KR102469385B1 - 이간 장치 및 이간 방법 - Google Patents

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Abstract

상호 간격이 넓혀진 피착체군 전체를 소정의 위치에 위치 결정하는 것.
일방의 면 (AS1) 과 타방의 면 (AS2) 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 (CP) 또는 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 을 구비하고, 상호 간격이 넓혀진 피착체 (CP) 군 전체를 한 덩어리로서 인식 가능한 검지 수단 (40) 과, 검지 수단 (40) 의 검지 결과를 기초로 하여, 한 덩어리의 피착체 (CP) 군 전체의 위치와 방위 중 적어도 일방의 위치 결정을 하는 위치 결정 수단 (50) 을 구비하고 있다.

Description

이간 장치 및 이간 방법{SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}
본 발명은, 이간 장치 및 이간 방법에 관한 것이다.
종래, 접착 시트에 첩부된 복수의 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2016－127124호
그러나, 특허문헌 1 에 기재된 바와 같은 종래의 이간 장치에서는, 개개의 접착 시트의 특성, 특질, 성질, 재질, 조성, 구성, 형상, 치수 및 중량이나, 분위기의 조건이나, 그 밖의 요인 등의 편차에 의해, 상호 간격이 넓혀진 편상체 (피착체) 군 전체가 소정의 위치에 정해지지 않고, 예를 들어, 상호 간격이 넓혀진 피착체를 픽업 장치로 픽업하는 경우, 당해 픽업 장치가 위치 어긋남을 일으켜 픽업을 할 수 없게 되거나 상호 간격이 넓혀진 피착체군 전체를 다른 것에 전사하는 경우, 위치 어긋남을 일으켜 전사되거나 한다는 문제를 발생한다.
본 발명의 목적은, 상호 간격이 넓혀진 피착체군 전체를 소정의 위치에 위치 결정할 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용했다.
본 발명에 의하면, 상호 간격이 넓혀진 피착체군 전체를 소정의 위치에 위치 결정할 수 있다.
도 1 의 (A) 는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 이간 장치의 평면도이다. (B) 는, (A) 의 측면도이다.
도 2 의 (A) ∼ (C) 는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 이간 장치의 동작 설명도이다.
도 3 의 (A), (B) 는, 본 발명의 다른 예의 설명도이다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y 축과 평행한 화살표 BD 방향에서 본 경우를 기준으로 하고, 기준이 되는 도면을 예시하지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상」 이 Z 축의 화살표 방향이고 「하」 가 그 역방향, 「좌」 가 X 축의 화살표 방향이고 「우」 가 그 역방향, 「전」 이 Y 축의 화살표 방향이고 「후」 가 그 역방향으로 한다.
본 발명의 이간 장치 (10) 는, 일방의 면 (AS1) 에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 상호 간격이 넓혀진 피착체 (CP) 군 전체를 한 덩어리로서 인식 가능한 검지 수단 (40) 과, 검지 수단 (40) 의 검지 결과를 기초로 하여, 한 덩어리의 피착체 (CP) 군 전체의 위치와 방위의 양방의 위치 결정을 하는 위치 결정 수단 (50) 을 구비하고 있다.
유지 수단 (20) 은, 이간 수단 (30) 에 지지된 구동 기기로서의 회동 모터 (21) 와, 그 출력축 (21A) 에 지지된 상유지 부재 (22) 를 구비하고 있다.
이간 수단 (30) 은, 구동 기기로서의 리니어 모터 (31) 와, 그 슬라이더 (31A) 에 지지되고, 상면측에서 회동 모터 (21) 를 지지하는 하유지 부재 (32) 를 구비하고 있다.
검지 수단 (40) 은, 카메라나 투영기 등의 촬상 수단, 광학 센서나 음파 센서 등의 각종 센서 등의 검지 기기 (41) 를 구비하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이나 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상 등을 검지 가능하게 되어 있다.
