JP7002260B2 - 分離装置および分離方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、分離装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、ベルトコンベアやロボット等の図示しない移送手段が、図1中実線で示すように収容ケースSCを載置手段50の上面に載置すると、搬送手段20が多関節ロボット21およびチャックシリンダ22を駆動し、図1中二点鎖線で示すように、収容ケースSC内に収容された一体物WKのリングフレームRFをチャックアーム22Aで保持する。その後、搬送手段20が多関節ロボット21を駆動し、図1中実線で示すように、接着シートASの被着体貼付部分をテーブル31上に載置した後、支持手段30が図示しない減圧手段を駆動し、支持面31Aでの一体物WKの吸着保持を開始する。
また、搬送手段20で一体物WKを保持した状態で接着シートASを切断するので、接着シートASを切断する際にリングフレームRFを支持する構成が不要になり、装置が大型化することを防止することができる。
また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断したりしてもよい。
20 搬送手段
30 支持手段
40 切断手段
AS 接着シート
WF ウエハ(被着体)
WK 一体物
RF リングフレーム(フレーム部材)
Claims (2)
- 接着シートを介して被着体とフレーム部材とが一体化された一体物を保持して搬送する搬送手段と、
前記被着体に貼付されている前記接着シートの被着体貼付部分または、前記被着体を支持する支持手段と、
前記フレーム部材に貼付されているフレーム貼付部分と前記被着体貼付部分とに分かれるように前記接着シートを切断し、前記被着体と前記フレーム部材とを分離する切断手段とを備え、
前記搬送手段は、前記フレーム部材および前記フレーム貼付部分の少なくとも一方を保持可能に設けられ、
前記切断手段は、前記搬送手段で前記一体物を保持した状態で前記接着シートを切断することを特徴とする分離装置。 - 接着シートを介して被着体とフレーム部材とが一体化された一体物を搬送手段で保持して搬送する搬送工程と、
前記被着体に貼付されている前記接着シートの被着体貼付部分または、前記被着体を支持する支持工程と、
前記フレーム部材に貼付されているフレーム貼付部分と前記被着体貼付部分とに分かれるように前記接着シートを切断し、前記被着体と前記フレーム部材とを分離する切断工程とを備え、
前記搬送工程は、前記フレーム部材および前記フレーム貼付部分の少なくとも一方を保持し、
前記切断工程は、前記搬送手段で前記一体物を保持した状態で前記接着シートを切断することを特徴とする分離方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017177178A JP7002260B2 (ja) | 2017-09-14 | 2017-09-14 | 分離装置および分離方法 |
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JP2017177178A JP7002260B2 (ja) | 2017-09-14 | 2017-09-14 | 分離装置および分離方法 |
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JP2019054108A JP2019054108A (ja) | 2019-04-04 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005332931A (ja) | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハマウンタ |
JP2011073872A (ja) | 2009-10-02 | 2011-04-14 | Lintec Corp | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP2016178244A (ja) | 2015-03-20 | 2016-10-06 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 |
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2017
- 2017-09-14 JP JP2017177178A patent/JP7002260B2/ja active Active
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