KR100687565B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

기판 처리 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100687565B1
KR100687565B1 KR1020050060753A KR20050060753A KR100687565B1 KR 100687565 B1 KR100687565 B1 KR 100687565B1 KR 1020050060753 A KR1020050060753 A KR 1020050060753A KR 20050060753 A KR20050060753 A KR 20050060753A KR 100687565 B1 KR100687565 B1 KR 100687565B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
board
conveyance
processing
processing apparatus
Prior art date
Application number
KR1020050060753A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060049892A (ko
Inventor
다케시 다니구치
Original Assignee
다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 filed Critical 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
Publication of KR20060049892A publication Critical patent/KR20060049892A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100687565B1 publication Critical patent/KR100687565B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67207—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process
    • H01L21/67225—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations comprising a chamber adapted to a particular process comprising at least one lithography chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Abstract

본 발명은 기존의 복합 처리부에 새롭게 추가된 처리 유닛에 대해서 기판을 반송하는 기구를 설치하는 경우에, 새롭게 필요해지는 스페이스가 매우 작아서 충분한 기판 처리 장치를 제공한다.
기판에 대해서, 미리 정해진 일련의 처리를 실시하는 복합 처리부(1A, 1B)를 구비한 기판 처리 장치(1)로서, 복합 처리부(1A)에 설치되어 있는 노광 장치용 제1 인터페이스부(60)와, 복합 처리부(1B)에 설치되어 있는 노광 장치용 제2 인터페이스부(61) 사이에서 기판을 반송하는 기판 반송 컨베이어(630)가 설치되고, 이 기판 반송 컨베이어(630)의 적어도 일부를 제1 인터페이스부(60) 및 제2 인터페이스부(61)의 일부와 적층 배치시킨 상태에서 설치한다.

Description

기판 처리 장치{BOARD PROCESSING APPARATUS}
도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치를 포함하는 기판 처리 시스템을 도시하는 도면이다.
도 2는, 제1 복합 처리부의 제1 인터페이스부를 제어하는 제어 유닛의 전기적 구성을 간단하게 도시한 블록도이다.
도 3은, 기판 반송 컨베이어의 일부인 기판 반송로를 도시하는 사시도이다.
도 4는, 기판 반송 컨베이어의 일부인 기판 이송부의 개략을 도시하는 평면도이다.
도 5는, 기판 반송 컨베이어에 설치되어 있는 기판 방향 변경 장치를 도시하는 사시도이다.
도 6은, 기판 방향 변경 장치가 기판 반송로에 수납되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 7은, 기판 방향 변경 장치가 기판 반송로에 수납되어 있는 상태를 도시하는 평면도이다.
도 8은, 기판 반송 컨베이어, 기판 이송부, 기판 방향 변경 장치 및 기판 반송 로봇의 위치 관계를 도시하는 평면도이다.
도 9는, 기판 반송 로봇의 로봇 핸드부와 기판 반송 컨베이어의 위치 관계를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
도 10은, 본 발명의 제2 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 일부분을 도시하는 도면이다.
도 11은, 본 발명의 제3 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 일부분을 도시하는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
A : 기판 처리 시스템 1 : 기판 처리 장치
1A, 1B : 복합 처리부 101, 102 : 노광 장치
60 : 제1 인터페이스부 601 : 버퍼부
603 : 기판 반송 로봇 604 : 주변 노광 장치
61 : 제2 인터페이스부 611 : 버퍼부
613 : 기판 반송 로봇 614 : 주변 노광 장치
630, 630' : 기판 반송 컨베이어
631 : 기판 반송로 632 : 기판 이송부
633 : 기판 방향 변경 장치 6311 : 회전축
6312 : 롤러 6313 : 프레임
6313a : 프레임 6313b : 프레임
6314 : 개구부 6315a : 깊은 노치부
6315b : 얕은 노치부 6321a : 지지 프레임
6321b : 회전 롤러 6321c : 수평 이동용 싱글 실린더
6321 : 세로 반송용 이송부 6322 : 가로 반송용 이송부
6322a : 지지 프레임 6322b : 회전 롤러
6322c : 수평 이동용 싱글 실린더
6321d : 연직 이동용 더블 실린더
6331 : 기판 유지부 6331a, 6331b : 장척형상 부재
6331c : 흡기구 6332 : 회전 모터
6333 : 승강 기구
본 발명은 반도체 기판이나 액정 유리 기판 등의 박판형상 기판(이하, 「기판」이라 함)에 대해서, 미리 정해진 일련의 처리(예를 들면, 레지스트 도포 처리, 현상 처리 등)를 실시하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
종래부터, 기판에 대해서 레지스트 도포 처리, 노광 처리, 현상 처리 등의 미리 정해진 일련의 처리를 실시하는 기판 처리 장치가 알려져 있다. 이러한 기판 처리 장치에 있어서는 일반적으로 노광 처리의 소요 시간은 다른 처리의 소요 시간보다도 장시간이다. 그 때문에, 복수의 노광 유닛을 구비함에 의해 노광 유닛에 의한 스루풋(throughput)과 다른 처리 유닛에 의한 처리의 스루풋의 상대적인 차이를 흡수하고, 기판 처리 장치 전체로서의 처리 효율을 향상시키도록 한 기판 처리 장치가 알려져 있다(예를 들면, 일본 공개특허공보 평11-16978호).
상기의 기판 처리 장치의 경우, 상기 복수의 노광 유닛과 다른 처리 유닛과의 사이에 복수의 노광 유닛 중 어느 하나에 기판을 반송하고 다른 하나의 노광 유닛으로부터 기판을 취출하는지의 구분 및 구별을 실시하는 기판 반송 기구가 새롭게 필요해진다. 그 때문에, 이 구분 및 구별을 실시하는 기판 반송 기구를 설치하기 위해서 새로운 스페이스가 여분으로 필요해진다.
본 발명은 상기의 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 기존의 복합 처리부에 새롭게 추가된 처리 유닛에 대해서 기판을 반송하는 기구를 설치하는 경우에, 새롭게 필요해지는 스페이스가 매우 작아 충분한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
본 발명의 청구항 1에 기재된 발명은, 기판에 대해서 미리 정해진 일련의 처리를 실시하는 복수의 처리 유닛을 가지는 복합 처리부를 구비한 기판 처리 장치로서,
상기 복합 처리부에는 상기 복수의 처리 유닛 중 하나와 동일한 다른 처리 유닛과의 사이에서 상기 기판을 반송하는 기판 반송 기구가 설치되고,
상기 기판 반송 기구는 적어도 그 일부가 상기 동일한 2개의 처리 유닛의 일부와 적층 배치된 상태에서 설치되어 있는 것이다.
이 구성에서는, 동일한 2개의 처리 유닛 사이에서 기판을 반송하기 위한 기판 반송 기구의 적어도 일부가 이들 2개의 처리 유닛의 일부와 적층 배치된 상태에서 설치되어 있으므로, 해당 기판 반송 기구의 설치를 위해서 새롭게 필요해지는 스페이스가 매우 작아 충분하다.
또한, 상기 기판 반송 기구는 상기 동일한 2개의 처리 유닛 사이에 가교된 컨베이어 방식으로 됨과 동시에, 상기 동일한 2개의 처리 유닛의 각각에는 각 처리 유닛 내에 설치되어 있는 각부 사이에서의 상기 기판 수수(收受)를 행하는 기판 반송 로봇이 설치되고, 이 기판 반송 로봇이 상기 기판 반송 기구와의 사이에서 상기 기판의 수수를 행하는 것이다.
