JP6154186B2 - 基板の垂直搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板の垂直搬送装置に関するものであって、さらに具体的には脆性材料等からなる基板の位置を正確に合わせた状態で垂直にチャッキング工程に移動させることができる基板の垂直搬送装置に関する。

図１には、従来技術において、供給ローダーに投入された基板を、スクライビング工程を行うスクライビングコンベアまで搬送するコンベア装置が示されている。
図１に示すように、供給ローダーＡに投入された基板１を用途に合わせてスクライブするためには、基板１をスクライビングコンベアＤ上のスクライブユニット３０まで水平に搬送しなければならない。

このために、まず、供給ローダーＡのコンベアベルト３を回転させて基板１を位置決めローダーＢまで搬送する。位置決めローダーＢは、基板１のＸ軸、Ｙ軸の位置を合わせる作業を行なう部分である。

位置決めローダーＢの上方には、基板１を必要に応じて回転させるための旋回ユニット２２が設けられている。
旋回ユニット２２は、基板１の縦横の長さが同一の場合には用いられず、基板１の縦横の長さが互いに異なる場合に用いられることが一般的である。
旋回ユニット２２には、旋回ユニット２２を上昇及び下降させるための上下駆動ユニット２０が設けられており、旋回ユニット２２の下面には、基板１を吸着するための吸着パッド２４が装着されている。

位置決めローダーＢ上に供給された基板１の向きを変えるときは、まず、上下駆動ユニット２０を駆動して旋回ユニット２２を基板１に向けて下降させる。
次いで、旋回ユニット２２の下面に装着されている吸着パッド２４により基板１を吸着する。吸着したら、上下駆動ユニット２０を駆動して基板１を上空に持ち上げる。
吸着パッド２４で吸着された基板１が上下駆動ユニット２０によって一定の高さまで上昇したら、基板１を回転させる。その後、上下駆動ユニット２０を駆動して基板１を位置決めローダーＢの上面まで下降させる。そして、吸着パッド２４による吸着を解除して基板１を位置決めローダーＢ上に載置した後、上下駆動ユニット２０を駆動して旋回ユニット２２を上昇させ元の位置に復帰させる。

基板１を位置決めローダーＢから次の工程のチャッキング工程コンベアＣに搬送する前に、位置決めローダーＢの前後左右に設けられた位置決めユニット１０を用いて、基板１のＸ軸、Ｙ軸の位置調整を行う。
これは、基板１の位置決めを正確に行なうことにより、精度の高いスクライブを実行するためである。
位置決めユニット１０によって基板１のＸ軸、Ｙ軸の位置を正確に調整した後、次の工程であるチャッキング工程コンベアＣに搬送する。

ところで、基板１が位置決めローダーＢのコンベアベルト６からチャッキング工程コンベアＣのコンベアベルト９に乗り移るときには、微小な位置ずれが生じ得る。具体的には、各コンベアベルトの微小な高低の差と回転速度の差によって基板１の位置ずれが生じ得る。

位置ずれした状態のままチャッキング工程コンベアＣ上でチャッキングされると、前進又は後退によってスクライブユニット３０のスクライブヘッドに取り付けられたカッターによってスクライブされたときに、所望する寸法の精度の高い単位基板を得ることができないという問題点がある。また、チャッキングがスクライブ作業の途中にはずれたり基板が割れたりするという問題点もある。

本発明は上述のような問題点を解決するために案出されたものであって、具体的には基板が正確に位置決めされた状態でスクライブ作業を行うことができる基板の垂直搬送装置を提供するものである。

前記の目的を達成するために、本発明の一実施形態に係る基板の垂直搬送装置では、支持部材と、該支持部材上に載置された基板の位置を調整する位置決めユニットとを有する位置決めローダーと、前記支持部材上に載置された基板を吸着して上昇および下降させることが可能な吸着昇降ユニットと、前記基板をチャック部材によってチャックした状態でスクライブユニットへと搬送するチャッキング工程コンベアと、を備え、前記位置決めローダーから前記チャッキング工程コンベアへの基板の載せ換えを前記吸着昇降ユニットの下降動作によって行なうこととした。

