JP2006339607A - 転写装置とその方法、剥離装置とその方法、貼付装置とその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送テーブル8がガラス板G付きウエハWを搬送する動作とこの動作に同期してサクションローラ2がその軸心回りに回動することにより、サクションローラ2がウエハWを剥離し保持し、剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に搬送テーブル8がリングフレームFを搬送する。この動作に同期してサクションローラ2がその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、サクションローラ2に保持されているウエハWがダイシングテープT2を介してリングフレームFに貼り付けられる。
【選択図】図2
Description
(2)ウエハ吸着用アーム901により、アライメント完了後のガラス板G付きウエハWをアライメント装置12から取り出して紫外線照射装置13の搬送テーブル130上にセットする。
(3)ウエハ吸着用アーム901により、紫外線照射後のガラス板G付きウエハWを紫外線照射装置13から取り出して搬送テーブル8上にセットする。
(4)リングフレーム吸着用アーム902により、リングフレームFにマウント済みウエハWを昇降テーブル14上のウエハカセット15内に移送し装填する。
(2) ガラス板吸着パッド181により、搬送テーブル8上にあるウエハ剥離済みのガラス板Gをガラスストッカテーブル20へ移動する。
B=(r2−(b/2)2)1/2 …(2)
C=(A−B)/2 …(3)
また、ウエハWのX軸方向ずれ量Cは、ON/OFFセンサ21、22の配置間隔Dを用いて下記の式(4)でも算出することもできる。
C=D−A 又は C=D−B …(4)
図1の転写装置1においては、最初に、図1に示すウエハカセット11からガラス板G付きウエハWが取り出されアライメント装置12内に移送され、同装置12で当該ウエハWのアライメントが行なわれる。
前記アライメントが終了すると、ガラス板G付きウエハWが紫外線照射装置13内に移送され、同装置13内でガラス板GとウエハWとの間の紫外線硬化型の両面粘着テープに紫外線が照射される。これにより当該両面粘着テープの粘着力が低下し、ウエハWが簡単に剥離可能な状態になる。
また、ウエハWの剥離準備の一環として、剥離の切っ掛けを形成する動作も行なわれる。すなわち、紫外線照射が完了すると、ガラス板G付きウエハWはスタンバイ位置S1にある搬送テーブル8上に吸着セットされる。この状態でカッタ刃16が図示しない移動機構によってガラス板G付きウエハWの外周面側から、ウエハWと紫外線硬化型の両面粘着テープとの間に刃先が入り込み、剥離の切っ掛けとなる切り込みが形成される(詳しくは特願2004−237332号参照)。
さらに、ウエハWの剥離準備の一環として、サクションローラ2にダイシングテープT2をセットする動作も行なわれる。すなわち、サクションローラ2が図2のようにダイシングテープT2を吸引保持する位置で同図矢印イの方向に所定の回転角回転し、この回転動作に同期してダイシングテープ繰出し装置17からサクションローラ2の外周面にダイシングテープT2が一枚繰出される。このとき、サクションローラの吸引力でダイシングテープT2がその外周面に吸引されて保持される。尚、サクションローラ2外周面に当接するのはダイシングテープT2の非接着面であり、ダイシングテープT2の接着剤面T2−1は表に露出することとなる。
上記の剥離準備が完了すると、ガラス板G付きウエハWからウエハWを剥離する動作が行なわれる。すなわち、図5のようにスタンバイ位置S1にある搬送テーブル8がガラス板G付きウエハWをサクションローラ2の方向に搬送する。搬送テーブル8が所定位置に達したことを図示しないセンサが検知して、昇降手段X1によってサクションローラ2が下降し、搬送テーブル8の搬送と同期してサクションローラ2が図5中矢印イで示す方向に回転し、ダイシングテープT2の接着剤面T2−1でウエハWを徐々に剥離し保持する。つまり、ここではダイシングテープT2の接着剤面T2−1がウエハWに当接することによってその接着力により当該ウエハWを保持する。剥離が完了し、所定角度回転した位置でサクションローラ2の回転は停止し、昇降手段X1によってサクションローラ2は上昇して待機する。このときの状態を示したものが図6である。
以上のようにしてウエハWの剥離が完了すると、ウエハWをリングフレームFに貼り付ける準備に入る。すなわち、図7に示したように、搬送テーブル8が作業エリアS2まで更に前進し、搬送ロボット18が搬送テーブル8上からのガラス板Gの除去と、リングフレームFのセットとを同時に行なう。
また、ウエハWの貼付準備の一環として、サクションローラ2に保持されているウエハWについてアライメントが行なわれる。このアライメントは前述の通り、ウエハWのX軸方向ずれ量と、ウエハWの中心ずれ角θを特定するものである。
上記のアライメントが完了すると、その後、ダイシングテープT2を介してウエハWをリングフレームFに貼り付ける動作が行なわれる。すなわち、図8に示したように作業エリアS2にある搬送テーブル8がリングフレームFを前記剥離時とは逆の方向に搬送する。この搬送の動作に同期してサクションローラ2が前記剥離時とは逆の方向(図中矢印ハで示す方向)に回転する。これらの動作により、サクションローラ2に保持されているウエハWがダイシングテープT2を介してリングフレームFに貼り付けられていく。尚、この貼り付けに際して、前記ウエハのアライメントで特定されたウエハWのX軸方向のずれ量と、ウエハWの中心ずれ角θの補正が行われる。すなわち、X軸方向単軸ロボット807によってX軸方向のズレ量が補正され、昇降手段X1の下降による貼付け開始位置を前後させることによってY軸方向のズレ量が補正される。これにより、リングフレームF内に正確にウエハWが貼り付けられることとなる。この貼付の動作はサクションローラ2の回転角度に応じて進行し、リングフレームFにウエハWが貼り付けマウントされ、所定角進んだ位置で、サクションローラ2の回転は停止し、昇降手段X1が上昇し、初期位置に復帰する。その後、次の転写のため前述したダイシングテープのセット動作が行なわれる。
2 サクションローラ(保持ローラ)
8 搬送テーブル(搬送手段)
16 カッタ刃
F リングフレーム(第2の支持部材)
G ガラス板(第1の支持部材)
K 剥離シート(第1の支持部材)
L 粘着ラベル(板状部材)
M ラベル貼付対象物(第2の支持部材)
T2 ダイシングテープ(接着シート)
T2−1 ダイシングテープの接着剤面
W ウエハ(板状部材)
Claims (18)
- 第1の支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離し、第2の支持部材に貼り付ける転写装置であって、
前記転写装置は、
前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラと、
前記保持ローラの外周接線方向に第1及び/又は第2の支持部材を搬送する搬送手段とを具備し、
前記搬送手段が前記第1の支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送し、この動作に同期して前記保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラが前記板状部材に当接して当該板状部材を前記第1の支持部材から剥離保持し、