이 구성에서는, 각 처리 유닛 내에 설치되어 있는 각각의 기판 반송 로봇끼리가 컨베이어 방식의 기판 반송 기구를 통하여 기판의 수수를 행하기 때문에, 기존 장치의 기본 구성을 큰 폭으로 변경하지 않고 기판 반송 기구를 설치할 수 있다.
또한, 청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 기구에는 반송 중의 상기 기판을 회전시켜 상기 기판의 방향을 변경하는 기판 방향 변경 수단이 설치되어 있는 것이다.
이 구성에서는, 기판 반송처의 처리 유닛에서의 처리에 적합해지도록, 미리 기판 반송 기구에 있어서 반송 중인 기판의 방향을 기판 방향 변경 수단에 의해서 변경할 수 있기 때문에, 미리 기판 반송원의 처리 유닛으로 기판 방향을 변경하거나, 반송처의 처리 유닛에 있어서 기판의 방향을 변경할 필요가 없어진다. 이것에 의해 기판의 방향을 변경하기 위해서 행하는 처리 유닛 내에서의 수고를 삭감할 수 있기 때문에 기판 처리의 스루풋에 영향을 주는 일 없이 원활하게 상기 각 처리 유 닛 사이에서 기판을 반송할 수 있다.
또한, 청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 3에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 기구는, 상기 기판의 측단부를 유지하여 상기 기판을 수평 방향으로 이송하는 기판 이송부와, 상기 기판의 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 복수의 회전축과, 이 회전축의 주위에 설치되고 상기 기판의 하부에 접촉한 상태에서 해당 회전축과 함께 회전하여 상기 기판 이송부에 의한 기판 이송을 안내하는 복수의 롤러와, 이들의 회전축 및 롤러로 이루어지는 기판 반송로에 설치된 개구부를 가지고,
상기 기판 방향 변경 수단은, 상기 기판의 하부에 접촉하여 상기 기판을 유지하는 복수의 장척형상 부재로 이루어지는 기판 유지부와, 이 기판 유지부를 지지하여 수평 방향으로 회전시키는 회전 기구와, 상기 개구부에 설치되어 해당 회전 기구를 승강시키는 승강 기구를 가지고,
상기 기판이 상기 기판 반송로를 반송되고 있을 때, 상기 기판 방향 변경 수단은 그 상기 기판 유지부의 각 장척형상 부재가 상기 기판 반송로의 각 회전축 사이에 형성되는 제1 공간과, 상기 기판 반송로의 회전축 상과 상기 롤러의 둘레면 사이에 존재하는 제2 공간 중 어느 하나의 공간에 수납된 상태가 되고, 상기 수납된 상태의 상기 기판 방향 변경 수단의 위쪽까지 상기 기판 반송로 상을 상기 기판이 반송되었을 때에는, 이 기판이 상기 승강 기구에 의해서 상승되는 상기 기판 유지부에 유지되고, 상기 회전 기구에 의해 해당 기판 유지부가 90˚단위로 회전되며, 이 기판 유지부의 각 장척형상 부재는 해당 회전 동작 종료 후에 상기 승강 기 구에 의해서 하강되어 상기 제1 공간 또는 제2 공간 중 어느 하나에 수납되는 것이다.
이 구성에서는, 기판 반송 중에는 기판 방향 변경 수단의 기판 유지부의 장척형상 부재가 기판 반송로의 각 회전축 사이에 형성되는 제1 공간과, 기판 반송로의 회전축 상과 롤러의 둘레면 사이에 존재하는 제2 공간 중 어느 하나의 공간에 수납된 상태가 되기 때문에, 기판 방향 변경 수단의 존재가 기판 반송로에서의 기판의 반송에 지장을 주는 일이 없다.
또한, 수납된 상태의 기판 방향 변경 수단의 위쪽에 반송된 기판은 승강 기구에 의해서 상승된 기판 유지부에 유지되고, 회전 기구에 의해 해당 기판 유지부가 90˚단위로 회전되기 때문에, 반송처의 처리 유닛에서의 처리에 적합한 방향이 되도록 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 사각형 형(型)의 기판을 반송하는 경우에 특히 유익하다.
또한, 기판 유지부의 각 장척형상 부재는 상기 회전 동작 종료 후에 승강 기구에 의해서 하강되어 제1 공간 또는 제2 공간 중 어느 하나에 수납되기 때문에, 기판의 방향을 변경시킨 후의 기판 방향 변경 수단을 그대로의 상태에서 기판의 반송에 지장이 없는 위치에 신속히 이동시킬 수 있다.
또한, 청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 기구는 상기 기판 반송 방향에 직교하는 방향에서의 상기 기판의 폭에 따라 상기 기판 이송부의 위치를 변경시키는 반송 폭 변경 수단을 구비하는 것이다.
이 구성에 의하면, 반송 폭 변경 수단에 의해서 기판의 폭에 따라 기판 이송부의 위치를 변경할 수 있기 때문에, 기판의 방향에 의한 기판 폭의 변화에 관계없이 기판을 반송할 수 있고, 또한 반송하는 기판의 사이즈가 1종류에는 구애받지 않는다.
또한, 청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 5에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 기판 이송부는 상기 기판 반송 방향에 직교하는 방향에서의 상기 기판의 폭에 대응하여 복수 설치되어 있고, 반송되는 기판의 폭에 맞추어 상기 기판의 반송에 이용하는 기판 이송부를 전환하는 전환 기구를 구비하는 것이다.
이 구성에 의하면, 반송 폭 변경 수단은 반송되는 기판의 폭에 따라 기판 반송에 이용하는 기판 이송부를 상이하게 하기 때문에, 기판의 폭에 따른 기판 반송을 보다 정확하게 행할 수 있다.
또한, 청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 기구가 상기 동일한 2개의 처리 유닛의 일방측에서 타방측으로 상기 기판을 반송하는 제1 반송 기구와, 해당 일방측의 처리 유닛에서 상기 일방측의 처리 유닛에 기판을 반송하는 제2 반송 기구로 구성되어 있는 것이다.
이 구성에 의하면, 제1 반송 기구 및 제2 반송 기구에 의해서 상기 2개의 동일한 처리 유닛 사이에서, 일방의 처리 유닛에서의 처리를 끝낸 기판을 타방의 처리 유닛에 반송하는 동작과, 이 타방의 처리 유닛에서의 처리를 끝낸 기판을 다시 상기 일방측의 처리 유닛으로 되돌리는 동작을 동시에 실시하는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 상기 2개의 동일한 처리 유닛 사이에서 후속하여 행해지는 기판 반송 에 지장을 주는 일 없이 연속하여 쌍방향으로 기판을 반송할 수 있고, 일방의 처리 유닛에서 타방의 처리 유닛에 기판을 반송한 후, 신속하게 그 타방의 처리 유닛에서 원래의 처리 유닛에 기판을 되돌리는 것이 가능해진다.
또한, 청구항 8에 기재된 발명은, 청구항 7에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 제 1 반송 기구와 상기 제 2 반송 기구가 적층 배치되어 있는 것이다.
이 구성에 의하면, 제1 반송 기구와 제2 반송 기구가 적층 배치되어 있는 만큼, 기판 반송 기구를 설치하기 위해서 필요해지는 스페이스를 작게 할 수 있다.
