KR102222263B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 제1 및 제2 기판을 1매씩 순차적으로 이송하는 기판 이송 유닛; 1매씩 순차적으로 이송된 제1 및 제2 기판을 동시에 반송하는 기판 반송 유닛; 및 기판 이송 유닛, 기판 반송 유닛, 또는 기판 이송 유닛 및 기판 반송 유닛에 의해 이송되거나 반송된 제1 및 제2 기판에 소정의 처리를 수행하는 기판 처리 유닛을 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판에 소정의 처리를 수행하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자, 액정 표시 패널 등과 같은 제품은 기판 상에서 다양한 공정들, 예를 들어, 도포, 노광, 현상, 식각, 증착 및 세정 등과 같은 일련의 처리를 실행하는 것에 의해 제조되고 있다.
이러한 일련의 처리는 대형 기판을 1매씩 이송하면서 수행되기 때문에, 일련의 처리를 수행하는 처리 유닛도 기판의 대형화에 수반하여 대형화되고 있으며, 이는 공간 활용도의 관점에서 한계를 갖는다.
이러한 이유로 종래의 경우에는 대형의 기판에 대해 일괄적으로 처리할 수 없는 공정(예를 들면, 터치 패널 공정)을 별도의 공정을 통해 진행하고 있다. 이로 인해, 설비의 생산성이 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 복수의 기판을 1매씩 순차적으로 이송할 수 있는 구성 및 2매의 기판을 동시에 반송하여 처리할 수 있는 구성을 구비하는 기판 처리 장치를 제공하는 데에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 제1 및 제2 기판을 1매씩 순차적으로 이송하는 기판 이송 유닛; 1매씩 순차적으로 이송된 제1 및 제2 기판을 동시에 반송하는 기판 반송 유닛; 및 기판 이송 유닛, 기판 반송 유닛, 또는 기판 이송 유닛 및 기판 반송 유닛에 의해 이송되거나 반송된 제1 및 제2 기판에 소정의 처리를 수행하는 기판 처리 유닛을 포함할 수 있다.
기판 이송 유닛은, 제1 및 제2 기판의 진행 방향으로 배치되며 제1 및 제2 기판이 탑재되어 이송되는 복수의 컨베이어 롤러를 포함할 수 있고, 제1 기판이 탑재된 복수의 컨베이어 롤러의 회전 속도와 제2 기판이 탑재된 복수의 컨베이어 롤러의 속도를 다르게 하는 것에 의해 제1 및 제2 기판 사이의 간격이 조절될 수 있다.
기판 이송 유닛은, 제1 및 제2 기판의 측면을 가압하여 제1 및 제2 기판을 정렬하는 기판 정렬 유닛을 더 포함할 수 있다.
기판 정렬 유닛은, 서로 대향하게 배치되며 제1 및 제2 기판의 측면을 가압하도록 구성되는 복수의 가압 부재; 및 복수의 가압 부재를 제1 및 제2 기판의 측면을 향하는 방향 또는 제1 및 제2 기판의 측면으로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 가압 부재 이동 모듈을 포함할 수 있다.
기판 반송 유닛은, 제1 및 제2 기판의 진행 방향으로 배치되며 제1 및 제2 기판이 탑재되어 이송되는 복수의 컨베이어 롤러; 및 복수의 컨베이어 롤러 상에 탑재된 제1 및 제2 기판을 동시에 지지하여 반송하는 기판 반송 모듈을 포함할 수 있다.
기판 반송 모듈은, 제1 및 제2 기판의 진행 방향에 직교하는 방향으로 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 기판 반송 부재; 및 한 쌍의 기판 반송 부재를 승강시키는 승강 모듈을 포함할 수 있다.
기판 반송 부재는, 제1 및 제2 기판이 안착되는 이송 벨트; 및 이송 벨트를 회전시키는 구동 풀리를 포함할 수 있다.