前記剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が前記第2の支持部材を搬送し、この動作に同期して前記保持ローラがその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第2の支持部材に貼り付けること
を特徴とする転写装置。 - 前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、前記板状部材に当接してその吸引力により当該板状部材を保持し、第1の支持部材からの剥離と、第2の支持部材への貼り付けを行なうこと
を特徴とする請求項1に記載の転写装置。 - 前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記板状部材に当接することによってその接着力により当該板状部材を保持し、第1の支持部材からの剥離と、第2の支持部材への貼り付けを行なうこと
を特徴とする請求項1に記載の転写装置。 - 前記第1の支持部材はガラス板であり、
前記第2の支持部材はリングフレームであって、
前記板状部材は半導体ウエハであること
を特徴とする請求項3に記載の転写装置。 - 前記第2の支持部材は、予め接着シートが貼り付けられたリングフレームであり、
前記板状部材は、半導体ウエハであって、
前記保持ローラに保持されている前記半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けること
を特徴とする請求項1、2のいずれかに記載の転写装置。 - 前記第1の支持部材は剥離シートであり、
前記板状部材は粘着ラベルであること
を特徴とする請求項1、2のいずれかに記載の転写装置。 - 前記板状部材の剥離を行なう前に剥離の切っ掛けを形成すること
を特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の転写装置。 - 支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離する剥離装置であって、
前記剥離装置は、
前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラと、
前記保持ローラの外周接線方向に支持部材を搬送する搬送手段とを具備し、
前記搬送手段が前記支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送し、この動作に同期して前記保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラが前記板状部材に当接して当該板状部材を前記支持部材から剥離保持すること
を特徴とする剥離装置。 - 前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、前記板状部材に当接してその吸引力により当該板状部材を保持し、支持部材からの剥離を行なうこと
を特徴とする請求項8に記載の剥離装置。 - 前記保持ローラは、その外周面に多数の吸引口を有するサクションローラであり、前記接着シートの非接着剤面を吸引し、当該接着シートの接着剤面が前記板状部材に当接することによってその接着力により当該板状部材を保持し、支持部材からの剥離を行なうこと
を特徴とする請求項8に記載の剥離装置。 - 前記支持部材はガラス板であり、
前記板状部材は半導体ウエハであること
を特徴とする請求項8、9、10のいずれかに記載の剥離装置。 - 前記支持部材は剥離シートであり、
前記板状部材は粘着ラベルであること
を特徴とする請求項8、9のいずれかに記載の剥離装置。 - 前記板状部材の剥離を行なう前に剥離の切っ掛けを形成すること
を特徴とする請求項8乃至12のいずれかに記載の剥離装置。 - 被着体に板状部材を貼り付ける貼付装置であって、
前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラと、
前記保持ローラの外周接線方向に被着体を搬送する搬送手段とを具備し、
前記搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して前記保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付けること
を特徴とする貼付装置。 - 前記被着体は、予め接着シートが貼り付けられたリングフレームであり、
前記板状部材は、半導体ウエハであって、
前記保持ローラに保持されている前記半導体ウエハを前記接着シートを介して前記リングフレームに貼り付けること
を特徴とする請求項14に記載の貼付装置。 - 第1の支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離し、第2の支持部材に貼り付ける転写方法であって、
前記転写方法は、
前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラと、
前記保持ローラの外周接線方向に第1及び/又は第2の支持部材を搬送する搬送手段とを用い、
前記搬送手段が前記第1の支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送し、この動作に同期して前記保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラが前記板状部材に当接して当該板状部材を前記第1の支持部材から剥離保持し、
前記剥離の完了後に、剥離時とは逆方向に前記搬送手段が前記第2の支持部材を搬送し、この動作に同期して前記保持ローラがその軸心回りに剥離時とは逆方向に回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記第2の支持部材に貼り付けること
を特徴とする転写方法。 - 支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離する剥離方法であって、
前記剥離方法は、
前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラと、
前記保持ローラの外周接線方向に支持部材を搬送する搬送手段とを用い、
前記搬送手段が前記支持部材に貼り付けられた板状部材を搬送し、この動作に同期して前記保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラが前記板状部材に当接して当該板状部材を前記支持部材から剥離保持すること
を特徴とする剥離方法。 - 被着体に板状部材を貼り付ける貼付装置であって、
前記板状部材を保持可能な円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラと、
前記保持ローラの外周接線方向に被着体を搬送する搬送手段とを用い、
前記搬送手段が被着体を搬送する動作に同期して前記保持ローラがその軸心回りに回動することにより、前記保持ローラに保持されている板状部材を前記被着体に貼り付けること
を特徴とする貼付方法。
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