또한, 청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 방향에서의 상기 기판의 가장자리부를 상기 기판 반송 방향에 직교하는 상태로 하여 상기 기판을 정렬시키는 기판 정렬 수단이 설치되어 있는 것이다.
이 구성에 의하면, 기판이 상기 처리 유닛에 반송되어 오기 전의 단계에서, 기판 반송 기구에 의해서 반송 중에 생긴 기판의 위치 오차나 방향을 정확하게 수정한 다음에 그 기판을 반송처의 처리 유닛에 투입할 수 있다.
또한, 청구항 10에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 기판 반송 기구의 적어도 일방의 기판 반송 로봇은, 상기 기판의 수수를 위해서 상기 기판이 재치되는 아암부와, 상기 기판 반송 기구로부터 상기 기판을 수취할 때에 상기 기판 반송 방향에서의 상기 기판 가장자리부의 방향을 검출하는 기판 방향 검출부와, 이 기판 방향 검출부에 의해서 검출된 상기 기판의 방향에 대응하는 방향으로 상기 아암부를 회전시키고 나서 상기 아암부에 상기 기판을 재치시키는 동작 제어부를 가지는 것이다.
이 구성에 의하면, 기판 방향 검출부에 의해서 검출된 기판의 방향에 대응하는 방향으로 아암부를 회전시키고 나서 동작 제어부가 아암부에 기판을 재치시키기 때문에, 그 기판 반송 로봇이 설치되어 있는 처리 유닛은, 반송 중에 생긴 기판의 위치 오차나 방향을 정확하게 수정할 수 있고 처리 유닛 내의 각부에 기판을 정확한 자세로 투입할 수 있다.
또한, 청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 복합 처리부를 복수 구비하고, 하나의 복합 처리부에 구비되어 있는 처리 유닛과, 다른 복합 처리부에 구비되어 있는 처리 유닛 사이에 상기 기판 반송 기구가 설치되어 있는 것이다.
이 구성에 의하면, 기판 반송 기구에 의해서 상기 각 복합 처리부에 각각 설치되어 있는 처리 유닛 사이에서 기판의 수수를 행함으로써 1개의 기판에 대해서 각 복합 처리부에 구비된 각각의 상기 처리 유닛의 모두, 또는 선택한 임의의 처리 유닛에서 기판에 대한 처리를 행하는 것이 가능해진다.
또한, 본 발명의 청구항 12에 기재된 발명은, 기판에 대해서 미리 정해진 레지스트 도포 처리 또는 현상 처리를 포함하는 일련의 처리를 실시하는 복수의 처리 유닛을 가지는 복합 처리부를 구비한 기판 처리 장치로서, 상기 기판에 각각 노광 처리를 행하는 2개의 노광 장치의 일방과의 사이에서 상기 기판의 수수를 행하는 제1 인터페이스부가 상기 복합 처리부에 구비됨과 동시에, 상기 복합 처리부 외에 설치되고 상기 2개의 노광 장치의 타방과의 사이에서 상기 기판의 수수를 행하는 제2 인터페이스부와, 제1 인터페이스부와 제2 인터페이스부 사이에서 기판을 반송하는 기판 반송 기구를 또한 구비하고, 상기 기판 반송 기구는 적어도 그 일부가 제1 인터페이스부 및 제2 인터페이스부의 일부와 적층 배치된 상태에서 설치되어 있는 기판 처리 장치.
이 구성에 의하면, 복합 처리부에 상기 기판에 각각 노광 처리를 행하는 2개의 노광 장치의 일방과의 사이에서 상기 기판의 수수를 행하는 제1 인터페이스부가 구비되고, 복합 처리부 외에 상기 2개의 노광 장치의 타방과의 사이에서 상기 기판의 수수를 행하는 제2 인터페이스부가 설치되고, 제1 인터페이스부와 제2 인터페이스부 사이에서 기판을 반송하는 기판 반송 기구를 또한 구비하며, 또한 상기 기판 반송 기구는 적어도 그 일부가 제1 인터페이스부 및 제2 인터페이스부의 일부와 적층 배치된 상태에서 설치되어 있기 때문에, 해당 기판 반송 기구의 설치를 위해서 새롭게 필요해지는 스페이스를 더욱 작게 할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 이용하여 설명한다. 도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치를 포함하는 기판 처리 시스템(A)을 도시하고 있다. 기판 처리 시스템(A)은 예를 들면, 액정 표시기용 유리 기판의 처리에 있어서 포토리소그래피 공정의 일부를 담당하는 장치로서, 제1 복합 처리부(1A) 및 제2 복합 처리부(1B)를 구비하고, 각각의 복합 처리부를 이용하여 레지스트 도포 전의 세정 처리부터 레지스트 도포·노광·현상 등까지를 연속하여 순차 행하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 기판 처리 장치(1)는 이 기판 처리 시스템(A)에서 제 1 노광 장치(101), 제2 노광 장치(102)를 제외한 것이다.
기판 처리 장치(1)는 제1 복합 처리부(1A) 및 제2 복합 처리부(1B)를 구비하고 있다. 제1 복합 처리부(1A) 및 제2 복합 처리부(1B)는 동일한 구성이기 때문에 제1 복합부(1A)를 예로 하여 설명한다. 제1 복합 처리부(1A)는, 동 도면에 도시하는 바와 같이, 기판 공급부인 인덱서부(2)와, 복합 처리부로서 세정 유닛(10), 탈수 베이크 유닛(20), 레지스트 도포 유닛(30), 프리 베이크 유닛(40), 현상 유닛(80) 및 포스트 베이크 유닛(90)의 각 처리 유닛을 가지고 있다. 제1 복합 처리부(1A)는 인덱서부(2)로부터 공급되는 기판을 소정의 반송 순서로 각 단위 처리부에 반송하면서 각 단위 처리부에서 처리한 후, 재차, 상기 인덱서부(2)에 기판을 되돌리도록 인덱서부(2)에 대해서 다른 처리부가 U자형으로 접속된 레이아웃 구성이 되고 있다.
인덱서부(2)에는 기판을 수납한 카세트(4)를 재치하는 카세트 재치부와, 기판 반송 로봇(3)이 설치되고, 상기 카세트 재치부에 세트된 카세트(4)에서 기판 반송 로봇(3)에 의해 기판을 취출하여 세정 유닛(10)에 수수함과 동시에, 처리 후의 기판을 포스트 베이크 유닛(90)에서 수취하여 원래의 카세트(4)에 수납하도록 구성되어 있다.
세정 유닛(10)은 반입부(11), UV 오존 세정부(12), 수세부(13), 액적 제거부(14) 및 반출부(15)를 가지고, 인덱서부(2)에서 공급된 기판을 예를 들면 수평 자세로 반송하면서 세정 처리를 실시하도록 구성되어 있다.
탈수 베이크 유닛(20)은 반입부(21), 가열부(22), 밀착 강화 처리부(23) 및 냉각부(24)를 가지고 있고, 세정 처리를 끝낸 기판에 대해, 우선 가열부(22)에서 가열 처리를 실시하여 수분을 제거하고, 레지스트액의 밀착성을 향상시키기 위해 밀착 강화 처리부(23)에서 HMDS(헥사메틸디실라잔)를 도포한다. 그리고, 마지막에 냉각부(24)에서 기판에 냉각 처리를 실시하도록 구성되어 있다.
