材RL1或第三剥离片材RL3的输出方向上游侧的位置，将第二粘接片材AS2暂时粘接于该第一剥离片材RL1或第三剥离片材RL3。

剥离/粘接装置27既可以使第二粘接片材AS2暂时粘接于第一剥离片材RL1或第三剥离片材RL3，也可以不使第二粘接片材AS2暂时粘接于第一剥离片材RL1或第三剥离片材RL3。

剥离/粘接装置27既可以构成为，利用驱动设备驱动夹送辊27E，使托辊27D从动于夹送辊27E进行旋转，也可以构成为利用驱动设备驱动托辊27D及夹送辊27E。

剥离/粘接装置27既能够采用板材、橡胶、树脂、海绵等制成的按压部件来代替夹送辊27E，也能够采用通过喷射大气或气体等空气将第一粘接片材AS1再次暂时粘接于第一剥离片材RL1的结构来代替夹送辊27E。

第一、第二剥离装置和剥离/粘接用剥离板27A可以由能够旋转的剥离用辊构成。

第二输出装置40也可以输出使带状的第二粘接片材基材暂时粘接在第二剥离片材RL2的一个面而成的第二卷材RS2。在该情况下，第二输出装置40也可以具有第二切断装置，所述第二切断装置相对于第二剥离板50配置于第二卷材RS2的输出方向上游侧，在第二粘接片材基材上形成闭环状的切割线，在该切割线的内侧形成第二粘接片材AS2。

作为第二切断装置，可列举出切断辊47，如图1中双点划线所示，切断辊47被设置为能够利用作为驱动设备的旋转马达47A而旋转，在外周具有闭环状的切断刀47B。在该情况下，第二输出装置40也可以具有回收装置，所述回收装置在位于第二粘接片材AS2的外侧的不需要的第二粘接片材部分到达第二剥离板50前，回收该不需要的第二粘接片材部分。

第一、第二切断装置既可以由激光切割器、电热线、气体或液体等的喷射器等切断部件构成，也可以由组合多关节机械手和适当的驱动设备而成的结构构成。

由第一、第二切断装置形成的切割线的形状可以圆形、半圆形形状、椭圆形形状、矩形、五边形以上的多边形等。

第一、第二切断装置可以两者都设置，也可以仅设置任一者，能够根据粘接片材的形状(是否是没有形成切割线的粘接片材基材)而采用任意的结构。

代替按压辊60，按压装置也可以构成为，利用减压泵、真空喷射器等减压装置对层叠有第二粘接片材AS2的第一粘接片材AS1进行吸附保持，并将其按压并粘贴于被粘接体WK。

按压装置既能够采用板材、橡胶、树脂、海绵等制成的按压部件，也能够采用通过喷射大气或气体等空气进行按压的结构。

按压装置既可以使按压部件停止并使被粘接体WK移动，也可以使按压部件和被粘接体WK两者都移动而进行按压粘贴。

搬送装置70可以预先使被粘接体WK停止，或者在使被粘接体WK移动的同时，使第一输出装置20、按压辊60等其他装置向适当方向移动而进行与上述相同的粘贴动作。

搬送装置70可以构成为利用机械卡盘、卡盘缸体等卡盘装置、库伦力、粘接剂、粘着剂、磁力、伯努利吸附等保持被粘接体WK。

在利用其他装置搬送被粘接体WK的情况下，在片材粘贴装置10中既可以有搬送装置70也可以没有搬送装置70，其他按压装置等只要分别根据需要采用即可，可以有也可以没有。

片材粘贴装置10可以构成为上下翻转地配置或横向配置，从而在被粘接体WK的下表面或侧面粘贴层叠有第二粘接片材AS2的第一粘接片材AS1。

错位检测装置80可以构成为，透过第一粘接片材AS1检测第二粘接片材AS2相对于该第一粘接片材AS1的层叠状态，也可以不配置在片材粘贴装置10和本发明的片材供给装置中。此外，基材片材BS及粘接剂AD1层可以分别为透明、半透明或不透明，错位检测装置80能够透过这样的第一粘接片材AS1检测第二粘接片材AS2的层叠状态。

在所述实施方式中，图示了采用本发明的片材供给装置的片材粘贴装置10而进行了说明，但可以单独使用片材供给装置，在该情况下，能够通过人工方式保持从片材供给装置供给来的层叠有第二粘接片材AS2的第一粘接片材AS1，并将其粘贴于被粘接体WK。

第一粘接片材AS1的平面形状的大小可以比第二粘接片材AS2大，可以是相同大小，可以比其小。

也可以设置位移装置，所述位移装置在片材粘贴装置10(本发明的片材供给装置)处于等待状态时，或者在停止过程中，切换为不将第一粘接片材AS1和第二粘接片材AS2夹持在托辊27D与夹送辊27E之间的状态。这样的位移装置能够构成为使剥离/粘接用剥离板27A、托辊27D和夹送辊27E向第一卷材RS1的输出方向上游侧或下流侧移动。由此，在第一粘接片材AS1和第二粘接片材AS2被以夹持在托辊27D与夹送辊27E之间的状态再次输出时，能够防止第一粘接片材AS1和第二粘接片材AS2存在速度差而使任一方拉伸或者使任一方产生褶皱，能够防止因托辊27D和夹送辊27E而在第一粘接片材AS1和第二粘接片材AS2上形成压痕。

