JP5981230B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献1に記載されているように、先行するウエハ(先行する被着体)に貼付された接着シートを剥離して第1シート(剥離済みシート)とし、先行するウエハを追行する別のウエハ(追行する被着体)に貼付されている接着シートである第2シート(未剥離シート)に第1シートを直接的に連結(接着)し、その後に第1シートを引っ張ることで第2シートを被着体から剥離可能とする構成が提案されている。
しかしながら、特許文献1のシート剥離装置は、剥離の対象となる接着シートの組成、特性、物性、構成等によっては、剥離済みシートと未剥離シートとを直接的に連結できない場合があり、その結果、接着シートの剥離ができなくなる、という不都合を招来する。
本発明の目的は、剥離済みシートと未剥離シートとが直接的に連結できない場合であっても、剥離用シートを介在してそれらを間接的に連結することで、接着シートの剥離ができなくなることを防止することのできるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、保持手段を備えた構成により、未剥離シートに連結すべき剥離済みシート部分を確実に保持することができ、剥離済みシートと未剥離シートとが接着できなくなることを防止することができる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
前記シート剥離装置10は、接着シートASが貼付されたウエハWFを支持する支持手段11と、剥離済みシートAS1を未剥離シートAS2に連結する連結手段15と、剥離済みシートAS1を保持可能な回収手段12と、回収手段12と支持手段11とを相対移動させて剥離済みシートAS1を介して未剥離シートAS2に張力を付与する張力付与手段16と、剥離用シートPSを繰出可能な剥離用シート供給手段17と、剥離用シートPSを所定の長さで切断する切断手段18と、回収手段12に剥離済みシートAS1が保持されているか否かを検出可能な検出手段19と、未剥離シートAS2の剥離姿勢を維持する剥離姿勢維持手段としてのローラ45と、剥離用シートPSの残量を検知する残量検知手段50とを備えて構成されている。なお、本実施形態では、感熱接着性の剥離用シートPSが用いられている。
中二転鎖線で示される初期位置でテーブル21を停止させ、未剥離シートAS2が剥離されたウエハWFは、図示しない搬送手段で別工程に搬送される。なお、回収手段12は、図4中二転鎖線で示されるように、回動モータDMで剥離済みシートAS1を全て巻き取らないようにしたり、回動モータDMを剥離済みシートAS1の巻取方向の反対方向に回転させたりすることで、剥離済みシートAS1がチャック29から垂れ下がった状態としておく。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
また、連結手段15は、剥離済みシートAS1又は剥離用シートPSを未剥離シートAS2に連結できる構成であれば何ら限定されることはなく、例えば、赤外線、マイクロ波、超音波等によってそれらを連結する構成としたり、両面接着シート、液体の接着剤、片面接着シート等によってそれらを連結する構成としたりすることができる。
更に、連結手段15は、剥離済みシートAS1の接着剤によって未剥離シートAS2に連結できる構成としてもよい。この場合、剥離済みシートAS1の接着剤の接着力が低下していることが考えられるので、当該接着剤を加熱したり、未剥離シートAS2の被着面にプライマを塗布したりすることで、剥離済みシートAS1の接着剤の接着力を向上させるようにしてもよい。
更に、検出手段19は、回収手段12に剥離済みシートAS1が保持されているか否かを検出できるものであれば特に限定されるものでなく、チャック29の両側に設けてもよいし、チャック29の外側で剥離済み接着シートAS1を検出するようにしたり、剥離済み接着シートAS1の垂れ下がりを検出する光学センサやカメラ等の撮像手段を用いたりしてもよい。
また、保持手段は、剥離済みシートAS1の剥離終端部を保持できればよく、吸着手段以外にメカチャック等を採用し、剥離済みシートAS1の剥離終端部を把持する構成としてもよい。
更に、支持手段11は、ウエハWFを保持できればよく、吸着手段以外にメカチャック等を採用し、ウエハWFを把持する構成としてもよい。
また、前記実施形態では、初期設定のときに直接連結モードと間接連結モードとの選択を行う例を示したが、例えば、直接連結モードでの動作中に間接連結モードを選択してもよいし、間接連結モードでの動作中に直接連結モードを選択してもよい。このような連結モードの変更は、オペレータが図示しない制御手段に入力してもよいし、未剥離接着シートAS2を剥離できているか否かを検出可能な光学センサや撮像手段等の剥離確認手段を設け、直接連結モードと間接連結モードとの一方のモードが選択されていた場合にでも、剥離確認手段によって、未剥離接着シートAS2の剥離ができていないことが検知された場合、直接連結モードと間接連結モードとの他方のモードが選択されるように構成してもよい。
11 支持手段
12 回収手段
15 連結手段
16 張力付与手段
17 剥離用シート供給手段
18 切断手段
21B シート保持面(保持手段)
AS 接着シート
AS1 剥離済みシート
AS2 未剥離シート
PS 剥離用シート
WF 半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 先行する被着体に貼付された接着シートを剥離して剥離済みシートとし、追行する被着体に貼付された接着シートである未剥離シートに前記剥離済みシートを連結し、前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与することで、当該未剥離シートを剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持手段と、
前記剥離済みシートを前記未剥離シートに連結する連結手段と、
前記剥離済みシートを保持可能な回収手段と、
前記回収手段と前記支持手段とを相対移動させて前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与する張力付与手段とを備え、
剥離用シートを繰り出す剥離用シート供給手段を更に備え、
前記連結手段は、前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを直接的に連結する直接連結と、前記剥離用シート供給手段から繰り出された前記剥離用シートと前記未剥離シートとを直接的に連結し、前記剥離用シートを介して前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを間接的に連結する間接連結とを選択的に行うことを特徴とするシート剥離装置。 - 先行する被着体に貼付された接着シートを剥離して剥離済みシートとし、追行する被着体に貼付された接着シートである未剥離シートに前記剥離済みシートを連結し、前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与することで、当該未剥離シートを剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートが貼付された被着体を支持する支持する工程と、
前記剥離済みシートと前記未剥離シートとを直接的に連結する工程、若しくは、剥離用シートと前記未剥離シートとを直接的に連結し、前記剥離済みシートと前記未剥離シートとの間に前記剥離用シートを介在させて間接的に連結する工程を選択的に行う工程と、
前記剥離済みシートを回収手段で保持する工程と、
前記回収手段と前記接着シートが貼付された被着体とを相対移動させて前記剥離済みシートを介して前記未剥離シートに張力を付与する工程とを特徴とするシート剥離方法。
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