레지스트 도포 유닛(30)은 반입부(31), 스핀코터부(32), 감압 건조부(33), 엣지 린스부(34) 및 반출부(35)를 가지고 있고, 우선 스핀코터부(32)에 있어서 기판의 표면에 균일한 레지스트막을 형성하고, 이것을 감압 건조부(33)에서 감압 베이크한 후, 엣지 린스부(34)에서 기판 둘레 가장자리의 불필요한 레지스트막을 제거하도록 구성되어 있다.
프리 베이크 유닛(40)은, 가열부와 냉각부를 다단으로 구비한 2개의 처리부(41)를 가지고 있고, 이들 처리부(41) 사이에 개설된 로봇(42)에 의해 상기 처리부(41)에 대해서 기판을 출납하여 기판에 가열 및 냉각 처리를 실시하도록 구성되어 있다.
제1 노광 장치(101), 제2 노광 장치(102)는 예를 들면 축소 투영 노광기 등의 노광기이며, 프리 베이크 후의 기판을 노광한다.
복합 처리부(1A)에서의 제1 노광 장치(101)와 프리 베이크 유닛(40) 사이에는 제1 인터페이스부(처리 유닛의 하나 : 60)가 설치되고, 복합 처리부(1B)에서의 제2 노광 장치(102)와 프리 베이크 유닛(40) 사이에는 제2 인터페이스부(처리 유닛의 하나 : 61)가 설치되어 있다.
제1 인터페이스부(60)에는, 복수의 기판을 수납 가능하게 하는 버퍼부(601) 와, 프리 베이크 유닛(40), 노광 장치(101) 및 버퍼부(601) 사이에서 기판의 수수를 행하는 기판 반송 로봇(603)과, 주변 노광 장치(604)가 구비되어 있고, 노광 전 또는 노광 후의 기판을 기판 반송 로봇(603)에 의해 버퍼부(601)에 수납하여 일시적으로 기판을 대기 가능하게 되어 있다.
버퍼부(601)의 위쪽에는 제2 복합 처리부(1B)의 제2 인터페이스부(61)측으로 기판을 반송하기 위한 기판 반송 컨베이어(기판 반송 기구 : 630)가 설치되어 있다. 이 기판 반송 컨베이어(630)는 버퍼부(601)에 적층하여 설치된 구조로 되어 있다. 기판 반송 로봇(603)의 아암부가 상하 움직임에 의해 기판 반송 로봇(603)이 버퍼부(601) 또는 기판 반송 컨베이어(630) 모두와 기판의 수수가 가능하게 되어 있다.
제2 복합 처리부(1B)측의 제2 인터페이스부(61)에는 제1 인터페이스부(60)와 마찬가지로, 버퍼부(611)와, 기판 반송 로봇(613)과, 주변 노광 장치(614)가 구비되어 있다. 제2 인터페이스부(61)의 기판 반송 로봇(613)은 프리 베이크 유닛 등의 다른 처리 유닛, 노광 장치(102), 버퍼부(611), 및 기판 반송 컨베이어(630) 등과의 사이에서 기판의 수수를 행하게 되어 있다. 기판 반송 컨베이어(630)는 주변 노광 장치(614)의 위쪽을 통과하여 기판 반송 로봇(613)과의 기판 수수가 가능한 위치까지 제1 복합 처리부(1A)의 제1 인터페이스부(60)측으로부터 연장하여 설치되어 있다. 즉, 기판 반송 컨베이어(630)는 주변 노광 장치(614)에 적층하여 설치된 구조로 되어 있다. 기판 반송 로봇(613)의 아암부가 상하 움직임에 의해 기판 반송 로봇(613)이 주변 노광 장치(614) 또는 기판 반송 컨베이어(630) 모두와 기판의 수수가 가능하게 되어 있다.
제1 복합 처리부(1A)의 설명으로 돌아온다. 현상 유닛(80)은 반입부(81), 현상부(82), 수세 건조부(83) 및 반출부(84)를 가지고 있고, 현상부(82)에서는 예를 들면, 현상액을 기판에 대해서 분무하면서 현상 처리를 실시하도록 구성되어 있다.
포스트 베이크 유닛(90)은 반입부(91), 가열부(92), 냉각부(93) 및 반출부(94)를 가지고 있고, 우선, 현상 처리 후의 기판에 대해서 가열 처리를 실시하여 기판 상에 잔류한 현상액이나 세정액을 증발 제거하고, 그 후, 냉각 처리를 실시하도록 구성되어 있다. 포스트 베이크 유닛(90)에서의 처리를 끝낸 기판은 기판 반송 로봇(23)에 의해서 복수의 카세트(4) 중 어느 하나에 수납된다.
한편, 도 1에서, 부호 7 및 8은 기판의 재치 테이블이고, 레지스트 도포 유닛(30)과 프리 베이크 유닛(40) 사이에서의 기판의 수수, 혹은 프리 베이크 유닛(40)과 제1 노광 유닛(60)의 기판 반송 로봇(603)과의 사이에서의 기판의 수수 시에 일시적으로 기판이 재치되게 되어 있다. 또한, 부호 70은 노광 처리 후의 기판을 현상 유닛(80)까지 반송하는 컨베이어이다.
이 기판 처리 시스템(A)에 의한 기판 처리의 흐름에 대해 설명한다. (1) 제 1 복합 처리부(1A)를 이용하여 기판에 대한 레지스트 도포, 노광 처리, 현상 처리 등의 일련의 처리를 행하는 경우, 노광 처리를 제1 노광 장치(101)에서 행하는 것은 물론, 기판 반송 컨베이어(630)에 의해서 기판을 제2 노광 장치(102)에 반송하여 제2 노광 장치(102)에서 노광 처리를 행해도 되고, 나아가서는 제1 노광 장치 (101) 및 제2 노광 장치(102)의 양쪽에서 노광 처리를 행하도록 해도 된다. (2) 마찬가지로, 제2 복합 처리부(1B)를 이용해 기판에 대한 상기 일련의 처리를 행하는 경우, 노광 처리를 제1 노광 장치(101)에서 행하는 것은 물론, 제2 노광 장치(102)에서 노광 처리를 행해도 되고, 제1 노광 장치(101) 및 제2 노광 장치(102)의 양쪽에서 노광 처리를 행하도록 해도 된다. (3) 또한, 레지스트 도포까지를 제1 복합 처리부(1A)에서 행하고, 현상 처리 이후의 처리를 제2 복합 처리부(1B)에서 행하는 경우에는, 노광 처리는 제1 노광 장치(101) 또는 제2 노광 장치(102) 중 어느 하나에서 행해도 되고, 제1 노광 장치(101) 및 제2 노광 장치(102)의 양쪽에서 행해도 된다. (4) 마찬가지로, 레지스트 도포까지를 제2 복합 처리부(1B)에서 행하고, 현상 처리 이후의 처리를 제1 복합 처리부(1A)에서 행하는 경우에, 기판에 대한 노광 처리는 제1 노광 장치(101) 또는 제2 노광 장치(102) 중 어느 하나에서 행해도 되며, 제1 노광 장치(101) 및 제2 노광 장치(102)의 양쪽에서 행해도 된다. 이와 같이 하여, 기판에 대해서 처리를 행하는 처리 유닛을 각각의 복합 처리부나 각 노광 장치로부터 선택하여 자유로운 사용의 자유를 실현할 수 있다.
도 2는, 제1 복합 처리부(1A)의 제1 인터페이스부(60)를 제어하는 제어 유닛의 전기적 구성을 간단하게 도시한 블록도이다. 한편, 제2 복합 처리부(1B)의 제2 인터페이스부(61)의 제어 유닛도 동일한 구성이다.
