JP6216655B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

Description

本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。

従来、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、ラベル（接着シート）が粘着されたシート（原反）をローラで受台に送り出す送出装置と、ローラを駆動するパルスモータを制御して当該ローラでシートの送出方向のラベルの位置を修正する送出位置修正手段と、受台を移動させて左右方向（シートの送出方向に直交する方向）のラベルの位置を修正する左右位置修正手段と、受台上でシートからラベルを吸引して剥離し、当該ラベルをワークに粘着する吸着粘着装置とを備えている。

特開平５−３０５９３２号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置は、ローラを回転させることにより原反の送り出し量を調整するため、原反がローラ間で滑ってしまい、当該原反の送出方向の接着シートの位置を正確に補正することができないという不都合がある。また、原反の送出方向に直交する方向に受台を移動させたときに、原反が受台で滑ってしまい、当該直交する方向の接着シートの位置を正確に補正することができないという不都合もある。

本発明の目的は、接着シートの位置を正確に補正することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記原反の接着シートの位置を補正する位置補正手段と、前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記位置補正手段は、前記原反を前記剥離シート側から保持する保持面を有する保持手段と、前記原反を保持した保持手段を前記保持面に沿って移動させる移動手段とを備え、前記保持手段を前記保持面に沿う任意の方向に移動させて、前記接着シートを所定の位置に補正可能に設けられていることを特徴とする。

本発明のシート貼付装置は、前記原反を前記保持面に沿うように矯正する矯正手段を備えていることが好ましい。
本発明のシート貼付装置において、前記位置補正手段は、前記移動手段を前記保持面と平行な面で回動させる回動手段を備えていることが好ましい。

本発明のシート貼付方法は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、繰り出された原反を前記剥離シート側から保持する保持面を有する保持手段で前記原反を保持し、当該保持手段を前記保持面に沿う任意の方向に移動させて、前記接着シートを所定の位置に補正する工程と、位置が補正された接着シートを前記剥離シートから剥離する工程と、剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを実施することを特徴とする。

以上のような本発明によれば、保持手段で原反を保持しながら当該保持手段を移動させるため、原反を確実に移動させることができ、接着シートの位置を正確に補正することができる。

また、矯正手段を設ければ、保持面に原反を確実に保持させることができるとともに、接着シートが皺やうねりのある状態のまま保持手段に保持されてしまうことを防止することができるので、接着シートの位置をより正確に補正することができる。
また、位置補正手段に回動手段を設ければ、移動手段を回転させることができるため、単一の移動手段で保持手段を原反の繰出し方向および当該繰出し方向に直交する方向に移動させることができるとともに、保持手段を原反の繰出し方向に対して斜め方向に移動させることができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 シート貼付装置の動作説明図。 シート貼付装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。

図１において、シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、原反ＲＳの接着シートＡＳの位置を補正する位置補正手段３０と、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての剥離板４０と、接着シートＡＳを被着体としてのウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段５０と、原反ＲＳを保持面３１Ａに沿うように矯正する矯正手段６０と、カメラ等の撮像手段や光学センサ等のセンサを有する検知手段７０とを備え、ウエハＷＦを支持する支持手段８０の近傍に配置されている。

繰出手段２０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３Ａによって駆動される駆動ローラ２３との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２４と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２５とを備えている。

位置補正手段３０は、剥離板４０における原反ＲＳ側の面であって、当該原反ＲＳを剥離シートＲＬ側から保持する保持面３１Ａを有する保持手段３１と、原反ＲＳを保持した保持手段３１を保持面３１Ａに沿って移動させる移動手段３２と、当該移動手段３２を保持面３１Ａと平行な面で回動させる回動手段であって駆動機器としての回動モータ３３とを備えている。
保持手段３１は、保持面３１Ａと、保持面３１Ａに形成された複数の吸引孔３１Ｂと、剥離板４０内に設けられ、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段３１Ｃに連通する減圧室３１Ｄとを備えている。
移動手段３２は、回動モータ３３の出力軸３３Ａにフレーム３４を介して支持された駆動機器としてのリニアモータ３５と、リニアモータ３５のスライダ３５Ａに支持された駆動機器としての直動モータ３６と、直動モータ３６の出力軸３６Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって剥離板４０を吸着保持可能な支持面３７Ａを有する内側支持プレート３７と、直動モータ３６の左右両側に配置された駆動機器としての直動モータ３８の出力軸３８Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって剥離板４０を吸着保持可能な支持面３９Ａを有する外側支持プレート３９とを備えている。

