JP2008117988A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】帯状の原反11を繰り出す繰出手段12と、原反11を構成する保護シートPS及び接着シートSに設けられた切り込み13を形成して貼付用シートS1を形成する切り込み形成手段14と、切り込み13の外側の不要シート部分USを巻き取る巻取手段15と、貼付用シートS1上の保護シートPSを剥離する剥離手段16と、貼付用シートS1を半導体ウエハW貼付する貼付手段17とを備え、剥離手段16を介して原反11の繰出方向を変更するだけで、保護シートPSを貼付用シートS1から剥離して当該貼付用シートS1を半導体ウエハWに貼付するようになっている。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シート及び保護シートが積層されている層構造となる原反を対象とし、被着体の形状に合わせて形成された貼付用シートを被着体に貼付する際に、保護シートに物理的に接触して剥離を行う専用の装置を必要とすることなく貼付用シートを表出させて被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記原反の繰出方向を変更させることで、前記保護シートの貼付用シートからの剥離力と貼付用シートの剥離シートからの剥離力との相違を利用して保護シートを貼付用シートから剥離し、
前記剥離によって表出する貼付用シートを前記被着体に貼付した後、前記剥離シートを貼付用シートから剥離し巻き取る、という方法を採っている。
また、切り込み形成手段を配置した構成では、帯状の剥離シートに帯状の接着シート及び保護シートを積層した構造の原反を繰り出す途中で被着体に貼付する貼付用シートを形成することができる。
更に、前記繰出方向を変更する角度を貼付用シートが剥離シートに付随可能な角度範囲内で決定する構成とすれば、例えば、一般的な鋼材を利用することが可能となり、わざわざ加工して鋭角なエッヂを有するピールプレートのような部材を用意する必要がなく廉価に提供することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 原反
12 繰出手段
13 切り込み
15 巻取手段
16 剥離手段
17 貼付手段
14 切り込み形成手段
40 テーブル(貼付手段)
44 押圧手段(貼付手段)
W 半導体ウエハ(被着体)
RL 剥離シート
PS 保護シート
S 接着シート
S1 貼付用シート
US 不要シート部分
Claims (8)
- 帯状の剥離シートの一方の面に所定間隔を隔てて設けられた貼付用シート及びこれを保護する保護シートを備えた原反を繰り出す繰出手段と、前記保護シートを剥離して貼付用シートを表出させる剥離手段と、この剥離によって表出する貼付用シートを所定の被着体に貼付する貼付手段とを備え、
前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離することを特徴とするシート貼付装置。 - 帯状の剥離シートの一方の面に閉ループ状の切り込みが形成された帯状の接着シート及び保護シートが積層された原反を繰り出す繰出手段と、前記切り込みの外側に位置する保護シート部分及び接着シート部分を不要シート部分として前記剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段と、前記巻き取りによって剥離シート上に残される貼付用シート上の保護シートを剥離する剥離手段と、この剥離によって表出する貼付用シートを所定の被着体に貼付する貼付手段とを備え、
前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離することを特徴とするシート貼付装置。 - 帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シート及び保護シートが積層された原反を繰り出す繰出手段と、前記接着シート及び保護シートに閉ループ状の切り込みを形成する切り込み形成手段と、前記切り込みの外側に位置する保護シート部分及び接着シート部分を不要シート部分として前記剥離シートから剥離して巻き取る巻取手段と、前記巻き取りによって剥離シート上に残される貼付用シート上の保護シートを剥離する剥離手段と、この剥離によって表出する貼付用シートを所定の被着体に貼付する貼付手段とを備え、
前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更することにより、前記剥離シートに前記貼付用シートを保持した状態で保護シートを剥離することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記剥離手段は、前記原反の繰出方向を変更するコーナーを有する板状若しくはブロック状部材を備えていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。
- 前記コーナー角度は、前記貼付用シートが剥離シートに付随可能な角度の範囲で決定されることを特徴とする請求項4記載のシート貼付装置。
- 前記貼付手段は、前記被着体を支持するテーブルと、当該テーブルの相対位置に配置される押圧手段とを備え、
前記テーブルと押圧手段は、相互に離間接近可能に設けられていることを特徴とする請求項1ないし5の何れかに記載のシート貼付装置。 - 前記接着シートは感熱接着性の接着シートであり、前記テーブル及び/又は押圧手段は、加熱手段を備えていることを特徴とする請求項1ないし6の何れかに記載のシート貼付装置。
- 帯状の剥離シートの一方の面に所定間隔を隔てて設けられた貼付用シート及びこれを保護する保護シートを備えた原反を繰り出す途中で前記保護シートを剥離し、当該剥離によって表出する貼付用シートを所定の被着体に貼付するシート貼付方法において、
前記原反の繰出方向を変更させることで、前記保護シートの貼付用シートからの剥離力と貼付用シートの剥離シートからの剥離力との相違を利用して保護シートを貼付用シートから剥離し、
前記剥離によって表出する貼付用シートを前記被着体に貼付した後、前記剥離シートを貼付用シートから剥離して巻き取ることを特徴とするシート貼付方法。
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