제어 유닛(600)은 CPU, ROM 및 RAM를 구비한 인터페이스 제어부(6001)를 구비하고 있다. 이 인터페이스 제어부(6001)는 LAN·I/F(6002)를 통하여 다른 처리부 및 호스트 컴퓨터와 전기적으로 접속되어 로컬 에리어 네트워크(LAN)가 형성되 어 있고, 다른 처리부나 호스트 컴퓨터와 각종 데이터를 서로 교환하면서 제1 인터페이스부(60)의 기본적인 동작을 제어한다. 인터페이스 제어부(6001)에는 CPU, ROM 및 RAM를 구비한 로봇 콘트롤러(6003)가 접속되어 있다.
로봇 콘트롤러(6003)는 인터페이스 제어부(6001)로부터 수취한, 기판 반송 로봇(603)의 동작에 관한 반송 명령에 따라서 기판 반송 로봇(603)에 기판 반송을 행하게 한다. 센서(6004)는 기판 반송 로봇(603)의 아암부 상에 기판이 유지되고 있는지 여부를 검출하는 센서이다. 센서(6004)는, 예를 들면 아암부의 전단부의 양 단부에 1개씩 설치된 광 센서 등으로 이루어지고, 일방의 센서에 의해서 기판이 검출된 타이밍과, 타방의 센서에 의해서 기판이 검출된 타이밍의 시간차에 의해서 아암부에 대한 기판의 위치 어긋남을 검출할 수 있게 되어 있다.
기판 반송 컨베이어(630)에 대해 설명한다. 도 3은 기판 반송 컨베이어(630)의 일부인 기판 반송로를 도시하는 사시도, 도 4는 기판 반송 컨베이어(630)의 일부인 기판 이송부의 개략을 도시하는 평면도, 도 5는 기판 반송 컨베이어(630)에 설치되어 있는 기판 방향 변경 장치를 도시하는 사시도, 도 6 및 도 7은 기판 방향 변경 장치(기판 방향 변경 수단 : 633)가 기판 반송로(631)에 수납되어 있는 상태를 도시하는 평면도, 도 8은 기판 반송 컨베이어(630), 기판 이송부, 기판 방향 변경 장치 및 기판 반송 로봇의 위치 관계를 도시하는 평면도, 도 9는 기판 반송 로봇의 로봇 핸드부와 기판 반송 컨베이어(630)의 위치 관계를 개략적으로 도시하는 측면도이다.
기판 반송 컨베이어(630)는 기판 반송로(631)와 기판 이송부(632)를 가지고, 이 기판 반송 컨베이어(630)에는 기판 방향 변경 장치(633)가 설치되어 있다.
기판 반송로(631)는 회전축(6311), 롤러(6312), 프레임(6313)으로 형성되어 있다. 회전축(6311)은 기판의 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되어 복수 설치되어 있다. 롤러(6312)는 회전축(6311)에 복수 설치되어 기판의 하부에 접촉한 상태에서 회전축(6311)과 함께 회전하여 기판을 반송한다. 회전축(6311)은 그 길이 방향 양 단부와 길이 방향에서의 임의의 위치에 있어서 프레임(6313)에 회전 가능하게 축지지되고 있다. 회전축(6311)은 프레임(6313)에 축지지된 상태에서 롤러(6312)의 둘레면이 프레임(6313)의 상면부보다도 높은 위치가 되도록 설정되고 있다.
또한, 롤러(6312)는 회전축(6311)의 둘레면으로부터 롤러(6312)의 둘레면까지의 거리가 기판 방향 변경 장치(633)의 장척 부재(6331a)의 높이보다도 높게 설정되어 있다. 회전축(6311)은 도시 생략된 구동 모터에 의해서 회전 구동되고, 롤러(6312)의 둘레면이 기판 반송 방향을 향해서 회전되게 되어 있다. 이 롤러(6312)의 둘레면이 기판의 하부에 접촉하여 회전함으로써 기판이 기판 반송 방향을 향해서 반송된다.
기판 반송로(631)에는 기판 반송 방향에 직교하는 방향에서의 중앙부 부근에 기판 방향 변경 장치(633)를 설치하기 위한 개구부(6314)가 설치되어 있다. 개구부(6314)에는 프레임(6313a)만이 존재하고, 회전축(6311) 및 롤러(6312)는 설치되어 있지 않다. 또한, 기판 반송 방향에 직교하는 방향에 있어서, 회전축(6311)을 중앙부에 가까운 위치에서 축지지하는 2개의 프레임(6313b)에는, 기판 방향 변경 장치(633)의 기판 유지부를 이루는 장척형상 부재를 수납하는 깊은 노치부(6315a)와 얕은 노치부(6315b)가 복수 설치되어 있다.
기판 이송부(632)는, 본 실시형태에서는 장방 형상의 기판을 세로 방향으로 반송하거나, 가로 방향으로 반송함에 따라 선택적으로 사용되는 세로 반송용 이송부(6321)와 가로 반송용 이송부(6322)의 2개가 설치되어 있다. 이하, 세로 방향으로 반송 또는 세로 반송이라는 경우는, 기판 반송 방향에 대해서 기판의 장변을 평행한 자세로 한 반송을 말한다. 또한, 가로 방향으로 반송 또는 가로 반송이라는 경우는, 기판 반송 방향에 대해서 기판의 단변을 평행한 자세로 한 반송을 말한다. 이들의 세로 반송용 이송부(6321) 및 가로 반송용 이송부(6322)는 기판 반송 방향에 직교하는 방향에서의 기판측 단부에 접촉·유지하여 해당 기판을 수평 방향으로 이송하고 기판의 반송을 안내한다.
세로 반송용 이송부(6321)는 기판의 반송 방향으로 연장되고, 기판의 양 측방에 설치된 한 쌍의 지지 프레임(6321a)과, 이 지지 프레임에 부착된 회전 롤러(6321b)를 구비한다. 회전 롤러(6321b)는 각 지지 프레임(6321a)에 회전 가능하게 복수 부착되어 있고, 그 회전축은 수평 방향으로 직교하는 방향으로서 기판 반송로(631)에 직교하는 방향으로 연장되어 있다. 이 회전 롤러(6321b)의 둘레면이 기판의 측단부에 접촉하여 회전함으로써 기판의 반송이 안내된다.
각 지지 프레임(6321a)에는 수평 방향으로서 기판 반송 방향에 직교하는 방향을 향해서 지지 프레임(6321a)을 이동시키는 수평 이동용 싱글 실린더(반송 폭 변경 수단 : 6321c)와, 연직 방향으로 지지 프레임(6321a)을 이동시키는 연직 이동 용 더블 실린더(반송 폭 변경 수단 : 6321d)가 부착되어 있다. 세로 반송용 이송부(6321)의 각 지지 프레임(6321a)은 이들의 수평 이동용 싱글 실린더(6321c) 및 연직 이동용 더블 실린더(6321d)에 의해서 상기 수평 방향 및 연직 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
가로 반송용 이송부(6322)는 세로 반송용 이송부(6321)와 동일한 구성이고, 2개의 지지 프레임(6322a)과 각 지지 프레임(6322a)에 설치된 복수의 회전 롤러(6322b)를 구비하고 있다. 가로 반송용 이송부(6322)의 각 지지 프레임(6322a)은 반송 시에서의 기판의 폭에 맞추어 도 4에 도시하는 바와 같이, 세로 반송용 이송부(6321)의 각 지지 프레임(6321a)보다도 외측에 설치되어 있다. 가로 반송용 이송부(6322)의 각 지지 프레임(6322a)에는, 수평 방향으로서 기판 반송 방향에 직교하는 방향으로 지지 프레임(6322a)을 이동시키는 수평 이동용 싱글 실린더(반송 폭 변경 수단 : 6322c)가 부착되어 있다.