押圧手段５０は、駆動機器としてのリニアモータ５１のスライダ５１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ５２と、直動モータ５２の出力軸５２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって接着シートＡＳを吸着保持可能に設けられた保持プレート５３とを備えている。

矯正手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ６２と、直動モータ６２の出力軸６２Ａにブラケット６３を介して支持された押圧ローラ６４とを備えている。

支持手段８０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面８１Ａを有するテーブル８１を備えている。

以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、原反ＲＳを図１中実線で示すようにセットする。そして、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、移動手段３２が図示しない減圧手段を駆動し、支持面３９Ａで剥離板４０を吸着保持した状態で、繰出手段２０が回動モータ２３Ａを駆動し、原反ＲＳを所定量繰り出し、シート貼付装置１０がスタンバイ状態となる。

そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段がテーブル８１上にウエハＷＦを載置すると、支持手段８０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面８１ＡでウエハＷＦを吸着保持する。次に、矯正手段６０が直動モータ６２およびリニアモータ６１を駆動し、押圧ローラ６４を下降させた後、当該押圧ローラ６４を図１中左側の二点鎖線で示す位置に移動させ、原反ＲＳを保持面３１Ａに沿うように矯正する。次いで、位置補正手段３０が減圧手段３１Ｃを駆動し、保持面３１Ａで原反ＲＳを吸着保持する。そして、矯正手段６０がリニアモータ６１および直動モータ６２を駆動し、押圧ローラ６４を図１中右側の二点鎖線で示す位置に退避させると、検知手段７０が撮像手段等を駆動し、接着シートＡＳの位置を検知する。

ここで、接着シートＡＳの位置が基準位置から左右方向（原反ＲＳの繰出方向）にずれている場合、移動手段３２が直動モータ３６を駆動し、図２（Ａ）に示すように、内側支持プレート３７を上昇させて剥離板４０に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、支持面３７Ａで剥離板４０を吸着保持する。次いで、移動手段３２が図示しない減圧手段の駆動を停止し、外側支持プレート３９による剥離板４０の吸着保持を解除した後、直動モータ３８を駆動し、図２（Ａ）中二点鎖線で示すように、剥離板４０から外側支持プレート３９を離間させる。そして、移動手段３２がリニアモータ３５を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、剥離板４０を保持面３１Ａに沿って左右方向に移動させ、接着シートＡＳの位置を補正する。

一方、接着シートＡＳの位置が基準位置から前後方向（原反ＲＳの繰出方向に直交する方向）にずれている場合、図２（Ｃ）に示すように、位置補正手段３０が回動モータ３３を駆動し、リニアモータ３５を９０°回転させる。次に、移動手段３２が直動モータ３６を駆動し、図２（Ｄ）に示すように、上述と同様にして支持面３７Ａで剥離板４０を吸着保持した後、図２（Ｄ）中二点鎖線で示すように、剥離板４０から外側支持プレート３９を離間させ、移動手段３２がリニアモータ３５を駆動し、剥離板４０を保持面３１Ａに沿って前後方向に移動させ、接着シートＡＳの位置を補正する。

また、接着シートＡＳの位置が基準位置から斜め前後方向（原反ＲＳの繰出方向に斜めに交わる方向）にずれている場合、位置補正手段３０が回動モータ３３を駆動し、ずれている方向とスライダ３５Ａの移動方向とが平行になるように、当該リニアモータ３５を回転させる。次に、上述と同様にして支持面３７Ａで剥離板４０を吸着保持した後、剥離板４０から外側支持プレート３９を離間させ、移動手段３２がリニアモータ３５を駆動し、剥離板４０を保持面３１Ａに沿って斜め前後方向に移動させ、接着シートＡＳの位置を補正する。

その後、押圧手段５０がリニアモータ５１および直動モータ５２を駆動し、保持プレート５３を図３中実線で示す位置に移動させた後、図示しない減圧手段を駆動し、保持プレート５３で接着シートＡＳを吸着保持する。次に、繰出手段２０および押圧手段５０が回動モータ２３Ａおよびリニアモータ５１を同期させて駆動し、保持プレート５３を左方向に移動させながら原反ＲＳを繰り出すことにより、保持プレート５３で接着シートＡＳを保持したまま、当該接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する。そして、保持プレート５３が図３中上方の二点鎖線で示す位置に移動すると、押圧手段５０が直動モータ５２を駆動し、保持プレート５３を下降させ、図３中下方の二点鎖線で示すように、当該保持プレート５３で接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する。

次に、押圧手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、直動モータ５２を駆動し、保持プレート５３を図１中実線で示す位置に復帰させ、矯正手段６０がリニアモータ６１および直動モータ６２を駆動し、図１中実線で示す位置に復帰させる。その後、人手または図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、保持手段３１で原反ＲＳを保持しながら当該保持手段３１を移動させるため、原反ＲＳを確実に移動させることができ、接着シートＡＳの位置を正確に補正することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、保持手段３１は、剥離板４０とは別体の独立した構成であってもよく、当該保持手段を剥離板４０に対し原反ＲＳの繰出方向上流側及び／又は下流側に配置してもよい。
また、移動手段３２は、図１中符号ＡＡで示すように、駆動機器としての回動モータ３３と、回動モータ３３をそのスライダ３５Ｃで支持して前後方向に移動可能な駆動機器としてのリニアモータ３５Ｂと、リニアモータ３５Ｂをそのスライダ３５Ａで支持して左右方向に移動可能な駆動機器としてのリニアモータ３５とで構成し、回動モータ３３の出力軸３３Ａで剥離板４０を支持する構成としてもよく、この場合、直動モータ３６、内側支持プレート３７、直動モータ３８、外側支持プレート３９等を省略できる。
さらに、移動手段３２は、リニアモータ３５、３５Ｂで構成し、回動手段を省略してもよい。
また、位置補正手段３０は、人手により測定された接着シートＡＳのずれ方向およびずれ量に基づいて接着シートＡＳの位置を補正するようにしてもよい。
さらに、回動モータ３３は、接着シートＡＳを保持した剥離板４０を保持面３１Ａ内で回転させて当該接着シートＡＳの位置を補正することもできる。

また、保持手段３１、移動手段３２、押圧手段５０、支持手段８０は、原反ＲＳや剥離板４０等の保持対象物を減圧手段によって吸着保持する以外にメカチャック、静電チャック等で保持対象物を保持する構成であってもよい。
さらに、押圧手段５０は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材で接着シートＡＳを押圧する構成を採用してもよく、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
また、矯正手段６０は、エアを噴き付けて原反ＲＳを保持面３１Ａに沿うように剥離板４０に矯正してもよい。

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出すものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０ シート貼付装置
２０ 繰出手段
３０ 位置補正手段
３１ 保持手段
３１Ａ 保持面
３２ 移動手段
４０ 剥離板（剥離手段）
５０ 押圧手段
ＡＳ 接着シート
ＲＬ 剥離シート
ＲＳ 原反

Claims (4)

1. 帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
   前記原反の接着シートの位置を補正する位置補正手段と、
   前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段と、
   前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
   前記位置補正手段は、前記原反を前記剥離シート側から保持する保持面を有する保持手段と、前記原反を保持した保持手段を前記保持面に沿って移動させる移動手段とを備え、前記保持手段を前記保持面に沿う任意の方向に移動させて、前記接着シートを所定の位置に補正可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記原反を前記保持面に沿うように矯正する矯正手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 前記位置補正手段は、前記移動手段を前記保持面と平行な面で回動させる回動手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
4. 帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
   繰り出された原反を前記剥離シート側から保持する保持面を有する保持手段で前記原反を保持し、当該保持手段を前記保持面に沿う任意の方向に移動させて、前記接着シートを所定の位置に補正する工程と、
   位置が補正された接着シートを前記剥離シートから剥離する工程と、
   剥離された接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。

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