KR20170137715A

KR20170137715A - 시트 공급 장치 및 시트 공급 방법

Info

Publication number: KR20170137715A
Application number: KR1020177025331A
Authority: KR
Inventors: 요시아키 스기시타
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2015-04-17
Filing date: 2016-03-03
Publication date: 2017-12-13
Also published as: TW201637875A; CN107428427A; JP2016203999A; WO2016166927A1

Abstract

본 발명의 목적은, 제1 접착 시트에 대한 제2 접착 시트의 적층 상태를 안정된 상태로 그것들을 공급할 수 있는 시트 공급 장치 및 시트 공급 방법을 제공하는 데 있다. 시트 공급 장치는, 제1 접착 시트를 포함하는 조출 대상물을 조출하는 제1 조출 수단과, 제1 조출 수단으로 조출되는 조출 대상물로부터 제1 접착 시트를 박리하는 제1 박리 수단과, 띠 형상의 제2 박리 시트의 한쪽 면에 제2 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제2 원단을 조출하는 제2 조출 수단과, 제2 조출 수단으로 조출되는 제2 원단으로부터 제2 접착 시트를 박리하는 제2 박리 수단을 구비하고, 제1 조출 수단은, 제1 박리 수단에 대하여 조출 대상물의 조출 방향 상류측에 배치되고, 띠 형상의 제1 박리 시트의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제1 원단으로부터 당해 제1 접착 시트를 일단 박리하고, 당해 일단 박리한 제1 접착 시트를 제1 박리 시트 또는 띠 형상의 제3 박리 시트에 재가착하는 탈착 수단을 구비하고, 제2 박리 수단은, 탈착 수단으로 재가착되는 제1 접착 시트와 제1 박리 시트의 사이, 또는, 제1 접착 시트와 제3 박리 시트의 사이에 제2 접착 시트를 삽입하여 조출 대상물을 형성하는 것을 특징으로 한다.

Description

시트 공급 장치 및 시트 공급 방법

본 발명은 시트 공급 장치 및 시트 공급 방법에 관한 것이다.

종래부터, 제1 접착 시트를 박리 시트로부터 박리하고, 박리한 제1 접착 시트와 제2 접착 시트를 적층시켜서 공급하는 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1).

일본 특허 공개 제2006-181991호 공보

그러나, 특허문헌 1에 기재된 장치에서는, 제1 라벨 L1(제1 접착 시트)과 제2 라벨 L2(제2 접착 시트)를 개별로 흡착 플레이트(55)에 공급하는 구성이므로, 제1 라벨 L1에 대한 제2 라벨 L2의 적층 상태가 안정되지 않은 채 그것들이 흡착 플레이트(55)에 공급되어 버린다는 결함이 있다.

본 발명의 목적은, 제1 접착 시트에 대한 제2 접착 시트의 적층 상태를 안정된 상태로 그것들을 공급할 수 있는 시트 공급 장치 및 시트 공급 방법을 제공하는 데 있다.

상술한 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 제1 접착 시트를 포함하는 조출 대상물을 조출하는 제1 조출 수단과, 상기 제1 조출 수단으로 조출되는 조출 대상물로부터 상기 제1 접착 시트를 박리하는 제1 박리 수단과, 띠 형상의 제2 박리 시트의 한쪽 면에 제2 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제2 원단을 조출하는 제2 조출 수단과, 상기 제2 조출 수단으로 조출되는 제2 원단으로부터 상기 제2 접착 시트를 박리하는 제2 박리 수단을 구비하고, 상기 제1 조출 수단은, 상기 제1 박리 수단에 대하여 상기 조출 대상물의 조출 방향 상류측에 배치되고, 띠 형상의 제1 박리 시트의 한쪽 면에 상기 제1 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제1 원단으로부터 당해 제1 접착 시트를 일단 박리하고, 당해 일단 박리한 제1 접착 시트를 상기 제1 박리 시트 또는 띠 형상의 제3 박리 시트에 재가착하는 탈착 수단을 구비하고, 상기 제2 박리 수단은, 상기 탈착 수단으로 재가착되는 상기 제1 접착 시트와 상기 제1 박리 시트의 사이, 또는, 상기 제1 접착 시트와 상기 제3 박리 시트의 사이에 상기 제2 접착 시트를 삽입하여 상기 조출 대상물을 형성하는 것을 특징으로 하는 시트 공급 장치이다.