기판을 세로 반송하는 경우에는, 기판의 폭에 맞춘 조정을 실시하기 때문에, 세로 반송용 이송부(6321)의 각 지지 프레임(6321a)이 수평 이동용 싱글 실린더(6321c)에 의해서 수평 방향으로 이동되고, 회전 롤러(6321b)를 기판측 단부에 접촉시켜 회전 롤러(6321b)의 회전에 의해 기판이 기판 반송 방향 하류측에 안내된다.
또한, 기판을 가로 반송하는 경우에는, 우선, 세로 반송용 이송부(6321)의 각 지지 프레임(6321a)이 연직 이동용 더블 실린더(6321d)에 의해서 가로 반송용 이송부(6322)의 각 지지 프레임(6322a)에 의한 기판 반송에 지장이 없는 위치까지 퇴피된다. 즉, 가로 방향이 되어 폭이 펼쳐진 상태의 기판이 기판 반송로(631) 상을 반송될 때에는 세로 반송용 이송부(6321)의 각 지지 프레임(6321a)이 이 기판에 접촉하지 않는 위치, 예를 들면, 기판 반송로(631)의 위쪽으로 이동한다. 이 경우, 연직 이동용 더블 실린더(6321d)가 세로 반송용 이송부(6321)의 각 지지 프레임(6321a)을 위쪽으로 이동시킨다.
그리고, 가로 방향이 된 기판이 기판 반송로(631) 상을 반송되어 오면, 기판의 폭에 맞춘 조정을 행하기 때문에, 가로 반송용 이송부(6322)의 각 지지 프레임(6322a)이 수평 이동용 싱글 실린더(6322c)에 의해서 수평 방향으로 이동되고, 회전 롤러(6322b)를 기판측 단부에 접촉시켜 회전 롤러(6322b)의 회전에 의해 기판이 기판 반송 방향 하류측에 안내된다.
다시, 기판이 세로 반송되는 경우에는 세로 반송용 이송부(6321)의 각 지지 프레임(6321a)이 연직 이동용 더블 실린더(6321d)에 의해서 기판 반송로(631) 상에 재치된 상태의 기판의 측단부를 회전 롤러(6321b)에서 유지할 수 있는 위치까지 하강된다.
기판 방향 변경 장치(633)는 도 5에 도시하는 바와 같이, 기판 유지부(6331)와, 회전 모터(회전 기구: 6332)와, 승강 기구(6333)를 가진다. 기판 유지부(6331)는 기판의 하부에 접촉하여 기판을 유지하는 복수의 장척형상 부재(6331a, 6331b)로 이루어진다. 복수의 장척형상 부재(6331a)의 상면에는 복수의 흡기구(6331c)가 설치되어 있고, 도시를 생략한 펌프가 흡기구(6331c)를 통해서 외기를 흡입함에 의해 장척형상 부재(6331a) 상에 재치된 상태의 기판이 장척형상 부재 (6331a)에 흡착되게 되어 있다. 이들 장척형상 부재(6331a)는, 그 하부가 이들에 직교하는 방향으로 연장되는 2개의 장척형상 부재(6331b)에 지지되고 있다. 단, 이들 장척형상 부재(6331a, 6331b)의 수는 특별히 한정되지 않는다.
기판을 재치하는 상기 장척형상 부재(6331a)는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 기판 반송로(631)를 이루는 복수의 회전축(6311)에 대해서 평행한 자세로 되었을 때에, 회전축(6311)과 회전축(6311) 사이(인접하는 롤러(6312)의 둘레면과 둘레면 사이)에 위치하도록 장척형상 부재(6331b)로의 부착 위치가 설정되어 있다. 또한, 장척형상 부재(6331a)는, 도 6에 도시하는 상태로부터 90˚회전했을 때에, 그들의 간격이 동일한 회전축(6311)에 설치되어 있는 복수의 롤러(6312) 사이에 들어가도록 설정되고, 또한 프레임(6313b)과 간섭하지 않도록 설정되어 있다(도 7 참조).
2개의 장척형상 부재(6331b)는 회전축(6311)에 직교하는 자세로 되어 있을 때에는 도 6에 도시하는 바와 같이, 개구부(6314) 내에 들어가도록 그 길이와 2개의 장척형상 부재(331b)끼리의 간격이 설정되어 있다. 또한, 2개의 장척형상 부재(6331b)는, 도 6에 도시하는 상태로부터 90˚회전했을 때에, 그러한 간격이 회전축(6311)과 회전축(6311) 사이(인접하는 롤러(6312)의 둘레면과 둘레면 사이)에 들어가도록 설정되어 있다(도 7 참조).
회전 모터(6332)는 다이렉트 드라이브 모터 등으로 이루어지고, 기판 유지부(6331)를 지지하여 수평 방향으로 회전시킨다. 회전 모터(6332)의 상부에는 기판 유지부(6331)가 부착되어 있고, 회전 모터(6332)가 회전하면 기판 유지부(6331)도 회전 모터(6332)와 함께 회전한다.
승강 기구(6333)는 기판 반송로(631)의 개구부(6314) 내에 설치되어 있고, 그 하부가 도시를 생략한 연직 이동용 실린더에 연결되어 있다. 이 연직 이동용 실린더의 구동력에 의해서 승강 기구(6333)가 연직 방향으로 이동(상하 이동)하면, 승강 기구(6333)와 함께 상기 회전 모터(6332) 및 기판 유지부(6331)가 연직 방향으로 이동하게 되어 있다.
기판 방향 변경 장치(633)의 동작에 대해 도 6 및 도 7을 참조해 설명한다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 기판 방향 변경 장치(633)는 기판이 기판 반송로(631) 상을 반송되고 있을 때, 기판 유지부(6331)의 각 장척형상 부재(6331a)는 기판 반송로(631)가 인접하는 회전축(6311) 및 롤러(6312)끼리의 사이에 형성되는 제1 공간에 수납 가능한 위치가 되고, 장척형상 부재(6331c)가 기판 반송로(631)의 개구부(6314) 내에 수납 가능한 위치에 오도록 회전 모터(6332)에 의해서 자세가 조정되고 있다. 이 때, 승강 기구(6333)에 의해서 장척형상 부재(6331a)의 상면이 롤러(6312)의 둘레면의 상부보다도 아래의 위치가 되도록 기판 유지부(6331)의 높이 위치가 조정되고 있다. 한편, 기판 방향 변경 장치(633)의 장척형상 부재(6331a)는 깊은 노치부(6315a) 또는 얕은 노치부(6315b)에 충전된 상태가 된다. 이와 같이 하여, 기판 반송 시에는 기판 방향 변경 장치(633)가 기판 반송로(631) 상을 통과하는 기판에 접촉하지 않은 위치에 퇴피된 상태로 된다.