위치 결정 수단 (50) 은, Y 축 방향으로 이동하는 슬라이더 (51A) 를 구비한 구동 기기로서의 리니어 모터 (51) 와, 슬라이더 (51A) 에 지지되고, X 축 방향으로 이동하는 슬라이더 (52A) 를 구비한 구동 기기로서의 리니어 모터 (52) 와, 슬라이더 (52A) 에 지지되고, Z 축을 중심으로 회전하는 출력축 (53A) 을 구비한 구동 기기로서의 회동 모터 (53) 와, 출력축 (53A) 에 지지되고, 상방에서 이간 수단 (30) 을 지지하는 베이스 테이블 (54) 을 구비하고 있다.
이상의 이간 장치 (10) 의 동작을 설명한다.
먼저, 각 부재가 도 1(A), (B) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에서 대기하고 있는 이간 장치 (10) 에 대해, 당해 이간 장치 (10) 의 사용자 (이하, 간단히 「사용자」 라고 한다) 가 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통하여 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그 후, 작업자 또는, 도시되지 않은 반송 수단이 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 를 하유지 부재 (32) 상에 재치하면, 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (21) 를 구동하고, 도 1(B) 중 2 점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 상유지 부재 (22) 와 하유지 부재 (32) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한다.
이어서, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동하고, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (20) 을 서로 이간시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 이 때, 각 피착체 (CP) 는, 접착 시트 (AS) 의 변형 등에 의해, 상호 간격이 소정의 간격으로 넓어지지 않는 경우가 있다. 그래서, 검지 수단 (40) 이 검지 기기를 구동하고, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이나 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상 등을 검지한다. 다음으로, 검지 수단 (40) 의 검지 결과를 기초로 하여, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동하고, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 상호 간격을 넓히기 전의 각 피착체의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 각 유지 수단 (20) 을 개별적으로 이동시킨다. 이로써, 각 피착체 (CP) 는, 그 전체적인 집합 형상이 소정의 집합 형상이 된다.
각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 소정의 집합 형상이 되면, 검지 수단 (40) 이 검지 기기 (41) 를 구동하고, 도 2(B) 중 2 점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 피착체 (CP) 군 전체를 한 덩어리로서의 방형 에어리어 (SE) 로서 인식한다. 인식이 완료되면, 검지 수단 (40) 은, 방형 에어리어 (SE) 의 모서리부 (C1) 과 (C2) 를 연결하는 선분 (L1) 의 중심에서 당해 선분 (L1) 에 직교하는 제 1 중심선 (CL1) 과, 방형 에어리어 (SE) 의 모서리부 (C1) 과 (C3) 을 연결하는 선분 (L2) 의 중심에서 당해 선분 (L2) 에 직교하는 제 2 중심선 (CL2) 의 교점을 구하고, 당해 교점을 방형 에어리어 (SE) 의 중심 (SC) 으로서 인식한 후, 제 1 중심선 (CL1) 과 Y 축의 기울기 (θ1) 도 구한다.
그 후, 위치 결정 수단 (50) 이 회동 모터 (53) 를 구동하고, 기울기 (θ1) 를 없애도록, 베이스 테이블 (54) 을 기울기 (θ1) 분 반시계 회전 방향으로 회전시키고, 선분 (L1) 을 X 축과 평행 (선분 (L2) 을 Y 축과 평행) 하게 함으로써, 한 덩어리의 피착체 (CP) 군 전체 (방형 에어리어 (SE)) 의 방위의 위치 결정을 실시한다. 이어서, 위치 결정 수단 (50) 이 리니어 모터 (51, 52) 를 구동하고, 방형 에어리어 (SE) 의 중심 (SC) 을 당해 이간 장치 (10) 의 중심 (AC) 에 합치시킴으로써, 도 2(C) 에 나타내는 바와 같이, 한 덩어리의 피착체 (CP) 군 전체 (방형 에어리어 (SE)) 의 위치의 위치 결정을 실시한다.