기판 반송 유닛은, 복수의 컨베이어 롤러 사이에 위치되어 제1 및 제2 기판 사이의 간격을 유지하기 위한 스토퍼를 더 포함할 수 있다.
스토퍼는, 복수의 컨베이어 롤러의 사이에 배치되어 외부로 노출되도록 구성되는 스토퍼 부재; 및 스토퍼 부재와 연결되어 스토퍼 부재를 승강시키는 스토퍼 부재 이동 모듈을 포함할 수 있다.
기판 반송 유닛은, 제1 기판이 반입된 후 제2 기판이 반입되기 전, 제1 기판을 복수의 컨베이어 롤러로부터 상승된 상태로 유지하는 리프트 유닛을 더 포함할 수 있다.
리프트 유닛은, 복수의 컨베이어 롤러 사이에 배치되는 복수의 리프트 핀; 및 복수의 리프트 핀을 승강시키는 리프트 핀 이동 모듈을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 복수의 기판 처리 유닛 각각이 복수의 기판에 소정의 처리를 수행하는 과정에서, 복수의 기판을 1매씩 순차적으로 이송하도록 구성되는 기판 이송 유닛 및 2매의 기판을 동시에 반송하도록 구성되는 기판 반송 유닛을 구비한다. 따라서, 기판 처리 장치 내에서의 복수의 기판 처리 유닛의 배치 레이아웃, 복수의 기판 처리 유닛 각각에서 이루어지는 처리의 종류 및 순서, 복수의 기판 처리 유닛 각각의 사이즈, 복수의 기판 처리 유닛 각각에서의 처리에 소요되는 시간 등을 고려하여, 기판 이송 유닛 및 기판 반송 유닛을 적절히 배치함으로써, 기판 처리 장치를 최적으로 설계할 수 있고, 전체적인 택트 타임을 줄일 수 있으며, 설비의 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치가 개략적으로 도시된 블록도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 기판 이송 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 기판 이송 유닛이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 기판 이송 유닛의 작동 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 기판 반송 유닛이 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 기판 반송 유닛이 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 8 내지 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치의 기판 반송 유닛의 작동 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 평판 표시 패널을 제조하기 위한 글라스 기판의 포토리소그래피 공정을 처리하는 설비이다. 기판 처리 장치는 기판(S)을 처리하기 위한 복수의 기판 처리 유닛(또는 단위 모듈)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 복수의 기판 처리 유닛은, 인덱서(110), 세정기(120), 제1 내지 제3 베이크 장치(DBK, SBK, HBK)(131, 132, 133), 코터(140), 건조기(VCD)(150), 버퍼(160), 인터페이스(170), 노광기(180), 타이틀러(190), 현상기(200), 검사기(210)을 포함할 수 있다. 복수의 기판 처리 유닛은 인라인 타입으로 배치될 수 있다. 제1 내지 제3 베이크 장치(131, 132, 133)는 각각 세정기(120) 및 코터(140) 사이, 건조기(150) 및 버퍼(160) 사이, 그리고 현상기(200) 및 검사기(210) 사이에 배치될 수 있다. 노광기(180)는 인터페이스(170)의 일측에 배치될 수 있다.
또한, 기판 처리 장치는, 복수의 기판 처리 유닛 사이에 배치되어 기판(S)을 이송하는 기판 이송 유닛(300) 및 기판 반송 유닛(400)을 포함할 수 있다.
기판 이송 유닛(300)은 기판(S)의 진행 방향을 따라 배치되는 복수의 컨베이어 롤러를 포함하며, 복수의 기판(S)을 1매씩 순차적으로 이송시키는 역할을 한다.
예를 들면, 기판 이송 유닛(300)은, 인덱서(110) 및 세정기(120) 사이, 세정기(120) 및 제1 베이크 장치(131) 사이, 타이틀러(190) 및 현상기(200) 사이, 현상기(200) 및 검사기(210) 사이, 그리고, 검사기(210) 및 인덱서(110) 사이에 배치될 수 있다.