상기와 같이 하여, 기판 반송로(631) 내에 수납된 상태의 기판 방향 변경 장치(633)의 위쪽에 기판이 기판 반송로(631) 상을 반송되어 오면, 기판 방향 변경 장치(633)의 승강 기구(6333)가 기판 유지부(6331)를 상승시켜 장척 부재(6331b)를 기판에 접촉시키고, 흡기구(6331c)로부터의 흡기에 의해서 기판을 장척 부재(6331b)에 흡착시킨다. 이 기판이 장척 부재(6331b)에 흡착된 상태에 있어서, 회전 모터(6332)가 기판 유지부(6331)를 90˚회전시켜 도 7에 도시하는 상태로 한다. 이것에 의해, 기판 방향 변경 장치(633)에 의해서 기판의 방향이 가로 방향에서 세로 방향, 또는, 세로 방향에서 가로 방향으로 변경된다.
상기 회전 모터(6332)에 의한 기판 유지부(6331)의 회전 동작 후, 기판 유지부(6331)는 승강 기구(6333)에 의해서 하강되고, 도 7에 도시하는 바와 같이 그 장척형상 부재(6331a)가 기판 반송로(631)의 회전축(6311) 상과 롤러(6312)의 둘레면의 높이 사이에 존재하는 제2 공간에 수납된다. 또한, 장척형상 부재(6331c)는 기판 반송로(631)가 인접하는 회전축(6311) 및 롤러(6312)끼리의 사이에 형성되는 제1 공간에 수납된다. 이 때, 승강 기구(6333)에 의해서 장척형상 부재(6331a)의 상면이 롤러(6312)의 둘레면의 상부보다도 아래의 위치가 되도록 기판 유지부(6331)의 높이 위치가 조정된다. 한편, 기판 방향 변경 장치(633)의 장척형상 부재(6331b)는 깊은 노치부(6315a)에 충전된 상태가 된다.
상기 기판 유지부(6331)의 회전 및 승강 동작 후에는 기판 방향 변경 장치(633)는, 그 장척형상 부재(6331a 및 6331c) 모두가 기판 반송로(631)를 이루는 롤러(6312)의 상면보다도 아래의 위치가 되기 때문에 기판 반송로(631) 상에서의 기판 반송을 재개해도 기판 방향 변경 장치(633)의 존재가 기판 반송에 지장을 주지는 않는다.
또한, 도 8 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 기판 반송로(631)의 기판 반송 방향에서의 양쪽의 종단부는, 기판 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 프레임(6313a)보다도 위의 위치로서, 회전축(6311)의 둘레면과 롤러(6312)의 둘레면 사이의 공간에 기판 반송 로봇(603, 613)의 로봇 핸드부(603a, 613a)(아암부, 즉, 기판을 재치하는 부재)가 들어가는 구성으로 되어 있다. 이것에 의해, 기판 반송 로봇(603, 613)의 로봇 핸드부(603a, 613a)를 롤러(6312)에 의해서 반송되어 오는 기판의 하부에 위치시키고, 기판이 로봇 핸드부(603a, 613a)의 위쪽에 왔을 때에 로봇 핸드부(603a, 613a)를 상승시키는 것에 의해서 기판을 로봇 핸드부(603a, 613a) 상에 재치시키게 되어 있다. 이 후, 기판은 기판 반송 로봇(603, 613)에 의해서 노광 장치(101, 102) 등에 반송된다.
한편, 상기에서는 기판 방향 변경 장치(633)는 도 6에 도시하는 위치를 초기 위치로 하여 해당 위치로부터 도 7에 도시하는 위치에 회전 이동하여 수납된다고 설명했지만, 도 7에 도시하는 위치를 초기 위치로 하여 해당 위치로부터 도 6에 도시하는 위치에 회전 이동하여 수납되는 것이어도 되는 것은 물론이다. 또한, 회전 모터(6332)에 의한 기판 유지부(6331)의 회전은 90˚단위에서의 회전이면 기판 방향 변경 장치(633)를 기판 반송로(631) 내에 수납시킬 수 있다.
한편, 본 발명은 상기 실시형태의 구성에 한정되지 않고 여러 가지의 변형이 가능하다. 예를 들면, 상기 제1 실시형태에서는 노광 장치용 2대의 제1 인터페이스부(60) 및 제2 인터페이스부(61)끼리를 1대의 기판 반송 컨베이어(630)로 연결하는 구성으로 하고 있지만, 도 10에 도시하는 기판 처리 장치(1')와 같이 제1 인터페이스부(60) 및 제2 인터페이스부(61)끼리를 2대의 기판 반송 컨베이어(630, 630')에 의해서 연결한 구성으로 해도 된다. 이것에 의해, 2대의 기판 반송 컨베이어(630, 630')에 의해서, 동시에 상기 2개의 노광 처리 유닛(60, 61) 사이에 쌍방향으로 기판을 반송할 수 있고, 후속하는 기판 반송에 지장을 주는 일 없이 일방의 처리 유닛으로부터 타방의 처리 유닛에 기판을 반송한 후, 신속하게 해당 타방의 처리 유닛으로부터 원래의 처리 유닛에 기판을 되돌리는 것이 가능해진다. 이 경우, 기판 반송 컨베이어(630, 630')는 완전하게 중합된 배치, 또는 적어도 그 일부끼리가 적층된 배치로 되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 실시형태에서는 상기 제1 및 제2 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)는, 제1 복합 처리부(1A) 및 제2 복합 처리부(1B)의 2대의 복합 처리부를 구비하는 구성으로 되어 있지만, 이것을 대신하여 도 11에 도시하는 제3 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1'')와 같이 1대의 복합 처리부만으로 이루어지고, 노광 장치용 인터페이스부를 제1 인터페이스부(60) 및 제2 인터페이스부(61)의 2대로 하여 이들의 2대의 제1 인터페이스부(60) 및 제2 인터페이스부(61)끼리를 2대의 기판 반송 컨베이어(630, 630')에 의해서 연결한 구성으로 해도 된다. 이 경우, 제1 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)와 같이, 어떤 복합 처리부에 있어서도 레지스트 도포 전의 세정 처리로부터 레지스트 도포·현상 등을 실시한다는 것은 할 수 없지만, 노광 장치(101, 102)로의 제1 및 제2 인터페이스부(60, 61)를 구비함에 의해서 노광 처리 과정에서의 스루풋과 복합 처리부(1A)의 다른 처리 유닛에 의한 처리의 스루풋의 상대적인 차이를 흡수하고, 기판 처리 장치(1') 전체로서의 처리 효율을 향상시키는 것은 가능하다.
또한, 상기 제3 실시형태에서는 1대의 기판 반송 컨베이어(630)에 의해서 제1 및 제2 인터페이스부(60, 61)가 연결된 구성으로 되어 있다. 이 경우, 제1 인터페이스부(60)로부터 제2 인터페이스부(61)에 기판을 반송한 후, 기판 반송 컨베이어(630)를 역송시켜 제2 인터페이스부(61)로부터 제1 인터페이스부(60)에 기판을 되돌리도록 한다. 이것에 의하면, 2대의 기판 반송 컨베이어(630, 630')를 가지는 경우보다도 스루풋은 뒤떨어지지만, 간단한 구성으로 제1 및 제2 인터페이스부(60, 61) 사이에서의 쌍방향의 기판 반송을 실현할 수 있다.
또한, 상기 실시형태에서는 제1 및 제2 인터페이스부(60, 61) 사이에 기판 반송 컨베이어(630) 등이 설치된 구성으로 되어 있지만, 제1 및 제2 인터페이스부(60, 61) 이외의 다른 처리 유닛을 2대 설치하고 이러한 처리 유닛 사이에 기판 반송 컨베이어(630) 등을 마련한 구성으로 해도 된다.
