JP6471060B2 - シート供給装置および供給方法 - Google Patents
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Description
本発明のシート供給装置において、前記挟込位置変更手段は、前記剥離手段で1枚の接着シートを前記剥離シートから剥離する間、前記原反挟込手段で前記接着シート間領域を挟み込んだ状態のまま当該原反挟込手段を前記繰出方向に移動可能に設けられていることが好ましい。
さらに、原反挟込手段で接着シート間領域を挟み込んだ状態のまま、当該原反挟込手段を繰出方向に移動可能にすれば、接着シートを剥離シートから剥離する供給動作中に、何らかの要因でこの供給動作が停止したとしても、挟込力が1箇所に集中することによって接着シートに挟込跡が形成されることを確実に防止することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
原反挟込手段23は、基台23Aに支持された駆動機器としての回動モータ23Bによって駆動される駆動ローラ23Cと、基台23Aに回転可能に支持されたアーム23Dに支持され、付勢手段としてのコイルばね23Eによって駆動ローラ23C側に付勢されたピンチローラ23Fとを備えている。なお、シート間領域検知手段40は、図示しないアームを介して基台23Aに支持されている。
挟込位置変更手段24は、そのスライダ24Bによって基台23Aを支持する駆動機器としてのリニアモータ24Aを備え、シート間領域検知手段40の検知結果を基に、原反挟込手段23による挟込位置を変更可能に設けられている。
回収手段25は、駆動機器としての回動モータ25Aによって駆動される駆動ローラ25Bと、駆動ローラ25Bとの間に剥離シートRLを挟み込むピンチローラ25Cと、剥離シートRLを巻回する巻回ローラ25Dとを備えている。
先ず、シート供給装置10に対し、作業者が原反RSを図1に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段20が回動モータ23B、25Aを駆動し、原反RSを繰り出し、図1に示すように、剥離板30上に位置する先頭の接着シートASの繰出方向先端部AS1が折曲部30Aで所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、繰出手段20が回動モータ23B、25Aの駆動を停止する。次いで、繰出手段20がリニアモータ24Aおよび回動モータ23Bを駆動し、スライダ24Bを昇降させ、シート間領域検知手段40の検知結果を基にして図1中実線で示すように、駆動ローラ23Cとピンチローラ23Fとの挟込位置を接着シート間領域SDに移動させて待機状態となる。
繰出手段20は、原反挟込手段23のみまたは、回収手段25のみを駆動して原反RSに繰出力を付与してもよい。
繰出手段20は、回収手段25を備えなくてもよい。
繰出手段20は、図1中二点鎖線で示すように、圧力センサやロードセル等の張力検知手段22Aを介して下方に位置するガイドローラ22を回転可能に支持し、当該張力検知手段22Aの検知結果を基に、トルク制御と速度制御との少なくとも一方を行い、剥離シートRLに張力を付与したり、ウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与したりしてもよいし、トルク制御と速度制御との両方を同時に行ってもよい。
原反挟込手段23は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、丸棒やブレード材等で原反RSを挟み込んでもよい。
原反挟込手段23は、回動モータ23Bのトルク制御を行い、駆動ローラ23Cを介して原反RSから受けるトルクが所定値となるように維持しながら当該駆動ローラ23Cを回転させたり、回動モータ23Bの速度制御を行い、回動モータ25Aがテーブル62の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す速度よりも遅い速度で駆動ローラ23Cを駆動させたり、原反RSの繰出方向の反対方向(図1の場合、時計回転方向)に駆動ローラ23Cを駆動させたりすることで、剥離シートRLに所定の張力を付与し、当該剥離シートRLからの接着シートASの剥離を容易に行えるようにしたり、ウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与したりしてもよいし、トルク制御と速度制御との両方を同時に行ってもよい。
原反挟込手段23は、駆動ローラ23Cを回転させる駆動機器を設けなくてもよい。
挟込位置変更手段24は、リニアモータ24Aのトルク制御を行い、駆動ローラ23Cを介して原反RSから受けるトルクが所定値となるように維持しながらスライダ24Bを原反繰出方向に移動させたり、リニアモータ24Aの速度制御を行い、回動モータ25Aがテーブル62の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す速度よりも遅い速度でスライダ24Bを原反繰出方向に移動させたりすることで、剥離シートRLに所定の張力を付与し、当該剥離シートRLからの接着シートASの剥離を容易に行えるようにしたり、ウエハWFに押圧されている接着シートASに所定の張力を付与したりしてもよいし、トルク制御と速度制御との両方を同時に行ってもよい。
挟込位置変更手段24は、原反挟込手段23による挟込位置を手動で変更する構成としてもよく、この場合、シート間領域検知手段40は、あってもよいしなくてもよい。
シート間領域検知手段40は、リミットスイッチ等の接触型のセンサでもよい。
シート間領域検知手段40は、基台23Aに支持されることなく、例えば、原反挟込手段23に対して繰出方向上流側または繰出方向下流側に配置されてもよい。
押圧手段は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等で押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより接着シートASを被着体に押圧する構成としてもよい。
移送手段60は、テーブル62の位置を固定しておきシート供給装置10等を移動させてもよいし、テーブル62およびシート供給装置10等の両方を移動させてもよい。
シート供給装置10等に対し、他の装置でウエハWFを相対移動させる場合、移送手段60はなくてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 繰出手段
23 原反挟込手段
24 挟込位置変更手段
30 剥離板(剥離手段)
30A 折曲部
40 シート間領域検知手段
AS 接着シート
RL 剥離シート
RS 原反
SD 接着シート間領域
Claims (4)
- 接着シートを所定の位置に供給するシート供給装置であって、
帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反に繰出力を付与し、当該原反を所定の繰出方向に繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される原反をその折曲部で折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記繰出手段は、前記折曲部に対して前記繰出方向上流側に配置され、前記原反を挟み込む原反挟込手段と、前記原反が繰り出されていないときの前記原反挟込手段による挟込位置を、前記原反における接着シートが仮着されていない接着シート間領域に変更可能な挟込位置変更手段とを備えていることを特徴とするシート供給装置。 - 前記原反は、前記剥離シートの一方の面に前記接着シート間領域を隔てて複数の接着シートが仮着され、
前記接着シート間領域を検知可能なシート間領域検知手段を備え、
前記挟込位置変更手段は、前記シート間領域検知手段の検知結果を基に、前記原反挟込手段による挟込位置を変更可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のシート供給装置。 - 前記挟込位置変更手段は、前記剥離手段で1枚の接着シートを前記剥離シートから剥離する間、前記原反挟込手段で前記接着シート間領域を挟み込んだ状態のまま当該原反挟込手段を前記繰出方向に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート供給装置。
- 接着シートを所定の位置に供給するシート供給方法であって、
帯状の剥離シートの一方の面に前記接着シートが仮着された原反を所定の繰出方向に繰り出す工程と、
前記繰り出される原反を剥離手段の折曲部で折り曲げて前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記折曲部に対し、前記繰出方向上流側に配置された原反挟込手段で前記原反を挟み込む工程と、
前記原反が繰り出されていないときの前記原反挟込手段による挟込位置を、前記原反における接着シートが仮着されていない接着シート間領域に変更する工程とを備えていることを特徴とするシート供給方法。
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