JP4677275B2 - 電子部品用のエキスパンド装置 - Google Patents
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Description
2 昇降板
3 ナット
4 ジャッキねじ
5 ベアリング
6,8 プーリ
7 ベルト
9,10,12 穴
11 下側テーブル(回動板)
13 ベルト
14 プーリ
15L,15S 凸部
16L,16S エキスパンドリング(伸張用部材)
17L,17S 上側テーブル(基板載置板)
18 開口
19 ピン
20L,20S 押え部材
21 水平部
22 ウェーハシート(シート状部材)
23 ウェーハリング(枠状治具)
24 チップ(個片)
25 ブロック
26 アーム
27 チャック
28 カメラ(撮像手段)
29 コントローラ(制御手段)
M1 昇降用モータ
M2 回動用モータ(回動手段)
d1,d2 間隔
Claims (3)
- 各々電子部品に対応する領域が格子状に形成された基板がシート状部材に貼付され、枠を有する枠状治具において前記枠の内側に前記基板が位置するようにして前記シート状部材が固定され、前記基板が前記領域単位の個片に分離された後に前記シート状部材を伸張することによって前記個片同士の間隔を広げる際に使用され、凸部を有する伸張用部材と、平面視して前記伸張用部材に重なるようにして設けられた固定板と、前記伸張用部材に相対向して設けられ平面視して前記凸部よりも大きい開口を有し前記枠状治具が載置される基板載置板と、該基板載置板に設けられ前記枠状治具を押さえる押え部材とを備え、前記伸張用部材と前記基板載置板とは相対的に昇降自在に設けられており、前記伸張用部材と前記基板載置板とが相対的に昇降する状態において前記押え部材が前記枠状治具を押さえることにより前記シート状部材が前記凸部に押し当てられるとともに伸張する電子部品用のエキスパンド装置であって、
前記伸張用部材と前記基板載置板と前記押え部材とからなる3種類の部品は前記シート状部材が固定される側において前記基板のサイズに応じて交換可能であり、
前記伸張用部材と前記基板載置板とが所定の量だけ相対的に昇降することによって前記個片同士の間隔が広げられて予め設定された所望の間隔になることを特徴とする電子部品用のエキスパンド装置。 - 各々電子部品に対応する領域が格子状に形成された基板がシート状部材に貼付され、枠を有する枠状治具において前記枠の内側に前記基板が位置するようにして前記シート状部材が固定され、前記基板が前記領域単位の個片に分離された後に前記シート状部材を伸張することによって前記個片同士の間隔を広げる際に使用され、凸部を有する伸張用部材と、平面視して前記伸張用部材に重なるようにして設けられた固定板と、前記伸張用部材に相対向して設けられ平面視して前記凸部よりも大きい開口を有し前記枠状治具が載置される基板載置板と、該基板載置板に設けられ前記枠状治具を押さえる押え部材とを備え、前記伸張用部材と前記基板載置板とは相対的に昇降自在に設けられており、前記伸張用部材と前記基板載置板とが相対的に昇降する状態において前記押え部材が前記枠状治具を押さえることにより前記シート状部材が前記凸部に押し当てられるとともに伸張する電子部品用のエキスパンド装置であって、
前記固定板において回動自在に設けられた回動板と、
前記回動板を回動させる回動手段と、
前記シート状部材における前記個片の画像を撮影する撮像手段と、
前記回動手段による回動を制御する制御手段とを備えるとともに、
前記基板載置板は前記回動板に一体的に構成されていることによって回動自在であり、
前記伸張用部材と前記基板載置板と前記押え部材とからなる3種類の部品は前記シート状部材が固定される側において前記基板のサイズに応じて交換可能であり、
前記制御手段は前記画像に基づいて前記シート状部材における前記個片の角度に関する情報を取得し、該情報に基づいて前記個片の角度が所定の目標値に達するように必要に応じて前記回動手段を回動させることを特徴とする電子部品用のエキスパンド装置。 - 請求項1又は2に記載の電子部品用のエキスパンド装置において、
前記伸張用部材と前記固定板と前記基板載置板と前記押え部材とのうち少なくともいずれか1つは板金加工によって製造され、又は、プラスチックによって構成されていることを特徴とする電子部品用のエキスパンド装置。
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