KR101356217B1 - 기판 트리밍 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

기판 트리밍 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 기판 트리밍 장치 및 방법은, 기판이 탑재 지지되는 스테이지가 구획된 복수개로 형성되고, 가변되면서, 상호 접속된 금속 박막 회로가 존재하는 기판의 테두리부측을 절단부로 절단할 때, 기판의 내측에 위치된다. 그러므로, 절단부로 기판의 테두리부측을 절단하여도 스테이지가 손상되지 않으므로, 기판 트리밍 장치의 내구성이 향상되는 효과가 있다.

Description

기판 트리밍 장치 및 방법 {APPARATUS AND METHOD FOR TRIMMING SUBSTRATE}

본 발명은 평판표시패널용 기판에 존재하는 상호 연결된 금속 박막 회로를 절단하는 기판 트리밍 장치 및 방법에 관한 것이다.

평판 디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), LED(Light-Emitting Diode) 디스플레이, OLED(Organic Light-Emitting Diode) 디스플레이 등으로 대별된다.

평판표시패널 중, LCD(Liquid Crystal Display)는 유리 재질로 형성된 대면적의 기판 상에 금속 박막 회로를 형성하고, 금속 박막 회로가 형성된 대면적의 기판을 적절한 크기로 절단하여 다음 공정을 수행한다.

그런데, 금속 박막 회로가 형성된 대면적의 기판을 절단하면, 기판의 절단된 부위인 기판의 테두리부측에는 금속 박막 회로가 상호 연결되어 있는 경우가 많이 발생한다. 이로 인해, 금속 박막 회로가 상호 연결되어 있는 기판의 테두리부측을 절단하는 트리밍 공정이 필요하다.

종래의 기판 트리밍 장치는 이송되어 오는 기판을 스테이지에 탑재 지지시킨 상태에서 레이저를 이용하여 기판을 절단한다. 그러면, 기판을 통과한 레이저에 의하여 스테이지가 손상될 수 있으므로 제품의 내구성이 저하되는 단점이 있었다.

기판 트리밍 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 10-2005-0116086호 등에 개시되어 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 절단되는 기판의 테두리부 하측에는 스테이지가 위치되지 않도록 스테이지를 가변형으로 구성하여 제품의 내구성을 향상시킬 수 있는 기판 트리밍 장치 및 방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 트리밍 장치는, 테이블; 상기 테이블에 설치되며, 복수의 금속 박막 회로가 형성된 기판이 탑재 지지되는 스테이지; 상기 스테이지 외측의 상기 테이블 부위에 각각 지지되어 상호 대향하며, 회전가능하게 설치되어 상기 기판의 테두리부측을 지지하여 상기 기판을 상기 스테이지의 상측으로 이송시키는 이송롤러; 상기 기판의 이송방향 및 상기 기판의 이송방향과 직교하는 방향으로 운동가능하게 상기 테이블에 설치되어 상기 금속 박막 회로가 상호 연결되어 있는 상기 기판의 테두리부측을 절단하는 절단부를 포함하며, 상기 스테이지는 복수개로 구획되어 상기 기판의 이송방향과 평행을 이루면서 설치되고, 가변되면서, 상기 절단부로 상기 기판의 테두리부를 절단할 때, 상기 기판의 테두리부 내측에 위치된다.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 트리밍 방법은, 금속 박막 회로가 존재하는 기판을, 구획된 복수개로 형성되어 길이 방향이 상기 기판의 이송방향과 평행을 이루는 스테이지로 이송하여, 상기 금속 박막 회로가 상호 연결되어 있는 상기 기판의 테두리부측을 절단하는 기판의 트리밍 방법에 있어서, 상기 스테이지 외측에 각각 회전가능하게 설치되어 상호 대향하는 이송롤러를 이용하여 상기 기판의 테두리부측을 지지한 후, 상기 기판을 상기 스테이지의 상측으로 이송하는 단계; 구획된 복수의 상기 스테이지 중, 중앙의 상기 스테이지를 상승시켜 상기 이송롤러에 지지된 상기 기판을 지지하는 단계; 상기 이송롤러를 하강시키는 단계; 중앙의 상기 스테이지를 하강시키는 단계; 복수의 상기 스테이지 중, 중앙의 상기 스테이지와 가까워지고 멀어지는 방향으로 운동가능하게 설치된 좌측 및 우측의 상기 스테이지를 중앙의 상기 스테이지와 가까워지는 방향으로 운동시켜 좌측 및 우측의 상기 스테이지를 절단될 상기 기판의 테두리부 내측에 위치시키는 단계; 좌측 및 우측의 상기 스테이지 외측에 위치된 상기 기판의 테두리부측을 절단하는 단계를 수행한다.