기판 반송 유닛(400)은 1매씩 순차적으로 이송된 한 쌍의 기판(S)을 함께 후속 공정으로 반송하는 역할을 한다.
예를 들면, 기판 반송 유닛(400)은, 세정기(120) 및 제1 베이크 장치(131) 사이, 제1 베이크 장치(131) 및 코터(140) 사이, 코터(140) 및 건조기(150) 사이, 건조기(150) 및 제2 베이크 장치(132) 사이, 제2 베이크 장치(132) 및 인터페이스(170) 사이, 그리고, 현상기(200) 및 제3 베이크 장치(133) 사이에 배치될 수 있다.
이러한 구성에 따르면, 인덱서(110)에 의해 2매의 기판(S)(이하, 제1 및 제2 기판(S)이라 함)이 동시에 반입되어 이송된 후, 기판 이송 유닛(300)에 의해 1매씩 순차적으로 후속 공정으로 이송될 수 있다. 그리고, 기판 이송 유닛(300)에 의해 1매씩 순차적으로 이송된 제1 및 제2 기판(S)은 함께 기판 반송 유닛(400)에 의해 후속 공정으로 동시에 반송될 수 있다.
이하, 기판 이송 유닛(300) 및 기판 반송 유닛(400)를 보다 상세하게 설명한다.
먼저, 도 2 내지 도 5를 참조하여 기판 이송 유닛(300)에 대하여 설명한다.
도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이 기판 이송 유닛(300)은 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 진행 방향으로 배치되며 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 탑재되어 이송되는 복수의 컨베이어 롤러(310)를 포함한다.
기판 이송 유닛(300)은 기판 처리 유닛(예를 들면, 세정기(120), 현상기(200) 또는 검사기(210))의 내부에 배치되어 기판 처리 유닛의 일부를 구성할 수 있다. 이와 같은 경우, 기판 이송 유닛(300)은 기판 처리 유닛에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2)에 소정의 처리가 수행되는 동안 연속적으로 또는 간헐적으로 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 이동시키도록 구성될 수 있다. 따라서, 기판 이송 유닛(300)에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 1매씩 소정의 간격을 두고 이송되면서, 제1 및 제2 기판(S1, S2)에 대한 소정의 처리가 수행될 수 있다.
기판 이송 유닛(300)은 이전 공정으로부터 동시에 반입된 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 1매씩 순차적으로 이송하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 기판 이송 유닛(300)은 인덱서(110)에 의해 동시에 반입된 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 1매씩 순차적으로 이송하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 전체적인 택트 타임(Tact Time)이 70 sec인 경우, 기판 이송 유닛(300)은 기판(S) 1매당 35 sec로 기판(S)을 반송할 수 있다.
이를 위해, 복수의 컨베이어 롤러(310)는 각각 개별적으로 회전 속도가 조절 가능하게 구성될 수 있다. 따라서, 제1 기판(S1)이 탑재된 복수의 컨베이어 롤러(310)의 회전 속도와 제2 기판(S2)이 탑재된 복수의 컨베이어 롤러(310)의 속도를 다르게 하는 것에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 그리고, 제1 및 제2 기판(S1, S2) 사이의 간격이 소정의 간격으로 조절된 후, 제1 기판(S1)이 탑재된 복수의 컨베이어 롤러(310)의 회전 속도와 제2 기판(S2)이 탑재된 복수의 컨베이어 롤러(310)의 속도를 동일하게 하는 것에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 1매씩 순차적으로 이송할 수 있다.
다른 예로서, 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 이송하는 타이밍을 조절하는 것에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2) 사이의 간격을 조절할 수 있다. 즉, 제1 기판(S1)을 이송하기 시작하는 시점 및 제2 기판(S2)을 이송하기 시작하는 시점 사이의 시간 간격을 조절함으로써, 제1 및 제2 기판(S1, S2) 사이의 간격을 조절할 수 있다.