그리고, 접착 시트 (AS) 로서 자외선, X 선 또는 적외선 등의 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되는 것이 채용되어 있는 경우, 당해 소정의 에너지를 부여 가능한 도시되지 않은 에너지 부여 수단이 접착 시트 (AS) 에 소정의 에너지를 부여하여, 피착체 (CP) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킨다. 이어서, 픽업 장치나 반송 장치 등의 도시되지 않은 피착체 꺼냄 수단이 각 피착체 (CP) 를 유지하고, 접착 시트 (AS) 로부터 떼어내어 별도 공정으로 반송한다. 그리고, 모든 피착체 (CP) 또는 소정량의 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 떼어내지면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동하고, 각 부재를 초기 위치로 복귀시킨 후, 작업자 또는, 도시되지 않은 반송 수단이 하유지 부재 (32) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 제거하고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.
이상과 같은 이간 장치 (10) 에 의하면, 상호 간격이 넓혀진 피착체 (CP) 군 전체를 소정의 위치에 위치 결정할 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 전혀 한정되는 일은 없고, 더구나, 상기 실시 형태에서 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 검지 수단은, 상호 간격이 넓혀진 피착체군 전체를 한 덩어리로서 인식 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 대조하여, 그 기술 범위 내의 것이면 전혀 한정되는 일은 없다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일하다).
본 발명의 이간 장치는, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 피착체 접착 영역 (CE) 보다 외측으로서, 유지 수단 (20) 이 유지한 유지 영역 (HE) 의 내측에서 당해 접착 시트 (AS) 에 맞닿는 맞닿음 수단 (60) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30A) 과, 검지 수단 (40) 과, 위치 결정 수단 (50) 을 구비한 이간 장치 (10A) 로 해도 된다.
또한, 이간 장치 (10A) 에 있어서, 이간 장치 (10) 와 동등한 구성으로 동등한 기능을 갖는 것은, 당해 이간 장치 (10) 와 동일한 번호를 부여하여 그 구성 설명은 생략하고, 동작 설명은 간략화한다.
맞닿음 수단 (60) 은, 위치 결정 수단 (50) 의 베이스 테이블 (54) 상에 지지된 원통상의 맞닿음 부재 (61) 를 구비하고 있다.
이간 수단 (30A) 은, 베이스 테이블 (54) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동모터 (33) 와, 그 출력축 (33A) 에 지지되고, 상면측에서 회동 모터 (21) 를 지지하는 하유지 부재 (34) 를 구비하고 있다.
이와 같은 이간 장치 (10A) 는, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 가 하유지 부재 (34) 상에 재치되면, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동하고, 도 3(A) 중 2 점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 상유지 부재 (22) 와 하유지 부재 (34) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한다. 또한, 접착 시트 (AS) 의 단부에는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 링상의 프레임 (RF) 이 첩부되어 있지만, 당해 프레임 (RF) 은, 없어도 된다. 이어서, 이간 수단 (30A) 이 직동 모터 (33) 를 구동하고, 유지 수단 (20) 을 하강시켜 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 그 후, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여, 검지 수단 (40) 의 검지 결과를 기초로 하여, 위치 결정 수단 (50) 이 회동 모터 (53) 및 리니어 모터 (51, 52) 를 구동하고, 상호 간격이 소정 간격으로 된 피착체 (CP) 군 전체의 위치 결정을 실시한다. 그리고, 도시되지 않은 피착체 꺼냄 수단에 의해, 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 떼어내지면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동하고, 각 부재를 초기 위치로 복귀시킨 후, 하유지 부재 (34) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 떼어내고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.
이와 같은 이간 장치 (10A) 에 의해서도, 이간 장치 (10) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다.
유지 수단 (20) 은, 타방의 면 (AS2) 이나, 일방의 면 (AS1) 및 타방의 면 (AS2) 의 양방의 면에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 되고, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 된다.
유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10) 의 경우, 예를 들어, 우방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 하고, 좌방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 한 2 체로 구성해도 되고, 예를 들어, 우방, 좌방 및 그 밖의 방향으로 이동하는 3 체 이상으로 구성해도 된다.