상기 제1 조출 수단은, 상기 제1 박리 시트의 한쪽 면에 띠 형상의 제1 접착 시트 기재가 가착된 제1 원단을 조출함과 함께, 상기 제1 박리 수단에 대하여 상기 제1 원단의 조출 방향 상류측에 배치되며, 상기 제1 접착 시트 기재에 폐루프 형상의 절입을 형성하고, 당해 절입의 내측에 상기 제1 접착 시트를 형성하는 제1 절단 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 제2 조출 수단은, 상기 제2 박리 시트의 한쪽 면에 띠 형상의 제2 접착 시트 기재가 가착된 제2 원단을 조출함과 함께, 상기 제2 박리 수단에 대하여 상기 제2 원단의 조출 방향 상류측에 배치되며, 상기 제2 접착 시트 기재에 폐루프 형상의 절입을 형성하고, 당해 절입의 내측에 상기 제2 접착 시트를 형성하는 제2 절단 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 해도 된다.

상기 제1 접착 시트에 대한 상기 제2 접착 시트의 적층 상태를 검지하는 위치 어긋남 검지 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 해도 된다.

본 발명의 다른 형태는, 제1 접착 시트를 포함하는 조출 대상물을 조출하는 제1 조출 공정과, 상기 제1 조출 공정에서 조출되는 조출 대상물로부터 상기 제1 접착 시트를 박리하는 제1 박리 공정과, 띠 형상의 제2 박리 시트의 한쪽 면에 제2 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제2 원단을 조출하는 제2 조출 공정과, 상기 제2 조출 공정에서 조출되는 제2 원단으로부터 상기 제2 접착 시트를 박리하는 제2 박리 공정을 포함하고, 상기 제1 조출 공정은, 띠 형상의 제1 박리 시트의 한쪽 면에 상기 제1 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제1 원단으로부터 당해 제1 접착 시트를 일단 박리하고, 당해 일단 박리한 제1 접착 시트를 상기 제1 박리 시트 또는 띠 형상의 제3 박리 시트에 재가착하는 탈착 공정을 포함하고, 상기 제2 박리 공정에 있어서, 상기 탈착 공정에서 재가착되는 상기 제1 접착 시트와 상기 제1 박리 시트의 사이, 또는, 상기 제1 접착 시트와 상기 제3 박리 시트의 사이에 상기 제2 접착 시트를 삽입하여 상기 조출 대상물을 형성하는 것을 특징으로 하는 시트 공급 방법이다.

본 발명에 따르면, 제1 접착 시트를 공급하기 전에, 당해 제1 접착 시트와 제2 접착 시트를 적층하므로, 제1 접착 시트에 대한 제2 접착 시트의 적층 상태를 안정된 상태로 그것들을 공급할 수 있다.

도 1은 시트 부착 장치의 측면도이다.
도 2는 변형예의 부분 확대도이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 따른 시트 공급 장치를 채용한 시트 부착 장치(10)를 도면에 기초하여 설명한다.

또한, 실시 형태에 있어서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X축 및 Y축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z축은, 당해 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 실시 형태에서는, Y축과 평행한 도 1의 앞 방향으로부터 보았을 경우를 기준으로 하여 방향을 나타냈을 경우, 「상」이 Z축의 화살표 방향이고 「하」가 그 역방향, 「좌」가 X축의 화살표 방향이고 「우」가 그 역방향, 「전」이 지면에 직교하는 전방 방향이며 Y축의 화살표 방향이고 「후」가 그 역방향인 것으로 한다.

도 1에 있어서, 시트 부착 장치(10)는 제1 접착 시트 AS1을 포함하는 조출 대상물 LS를 조출하는 제1 조출 수단(20)과, 제1 조출 수단(20)으로 조출되는 조출 대상물 LS로부터 제1 접착 시트 AS1을 박리하는 제1 박리 수단으로서의 제1 박리판(30)과, 띠 형상의 제2 박리 시트 RL2의 한쪽 면에 제2 접착 시트 AS2가 소정의 간격을 두고 가착된 제2 원단 RS2를 조출하는 제2 조출 수단(40)과, 제2 조출 수단(40)으로 조출되는 제2 원단 RS2로부터 제2 접착 시트 AS2를 박리하는 제2 박리 수단으로서의 제2 박리판(50)과, 제1 접착 시트 AS1 및 제2 접착 시트 AS2를 링 프레임 RF 및 반도체 웨이퍼(이하 간단히 「웨이퍼」라고 하는 경우가 있음) WF로 이루어지는 피착체 WK의 한쪽 면에 가압하여 부착하는 가압 수단으로서의 가압 롤러(60)와, 피착체 WK를 지지하여 반송하는 반송 수단(70)과, 제1 접착 시트 AS1에 대한 제2 접착 시트 AS2의 적층 상태를 검지하는 위치 어긋남 검지 수단(80)을 구비하고 있다. 또한, 본 실시 형태에 있어서의 제1 조출 수단(20)과 제1 박리판(30)과 제2 조출 수단(40)과 제2 박리판(50)과 위치 어긋남 검지 수단(80)으로 본원 발명의 시트 공급 장치가 구성된다.