본 발명에 따른 기판 트리밍 장치 및 방법은, 기판이 탑재 지지되는 스테이지가 구획된 복수개로 형성되고, 가변되면서, 상호 접속된 금속 박막 회로가 존재하는 기판의 테두리부측을 절단부로 절단할 때, 기판의 내측에 위치된다. 그러므로, 절단부로 기판의 테두리부측을 절단하여도 스테이지가 손상되지 않으므로, 기판 트리밍 장치의 내구성이 향상되는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 트리밍 장치의 사시도.
도 2 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 트리밍 방법을 설명하기 위한 사시도.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 트리밍 장치 및 방법을 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 트리밍 장치의 사시도이다.

도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 기판 트리밍 장치는 육면체 형상으로 형성되어 바닥 등에 놓이는 테이블(110), 테이블(110)에 설치된 스테이지(120), 이송롤러(130), 정렬부(140), 절단부(150) 및 영상부(160)를 포함한다.

스테이지(120)는 사각판 형상으로 형성되어 테이블(110)의 상면에 설치되며, 기판(50)(도 2 참조)이 탑재 지지된다. 이때, 스테이지(120)의 길이 방향은 기판(50)의 이송 방향과 평행을 이룬다. 스테이지(120)는 복수개로 구획되어 설치되어 가변된다.

상세히 설명하면, 중앙의 스테이지(121)는 승강가능하게 설치되고, 좌측 및 우측의 스테이지(123, 125)는 기판(50)의 이송 방향과 직교하는 방향인, 중앙의 스테이지(121)와 가까워지고 멀어지는 방향으로 운동가능하게 설치된다.

도 1에 도시된 스테이지(120)는 좌측 및 우측에 1개의 스테이지(123)(125)가 각각 있는 것으로 예를 들어 도시하였으나, 좌측 및 우측에 2개 이상 있어도 무방하다.

좌측 및 우측의 스테이지(123, 125)는, 기판(50)의 테두리부측을 절단할 때, 중앙의 스테이지(121)와 가까워지는 방향으로 운동하여 기판(50)의 내측에 위치된다. 이는 후술한다.

이하, 기판(50)의 이송 방향을 X축 방향, 기판(50)의 이송 방향과 직교하는 방향을 Y축 방향이라 한다. 그리고, 기판(50)은 복수의 금속 박막 회로가 형성된 대면적의 기판(미도시)을 소정 크기로 절단한 것으로, 기판(50)의 테두리부측에는 금속 박막 회로가 상호 연결된 것들이 존재할 수 있다.

이송롤러(130)는 스테이지(120)의 좌측 외측 및 우측 외측의 테이블(110) 부위에 각각 지지되어 상호 대향하며, 회전가능하게 설치된다. 좌측 및 우측의 이송롤러(130)는 각각 X축 방향과 평행을 이룬다. 로봇의 아암(미도시)에 지지되어 테이블(110)측으로 이송되는 기판(50)은 이송롤러(130)에 좌측 및 우측의 테두리부 하면이 지지되며, 이송롤러(130)의 회전에 의하여, 스테이지(120)의 상측으로 이송된다.

이송롤러(130)는 승강가능하게 설치되며, 기판(50)을 스테이지(120)측으로 이송할 때에는 상승하고, 기판(50)의 테두리부측을 절단할 때에는 하강한다. 그리고, 이송롤러(130)는, 기판(50)의 크기에 따라 가변될 수 있도록, Y축 방향으로 운동가능하게 설치된다.

