JP5784298B2 - 加工方法及び加工装置 - Google Patents
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Description
(1)裏面に裏面側UVテープが貼着されたワークの表面に環状を描くようにレーザービームを照射してアブレーション加工を施し、ワークの裏面にまで至る複数の環状切断面を形成し複数の柱状部材を形成する加工工程、
(2)加工工程の後に、ワークの表面に表面側UVテープを貼着して環状切断面によってワークから分離された複数の柱状部材を粘着部材に貼り付ける貼付工程、
(3)ワークの柱状部材が形成された部分以外にワークの表面側から紫外線を照射することにより、表面側UVテープのうち柱状部材以外の部分に貼り付けられた位置の粘着力を低下させる工程、
(4)裏面側UVテープが貼着されたワークの柱状部材が形成された部分に向けてワークの裏面側から紫外線を照射し、裏面側UVテープのうち柱状部材が貼着された部分の粘着力を低下させる工程、
(5)貼付工程の後に、柱状部材が貼り付いた表面側UVテープをワークの表面から剥がし、複数の柱状部材をワークから離間することによってワークに貫通孔を形成する貫通孔形成工程。
(1)裏面に裏面側UVテープが貼着されたワークを保持する保持手段、
(2)保持手段に保持されたワークの表面にレーザービームを照射してワークの裏面にまで至る環状切断面を形成する加工手段、
(3)ワークの表面に表面側UVテープを貼着し表面側UVテープをワークの表面から剥がして柱状部材をワークから離間することによって、ワークに貫通孔を形成する離間手段。
そして、離間手段は、ワークが載置されるテーブルと、ワークの表面に表面側UVテープを貼付する貼付部とを備え、テーブルには、ワークが載置されるステージと、柱状部材に対応する位置に形成された複数の孔と、ステージの下方に配設されたUV光源と、を備え、貼付部には、表面側UVテープに対して紫外線を照射するUV照射部と、UV照射部から柱状部材に対して照射される紫外線を遮蔽するように形成されたマスク部材とを備え、UV光源から複数の孔を通過させて裏面側UVテープのうち柱状部材が貼着された部分に紫外線を照射するとともに、UV照射部から柱状部材以外の部分に貼り付けられた表面側UVテープに紫外線を照射する。
出力:20[W]
周波数:100[kHz]
送り速度:100[mm/s]
パルス幅:ピコオーダー
波長:515[nm]
走査回数:30回
環状切断面の直径:4[mm]
2:保持手段 2a:吸引部 2b:フレーム固定部
20:X方向送り手段 200:ボールネジ 201:ガイドレール 202:モータ
203:移動基台 204:回転駆動部
21:Y方向送り手段
210:ボールネジ 211:ガイドレール 212:モータ 213:支持板
3:加工手段 30:照射ヘッド
4:離間手段
5:カセット載置領域 50:カセット
6:第一の搬送手段 60:挟持部 61:仮置き領域
7:第二の搬送手段 70:吸着部
8:テーブル 80:ステージ 80a:孔 800:UV光源
81:吸着部 82:軸部
9:貼付部 9a:UVテープ
90:テープロール 91:送り機構 92:巻き取り機構
93:使用済みテープロール
94:折り返し部
940:回転軸 941:軸支部
95:UV照射部 950:UV光源 951:マスク部材
96:柱状部回収部 960:受け部 961:壁部 962:つば部
97:可動支持部材 970:溝
W:ワーク T:UVテープ F:フレーム
100:環状切断面 101:柱状部材 102:貫通孔
Claims (2)
- ワークに貫通孔を形成する加工方法であって、
裏面に裏面側UVテープが貼着されたワークの表面に環状を描くようにレーザービームを照射してアブレーション加工を施し、該ワークの裏面にまで至る複数の環状切断面を形成し複数の柱状部材を形成する加工工程と、
該加工工程の後に、該ワークの表面に表面側UVテープを貼着して該環状切断面によって該ワークから分離された複数の柱状部材を該粘着部材に貼り付ける貼付工程と、
該ワークの該柱状部材が形成された部分以外に該ワークの表面側から紫外線を照射することにより、該表面側UVテープのうち該柱状部材以外の部分に貼り付けられた位置の粘着力を低下させる工程と、
該裏面側UVテープが貼着されたワークの該柱状部材が形成された部分に向けて該ワークの裏面側から紫外線を照射し、該裏面側UVテープのうち該柱状部材が貼着された部分の粘着力を低下させる工程と、
該貼付工程の後に、該柱状部材が貼り付いた該表面側UVテープを該ワークの表面から剥がし、複数の該柱状部材を該ワークから離間することによって該ワークに貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、を含む加工方法。 - 裏面に裏面側UVテープが貼着されたワークを保持する保持手段と、
該保持手段に保持された該ワークの表面にレーザービームを照射して該ワークの裏面にまで至る環状切断面を形成する加工手段と、
該ワークの表面に表面側UVテープを貼着し該表面側UVテープを該ワークの表面から剥がして該柱状部材を該ワークから離間することによって、該ワークに貫通孔を形成する離間手段と、
を少なくとも備え、
該離間手段は、該ワークが載置されるテーブルと、該ワークの表面に該表面側UVテープを貼付する貼付部とを備え、
該テーブルには、該ワークが載置されるステージと、該柱状部材に対応する位置に形成された複数の孔と、該ステージの下方に配設されたUV光源と、を備え、
該貼付部には、該表面側UVテープに対して紫外線を照射するUV照射部と、該UV照射部から該柱状部材に対して照射される紫外線を遮蔽するように形成されたマスク部材とを備え、
該UV光源から該複数の孔を通過させて該裏面側UVテープのうち該柱状部材が貼着された部分に紫外線を照射するとともに、該UV照射部から該柱状部材以外の部分に貼り付けられた該表面側UVテープに紫外線を照射する
加工装置。
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