제1 접착 시트 AS1은, 기재 시트 BS와 당해 기재 시트 BS의 한쪽 면에 적층된 접착제 AD1층을 구비한 2층 구조로 되고, 제2 접착 시트 AS2는, 접착제 AD2층을 구비한 1층 구조로 되어 있다.

제1 조출 수단(20)은 띠 형상의 제1 박리 시트 RL1의 한쪽 면에 제1 접착 시트 AS1이 소정의 간격을 두고 가착된 제1 원단 RS1을 지지하는 지지 롤러(21)와, 제1 원단 RS1을 안내하는 복수의 가이드 롤러(22)와, 구동 기기로서의 회동 모터(23)에 의해 구동되는 구동 롤러(24)와, 제1 박리 시트 RL1을 구동 롤러(24)와의 사이에 끼워 넣는 핀치 롤러(25)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되며, 제1 박리 시트 RL1을 회수하는 회수 롤러(26)와, 제1 박리판(30)에 대하여 조출 대상물 LS의 조출 방향 상류측에 배치되고, 제1 원단 RS1로부터 제1 접착 시트 AS1을 일단 박리하고, 당해 일단 박리한 제1 접착 시트 AS1을 제1 박리 시트 RL1에 재가착하는 탈착 수단(27)을 구비하고 있다.

탈착 수단(27)은 제1 원단 RS1로부터 제1 접착 시트 AS1을 일단 박리하는 탈착용 박리판(27A)과, 제1 접착 시트 AS1로부터 박리한 제1 박리 시트 RL1을 우회시키는 복수의 가이드 롤러(27B)와, 구동 기기로서의 회동 모터(27C)에 의해 구동되는 받침 롤러(27D)와, 받침 롤러(27D)의 구동에 의해 종동 회전하고, 제1 접착 시트 AS1과 제1 박리 시트 RL1을 받침 롤러(27D)로 끼워 넣는 핀치 롤러(27E)를 구비하고 있다.

제2 조출 수단(40)은 제2 원단 RS2를 지지하는 지지 롤러(41)와, 제2 원단 RS2를 안내하는 복수의 가이드 롤러(42)와, 구동 기기로서의 회동 모터(43)에 의해 구동되는 구동 롤러(44)와, 제2 박리 시트 RL2를 구동 롤러(44)와의 사이에 끼워 넣는 핀치 롤러(45)와, 도시하지 않은 구동 기기에 의해 구동되며, 제2 박리 시트 RL2를 회수하는 회수 롤러(46)를 구비하고 있다.

제2 박리판(50)은 탈착 수단(27)으로 재가착되는 제1 접착 시트 AS1과 제1 박리 시트 RL1의 사이에 제2 접착 시트 AS2를 삽입하여 조출 대상물 LS를 형성하게 되어 있다.

반송 수단(70)은 구동 기기로서의 리니어 모터(71)의 슬라이더(71A)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단에 의해 피착체 WK를 보유 지지 가능한 지지면(72A)을 갖는 반송 테이블(72)을 구비하고 있다.

위치 어긋남 검지 수단(80)은 카메라 등의 촬상 수단이나 광학 센서 등으로 이루어지고, 투명, 반투명 또는 불투명의 제1 박리 시트 RL1을 투과하여 제1 접착 시트 AS1에 대한 제2 접착 시트 AS2의 적층 상태를 검지하게 되어 있다.

이어서, 본 실시 형태에 있어서의 시트 부착 장치(10)의 동작에 대하여 설명한다.

우선, 각 부재가 초기 위치에서 대기하는 도 1 중 실선으로 나타내는 시트 부착 장치(10)에 대하여, 작업자가 제1 원단 RS1 및 제2 원단 RS2를 동 도면과 같이 세트한다. 이때, 탈착용 박리판(27A)으로 제1 박리 시트 RL1을 되접는 위치로부터 제1 박리판(30)으로 제1 박리 시트 RL1을 되접는 위치까지의 사이에 위치하는 제1 접착 시트 AS1은 제거해 둔다.