정렬부(140)는 스테이지(120) 외측의 테이블(110) 부위에 설치되어 대략 "ㅁ" 형상을 이룬다. 전방에 위치된 정렬부(141)는 고정되고, 후방에 위치된 정렬부(142)는 X축 방향으로 운동하면서 스테이지(120)에 탑재된 기판(50)이 정해진 위치에 위치되도록 정렬하며, 좌측 및 우측의 정렬부(144, 145)는 Y축 방향으로 운동하면서 스테이지(120)에 탑재된 기판(50)이 정해진 위치에 위치되도록 정렬한다.

스테이지(120)에는 진공펌프(미도시) 등과 같은 펌핑수단과 연통된 복수의 흡입공(120a)의 형성될 수 있다. 흡입공(120a)은 스테이지(120)에 정렬된 기판(50)을 흡입하여, 기판(50)이 스테이지(120)에 견고하게 안착 지지되게 한다.

절단부(150)는 X축 방향 및 Y축 방향으로 운동가능하게 테이블(110)에 설치되며, 금속 박막 회로가 상호 연결되어 있는 기판(50)의 테두리부측을 절단한다. 절단부(150)의 운동을 위하여 스테이지(120) 외측의 테이블(110) 상측 부위에는 X축 방향과 평행을 이루는 제 1 안내레일(152)이 설치되고, 제 1 안내레일(152)에는 Y축 방향과 평행을 이루며 제 1 안내레일(152)을 따라 운동하는 제 2 안내레일(154)이 설치된다. 제 2 안내레일(154)에 절단부(150)가 설치되어 제 2 안내레일(154)과 함께 운동함과 동시에 제 2 안내레일(154)을 따라 운동한다. 따라서, 절단부(150)가 X축 방향 및 Y축 방향으로 운동한다.

절단부(150)는 레이저를 조사하여 기판(50)을 절단한다.

테이블(110)에는 X축 방향 및 Y축 방향으로 운동가능하게 설치되며, 기판(50)을 촬영하여 영상으로 구현하는 영상부(160)가 설치될 수 있다. 그리고, 영상부(160)는 제 2 안내레일(154)에 설치되어 절단부(150)와 함께 운동할 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 실시예에 따른 기판 트리밍 장치를 이용하여 기판을 트리밍하는 방법을 도 2 내지 도 7을 참조하여 설명한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 스테이지(120)의 외측에 위치된 이송롤러(130)가 스테이지(120) 보다 상측에 위치된 상태를 최초의 상태라 가정한다. 최초의 상태에서 상기 로봇의 아암이 기판(50)을 지지하여 기판(50)의 일단부측을 이송롤러(130)에 탑재시키면, 이송롤러(130)의 회전에 의하여 기판(50)이 스테이지(120)의 상측으로 이송된다.

기판(50)이 스테이지(120)의 상측으로 이송되면, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 스테이지(120) 중, 중앙의 스테이지(121)가 상승하여 이송롤러(130)에 지지된 기판(50)을 지지한다.

그 후, 도 4에 도시된 바와 같이, 이송롤러(130)를 하강시키고, 도 5에 도시된 바와 같이, 중앙의 스테이지(121)를 하강시킨다. 중앙의 스테이지(121)가 하강하면, 도 6에 도시된 바와 같이, 좌측 및 우측의 스테이지(123, 125)가 중앙의 스테이지(121)와 가까워지는 Y축 방향으로 운동하여 중앙의 스테이지(121)와 각각 접촉한다. 그러면, 좌측 및 우측의 스테이지(123, 125)는 각각 절단될 기판(50)의 테두리부 내측에 위치된다.

그리고, 도 7에 도시된 바와 같이, 중앙의 스테이지(121)를 승강시켜 중앙의 스테이지(121)와 좌측 및 우측의 스테이지(123, 125)가 동일 평면상에 위치되도록 조절한 다음, 정렬부(140)를 운동시켜 스테이지(120)의 정해진 위치에 기판(50)이 위치되도록 정렬한다.

