JP2019179866A - テープ貼着方法及びテープ貼着装置 - Google Patents
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
まず、剥離シート27の表面側27a側に貼着された粘着テープ21を露出させる粘着テープ準備ステップを実施する。図4は、粘着テープ準備ステップにおけるテープ貼着装置2を模式的に示す一部断面正面図である。
次に、貼り替えローラ10を粘着テープ21の基材23と接するように転がし、粘着テープ21を剥離シート27から剥離しながら貼り替えローラ10の外周面に吸着させて巻き取る粘着テープ巻き取りステップを実施する。図5(A)及び図5(B)は、粘着テープ巻き取りステップにおけるテープ貼着装置2を模式的に示す一部断面正面図である。
次に、貼り替えローラ10をチャックテーブル16によって保持された被加工物と接するように転がし、貼り替えローラ10の外周面に吸着された粘着テープ21を被加工物に押圧して貼着する貼着ステップを実施する。図6(A)及び図6(B)は、貼着ステップにおけるテープ貼着装置2を模式的に示す一部断面正面図である。
13 基板
13a 表面
13b 裏面
15 ストリート
17 デバイス
19 保護テープ
21 粘着テープ
23 基材
25 粘着層
27 剥離シート
27a 表面
27b 裏面
29 原反ロール
31 環状フレーム
33 フレームユニット
35 デバイスチップ
37 ダイアタッチフィルム
39 フレームユニット
2 テープ貼着装置
4 繰り出しユニット
6 回収ユニット
8 剥離シート支持部
8a 上面
8b 下面
8c 側面
10 貼り替えローラ
12 基台
14 吸着層
16 チャックテーブル
16a 第1の保持面
16b 第2の保持面
18 支持テーブル
30 研削装置
32 チャックテーブル
32a 保持面
34 研削ユニット
36 スピンドル
38 マウント
40 研削ホイール
42 ホイール基台
44 研削砥石
50 レーザー加工装置
52 チャックテーブル
52a 保持面
54 集光器
Claims (4)
- 粘着層と基材とからなり該粘着層が剥離シートの表面側に貼着された円形の粘着テープを、該剥離シートから剥離して板状の被加工物に貼着するテープ貼着方法であって、
該剥離シートの裏面側を支持して、該剥離シートの表面側に貼着された該粘着テープを露出させる粘着テープ準備ステップと、
該粘着テープ準備ステップを実施した後、幅及び外周の長さが該粘着テープの直径より大きく、外周面で該粘着テープの該基材側を吸着する機能を備える貼り替えローラを該基材と接するように転がし、該粘着テープを該剥離シートから剥離しながら該貼り替えローラの外周面に吸着させて巻き取る粘着テープ巻き取りステップと、
該粘着テープ巻き取りステップを実施した後、該貼り替えローラをチャックテーブルによって保持された該被加工物と接するように転がし、該貼り替えローラの外周面に吸着され該粘着層が露出した該粘着テープを該被加工物に押圧して貼着する貼着ステップと、を備えることを特徴とするテープ貼着方法。 - 該貼着ステップでは、該チャックテーブルで支持された環状フレームに該粘着テープの外周部を貼着し、該環状フレームによって該被加工物が囲繞されて支持されるフレームユニットを形成することを特徴とする請求項1記載のテープ貼着方法。
- 該被加工物は、表面に格子状に形成されたストリートに沿って複数のデバイスチップに分割され、表面に保護テープが貼着されたデバイスウェーハであって、
該粘着テープにはダイアタッチフィルムが貼着されており、
該貼着ステップでは、該デバイスウェーハの裏面に該ダイアタッチフィルムを介して該粘着テープを貼着することを特徴とする請求項1又は2記載のテープ貼着方法。 - 粘着層と基材とからなり該粘着層が剥離シートの表面側に貼着された円形の粘着テープを、該剥離シートから剥離して板状の被加工物に貼着するテープ貼着装置であって、
該粘着テープが貼着された剥離シートを巻回して構成された原反ロールから該剥離シートを繰り出す繰り出しユニットと、
繰り出しユニットによって繰り出された該剥離シートの裏面側を支持する剥離シート支持部と、
該被加工物を保持するチャックテーブルと、
幅及び外周の長さが該粘着シートの直径より大きく、外周面で該粘着シートの該基材側を吸着する機能を有する貼り替えローラを備え、該貼り替えローラを該剥離シート支持部に支持された該粘着テープと接するように転がして該粘着テープを巻き取り、該貼り替えローラを該チャックテーブルに保持された該被加工物と接するように転がして該粘着テープを該被加工物に貼着する貼り替えユニットと、を備えることを特徴とするテープ貼着装置。
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