JP2010073955A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リングフレームRFを支持するテーブル11と、このテーブル11に支持されたリングフレームRFの開口内に接着シートSを繰り出す繰出手段13と、テーブル11上の接着シートSとリングフレームRFとに粘着テープATを貼付する貼付手段16とを備えてシート貼付装置10が構成されている。貼付手段16による粘着テープATの貼付により接着シートS及びリングフレームRFが一体化される。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、装置を簡略化することで、安価な半導体チップを提供できるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記支持されたリングフレームの開口内又はリングフレームの開口部を覆うように接着シートを繰り出す工程と、
前記接着シートとリングフレームとに粘着テープを貼付し、これら接着シートとリングフレームとを一体化させる工程とを行う、という方法を採っている。
前記支持された半導体ウエハ上又はリングフレームの開口部を覆うように接着シートを繰り出す工程と、
前記接着シートとリングフレームとに粘着テープを貼付し、これら半導体ウエハと接着シートとリングフレームとを一体化させる工程とを行う、という方法を採っている。
接着シートSは、基材シートBS1と粘接着剤層Aとからなり、粘接着剤層Aは、ダイアタッチメントフィルム(DAF)であり、常温又は常温よりも高い極めて低い温度で加熱することでは粘着剤が機能する一方、高温にさらされることで接着剤が機能して接着が行われる。つまり、粘接着剤層Aは、粘着剤と接着剤の両機能を有するものである。接着シートSの平面形状は、リングフレームRFの開口に収まるサイズの略円形状に設けられている。
貼付手段16で用いられる原反R2には、剥離シートRLに所定間隔を隔てて粘着テープATが仮着されている。粘着テープATは、基材シートBS2と粘着剤層Bとからなり、粘着剤層Bは、感圧性の粘着テープからなり、その粘着剤はリングフレームRFに転着することなく剥離可能な組成となっている。粘着テープATの平面形状は、図3(A)に示されるように、前記リングフレームRF外縁からはみ出すことなく、且つ、リングフレームRFの開口を全体的に覆うことができる略円形状に形成されている。なお、粘着テープATは、図3(B)に示されるように、粘着テープATの面内中央に、接着シートSより小さいサイズの穴を形成してドーナツ状の平面形状としてもよい。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 テーブル(支持手段)
13 繰出手段
16 貼付手段
AT 粘着テープ
RF リングフレーム
S 接着シート
W 半導体ウエハ
Claims (4)
- リングフレームを支持する支持手段と、この支持手段に支持されたリングフレームの開口内又はリングフレームの開口部を覆うように接着シートを繰り出す繰出手段と、前記接着シートとリングフレームとに粘着テープを貼付し、これら接着シートとリングフレームとを一体化させる貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
- リングフレームと当該リングフレームの開口内に配置された半導体ウエハとを支持する支持手段と、この支持手段に支持された半導体ウエハ上又はリングフレームの開口部を覆うように接着シートを繰り出す繰出手段と、前記接着シートとリングフレームとに粘着テープを貼付し、これら半導体ウエハと接着シートとリングフレームとを一体化させる貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
- リングフレームを支持する工程と、
前記支持されたリングフレームの開口内又はリングフレームの開口部を覆うように接着シートを繰り出す工程と、
前記接着シートとリングフレームとに粘着テープを貼付し、これら接着シートとリングフレームとを一体化させる工程とを行うことを特徴とするシート貼付方法。 - リングフレームと当該リングフレームの開口内に配置された半導体ウエハとを支持する工程と、
前記支持された半導体ウエハ上又はリングフレームの開口部を覆うように接着シートを繰り出す工程と、
前記接着シートとリングフレームとに粘着テープを貼付し、これら半導体ウエハと接着シートとリングフレームとを一体化させる工程とを行うことを特徴とするシート貼付方法。
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