한편, 기판 이송 유닛(300)의 상류측에는 복수의 컨베이어 롤러(310) 상에 탑재된 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 정렬하는 기판 정렬 유닛(320)이 구비될 수 있다. 예를 들면, 기판 정렬 유닛(320)은 복수의 컨베이어 롤러(310) 상에 탑재된 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 측면을 가압하여 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 정렬하도록 구성될 수 있다.
기판 정렬 유닛(310)은 서로 대향하게 배치되며 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 측면을 가압하도록 구성되는 복수의 가압 부재(321)와, 복수의 가압 부재(321)를 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 측면을 향하는 방향 또는 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 측면으로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 가압 부재 이동 모듈(322)을 포함할 수 있다. 가압 부재 이동 모듈(322)은 가압 부재(321)와 연결되는 리니어 모터, 볼 스크류 기구 등의 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
도 3에서는 복수의 가압 부재(321)가 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 진행 방향에 직교하는 방향으로 서로 대향하게 배치되는 구성을 제시하지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 다른 예로서, 복수의 가압 부재(321)가 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 진행 방향으로 서로 대향하게 배치되는 구성도 고려될 수 있다. 또 다른 예로서, 복수의 가압 부재(321)가 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 코너 부분을 향하여 대향하게 배치될 수 있고, 복수의 가압 부재(321)가 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 코너 부분을 가압하는 것에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 정렬될 수 있다.
이와 같이, 기판 이송 유닛(300)의 상류측에 복수의 컨베이어 롤러(310) 상에 탑재된 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 정렬하는 기판 정렬 유닛(320)이 구비되므로, 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 위치 및 자세를 정확하게 조절하면서 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 이송할 수 있다.
이와 같은 기판 이송 유닛(300)의 구성에 따르면, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 복수의 컨베이어 롤러(310)를 따라 동시에 반입되면, 복수의 컨베이어 롤러(310)의 회전이 정지된 후, 복수의 가압 부재(321)가 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 측면을 가압하는 것에 의해, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 정확한 위치 및 자세로 정렬된다.
그리고, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 가압 부재(321)가 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 측면으로부터 이격된 상태에서, 복수의 컨베이어 롤러(310)가 회전되는 것에 의해, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 후속 공정으로 이송된다. 이때, 제2 기판(S2)이 정지된 상태에서 제1 기판(S1)이 이송되거나, 제2 기판(S2)의 이송 속도에 비해 큰 이송 속도로 제1 기판(S1)이 이송되는 것에 의해, 제1 및 제2 기판(S1, S2) 사이의 간격이 조절될 수 있다. 제1 및 제2 기판(S1, S2) 사이의 간격이 조절된 이후에는, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 동일한 속도로 이송될 수 있다.
이하, 도 6 내지 도 12를 참조하여 기판 반송 유닛(400)에 대하여 설명한다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기판 반송 유닛(400)은 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 진행 방향으로 배치되며 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 탑재되어 이송되는 복수의 컨베이어 롤러(410)를 포함한다.
기판 반송 유닛(400)은 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 함께 기판 처리 유닛(예를 들면, 제1 베이크 장치(131), 코터(140), 건조기(150), 제2 베이크 장치(132), 인터페이스(170) 또는 제3 베이크 장치(133))로 전달하는 역할을 한다. 기판 반송 유닛(400)으로는 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 복수의 컨베이어 롤러(410)를 따라 1매씩 반입될 수 있다. 기판 반송 유닛(400)은 1매씩 소정의 간격을 두고 반입되는 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 취합하여 함께 후속하는 기판 처리 유닛으로 반송하는 역할을 한다.
따라서, 기판 반송 유닛(400)이 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 함께 기판 처리 유닛으로 반송하므로, 기판 처리 유닛에서 제1 및 제2 기판(S1, S2)에 동시에 소정의 처리가 수행될 수 있다.