而且，本发明的第一粘接片材AS1、第二粘接片材AS2、被粘接体WK的材质、种类、形状等不特别限定。例如，第一、第二粘接片材AS1、AS2不限定于感压粘接性、感热粘接性等粘接方式。在采用感热粘接性的片材的情况下，只要设置对该第一、第二粘接片材AS1、AS2进行加热的适当的线圈加热器、加热管的加热侧等的加热装置即可。另外，这样的第一、第二粘接片材AS1、AS2可以是例如仅有粘接剂层的单层结构、由基材片材和粘接剂层构成的结构、在基材片材和粘接剂层之间具有中间层的结构、在基材片材的上表面具有保护层的三层以上的结构、甚至是能够将基材片材从粘接剂层剥离的所谓的双面粘接片材的结构，双面粘接片材可以是具有单层或多层的中间层的结构、没有中间层的单层或多层结构。另外，作为被粘接体WK，例如既可以仅是晶片WF，也可以仅是环状框RF，食品、树脂容器、硅半导体晶片或化合物半导体晶片等半导体晶片、电路基板、电极基板、光盘等信息记录基板、玻璃板、钢板、陶器、木板或树脂板等任意形态的部件或物品等也能够作为对象。此外，第一、第二粘接片材AS1、AS2可以更换为功能上、用途上的称呼，例如，信息记载用标签、装饰用标签、保护片材、切割带(ダイシングテープ)、芯片贴装膜(ダイアタッチフィルム)、切割芯片粘贴带(ダイボンディングテープ)、记录层形成树脂片材等任意的片材、薄膜、带等。

另外，所述实施方式的驱动设备能够采用旋转马达、直动马达、线性马达、单轴机械手、多关节机械手等电动设备、气压缸、液压缸、无杆缸体及旋转缸体等促动器等，在此基础上，能够采用直接或间接地组合它们而成的结构(也存在与实施方式所示例的结构重复的情况)。

附图标记说明

20 第一输出装置

27 剥离/粘接装置

28 切断辊(第一切断装置)

30 第一剥离板(第一剥离装置)

40 第二输出装置

47 切断辊(第二切断装置)

50 第二剥离板(第二剥离装置)

80 错位检测装置

AS1 第一粘接片材

AS2 第二粘接片材

LS 输出对象物

RL1 第一剥离片材

RL2 第二剥离片材

RL3 第三剥离片材

RS1 第一卷材

RS2 第二卷材

Claims (5)

1.一种片材供给装置，其特征在于，具有：

第一输出装置，其输出包含第一粘接片材的输出对象物；

第一剥离装置，其从由所述第一输出装置输出的输出对象物剥离所述第一粘接片材；

第二输出装置，其输出使第二粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第二剥离片材的一个面而成的第二卷材；

第二剥离装置，其从由所述第二输出装置输出的第二卷材剥离所述第二粘接片材；

所述第一输出装置具有剥离/粘接装置，该剥离/粘接装置相对于所述第一剥离装置配置在所述输出对象物的输出方向上游侧，从使所述第一粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第一剥离片材的一个面而成的第一卷材暂时剥离该第一粘接片材，并将暂时剥离的该第一粘接片材再次暂时粘接于所述第一剥离片材或带状的第三剥离片材，

所述第二剥离装置向由所述剥离/粘接装置再次暂时粘接的所述第一粘接片材与所述第一剥离片材之间或者所述第一粘接片材与所述第三剥离片材之间插入所述第二粘接片材而形成所述输出对象物。

2.如权利要求1所述的片材供给装置，其特征在于，

所述第一输出装置输出使带状的第一粘接片材基材暂时粘接在所述第一剥离片材的一个面而成的第一卷材，并且，所述第一输出装置具有第一切断装置，所述第一切断装置相对于所述第一剥离装置配置在所述第一卷材的输出方向上游侧，在所述第一粘接片材基材上形成闭环状的切割线，在该切割线的内侧形成所述第一粘接片材。

3.如权利要求1或2所述的片材供给装置，其特征在于，

所述第二输出装置输出使带状的第二粘接片材基材暂时粘接在所述第二剥离片材的一个面而成的第二卷材，并且，所述第二输出装置具有第二切断装置，所述第二切断装置相对于所述第二剥离装置配置在所述第二卷材的输出方向上游侧，在所述第二粘接片材基材上形成闭环状的切割线，在该切割线的内侧形成所述第二粘接片材。

4.如权利要求1至3中任一项所述的片材供给装置，其特征在于，

具有错位检测装置，所述错位检测装置检测所述第二粘接片材相对于所述第一粘接片材的层叠状态。

5.一种片材供给方法，其特征在于，包含：

第一输出工序，输出包含第一粘接片材的输出对象物；

第一剥离工序，从由所述第一输出工序输出的输出对象物剥离所述第一粘接片材；

第二输出工序，输出使第二粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第二剥离片材的一个面而成的第二卷材；

第二剥离工序，从由所述第二输出工序输出的第二卷材剥离所述第二粘接片材；

所述第一输出工序包含剥离/粘接工序，该剥离/粘接工序从使所述第一粘接片材隔开规定间隔地暂时粘接在带状的第一剥离片材的一个面而成的第一卷材暂时剥离该第一粘接片材，并将暂时剥离的该第一粘接片材再次暂时粘接于所述第一剥离片材或带状的第三剥离片材，

在所述第二剥离工序中，向由所述剥离/粘接工序再次暂时粘接的所述第一粘接片材与所述第一剥离片材之间或者所述第一粘接片材与所述第三剥离片材之间插入所述第二粘接片材而形成所述输出对象物。