JP6154186B2 - 基板の垂直搬送装置 - Google Patents
基板の垂直搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6154186B2 JP6154186B2 JP2013096120A JP2013096120A JP6154186B2 JP 6154186 B2 JP6154186 B2 JP 6154186B2 JP 2013096120 A JP2013096120 A JP 2013096120A JP 2013096120 A JP2013096120 A JP 2013096120A JP 6154186 B2 JP6154186 B2 JP 6154186B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- positioning
- loader
- conveyor
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
- C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
- C03B35/16—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by roller conveyors
- C03B35/163—Drive means, clutches, gearing or drive speed control means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D3/00—Cutting work characterised by the nature of the cut made; Apparatus therefor
- B26D3/08—Making a superficial cut in the surface of the work without removal of material, e.g. scoring, incising
- B26D3/085—On sheet material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/037—Controlling or regulating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
図1に示すように、供給ローダーAに投入された基板1を用途に合わせてスクライブするためには、基板1をスクライビングコンベアD上のスクライブユニット30まで水平に搬送しなければならない。
旋回ユニット22は、基板1の縦横の長さが同一の場合には用いられず、基板1の縦横の長さが互いに異なる場合に用いられることが一般的である。
旋回ユニット22には、旋回ユニット22を上昇及び下降させるための上下駆動ユニット20が設けられており、旋回ユニット22の下面には、基板1を吸着するための吸着パッド24が装着されている。
次いで、旋回ユニット22の下面に装着されている吸着パッド24により基板1を吸着する。吸着したら、上下駆動ユニット20を駆動して基板1を上空に持ち上げる。
吸着パッド24で吸着された基板1が上下駆動ユニット20によって一定の高さまで上昇したら、基板1を回転させる。その後、上下駆動ユニット20を駆動して基板1を位置決めローダーBの上面まで下降させる。そして、吸着パッド24による吸着を解除して基板1を位置決めローダーB上に載置した後、上下駆動ユニット20を駆動して旋回ユニット22を上昇させ元の位置に復帰させる。
これは、基板1の位置決めを正確に行なうことにより、精度の高いスクライブを実行するためである。
位置決めユニット10によって基板1のX軸、Y軸の位置を正確に調整した後、次の工程であるチャッキング工程コンベアCに搬送する。
また、本発明の他の実施形態に係る基板の垂直搬送装置によれば、位置決めローダーの支持部材が複数のコンベアベルトからなり、各コンベアベルトが水平方向に移動して広い幅の開口部が形成されるようにしたので、基板がコンベアベルトと干渉せず、位置ずれを伴わずに容易に下降させることができる。
本発明の実施例において、従来技術の構成要素と同一または類似の構成要素については、同一の図面符号を用いることによって説明を省略する。
本発明の基板の垂直搬送装置は、図2に示すように脆性材料等からなる基板1を供給するための供給ローダーAが水平の状態で設けられ、供給ローダーAと同一平面上に位置決めローダーBが設けられている。
また、位置決めローダーBの上方には基板1を吸着して昇降させるための吸着昇降ユニット26が設けられている。吸着昇降ユニット26は、上下駆動機構20と、基板1を吸着するための吸着パッド24を備えている。さらに、吸着昇降ユニット26は、必要に応じて基板1を位置決めローダーBに平行な平面上で回転させるための旋回機構を有する。
具体的には図示していないが、位置決めユニット10は、エアシリンダ等を用いて基板1の前後左右から基板1を中央側に加圧して正確な位置決めを行なうものである。
その後、上下駆動機構20を駆動して基板1を一定の高さまで上昇させる。この状態で基板1を回転させる必要があれば、吸着昇降ユニット26に備えられた旋回機構を駆動して、図6に示すように基板1を所定角度回転させる。
その後は、図8に示すように、上下駆動機構20を駆動して吸着昇降ユニット26を上昇させ、側方に退避していた位置決めローダーBのコンベアベルト6を元の位置に戻す。
すなわち、基板1をチャッキング工程コンベアCのコンベアベルト100上に移動させる際には、既に位置決めローダーBで位置決めが完了した状態で垂直方向の移動のみなされるため、コンベアベルトの乗り移りの際の位置ずれ等は発生しない。
このように、位置決めローダーBからチャッキング工程コンベアCに基板1を下降移動させることによって、基板1の位置ずれを著しく減らすことができる。
B 位置決めローダー
C チャッキング工程コンベア
D スクライビング工程コンベア
1 基板
6、6−a、6−b、6−c、6−d、6−e、6−f コンベアベルト
10 位置決めユニット