이를 위해, 기판 반송 유닛(400)은 복수의 컨베이어 롤러(410) 상에 탑재된 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 동시에 지지하여 반송하는 기판 반송 모듈(420)을 포함할 수 있다.
기판 반송 모듈(420)은, 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 진행 방향에 직교하는 방향으로 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 기판 반송 부재(421)와, 한 쌍의 기판 반송 부재(421)를 승강시키는 승강 모듈(422)을 포함할 수 있다.
예를 들면, 기판 반송 부재(421)는 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 안착되는 이송 벨트와, 이송 벨트를 회전시키는 구동 풀리를 포함할 수 있다. 한 쌍의 기판 반송 부재(421)의 상부에 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 함께 지지될 수 있도록 한 쌍의 기판 반송 부재(421) 사이의 간격이 설정될 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 한 쌍의 기판 반송 부재(421)를 구성하는 한 쌍의 이송 벨트의 상부에 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 함께 지지된 상태에서 한 쌍의 이송 벨트가 회전되는 것에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 반송될 수 있다.
다른 예로서, 도시되지 않았지만, 기판 반송 부재는 로봇의 암에 연결되는 포크로 구성되어, 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 함께 지지하여 승강시켜, 후속 공정으로 반송하도록 구성될 수 잇다.
승강 모듈(422)은 기판 반송 부재(421)와 연결되는 리니어 모터, 볼 스크류 기구 등의 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
한편, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 복수의 컨베이어 롤러(410)를 따라 1매씩 반입되는 과정에서, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 서로 충돌하는 것을 방지하기 위해, 기판 반송 유닛(400)은 복수의 컨베이어 롤러(410) 사이에 위치되어 제1 및 제2 기판 사이의 간격을 유지하기 위한 스토퍼(430)를 포함할 수 있다.
스토퍼(430)는 복수의 컨베이어 롤러(410)의 사이에 배치되어 외부로 노출되도록 구성되는 스토퍼 부재(431)와, 스토퍼 부재(431)와 연결되어 스토퍼 부재(431)를 승강시키는 스토퍼 부재 이동 모듈(432)을 포함할 수 있다. 스토퍼 부재 이동 모듈(432)은 스토퍼 부재(431)와 연결되는 리니어 모터, 볼 스크류 기구 등의 직선 이동 기구로 구성될 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 복수의 컨베이어 롤러(410)를 따라 1매씩 반입되는 과정에서, 제1 기판(S1)이 먼저 스토퍼 부재(431)가 배치된 위치를 지나치게 되면, 스토퍼 부재(431)가 스토퍼 부재 이동 모듈(432)에 의해 상승되며, 이에 따라, 제2 기판(S2)이 스토퍼 부재(431)에 충돌하면서 제2 기판(S2)이 정지할 수 있다. 따라서, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 서로 접촉하는 것을 방지할 수 있으며, 이에 따라, 제1 및 제2 기판(S1, S2)의 상호 간의 접촉에 의한 마찰에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 복수의 컨베이어 롤러(410)를 따라 1매씩 반입되는 과정에서, 제1 기판(S1)이 먼저 반입된 후 대기 상태에 있을 때, 제1 기판(S1)을 복수의 컨베이어 롤러(410)로부터 상승된 상태로 유지하는 리프트 유닛(440)이 구비될 수 있다.
리프트 유닛(440)은 복수의 컨베이어 롤러(410) 사이에 배치되는 복수의 리프트 핀(441)과, 복수의 리프트 핀(441)을 승강시키는 리프트 핀 이동 모듈(442)을 포함할 수 있다. 리프트 핀 이동 모듈(442)은 리프트 핀(441)와 연결되는 리니어 모터, 볼 스크류 기구 등의 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
특히, 리프트 유닛(440)은 코터(140)의 하류에 배치되는 기판 반송 유닛(400)에 구비되는 것이 바람직하다.