그 후, 도시하지 않은 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 입력 수단을 통해 자동 운전 개시의 신호를 입력하면, 제2 조출 수단(40)이 회동 모터(43)를 구동하여, 제2 원단 RS2를 조출한다. 그리고, 도 1에 도시하는 바와 같이, 제2 접착 시트 AS2가 제2 박리판(50)으로 제2 박리 시트 RL2로부터 소정 길이 박리한 것이 카메라 등의 촬상 수단이나 광학 센서 등의 도시하지 않은 검출 수단으로 검출되면, 제2 조출 수단(40)이 회동 모터(43)의 구동을 정지한다.

회동 모터(43)의 구동이 정지된 것이 확인되면, 제1 조출 수단(20)이 회동 모터(23, 27C)를 구동하고, 제1 원단 RS1을 조출한다. 그리고, 제1 접착 시트 AS1이 탈착용 박리판(27A)으로 제1 박리 시트 RL1로부터 박리되고, 박리된 제1 접착 시트 AS1이 카메라 등의 촬상 수단이나 광학 센서 등의 도시하지 않은 검출 수단으로 소정의 위치에 도달한 것이 검출되면, 제2 조출 수단(40)이 회동 모터(43)를 구동하고, 제1 원단 RS1의 조출 속도에 맞추어 제2 원단 RS2를 조출한다. 이에 의해, 제1 접착 시트 AS1과 제2 접착 시트 AS2와 제1 박리 시트 RL1이 받침 롤러(27D)와 핀치 롤러(27E) 사이에 끼워 넣어져, 제2 접착 시트 AS2를 사이에 끼운 상태로 제1 접착 시트 AS1이 제1 박리 시트 RL1에 재가착된 조출 대상물 LS가 형성된다.

그리고, 도 1에 도시하는 바와 같이, 선두의 제1 접착 시트 AS1이 제1 박리판(30)으로 제1 박리 시트 RL1로부터 소정 길이 박리한 것이, 카메라 등의 촬상 수단이나 광학 센서 등의 도시하지 않은 검출 수단으로 검출되면, 제1 조출 수단(20)이 회동 모터(23, 27C)의 구동을 정지하고, 스탠바이 상태가 된다.

이어서, 사람 손 또는 다관절 로봇이나 벨트 컨베이어 등의 도시하지 않은 이송 수단이 피착체 WK를 지지면(72A) 위에 적재하면, 반송 수단(70)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 그것들을 흡착 보유 지지한 후, 리니어 모터(71)를 구동하고, 반송 테이블(72)을 좌측 방향으로 이동시킨다. 그리고, 피착체 WK가 소정 위치에 도달한 것이 카메라 등의 촬상 수단이나 광학 센서 등의 도시하지 않은 검출 수단으로 검출되면, 제1 조출 수단(20)이 회동 모터(23, 27C)를 구동하고, 반송 테이블(72)의 반송 속도에 맞추어 제1 원단 RS1을 조출한다. 이에 의해, 선두의 제1 접착 시트 AS1이 제2 접착 시트 AS2와 함께 제1 박리 시트 RL1로부터 박리되고, 당해 제1 접착 시트 AS1의 외측 에지부가 링 프레임 RF에, 제2 접착 시트 AS2가 웨이퍼 WF에 가압 롤러(60)에 의해 가압되어 부착되어서, 일체물 WK1이 형성된다.

그 후, 다음번 부착 예정인 제1 접착 시트 AS1이 도시하지 않은 검출 수단으로 검출되면, 제1 조출 수단(20)이 회동 모터(23, 27C)의 구동을 정지하고, 다시 스탠바이 상태가 된다. 또한, 제1 박리판(30)으로 박리한 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2를 피착체 WK에 부착하고 있는 도중에도, 제2 조출 수단(40)이 상기와 마찬가지로 구동하여, 조출 대상물 LS를 형성한다.

일체물 WK1이 형성되면, 반송 수단(70)이 리니어 모터(71)의 구동을 정지하고, 반송 테이블(72)을 소정의 위치에서 정지시킨 후, 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지하므로, 사람 손 또는 도시하지 않은 이송 수단이, 일체물 WK1을 다음 공정에 반송한다. 그리고, 반송 수단(70)이 리니어 모터(71)를 구동하고, 반송 테이블(72)을 초기 위치로 복귀시킨 후, 상기 마찬가지의 동작이 반복된다.