유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10A) 의 경우, 1 체여도 되고 2 체 이상이어도 된다.
이간 수단 (30, 30A) 은, 복수가 아니고 단수여도 되고, 이 경우, 예를 들어, 이간 장치 (10) 는, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로, 유지 수단 (20) 을 각각 1 체씩 지지하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.
이간 수단 (30) 은, 상호 간격을 3 축 이상의 방향 (예를 들어, X 축 방향, Y 축 방향 및 그 밖의 축 방향) 으로 넓히는 구성이어도 되고, 예를 들어, X 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 Y 축 방향으로 이동시키는 구성 (Y 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 X 축 방향으로 이동시키는 구성) 으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록 작동할 수 없는 구성이어도 된다.
이간 수단 (30A) 은, 유지 수단 (20) 을 정지 또는 이동시키면서, 맞닿음 수단 (60) 을 이동시킴으로써, 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.
이간 수단 (30, 30A) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동해도 되고, 이 경우, 예를 들어, 검지 수단 (40) 에 의한 검지 결과를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하고, 이 표시기에 표시되는 검지 결과에 의해 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 상호 간격을 넓히기 전의 각 피착체의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 작업자가 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 된다.
검지 수단 (40) 은, 작업자의 육안으로 확인해도 되고, 예를 들어, 작업자가 육안 확인에 의해, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 상호 간격을 넓히기 전의 각 피착체의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31, 51, 52), 직동 모터 (33), 회동 모터 (53) 를 구동하도록 구성해도 된다.
위치 결정 수단 (50) 은, 한 덩어리의 피착체 (CP) 군 전체의 위치만을 위치 결정해도 되고, 한 덩어리의 피착체 (CP) 군 전체의 방위만을 위치 결정해도 되고, 상기와 같은 위치 결정 이외에, 예를 들어, 방형 에어리어 (SE) 의 대각선의 교점을 당해 방형 에어리어 (SE) 의 중심 (SC) 으로서 인식하고, 한 덩어리의 피착체 (CP) 군 전체 (방형 에어리어 (SE)) 의 위치와 방위 중 적어도 일방의 위치 결정을 하는 구성이어도 되고, 당해 이간 장치 (10) 의 중심 (AC) 에 방형 에어리어 (SE) 의 중심 (SC) 을 합치시키지 않고, 다른 소정의 기준점에 합치시켜도 되고, 선분 (L1) 이나 (L2) 를, X 축이나 Y 축과 평행시키지 않고, 다른 소정의 기준선과 평행이 되도록 위치 결정해도 된다.
맞닿음 수단 (60) 은, 각통상이나 타원 통상 등 외에, 원기둥, 각기둥, 타원 기둥 등의 다른 형상의 맞닿음 부재 (61) 를 채용해도 된다.
본 발명에 있어서의 접착 시트 (AS) 및 피착체 (CP) 의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 접착 시트 (AS), 피착체 (CP), 한 덩어리의 피착체 (CP) 군 전체는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 접착 시트 (AS) 는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 된다. 또, 접착 시트 (AS) 는, 예를 들어, 접착제층만인 단층의 것, 기재와 접착제층의 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖는 등 3 층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 그러한 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또, 피착체 (CP) 로서는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 반도체 칩, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되고, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 읽는 법으로 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이어태치 필름, 다이본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 되고, 접착 시트 (AS) 는, 자외선, X 선 또는 적외선 등의 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되지 않는 것이어도 된다.