15 チャック部材
20 上下駆動機構
24 吸着パッド
26 吸着昇降ユニット
30 スクライブユニット
Claims (2)
- 支持部材と、該支持部材上に載置された基板の位置を調整する位置決めユニットとを有する位置決めローダーと、
前記支持部材上に載置された基板を吸着して上昇および下降させることが可能な吸着昇降ユニットと、
前記基板をチャック部材によってチャックした状態でスクライブユニットへと搬送するチャッキング工程コンベアと、を備え、
前記位置決めローダーから前記チャッキング工程コンベアへの基板の載せ換えを前記吸着昇降ユニットの下降動作によって行ない、
前記支持部材が水平方向に移動可能とされていることを特徴とする基板の垂直搬送装置。 - 前記支持部材が複数のコンベアベルトからなり、各コンベアベルトが水平方向に移動することにより、前記基板が通過可能な開口部が形成されることを特徴とする請求項1に記載の基板の垂直搬送装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020120059096A KR101331067B1 (ko) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 취성 재료 기판의 수직 공급 로더 컨베이어 장치 |
KR10-2012-0059096 | 2012-06-01 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013249206A JP2013249206A (ja) | 2013-12-12 |
JP6154186B2 true JP6154186B2 (ja) | 2017-06-28 |
Family
ID=49732100
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013096120A Expired - Fee Related JP6154186B2 (ja) | 2012-06-01 | 2013-05-01 | 基板の垂直搬送装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6154186B2 (ja) |
KR (1) | KR101331067B1 (ja) |
CN (1) | CN103449179B (ja) |
TW (1) | TWI571419B (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6357915B2 (ja) * | 2014-06-26 | 2018-07-18 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | スクライブ装置 |
JP6357914B2 (ja) * | 2014-06-26 | 2018-07-18 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | スクライブ装置 |
KR101703026B1 (ko) * | 2014-08-29 | 2017-02-07 | 주식회사 태성기연 | 디스플레이용 패널 흡착장치 |
CN104399646B (zh) * | 2014-10-31 | 2019-08-13 | 天下石仓(天津)有限公司 | 石材背网涂覆传送装置 |
CN105346972B (zh) * | 2015-12-15 | 2019-01-04 | 乌毡帽酒业有限公司 | 一种跨轨道米饭输送结构 |
KR102605917B1 (ko) * | 2016-04-07 | 2023-11-27 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 스크라이빙 장치 |
DE102016214184A1 (de) * | 2016-08-01 | 2018-02-01 | Asys Automatisierungssysteme Gmbh | Transportsystem und Bearbeitungssystem für Substrate |
CN108323150A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-07-24 | 重庆市中光电显示技术有限公司 | Fpc供料机 |
CN110539918B (zh) * | 2019-08-15 | 2024-05-10 | 河南中烟工业有限责任公司 | 一种烟包分层调头装置 |
KR102262418B1 (ko) * | 2020-03-05 | 2021-06-08 | 주식회사 클레버 | 이차전지 셀의 폴딩 공정용 이차전지 셀 이송 장치 |
CN113526000A (zh) * | 2021-07-21 | 2021-10-22 | 迈达微(深圳)半导体技术有限公司 | 一种电路板校正系统 |
CN113526136B (zh) * | 2021-07-30 | 2023-03-10 | 深圳市诺泰芯装备有限公司 | 一种光电显示基板上料设备及方法 |
CN115776779B (zh) * | 2022-12-15 | 2024-02-20 | 墨芯科技(深圳)有限公司 | 一种热熔芯板预叠及排版设备 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3070006B2 (ja) * | 1997-02-07 | 2000-07-24 | 株式会社オーク製作所 | 薄板状ワークの搬送方法 |
KR100460079B1 (ko) * | 2000-04-21 | 2004-12-03 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 액정표시장치용 유리기판 에지 그라인더 시스템 |
CA2421121A1 (fr) * | 2003-03-13 | 2004-09-13 | Roger Mercure | Dispositif et methode pour la valorisation et l'optimisation de panneaux a decouper |