前記基板の垂直搬送装置において、前記支持部材は水平方向に移動可能とされていてもよい。

前記基板の垂直搬送装置において、前記支持部材は複数のコンベアベルトからなり、各コンベアベルトが水平方向に移動することにより、前記基板が通過可能な開口部が形成されるようにすることもできる。

本発明の一実施形態に係る基板の垂直搬送装置によれば、基板が位置決めローダーで位置決めされた状態で、次の工程であるチャッキング工程コンベアに下降されて載置されるので、基板の位置ずれの発生を著しく減らすことができ、また、チャッキング工程コンベアが位置決めローダーの下方に配置されるので、装置の設置空間を大幅に減らすことができる。
また、本発明の他の実施形態に係る基板の垂直搬送装置によれば、位置決めローダーの支持部材が複数のコンベアベルトからなり、各コンベアベルトが水平方向に移動して広い幅の開口部が形成されるようにしたので、基板がコンベアベルトと干渉せず、位置ずれを伴わずに容易に下降させることができる。

図１は、従来の基板搬送装置を示す図である。 図２は、本発明の垂直搬送装置を示す図である。 図３は、基板が位置決めローダーに載置された状態を表す模式図である。 図４は、基板が位置決めされている状態を表す模式図である。 図５は、位置決めされた基板が吸着される状態を表す模式図である。 図６は、吸着されて上昇する基板を表す模式図である。 図７は、位置決めローダーからチャッキング工程コンベアへと垂直搬送される基板を表す模式図である。 図８は、位置決めローダーのコンベアベルトと吸着昇降ユニットが基準位置に復帰する状態を表す模式図である。 図９は、位置決めローダーのコンベアベルトが基準位置にある状態での位置決めローダー、チャッキング工程コンベアおよびスクライブユニットの斜視図である。 図１０は、位置決めローダーのコンベアベルトが側方に退避した状態での位置決めローダー、チャッキング工程コンベアおよびスクライブユニットの斜視図である。

以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施例をより詳しく説明する。
本発明の実施例において、従来技術の構成要素と同一または類似の構成要素については、同一の図面符号を用いることによって説明を省略する。
本発明の基板の垂直搬送装置は、図２に示すように脆性材料等からなる基板１を供給するための供給ローダーＡが水平の状態で設けられ、供給ローダーＡと同一平面上に位置決めローダーＢが設けられている。

位置決めローダーＢの前後左右には基板１のＸ軸、Ｙ軸の位置を調整するための位置決めユニット１０が設けられている。
また、位置決めローダーＢの上方には基板１を吸着して昇降させるための吸着昇降ユニット２６が設けられている。吸着昇降ユニット２６は、上下駆動機構２０と、基板１を吸着するための吸着パッド２４を備えている。さらに、吸着昇降ユニット２６は、必要に応じて基板１を位置決めローダーＢに平行な平面上で回転させるための旋回機構を有する。

位置決めローダーＢの鉛直方向下方にはチャッキング工程コンベアＣが配置されている。チャッキング工程コンベアＣの同一平面上の基板搬送方向下流にはスクライビングコンベアＤが設けられている。

加工しようとする基板１が供給ローダーＡ上に載置されると、まず、供給ローダーＡのコンベアベルト３が回転して基板１を図２に示すように位置決めローダーＢに搬送する。

次いで、位置決めローダーＢの前後左右に設けられた位置決めユニット１０を用いて図３および図４のように基板１のＸ軸、Ｙ軸の位置を正確に合わせる作業を行なう。
具体的には図示していないが、位置決めユニット１０は、エアシリンダ等を用いて基板１の前後左右から基板１を中央側に加圧して正確な位置決めを行なうものである。