또한, 위치 어긋남 검지 수단(80)이 제1 접착 시트 AS1에 대한 제2 접착 시트 AS2의 적층 상태를 검지하고, 그것들이 원하는 적층 상태와 달리 위치 어긋난 상태로 적층되어 있거나, 제2 접착 시트 AS2가 접힌 상태로 적층되어 있거나, 제2 접착 시트 AS2가 파손된 상태로 적층되어 있거나 했을 경우, 시트 부착 장치(10)의 부착 동작을 정지하거나, 경고 라이트나 버저 등의 경고 수단을 구동하여 작업자에게 알리거나 할 수 있다.

이상과 같은 본 실시 형태에 따르면, 제1 접착 시트 AS1을 공급하기 전에, 당해 제1 접착 시트 AS1과 제2 접착 시트 AS2를 적층하므로, 제1 접착 시트 AS1에 대한 제2 접착 시트 AS2의 적층 상태를 안정된 상태로 그것들을 공급할 수 있다.

본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그것들 수단 및 공정에 대하여 설명한 동작, 기능 또는 공정을 행하는 것이 가능한 한 전혀 한정되지 않고, 하물며, 상기 실시 형태에서 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되지 않는다. 예를 들어, 제2 조출 수단은, 띠 형상의 제2 박리 시트의 한쪽 면에 제2 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제2 원단을 조출하는 것이 가능한 것이라면, 출원 당초의 기술 상식에 대조하여 그 범위 내이면 전혀 한정되지 않는다(다른 수단 및 공정에 관한 설명은 생략함).

제1 조출 수단(20)은 제1 박리 시트 RL1의 한쪽 면에 띠 형상의 제1 접착 시트 기재가 가착된 제1 원단 RS1을 조출해도 된다. 이 경우, 제1 조출 수단(20)은 제1 박리판(30)에 대하여 제1 원단 RS1의 조출 방향 상류측에 배치되며, 제1 접착 시트 기재에 폐루프 형상의 절입을 형성하고, 당해 절입의 내측에 제1 접착 시트 AS1을 형성하는 제1 절단 수단을 구비하고 있어도 된다.

제1 절단 수단으로서는, 도 1 중 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 구동 기기로서의 회동 모터(28A)에 의해 회전 가능하게 설치되고, 외주에 폐루프 형상의 절단날(28B)을 구비한 커터 롤러(28)를 예시할 수 있다.

커터 롤러(28)는 지지 롤러(21)와 탈착용 박리판(27A)의 사이에 배치되어도 되고, 탈착 수단(27)과 제1 박리판(30)의 사이에 배치되어도 되고, 제1 접착 시트 기재에 폐루프 형상의 절입을 형성할 수 있는 한 임의의 장소에 배치할 수 있다. 이 경우, 제1 조출 수단(20)은 제1 접착 시트 AS1의 외측에 위치하는 불필요한 제1 접착 시트 부분이 제1 박리판(30)에 도달하기 전에, 당해 불필요한 제1 접착 시트 부분을 회수하는 회수 수단을 구비해도 된다.

제1 조출 수단(20)은 도 2에 도시하는 바와 같이, 제3 박리 시트 RL3을 지지하는 지지 롤러(29A)와, 제3 박리 시트 RL3을 안내하는 가이드 롤러(29B)를 구비해도 된다. 이 경우, 제1 조출 수단(20)은 탈착용 박리판(27A)으로 제1 접착 시트 AS1이 일단 박리된 제1 박리 시트 RL1을 구동 기기에 의해 회수하는 회수 수단을 설치하면 된다. 그리고, 제2 박리판(50)은 탈착 수단(27)으로 재가착되는 제1 접착 시트 AS1과 제3 박리 시트 RL3의 사이에 제2 접착 시트 AS2를 삽입하여 조출 대상물 LS를 형성하도록 배치되면 된다.

탈착 수단(27)은 도 2에 도시하는 바와 같이, 핀치 롤러(27E)를 회동 모터(27C)나 별개의 구동 기기에 의해 받침 롤러(27D)와 함께 회전하도록 한 구동 풀리와, 종동 풀리(27F)와, 구동 풀리 및 종동 풀리(27F)에 걸어 감긴 평 벨트나 환 벨트 등의 벨트 부재(27G)를 구비한 구성으로 해도 되고, 벨트 부재(27G)를 개재하여 제1 접착 시트 AS1을 흡인 가능한 흡인 수단(27H)을 설치해도 된다.

탈착 수단(27)은 제1 접착 시트 AS1의 조출 방향 선단부나 제2 접착 시트 AS2의 조출 방향 선단부에 대기, 질소 가스나 네온 등의 가스나 혼합기를 분사하거나, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단에 의해 흡인함으로써, 각 조출 방향 선단부의 구부러짐을 방지하는 구부러짐 방지 수단을 구비하고 있어도 된다.