좌측 및 우측의 스테이지(123, 125)는 승강하지 않고 Y축 방향으로만 운동하므로, 좌측의 스테이지(123)와 우측의 스테이지(125)가 동일 평면상에 위치되도록 최초에 설정해 두면, 중앙의 스테이지(121)만을 승강시켜 좌측 및 우측의 스테이지(123, 125)와 동일 평면상에 위치되게 조절할 수 있다.

마지막으로, 좌측 및 우측의 스테이지(123, 125) 외측에 위치된 기판(50)의 테두리부측을 절단부(150)로 절단한다.

본 실시예에 따른 기판 트리밍 장치 및 방법은 기판(50)이 탑재 지지되는 스테이지(120)가 구획된 복수개로 형성되고, 가변되면서 상호 접속된 금속 박막 회로가 존재하는 기판(50)의 테두리부측을 절단부(150)로 절단할 때, 기판(50)의 내측에 위치된다. 그러므로, 절단부(150)로 기판(50)의 테두리부측을 절단하여도 스테이지(120)가 손상되지 않는다.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하여 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.

110: 테이블
120: 스테이지
130: 이송롤러
140: 정렬부
150: 절단부

Claims (10)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 금속 박막 회로가 존재하는 기판을, 길이 방향이 상기 기판의 이송방향과 평행을 이루는 중앙의 스테이지와 상기 중앙의 스테이지의 길이 방향 좌측 및 우측에 각각 위치되어 상기 중앙의 스테이지와 평행을 이루는 좌측의 스테이지 및 우측의 스테이지를 가지는 스테이지로 이송하여, 상기 금속 박막 회로가 상호 연결되어 있는 상기 기판의 테두리부측을 절단하는 기판의 트리밍 방법에 있어서,
   상기 좌측의 스테이지 및 상기 우측의 스테이지 외측에 각각 회전가능하게 설치되어 상호 대향하는 이송롤러를 이용하여 상기 기판의 테두리부측을 지지한 후, 상기 기판을 상기 스테이지의 상측으로 이송하는 단계;
   상기 중앙의 스테이지를 상승시켜 상기 이송롤러에 지지된 상기 기판을 지지하는 단계;
   상기 이송롤러를 하강시키는 단계;
   상기 중앙의 스테이지를 하강시키는 단계;
   상기 중앙의 스테이지의 폭방향으로 가까워지고 멀어지는 방향으로 운동가능하게 설치된 상기 좌측의 스테이지 및 상기 우측의 스테이지를 상기 중앙의 스테이지와 가까워지는 방향으로 운동시켜 상기 좌측의 스테이지 및 상기 우측의 스테이지를 절단될 상기 기판의 테두리부 내측에 위치시키는 단계;
   상기 좌측의 스테이지 및 상기 우측의 스테이지 외측에 위치된 상기 기판의 테두리부측을 절단하는 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 트리밍 방법.
8. 제7항에 있어서,
   상기 좌측의 스테이지 및 상기 우측의 스테이지를 절단될 상기 기판의 테두리부 내측에 위치시킨 후, 상기 중앙의 스테이지를 승강시켜 상기 중앙의 스테이지와 상기 좌측의 스테이지 및 상기 우측 스테이지가 동일 평면상에 위치되도록 조절하는 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 트리밍 방법.
9. 제7항에 있어서,
   상기 중앙의 스테이지와 상기 좌측의 스테이지 및 상기 우측의 스테이지를 동일 평면상에 위치시킨 후, 상기 스테이지의 정해진 위치에 상기 기판이 위치되도록 정렬하는 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 트리밍 방법.
10. 제7항에 있어서,
    상기 이송롤러는 상기 스테이지와 가까워지고 멀어지는 방향으로 운동가능하게 설치되어 상기 기판의 크기에 따라 가변되는 것을 특징으로 하는 기판 트리밍 방법.

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