JP6420623B2 - 離間装置および離間方法 - Google Patents
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Description
なお、このような課題は、半導体装置の製造に係るだけでなく、例えば緻密な機械部品や微細な装飾品等においても発生し得る。
また、本発明の離間装置では、前記切断手段は、前記各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びる切込からなる不干渉切込を形成可能に構成されていることが好ましい。
なお、本実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって図1中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、図1中実線で示すように、各部材が初期位置で待機する離間装置10に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物WKを搬送し、接着シートASの外縁4箇所を下把持部材23、43、63、83上に載置する。次いで、第1〜第4支持手段20、40、60、80が回動モータ24、44、64、84を駆動し、図1中に二点鎖線で示すように、接着シートASの外縁を下把持部材23、43、63、83および上把持部材26、46、66、86で把持する。次に、光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段の検知結果を基に、第1〜第4張力付与手段30、50、70、90がリニアモータ31、51、71、91を駆動し、接着シートASの中央部が大幅に垂れ下ることなく、ウエハWFから形成される複数のチップCPの相互間隔が広がらない程度の張力を接着シートASに付与した後、ウエハWFを所定の位置に位置決めする。次いで、第1〜第4支持手段20、40、60、80が直動回動モータ21、41、61、81を駆動し、一体物WKを下降させて接着シートASの下面を支持テーブル100の支持面101に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、接着シートASを吸着保持する。
これに対し、本実施形態では、図2(B)に示すように、接着シートASに不干渉切込CUを形成して離間用接着シートAUを形成するため、包囲領域ACに対して4方向に張力を付与したときに、当該包囲領域ACに対してそれらの合成方向に張力が付与されることを極力抑制することができ、各チップCPを理論上の位置に配置することができる。
支持テーブル100の支持面101の形状は、被着体貼付領域AWより大きくてもよいし、小さくてもよいし、同じであってもよい。
支持テーブル100は、接着シートASの全域を吸着保持可能としてもよく、この場合、支持面101の面内にカッター刃112の通過を許容する溝を設けるとよい。これにより、不干渉切込CUの形成時に接着シートASが上下に揺れて不干渉切込CUを適切に形成できなくなることをより確実に防止することができる。
支持テーブル100はなくともよい。
切断手段110は、図4(A)に示すように、被着体貼付領域AW1を囲む三角形の包囲領域AC2の各頂部AP2からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びる2つ辺CSを有する不干渉切込CU2を形成し、包囲領域AC2に張力を付与する3つの引張領域AL2を備える離間用接着シートAU2を形成してもよい。このような場合でも、図4(B)に示すように、各チップCPの位置が理論上の位置からずれてしまうことを極力防止することができる。また、包囲領域が三角形の場合でも、スリット状の切込からなる不干渉切込を形成してもよい。
切断手段110は、不干渉切込CU、CU2を構成する各辺CSや不干渉切込CU1を、曲線状や折線状等の切込で形成してもよい。
切断手段110は、カッター刃112の代わりにレーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の他の構成のものを採用してもよい。
切断手段110は、接着シートASの外縁側を切り落とすことなく不干渉切込CU、CU1、CU2を形成してもよい。
板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
片状体は、接着シートが貼付される以前の板状部材を切断することで形成されてもよいし、接着シート上で板状部材を切断ることで形成されてもよい。
支持手段および張力付与手段の数は、被着体貼付領域に対して張力を付与する数によって決定することができ、5つ以上であってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20…第1支持手段
30…第1張力付与手段
40…第2支持手段
50…第2張力付与手段
60…第3支持手段
70…第3張力付与手段
80…第4支持手段
90…第4張力付与手段
110…切断手段
AC、AC1、AC2…包囲領域
AP、AP1、AP2…頂部
AS…接着シート
AU、AU1、AU2…離間用接着シート
AW、AW1…被着体貼付領域
CP…チップ(片状体)
CS…辺
CU、CU1、CU2…不干渉切込
WF…ウエハ(板状部材)
Claims (2)
- 接着シート上の板状部材に少なくとも3方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
前記接着シートの第1方向側を第1支持手段で支持し、当該第1支持手段を第1方向に移動させて前記接着シートに第1方向への張力を付与する第1張力付与手段と、
前記接着シートの第2方向側を第2支持手段で支持し、当該第2支持手段を第2方向に移動させて前記接着シートに第2方向への張力を付与する第2張力付与手段と、
前記接着シートの第3方向側を第3支持手段で支持し、当該第3支持手段を第3方向に移動させて前記接着シートに第3方向への張力を付与する第3張力付与手段とが少なくとも設けられ、
前記板状部材の位置を検知する検知手段と、
前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びて、当該包囲領域に対して前記各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成可能な切断手段とを備え、
各張力付与手段は、前記検知手段の検知結果を基に、それぞれの支持手段で支持した前記接着シートに所定の張力を付与した後、前記板状部材を所定の位置に位置決めすることを特徴とする離間装置。 - 接着シート上の板状部材に少なくとも3方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、
前記接着シートの第1方向側を第1支持手段で支持する工程と、
前記接着シートの第2方向側を第2支持手段で支持する工程と、
前記接着シートの第3方向側を第3支持手段で支持する工程とを少なくとも有し、
前記板状部材の位置を検知手段で検知する工程と、
前記検知手段の検知結果を基に、各支持手段で支持した前記接着シートに所定の張力を付与した後、前記板状部材を所定の位置に位置決めする工程と、
前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びて、当該包囲領域に対して前記各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成する工程と、
前記第1支持手段を第1方向に移動させて前記接着シートに第1方向への張力を付与する工程と、
前記第2支持手段を第2方向に移動させて前記接着シートに第2方向への張力を付与する工程と、
前記第3支持手段を第3方向に移動させて前記接着シートに第3方向への張力を付与する工程とを備えていることを特徴とする離間方法。
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