JP4324788B2 - ウェーハマウンタ - Google Patents
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Description
上昇し、フレームホルダ59に保持された第2のフレームF2の上面とウェーハWの裏面とが同一高さになるように位置決めする。なお、第2のフレームF2は予め搬送手段70によって空フレームカセット82からフレームホルダ59に搬送され、フレームホルダ59上で待機している。
Claims (4)
- ウェーハを粘着シートを介して該ウェーハの外側に配置されたリング状のフレームにマウントするウェーハマウンタにおいて、
回路パターンが形成された主表面である一方の面側に第1の粘着シートが貼着されて該第1の粘着シートを介してリング状の第1のフレームにマウントされたダイシング後のウェーハの一方の面側をテーブル上に載置し、該ウェーハ外周近傍の該第1の粘着シートを切断することにより該ウェーハを前記第1のフレームから分離するフレーム分離手段と、
前記テーブルに載置されて前記第1のフレームが分離された前記ウェーハの他方の面に第2の粘着シートを押圧して貼着し、該第2の粘着シートを介してリング状の第2のフレームに該ウェーハをマウントするフレームマウント手段と、
前記第2のフレームにマウントされた前記ウェーハを吸着台へ吸着し、該吸着台を180度回転させることにより該ウェーハの一方の面と他方の面の位置を反転させる反転部と、
前記ウェーハの一方の面に貼着された前記第1の粘着シートを該第1の粘着シートの粘着力を低下させることにより剥離するシート剥離手段と、を有したことを特徴とするウェーハマウンタ。 - 前記ウェーハは前記第1の粘着シートを介して前記第1のフレームと一体化された状態で個々のチップにダイシングされたウェーハであり、前記第2の粘着シートを伸延させることにより前記第2のフレームにマウントされたウェーハの個々のチップ間の間隔を拡大するエキスパンド手段が設けられていることを特徴とする、請求項1に記載のウェーハマウンタ。
- 前記ウェーハの個々のチップ間の間隔が拡大されたエキスパンド状態を保持するエキスパンド保持手段が設けられていることを特徴とする、請求項2に記載のウェーハマウンタ。
- 前記第1のフレームと前記第2のフレームとは同種のフレームであることを特徴とする請求項1、2、及び3のうちいずれか1項に記載のウェーハマウンタ。
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