가이드 롤러(27B)는, 1체여도 되고 2체 이상이어도 되고, 가이드 롤러(27B)에 의해 형성되는 우회 루트의 형상은, 원 형상, 반원 형상, 타원 형상, 직사각 형상, 오각형 이상의 다각 형상, 그것들이 부분적으로 조합된 형상 등 무엇이어도 된다.

탈착 수단(27)은 가이드 롤러(27B) 대신, 또는 그것과 병용하여 평면이나 곡면으로 제1 박리 시트 RL1을 안내하는 판상의 가이드 플레이트를 채용해도 된다.

탈착 수단(27)은 도 1, 2 중 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 받침 롤러(27D)와 핀치 롤러(27E)로 제1 접착 시트 AS1을 끼워 넣는 위치보다도 제1 박리 시트 RL1 또는 제3 박리 시트 RL3의 조출 방향 상류측에서, 당해 제1 박리 시트 RL1 또는 제3 박리 시트 RL3에 제2 접착 시트 AS2를 가착하는 구성으로 해도 된다.

탈착 수단(27)은 제2 접착 시트 AS2를 제1 박리 시트 RL1 또는 제3 박리 시트 RL3에 가착시켜도 되고 시키지 않아도 된다.

탈착 수단(27)은 핀치 롤러(27E)를 구동 기기로 구동시키고, 받침 롤러(27D)가 핀치 롤러(27E)에 종동 회전하도록 구성해도 되고, 받침 롤러(27D) 및 핀치 롤러(27E)가 구동 기기로 구동하도록 구성해도 된다.

탈착 수단(27)은 핀치 롤러(27E) 대신에 블레이드재, 고무, 수지, 스펀지 등에 의한 가압 부재를 채용할 수 있고, 대기나 가스 등의 에어의 분사에 의해 제1 접착 시트 AS1을 제1 박리 시트 RL1에 재가착하는 구성도 채용할 수 있다.

제1, 제2 박리 수단이나 탈착용 박리판(27A)은, 회전 가능한 박리용 롤러로 구성해도 된다.

제2 조출 수단(40)은 제2 박리 시트 RL2의 한쪽 면에 띠 형상의 제2 접착 시트 기재가 가착된 제2 원단 RS2를 조출해도 된다. 이 경우, 제2 조출 수단(40)은 제2 박리판(50)에 대하여 제2 원단 RS2의 조출 방향 상류측에 배치되며, 제2 접착 시트 기재에 폐루프 형상의 절입을 형성하고, 당해 절입의 내측에 제2 접착 시트 AS2를 형성하는 제2 절단 수단을 구비하고 있어도 된다.

제2 절단 수단으로서는, 도 1 중 이점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 예를 들어 구동 기기로서의 회동 모터(47A)에 의해 회전 가능하게 설치되고, 외주에 폐루프 형상의 절단날(47B)을 구비한 커터 롤러(47)를 예시할 수 있다. 이 경우, 제2 조출 수단(40)은 제2 접착 시트 AS2의 외측에 위치하는 불필요한 제2 접착 시트 부분이 제2 박리판(50)에 도달하기 전에, 당해 불필요한 제2 접착 시트 부분을 회수하는 회수 수단을 구비해도 된다.

제1, 제2 절단 수단은, 레이저 커터, 전열선, 기체나 액체 등의 분사 등의 절단 부재로 구성해도 되고, 다관절 로봇이나 적당한 구동 기기를 조합한 것으로 구성해도 된다.

제1, 제2 절단 수단에 의해 형성되는 절입의 형상은, 원형, 반원 형상, 타원 형상, 직사각형, 오각형 이상의 다각형 등 무엇이어도 된다.

제1, 제2 절단 수단은, 양쪽을 설치해도 되고, 어느 한쪽만 설치해도 되며, 접착 시트의 형상(절입이 형성되어 있지 않은 접착 시트 기재인지 여부)에 맞추어 임의의 구성을 채용할 수 있다.

가압 수단은, 가압 롤러(60) 대신에 제2 접착 시트 AS2가 적층된 제1 접착 시트 AS1을 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 감압 수단에 의해 흡착 보유 지지하고, 피착체 WK에 가압하여 부착하는 구성이어도 된다.

가압 수단은, 블레이드재, 고무, 수지, 스펀지 등에 의한 가압 부재를 채용할 수 있고, 대기나 가스 등의 에어의 분사에 의해 가압하는 구성도 채용할 수 있다.