코터(140)에서 제1 기판(S1) 상에 소정의 도포제(예를 들면, 포토레지스트)가 도포된 후, 제1 기판(S1)이 복수의 컨베이어 롤러(410) 상에 정지된 상태로 대기하게 되면(제2 기판(S2)을 기다리는 과정), 복수의 컨베이어 롤러(410)에 접촉되지 않은 제1 기판(S1)의 일부분이 복수의 컨베이어 롤러(410) 사이의 공간에서 처지는 현상이 발생될 수 있다. 그리고, 기판(S)의 처짐으로 인해 도포제가 유동하며, 도포제의 유동으로 인해 얼룩 등의 문제가 발생할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 코터(140)의 하류에 배치되는 기판 반송 유닛(400)에 리프트 유닛(440)이 구비되므로, 제1 기판(S1) 상에 도포제를 도포한 후 제2 기판(S2)을 기다리는 과정에서, 제1 기판(S1)이 리프트 유닛(440)의 복수의 리프트 핀(441)에 안정적으로 지지되고 복수의 컨베이어 롤러(410)로부터 상승된 상태로 유지된다. 따라서, 제1 기판(S1) 상에서의 도포제의 유동이 방지될 수 있으며, 이에 따라, 도포제의 유동으로 인한 얼룩 등의 문제를 방지할 수 있다.
한편, 도 7에서는 복수의 리프트 핀(441)이 제1 기판(S1)이 차지하는 영역에만 대응하도록 배치되어 제1 기판(S1)만을 승강시키는 구성이 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 다른 예로서, 복수의 리프트 핀(441)은 제1 및 제2 기판(S1, S2)을 모두 승강시킬 수 있도록 배치될 수 있다.
이와 같은 기판 반송 유닛(400)의 구성에 따르면, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 복수의 컨베이어 롤러(410)를 따라 1매씩 순차적으로 반입된다.
그리고, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 기판(S1)은 스토퍼(430)이 배치되는 위치를 지난 후 정지되어 제2 기판(S2)을 기다리는 대기 상태에 있게 된다.
이때, 제1 기판(S1)은 리프트 유닛(440)의 복수의 리프트 핀(441)에 의해 지지된 상태로 상승되어 복수의 컨베이어 롤러(410)로부터 소정의 높이로 상승된 상태로 유지된다.
그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 스토퍼(430)의 스토퍼 부재(431)이 상승되며, 이에 따라, 제1 기판(S1)에 후속하여 이송되는 제2 기판(S2)이 스토퍼 부재(431)에 의해 정지될 수 있다.
이에 따라, 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 기판(S1, S2)은 기판 반송 모듈(420)의 한 쌍의 기판 반송 부재(421)의 영역 내에 위치된다. 이때, 한 쌍의 기판 반송 부재(421)가 승강 모듈(422)에 의해 상승되며, 이에 따라, 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 함께 한 쌍의 기판 반송 부재(421)에 지지될 수 있다.