位置決めユニット１０によって基板１のＸ軸、Ｙ軸の位置が決定されると、位置決めローダーＢの上方に設けられた吸着昇降ユニット２６を、図５に示すように基板１上に下降させ、吸着パッド２４によって基板１を吸着する。
その後、上下駆動機構２０を駆動して基板１を一定の高さまで上昇させる。この状態で基板１を回転させる必要があれば、吸着昇降ユニット２６に備えられた旋回機構を駆動して、図６に示すように基板１を所定角度回転させる。

次いで、図６に示すように、位置決めローダーＢのコンベアベルト６が側方に退避し、中央に広い幅を有する開口部が形成される。この開口部を通って、基板１は下方に移動できるようになる。すなわち、図９及び図１０に示すように、位置決めローダーＢには、多数個のコンベアベルト６−ａ、６−ｂ、６−ｃ、６−ｄ、６−ｅ、６−ｆが並列に設けられており、それぞれがコンベアベルトの回転方向と直交する方向に移動可能とされている。複数のコンベアベルト６のうち、向かって左側のコンベアベルト６−ａ、６−ｂ、６−ｃが左側方に、向かって右側のコンベアベルト６−ｄ、６−ｅ、６−ｆが右側方に退避される。もっとも、設置場所の空間の条件やローダー等の作動条件によって左右同数ではなく左右非対称に移動させても構わない。

コンベアベルト６が側方に退避して中央に開口部が形成されると、図７に示すように、上下駆動機構２０を駆動して基板１を下降させる。基板１は、開口部を通過して位置決めローダーＢの下方へと運ばれる。位置決めローダーＢの下方にはチャッキング工程コンベアＣのコンベアベルト１００が一定の間隔を有して複数並列している。

コンベアベルト１００に基板１が当接すると、吸着パッド２４による吸着が解除される。これにより、脆性材料基板１の、チャッキング工程コンベアＣのコンベアベルト１００上への載置が完了する。
その後は、図８に示すように、上下駆動機構２０を駆動して吸着昇降ユニット２６を上昇させ、側方に退避していた位置決めローダーＢのコンベアベルト６を元の位置に戻す。

チャッキング工程コンベアＣのコンベアベルト１００上に載置された基板１は、位置決めローダーＢにおいて位置決めが完了された状態であるため、そのままチャックして次の工程に移ればよい。
すなわち、基板１をチャッキング工程コンベアＣのコンベアベルト１００上に移動させる際には、既に位置決めローダーＢで位置決めが完了した状態で垂直方向の移動のみなされるため、コンベアベルトの乗り移りの際の位置ずれ等は発生しない。

次いで、チャック部材１５で基板１をチャックしながら、スクライブユニット３０に向かって前進と後退を繰り返し、この過程で基板１はスクライブされる。
このように、位置決めローダーＢからチャッキング工程コンベアＣに基板１を下降移動させることによって、基板１の位置ずれを著しく減らすことができる。

Ａ 供給ローダー
Ｂ 位置決めローダー
Ｃ チャッキング工程コンベア
Ｄ スクライビング工程コンベア
１ 基板
６、６−ａ、６−ｂ、６−ｃ、６−ｄ、６−ｅ、６−ｆ コンベアベルト
１０ 位置決めユニット
１５ チャック部材
２０ 上下駆動機構
２４ 吸着パッド
２６ 吸着昇降ユニット
３０ スクライブユニット

Claims (2)

1. 支持部材と、該支持部材上に載置された基板の位置を調整する位置決めユニットとを有する位置決めローダーと、
   前記支持部材上に載置された基板を吸着して上昇および下降させることが可能な吸着昇降ユニットと、
   前記基板をチャック部材によってチャックした状態でスクライブユニットへと搬送するチャッキング工程コンベアと、を備え、
   前記位置決めローダーから前記チャッキング工程コンベアへの基板の載せ換えを前記吸着昇降ユニットの下降動作によって行ない、
   前記支持部材が水平方向に移動可能とされていることを特徴とする基板の垂直搬送装置。
2. 前記支持部材が複数のコンベアベルトからなり、各コンベアベルトが水平方向に移動することにより、前記基板が通過可能な開口部が形成されることを特徴とする請求項１に記載の基板の垂直搬送装置。
   
   

Images