피착체 (CP) 는, 미리 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하고 있는 것이어도 되고, 이간 수단 (30, 30A), 그 밖의 기구 또는 인력 등으로 외력을 부여한 시점에서 복수로 분할되어, 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하는 것과 같은 분할되어 복수가 되는 것이어도 된다. 이와 같은 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 로서는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 레이저를 조사하고, 당해 반도체 웨이퍼나 기반 등에 선상이나 격자상 등의 취약한 취약층을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 반도체 웨이퍼나 기반 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것이나, 예를 들어, 수지나 유리판 등에 커터 날로 절삭하여, 당해 수지나 유리판 등에 선상이나 격자상 등의 표리에 관통하는 일이 없는 절삭이나 미싱눈 등의 절단 예정 라인을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 수지나 유리판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것 등, 전혀 한정되는 것은 아니다.
상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드레스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.
10, 10A : 이간 장치
20 : 유지 수단
30, 30A : 이간 수단
40 : 검지 수단
50 : 위치 결정 수단
60 : 맞닿음 수단
AS : 접착 시트
AS1 : 일방의 면
AS2 : 타방의 면
CE : 피착체 접착 영역
CP : 피착체
HE : 유지 영역

Claims (4)

  1. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지하는 복수의 유지 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단과,
    상호 간격이 넓혀진 상기 피착체군 전체를 한 덩어리로서 인식 가능한 검지 수단을 구비하고,
    상기 이간 수단은, 상기 검지 수단의 검지 결과를 기초로 하여, 각 피착체의 전체적인 집합 형상이, 상호 간격을 넓히기 전의 각 피착체의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록 각 유지 수단을 이동시켜, 당해 각 피착체의 전체적인 집합 형상을 소정의 집합 형상으로 하고,
    상기 검지 수단의 검지 결과를 기초로 하여, 상기 한 덩어리의 피착체군 전체의 위치와 방위 중 적어도 일방의 위치 결정을 하는 위치 결정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  2. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지하는 유지 수단과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측으로서, 상기 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단 및 맞닿음 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단과,
    상호 간격이 넓혀진 상기 피착체군 전체를 한 덩어리로서 인식 가능한 검지 수단을 구비하고,
    상기 이간 수단은, 상기 검지 수단의 검지 결과를 기초로 하여, 각 피착체의 전체적인 집합 형상이, 상호 간격을 넓히기 전의 각 피착체의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록 각 유지 수단을 이동시켜, 당해 각 피착체의 전체적인 집합 형상을 소정의 집합 형상으로 하고,
    상기 검지 수단의 검지 결과를 기초로 하여, 상기 한 덩어리의 피착체군 전체의 위치와 방위 중 적어도 일방의 위치 결정을 하는 위치 결정 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치.
  3. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 복수의 유지 수단으로 유지하는 유지 공정과,
    상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정과,
    상호 간격이 넓혀진 상기 피착체군 전체를 한 덩어리로서 인식하는 검지 공정을 가지며,
    상기 이간 공정에서, 상기 검지 공정의 검지 결과를 기초로 하여, 각 피착체의 전체적인 집합 형상이, 상호 간격을 넓히기 전의 각 피착체의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록 각 유지 수단을 이동시켜, 당해 각 피착체의 전체적인 집합 형상을 소정의 집합 형상으로 하고,
    상기 검지 공정의 검지 결과를 기초로 하여, 상기 한 덩어리의 피착체군 전체의 위치와 방위 중 적어도 일방의 위치 결정을 하는 위치 결정 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
  4. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 수단으로 유지하는 유지 공정과,
    상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측으로서, 상기 유지 수단이 유지한 유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단 및, 상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정과,
    상호 간격이 넓혀진 상기 피착체군 전체를 한 덩어리로서 인식하는 검지 공정을 가지며,
    상기 이간 공정에서, 상기 검지 공정의 검지 결과를 기초로 하여, 각 피착체의 전체적인 집합 형상이, 상호 간격을 넓히기 전의 각 피착체의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록 각 유지 수단을 이동시켜, 당해 각 피착체의 전체적인 집합 형상을 소정의 집합 형상으로 하고,
    상기 검지 공정의 검지 결과를 기초로 하여, 상기 한 덩어리의 피착체군 전체의 위치와 방위 중 적어도 일방의 위치 결정을 하는 위치 결정 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 이간 방법.
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