가압 수단은, 가압 부재를 정지시켜 두고, 피착체 WK를 이동시켜도 되며, 가압 부재와 피착체 WK의 양쪽을 이동시켜서 가압하여 부착해도 된다.

반송 수단(70)은 피착체 WK를 정지시켜 두거나, 또는, 피착체 WK를 이동시키면서, 제1 조출 수단(20), 가압 롤러(60) 등의 다른 수단을 적당한 방향으로 이동시켜서 상기와 마찬가지의 부착 동작을 행해도 된다.

반송 수단(70)은 메카니컬 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착 등으로 피착체 WK를 보유 지지하는 구성이어도 된다.

피착체 WK를 다른 장치로 반송하는 경우, 시트 부착 장치(10)에 있어서 반송 수단(70)은 있어도 되고 없어도 되며, 기타 가압 수단 등은, 각각 필요에 따라 채용하면 되고, 있어도 되고 없어도 된다.

시트 부착 장치(10)는 위아래 반전하여 배치하거나 가로 배치로 하거나 해서, 피착체 WK의 하면이나 측면에 제2 접착 시트 AS2가 적층된 제1 접착 시트 AS1을 부착하도록 구성해도 된다.

위치 어긋남 검지 수단(80)은 제1 접착 시트 AS1을 투과하여 당해 제1 접착 시트 AS1에 대한 제2 접착 시트 AS2의 적층 상태를 검지하도록 구성해도 되고, 시트 부착 장치(10)나 본원 발명의 시트 공급 장치에 있어서 없어도 된다. 또한, 기재 시트 BS 및 접착제 AD1층은, 각각이 투명, 반투명 또는 불투명이어도 되고, 위치 어긋남 검지 수단(80)은 그러한 제1 접착 시트 AS1을 투과하여 제2 접착 시트 AS2의 적층 상태를 검지할 수 있다.

상기 실시 형태에서는, 본원 발명의 시트 공급 장치를 채용한 시트 부착 장치(10)를 도시하여 설명했지만, 시트 공급 장치를 단체로서 사용해도 되고, 이 경우, 시트 공급 장치로부터 공급된, 제2 접착 시트 AS2가 적층된 제1 접착 시트 AS1을 사람 손으로 보유 지지하여, 피착체 WK에 부착할 수 있다.

제1 접착 시트 AS1의 평면 형상의 크기는, 제2 접착 시트 AS2보다도 커도 되고, 동일한 크기여도 되고, 작아도 된다.

시트 부착 장치(10)(본원 발명의 시트 공급 장치)가 스탠바이 상태일 때, 또는, 정지중에, 제1 접착 시트 AS1과 제2 접착 시트 AS2가 받침 롤러(27D)와 핀치 롤러(27E)의 사이에 끼워 넣어져 있지 않은 상태로 하는 변위 수단을 설치해도 된다. 이러한 변위 수단은, 탈착용 박리판(27A)과 받침 롤러(27D)와 핀치 롤러(27E)를 제1 원단 RS1의 조출 방향 상류측 또는 하류측으로 이동시키는 구성으로 할 수 있다. 이에 의해, 제1 접착 시트 AS1과 제2 접착 시트 AS2가 받침 롤러(27D)와 핀치 롤러(27E)의 사이에 끼워 넣어져 있는 상태로 다시 조출되었을 때, 그것들에 속도차가 생겨서 어느 한쪽이 인장되거나, 어느 한쪽에 주름이 생기거나 하는 것을 방지하거나, 받침 롤러(27D)와 핀치 롤러(27E)에 의래 제1 접착 시트 AS1과 제2 접착 시트 AS2에 누름 자국이 형성되는 것을 방지하거나 할 수 있다.

또한, 본 발명에 있어서의 제1 접착 시트 AS1, 제2 접착 시트 AS2, 피착체 WK의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태에 한정되지 않는다. 감열 접착성인 것이 채용된 경우에는, 당해 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단을 설치하면 된다. 또한, 이러한 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2는, 예를 들어 접착제층만의 단층인 것, 기재 시트와 접착제층으로 이루어지는 것, 그것들 사이에 중간층을 갖는 것, 기재 시트의 상면에 커버층을 갖는 3층 이상인 것, 나아가서는, 기재 시트를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층인 것이어도 된다. 또한, 피착체 WK로서는, 예를 들어 웨이퍼 WF만이어도 되고 링 프레임 RF만이어도 되고, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 전극 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도자기, 목판 또는 수지판 등, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2는, 기능적, 용도적인 읽는 법으로 바꾸어, 예를 들어 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다(실시 형태에서 예시한 것과 중복되는 것도 있음).