JP4373175B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2009-11-25 | オリンパス株式会社 | 基板搬送装置 |
JP4671610B2 (ja) * | 2004-02-17 | 2011-04-20 | カワサキプラントシステムズ株式会社 | 板ガラスの割断システム |
JP4756372B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2011-08-24 | 株式会社ダイフク | 基板処理方法 |
KR100894837B1 (ko) * | 2007-10-26 | 2009-04-24 | 주식회사 에스에프에이 | 기판 절단시스템 |
JP5347853B2 (ja) * | 2009-09-02 | 2013-11-20 | 旭硝子株式会社 | 積層基板分離収容装置及びガラス基板の製造方法 |
JP4827267B2 (ja) * | 2009-10-23 | 2011-11-30 | ハイテックエンジニアリング株式会社 | 小型薄板ガラスの製造装置 |
JP2012097330A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Canon Inc | 薄膜形成装置及び有機elデバイス製造装置 |
-
2012
- 2012-06-01 KR KR1020120059096A patent/KR101331067B1/ko active IP Right Grant
-
2013
- 2013-02-23 TW TW102106380A patent/TWI571419B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-04-03 CN CN201310116334.0A patent/CN103449179B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-05-01 JP JP2013096120A patent/JP6154186B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013249206A (ja) | 2013-12-12 |
TWI571419B (zh) | 2017-02-21 |
CN103449179B (zh) | 2019-10-11 |
KR101331067B1 (ko) | 2013-11-19 |
CN103449179A (zh) | 2013-12-18 |
TW201350411A (zh) | 2013-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6154186B2 (ja) | 基板の垂直搬送装置 | |
TWI571954B (zh) | Substrate processing system and substrate reversing device | |
JP4197129B2 (ja) | ワーク搬送装置 | |
JP4896236B2 (ja) | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | |
TWI604953B (zh) | Manufacturing apparatus and manufacturing method | |
JP4677275B2 (ja) | 電子部品用のエキスパンド装置 | |
US20050217217A1 (en) | Turn-over mechanism for packaging asymmetrically shaped articles | |
CN107414311B (zh) | 一种全自动太阳能电池片在线激光刻槽加工设备 | |
JP3711189B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2009208080A (ja) | ワーク搬送装置 | |
TW201833688A (zh) | 基板傳輸裝置及方法 | |
JP4553159B2 (ja) | 基板重ね合わせ装置 | |
JP2007112626A (ja) | 基板搬送装置及び基板検査装置並びに基板搬送方法 | |
JP2011009424A (ja) | 保持テーブルアセンブリ及び保持テーブルの製造方法 | |
JP4149750B2 (ja) | ガラス板の加工装置 | |
JP2009208935A (ja) | 搬送装置 | |
JPWO2018180651A1 (ja) | ガラス板の製造方法及びその製造装置 | |
JP2017059777A (ja) | 搬送装置およびはんだボール印刷システム | |
TW202017830A (zh) | 雙軌翻板機台 | |
KR101566927B1 (ko) | 부품실장기의 컨베이어장치 | |
KR101674539B1 (ko) | 레이저 가공 시스템, 레이저 가공 시스템의 픽커 장치 및 이를 이용한 가공 대상물의 이송 방법 | |
JP2002153801A (ja) | テーブル式塗装設備 | |
KR101356217B1 (ko) | 기판 트리밍 장치 및 방법 | |
US10668584B2 (en) | Component mounting method | |
US10766073B2 (en) | Component mounting apparatus and component mounting method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170418 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170601 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6154186 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |