JP2020043105A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
シート貼付装置およびシート貼付方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020043105A JP2020043105A JP2018166856A JP2018166856A JP2020043105A JP 2020043105 A JP2020043105 A JP 2020043105A JP 2018166856 A JP2018166856 A JP 2018166856A JP 2018166856 A JP2018166856 A JP 2018166856A JP 2020043105 A JP2020043105 A JP 2020043105A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- adhesive sheet
- adherend
- detecting
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図1(B)〜(F)は、図1(A)と同じ方向から観た図なので、方向を示す矢印は省略する。
切断手段14は、駆動機器としての回動モータ14Aの出力軸14Bに支持され、円周面に平ループ状の切断部材としての切断刃14Cが設けられたダイカットローラ14Dと、ダイカットローラ14Dと同期回転するアンビルローラ14Eとを備えている。
繰出力付与手段17は、駆動機器としてのリニアモータ17Aと、その第1スライダ17Bに支持された駆動機器としてのリニアモータ17Cと、そのスライダ17Dに支持された駆動機器としての回動モータ17Eと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ17Fとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ17Gとを備えている。
原反保持手段21は、駆動機器としての直動モータ21Aの出力軸21Bに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な位置決め保持面21Cを有する原反保持プレート21Dを備え、当該位置決め保持面21Cで原反RSを面で保持することで、原反RSの移動を規制するように当該原反RSを保持する構成となっている。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段10が回動モータ14A、17Eを駆動し、接着シート積層体RS1を繰り出しつつ、ダイカットローラ14Dを回転させ、接着シート基材AS1に閉ループ状の切込CUを形成して接着シートASと不要シートUSとを形成する。次いで、図1(A)に示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部をシート先端検知機器19が検知すると、繰出手段10が回動モータ14A、17Eの駆動を停止する。
なお、原反RSが繰り出されると、カバーシートCSは、カバーシート剥離ローラ13Aで接着シート基材AS1から剥離され、カバーシート回収ローラ13に巻回されて回収されるとともに、不要シートUSは、不要シート剥離ローラ15Aで剥離シートRLから剥離され、不要シート回収ローラ15に巻回されて回収される。
繰出手段10は、不要シート剥離ローラ15Aおよび不要シート回収ローラ15が備わっていなくてもよいし、ピンチローラ17Fおよび駆動ローラ17Gを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ11、ガイドローラ12、調整ローラ16等を移動させ、原反RSを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で原反RSを保持して繰り出してもよいし、支持ローラ11やガイドローラ12等の各ローラの代わりに、板状部材やシャフト部材等で接着シート積層体RS1、原反RSまたは剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、接着シート積層体RS1や原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、回収手段として、巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりしてカバーシートCS、不要シートUSまたは剥離シートRLを回収する構成を採用したり、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積してカバーシートCS、不要シートUSまたは剥離シートRLを回収する構成を採用したりしてもよいし、調整ローラ16を昇降させなくてもよいし、直動モータ16Aや調整ローラ16が備わっていなくてもよい。
切断手段14は、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材AS1に短寸幅方向全体の切込CUを形成することで、その切込CUで仕切られた領域を接着シートASとし、その他の領域を不要シートUSとしてもよいし、原反RSを移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、接着シート基材AS1に切込CUを形成して接着シートASと不要シートUSとを形成してもよいし、切断部材として、例えば、接着シート基材AS1に離間接近することで、当該接着シート基材AS1に所定形状の切込CUを形成する所謂平刃を採用してもよいし、切断刃14Cがダイカットローラ14Dに対して着脱可能でもよいし、着脱不能でもよい。
原反保持手段21は、原反RSに対して離間接近しない構成でもよいし、位置決め保持面21Cが平面でもよいし、凸曲面、凸型面、凹曲面、凹型面、凹凸曲面または凹凸型面等の平面以外の面でもよいし、原反RSの移動を規制するように当該原反RSを保持できれば、原反RSを面で保持することなく、例えば、線や点等で保持してもよい。
接着シート検知機器22は、前記実施形態のように、剥離シートRLの一方の面RL1側から接着シートASの位置を検知してもよいし、例えば、剥離シートRLが透明な場合や、透明な原反保持プレート21Dを採用した場合や、透明でない剥離シートRLを透過して接着シートASを検知可能な接着シート検知機器22を採用した場合等において、剥離シートRLの他方の面RL2側から接着シートASの位置を検知してもよい。
被着体支持手段30は、被着体支持テーブル33を前後方向に移動不能な構成としてもよいし、被着体支持テーブル33に保持手段が備わっていなくてもよいし、ウエハWFの外側またはウエハWFを囲むようにリングフレームや額縁等のフレーム部材を支持し、当該ウエハWFおよびフレーム部材を被着体としてもよく、この場合、当該被着体支持手段30は、接着シート検知手段20の検知結果を基に、当該接着シート検知手段20で検知した接着シートASの位置に合わせてウエハWFおよびフレーム部材を対向配置させ、押圧手段40でウエハWFおよびフレーム部材に接着シートASを押圧して貼付することができる。
原反RSは、接着シート基材AS1上にカバーシートCSが仮着されていなくてもよいし、接着シート基材AS1上にカバーシートCS以外の他のシートや層が仮着されていてもよいし、カバーシートCS上に別のシートや層が仮着されていてもよく、接着シート基材AS1上にカバーシートCSや他のシート等が仮着されていない場合、繰出手段10は、カバーシート剥離ローラ13Aやカバーシート回収ローラ13が備わっていなくてもよいし、備わっていてもよい。
ウエハWFは、一方の面および他方の面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
10…繰出手段
20…接着シート検知手段
21…原反保持手段
22…接着シート検知機器
30…被着体支持手段
40…押圧手段
50…剥離手段
AS…接着シート
RL…剥離シート
RL1…一方の面
RL2…他方の面
RS…原反
WF…半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出した前記原反における前記接着シートの位置を検知する接着シート検知手段と、
前記接着シートの貼付対象となる被着体を支持し、前記接着シート検知手段で検知した前記接着シートの位置に合わせて当該被着体を対向配置させる被着体支持手段と、
前記接着シートに対向配置させた前記被着体に当該接着シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記被着体に貼付した接着シートから前記剥離シートを剥離する剥離手段とを有し、
前記接着シート検知手段は、前記剥離シートの他方の面側から前記原反の移動を規制するように当該原反を保持する原反保持手段と、当該原反保持手段で保持した前記原反における前記接着シートの位置を検知する接着シート検知機器とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出した前記原反における前記接着シートの位置を検知する接着シート検知工程と、
前記接着シートの貼付対象となる被着体を支持し、前記接着シート検知工程で検知した前記接着シートの位置に合わせて当該被着体を対向配置させる被着体支持工程と、
前記接着シートに対向配置させた前記被着体に当該接着シートを押圧して貼付する押圧工程と、
前記被着体に貼付した接着シートから前記剥離シートを剥離する剥離工程とを実施し、
前記接着シート検知工程では、前記剥離シートの他方の面側から前記原反の移動を規制するように当該原反を保持する原反保持工程と、当該原反保持工程で保持した前記原反における前記接着シートの位置を検知する位置検知工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018166856A JP2020043105A (ja) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018166856A JP2020043105A (ja) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020043105A true JP2020043105A (ja) | 2020-03-19 |
Family
ID=69799434
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018166856A Ceased JP2020043105A (ja) | 2018-09-06 | 2018-09-06 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020043105A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07195527A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Nitto Denko Corp | 基板への粘着フィルム貼着装置 |
JP2008117988A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2015154033A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2015162523A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
-
2018
- 2018-09-06 JP JP2018166856A patent/JP2020043105A/ja not_active Ceased
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07195527A (ja) * | 1993-12-29 | 1995-08-01 | Nitto Denko Corp | 基板への粘着フィルム貼着装置 |
JP2008117988A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2015154033A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2015162523A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2018162094A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP7446071B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP7067951B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2020043105A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP7208747B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2020043107A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP3235423U (ja) | シート貼付装置 | |
JP7213046B2 (ja) | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 | |
JP2020057744A (ja) | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 | |
JP7129447B2 (ja) | シート供給装置およびシート供給方法 | |
JP7346092B2 (ja) | シート回収装置およびシート回収方法 | |
JP7360812B2 (ja) | シート支持装置およびシート支持方法 | |
JP3210845U (ja) | シート繰出装置 | |
JP7458245B2 (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP7296222B2 (ja) | シート剥離装置およびシート剥離方法 | |
JP7233891B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP3210844U (ja) | シート繰出装置 | |
WO2020084968A1 (ja) | シート貼付方法 | |
JP7064891B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6983062B2 (ja) | シート供給装置およびシート供給方法 | |
JP7149059B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP5902033B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法、並びに、シート形成装置および形成方法 | |
JP2021153144A (ja) | 転写装置および転写方法 | |
JP2020055276A (ja) | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 | |
JP2021017275A (ja) | シート供給装置およびシート供給方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210720 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220726 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220921 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221213 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20230425 |