20: 제1 조출 수단
27: 탈착 수단
28: 커터 롤러(제1 절단 수단)
30: 제1 박리판(제1 박리 수단)
40: 제2 조출 수단
47: 커터 롤러(제2 절단 수단)
50: 제2 박리판(제2 박리 수단)
80: 위치 어긋남 검지 수단
AS1: 제1 접착 시트
AS2: 제2 접착 시트
LS: 조출 대상물
RL1: 제1 박리 시트
RL2: 제2 박리 시트
RL3: 제3 박리 시트
RS1: 제1 원단
RS2: 제2 원단

Claims

제1 접착 시트를 포함하는 조출 대상물을 조출하는 제1 조출 수단과,
상기 제1 조출 수단으로 조출되는 조출 대상물로부터 상기 제1 접착 시트를 박리하는 제1 박리 수단과,
띠 형상의 제2 박리 시트의 한쪽 면에 제2 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제2 원단을 조출하는 제2 조출 수단과,
상기 제2 조출 수단으로 조출되는 제2 원단으로부터 상기 제2 접착 시트를 박리하는 제2 박리 수단을 구비하고,
상기 제1 조출 수단은, 상기 제1 박리 수단에 대하여 상기 조출 대상물의 조출 방향 상류측에 배치되고, 띠 형상의 제1 박리 시트의 한쪽 면에 상기 제1 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제1 원단으로부터 당해 제1 접착 시트를 일단 박리하고, 당해 일단 박리한 제1 접착 시트를 상기 제1 박리 시트 또는 띠 형상의 제3 박리 시트에 재가착하는 탈착 수단을 구비하고,
상기 제2 박리 수단은, 상기 탈착 수단으로 재가착되는 상기 제1 접착 시트와 상기 제1 박리 시트의 사이, 또는, 상기 제1 접착 시트와 상기 제3 박리 시트의 사이에 상기 제2 접착 시트를 삽입하여 상기 조출 대상물을 형성하는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 조출 수단은, 상기 제1 박리 시트의 한쪽 면에 띠 형상의 제1 접착 시트 기재가 가착된 제1 원단을 조출함과 함께, 상기 제1 박리 수단에 대하여 상기 제1 원단의 조출 방향 상류측에 배치되며, 상기 제1 접착 시트 기재에 폐루프 형상의 절입을 형성하고, 당해 절입의 내측에 상기 제1 접착 시트를 형성하는 제1 절단 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 조출 수단은, 상기 제2 박리 시트의 한쪽 면에 띠 형상의 제2 접착 시트 기재가 가착된 제2 원단을 조출함과 함께, 상기 제2 박리 수단에 대하여 상기 제2 원단의 조출 방향 상류측에 배치되며, 상기 제2 접착 시트 기재에 폐루프 형상의 절입을 형성하고, 당해 절입의 내측에 상기 제2 접착 시트를 형성하는 제2 절단 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 접착 시트에 대한 상기 제2 접착 시트의 적층 상태를 검지하는 위치 어긋남 검지 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 장치.
제1 접착 시트를 포함하는 조출 대상물을 조출하는 제1 조출 공정과,
상기 제1 조출 공정에서 조출되는 조출 대상물로부터 상기 제1 접착 시트를 박리하는 제1 박리 공정과,
띠 형상의 제2 박리 시트의 한쪽 면에 제2 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제2 원단을 조출하는 제2 조출 공정과,
상기 제2 조출 공정에서 조출되는 제2 원단으로부터 상기 제2 접착 시트를 박리하는 제2 박리 공정을 포함하고,
상기 제1 조출 공정은, 띠 형상의 제1 박리 시트의 한쪽 면에 상기 제1 접착 시트가 소정의 간격을 두고 가착된 제1 원단으로부터 당해 제1 접착 시트를 일단 박리하고, 당해 일단 박리한 제1 접착 시트를 상기 제1 박리 시트 또는 띠 형상의 제3 박리 시트에 재가착하는 탈착 공정을 포함하고,
상기 제2 박리 공정에 있어서, 상기 탈착 공정에서 재가착되는 상기 제1 접착 시트와 상기 제1 박리 시트의 사이, 또는, 상기 제1 접착 시트와 상기 제3 박리 시트의 사이에 상기 제2 접착 시트를 삽입하여 상기 조출 대상물을 형성하는 것을 특징으로 하는, 시트 공급 방법.