그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 기판 반송 부재(421)가 소정의 높이로 상승된 위치에서, 이송 벨트가 작동하는 것에 의해 제1 및 제2 기판(S1, S2)이 함께 후속하는 공정으로 반송될 수 있다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 복수의 기판 처리 유닛 각각이 복수의 기판에 소정의 처리를 수행하는 과정에서, 복수의 기판을 1매씩 순차적으로 이송하도록 구성되는 기판 이송 유닛(300) 및 2매의 기판을 동시에 반송하도록 구성되는 기판 반송 유닛(400)을 구비한다. 따라서, 기판 처리 장치 내에서의 복수의 기판 처리 유닛의 배치 레이아웃, 복수의 기판 처리 유닛 각각에서 이루어지는 처리의 종류 및 순서, 복수의 기판 처리 유닛 각각의 사이즈, 복수의 기판 처리 유닛 각각에서의 처리에 소요되는 시간 등을 고려하여, 기판 이송 유닛(300) 및 기판 반송 유닛(400)을 적절히 배치함으로써, 기판 처리 장치를 최적으로 설계할 수 있고, 전체적인 택트 타임을 줄일 수 있으며, 설비의 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
300: 기판 이송 유닛
310: 컨베이어 롤러
320: 기판 정렬 유닛
400: 기판 반송 유닛
410: 컨베이어 롤러
420: 기판 반송 모듈
430: 스토퍼
440: 리프트 유닛

Claims (11)

  1. 제1 및 제2 기판을 1매씩 순차적으로 이송하는 기판 이송 유닛;
    1매씩 순차적으로 이송된 상기 제1 및 제2 기판을 동시에 반송하는 기판 반송 유닛; 및
    상기 기판 이송 유닛, 상기 기판 반송 유닛, 또는 상기 기판 이송 유닛 및 상기 기판 반송 유닛에 의해 이송되거나 반송된 상기 제1 및 제2 기판에 소정의 처리를 수행하는 기판 처리 유닛을 포함하고,
    상기 기판 반송 유닛은,
    상기 제1 및 제2 기판의 진행 방향으로 배치되며 상기 제1 및 제2 기판이 탑재되어 이송되는 복수의 컨베이어 롤러; 및
    상기 복수의 컨베이어 롤러 상에 탑재된 상기 제1 및 제2 기판을 동시에 지지하여 반송하는 기판 반송 모듈을 포함하고,
    상기 기판 반송 모듈은,
    상기 제1 및 제2 기판의 진행 방향에 직교하는 방향으로 서로 대향하게 배치되는 한 쌍의 기판 반송 부재; 및
    상기 한 쌍의 기판 반송 부재를 승강시키는 승강 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 이송 유닛은, 상기 제1 및 제2 기판의 진행 방향으로 배치되며 상기 제1 및 제2 기판이 탑재되어 이송되는 복수의 컨베이어 롤러를 포함하고,
    상기 제1 기판이 탑재된 복수의 컨베이어 롤러의 회전 속도와 상기 제2 기판이 탑재된 복수의 컨베이어 롤러의 속도를 다르게 하는 것에 의해 상기 제1 및 제2 기판 사이의 간격이 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 이송 유닛은, 상기 제1 및 제2 기판의 측면을 가압하여 상기 제1 및 제2 기판을 정렬하는 기판 정렬 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 기판 정렬 유닛은,
    서로 대향하게 배치되며 상기 제1 및 제2 기판의 측면을 가압하도록 구성되는 복수의 가압 부재; 및
    상기 복수의 가압 부재를 상기 제1 및 제2 기판의 측면을 향하는 방향 또는 상기 제1 및 제2 기판의 측면으로부터 이격되는 방향으로 이동시키는 가압 부재 이동 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 반송 부재는,
    상기 제1 및 제2 기판이 안착되는 이송 벨트; 및
    상기 이송 벨트를 회전시키는 구동 풀리를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 반송 유닛은, 상기 복수의 컨베이어 롤러 사이에 위치되어 상기 제1 및 제2 기판 사이의 간격을 유지하기 위한 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 스토퍼는,
    상기 복수의 컨베이어 롤러의 사이에 배치되어 외부로 노출되도록 구성되는 스토퍼 부재; 및
    상기 스토퍼 부재와 연결되어 상기 스토퍼 부재를 이동시키는 스토퍼 부재 이동 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 반송 유닛은, 상기 제1 기판이 반입된 후 상기 제2 기판이 반입되기 전, 상기 제1 기판을 상기 복수의 컨베이어 롤러로부터 상승된 상태로 유지하는 리프트 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 리프트 유닛은,
    상기 복수의 컨베이어 롤러 사이에 배치되는 복수의 리프트 핀; 및
    상기 복수의 리프트 핀을 승강시키는 리프트 핀 이동 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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