또한, 기판 반송 컨베이어(630 또는 630')에 기판 반송 방향에서의 기판의 가장자리부를 기판 반송 방향에 직교하는 상태로 하여 기판을 정렬시키는 기판 정렬 기구를 설치하도록 해도 된다. 예를 들면, 기판 반송로(631) 상에 있는 기판에 대해서, 그 양측 단부의 복수 개소를 횡방향으로부터 가압하는 기구를 설치한다. 이것에 의해, 해당 기판의 가장자리부를 기판 반송 방향에 직교하는 상태로 함으로써 기판을 정렬시킨다.
또한, 예를 들면, 제1 및 제2 인터페이스부(60, 61) 중 적어도 일방의 기판 반송 로봇에 기판 정렬 기구로서의 기능을 갖게 해도 된다. 이 경우, 기판 반송 로봇은 기판의 수수를 위해서 기판이 재치되는, 선단부가 사지(복수이면 된다)로 된 로봇 핸드부의 선단부 중 2개에 각각 설치되고, 기판 반송 컨베이어(630 또는 630')로부터 기판을 수취할 때에 선단부에 기판이 재치된 것을 검출하는 광 센서 및 이들 로봇 핸드부의 양 선단부에 설치된 각 광 센서에 의해서 기판이 검출되는 시간차에 의거하여 기판 반송 방향에서의 기판 가장자리의 방향을 연산하는 연산부로 이루어지는 기판 방향 검출부와, 이 기판 방향 검출부에 의해서 검출된 기판 가장자리부의 방향에 대응하는 방향, 즉, 기판 가장자리부와 로봇 핸드부의 양 선단부를 연결하는 직선이 평행한 상태가 되도록 로봇 핸드부를 회전시키고 나서 로봇 핸드부에 기판을 재치시키는 동작 제어부를 가지는 구성으로 한다. 이것에 의해, 기판이 노광 장치(101, 102)에 반송되어 오기 전의 단계에서 기판 반송 컨베이어의 반송 중에 이미 생겨 있던 기판의 위치 오차나 방향을 정확하게 수정한 다음에 해당 기판을 반송처가 되는 노광 장치(101, 102)에 투입할 수 있다.
또한, 상기 각 실시형태에 나타낸 기판 처리 장치(1, 1', 1'')의 구성 및 처리는 어디까지나 일례에 지나지 않고, 상기 구성 및 처리에 한정되는 것은 아니다.
본 발명에 의하면, 기존의 복합 처리부에 새롭게 추가된 처리 유닛에 대해서 기판을 반송하는 기구를 설치하는 경우에, 새롭게 필요해지는 스페이스가 매우 작아서 충분한 기판 처리 장치를 제공할 수 있다.

Claims (12)

  1. 기판에 대해서 미리 정해진 일련의 처리를 실시하는 복수의 처리 유닛을 가지는 복합 처리부를 구비한 기판 처리 장치로서,
    상기 복합 처리부에는, 상기 복수의 처리 유닛 중 하나와 동일한 다른 처리 유닛과의 사이에서 상기 기판을 반송하는 기판 반송 기구가 설치되고,
    상기 기판 반송 기구는, 적어도 그 일부가 상기 동일한 2개의 처리 유닛의 일부와 적층 배치된 상태에서 설치되고, 상기 동일한 2개의 처리 유닛 사이에 가교된 컨베이어 방식으로 됨과 동시에, 상기 동일한 2개의 처리 유닛의 각각에는 각 처리 유닛 내에 설치되어 있는 각부 사이에서의 상기 기판 수수를 행하는 기판 반송 로봇이 설치되고, 이 기판 반송 로봇이 상기 기판 반송 기구와의 사이에서 상기 기판의 수수를 실시하는, 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 기판 반송 기구에는, 반송 중의 상기 기판을 회전시켜 상기 기판의 방향을 변경하는 기판 방향 변경 수단이 설치되어 있는, 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 기판 반송 기구는, 상기 기판의 측단부를 유지하여 상 기 기판을 수평 방향으로 이송하는 기판 이송부와, 상기 기판의 반송 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 복수의 회전축과, 이 회전축의 주위에 설치되고 상기 기판의 하부에 접촉한 상태에서 해당 회전축과 함께 회전하여 상기 기판 이송부에 의한 기판 이송을 안내하는 복수의 롤러와, 이들의 회전축 및 롤러로 이루어지는 기판 반송로에 설치된 개구부를 가지고,
    상기 기판 방향 변경 수단은, 상기 기판의 하부에 접촉하여 상기 기판을 유지하는 복수의 장척형상 부재로 이루어지는 기판 유지부와, 이 기판 유지부를 지지하여 수평 방향으로 회전시키는 회전 기구와, 상기 개구부에 설치되어 해당 회전 기구를 승강시키는 승강 기구를 가지며,
    상기 기판이 상기 기판 반송로가 반송되고 있을 때, 상기 기판 방향 변경 수단은 그 상기 기판 유지부의 각 장척형상 부재가 상기 기판 반송로의 각 회전축 사이에 형성되는 제1 공간과, 상기 기판 반송로의 회전축 상과 상기 롤러의 둘레면 사이에 존재하는 제2 공간 중 어느 하나의 공간에 수납된 상태로 되고, 상기 수납된 상태의 상기 기판 방향 변경 수단의 위쪽까지 상기 기판 반송로 상을 상기 기판이 반송되었을 때에는, 이 기판이 상기 승강 기구에 의해서 상승되는 상기 기판 유지부에 유지되고, 상기 회전 기구에 의해 해당 기판 유지부가 90˚단위로 회전되며, 이 기판 유지부의 각 장척형상 부재는 해당 회전 동작 종료 후에 상기 승강 기구에 의해서 하강되어 상기 제1 공간 또는 제2 공간 중 어느 하나에 수납되는, 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 기판 반송 기구는 상기 기판 반송 방향에 직교하는 방향에서의 상기 기판의 폭에 따라 상기 기판 이송부의 위치를 변경시키는 반송 폭 변경 수단을 구비하는, 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 기판 이송부는 상기 기판 반송 방향에 직교하는 방향에서의 상기 기판의 폭에 대응하여 복수 설치되어 있고, 반송되는 기판의 폭에 맞추어 상기 기판의 반송에 이용하는 기판 이송부를 전환하는 전환 기구를 구비하는, 기판 처리 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 기판 반송 기구가 상기 동일한 2개의 처리 유닛의 일방측에서 타방측으로 상기 기판을 반송하는 제1 반송 기구와, 해당 타방측의 처리 유닛에서 상기 일방측의 처리 유닛에 기판을 반송하는 제2 반송 기구로 구성되어 있는, 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 반송 기구와 상기 제 2 반송 기구가 적층 배치되어 있는, 기판 처리 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 기판 반송 방향에서의 상기 기판의 가장자리부를 상기 기판 반송 방향에 직교하는 상태로 하여 상기 기판을 정렬시키는 기판 정렬 수단이 설치되어 있는, 기판 처리 장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 기판 반송 기구의 적어도 일방의 기판 반송 로봇은 상기 기판의 수수를 위해서 상기 기판이 재치되는 아암부와, 상기 기판 반송 기구에서 상기 기판을 수취할 때에 상기 기판 반송 방향에서의 상기 기판 가장자리부의 방향을 검출하는 기판 방향 검출부와, 이 기판 방향 검출부에 의해서 검출된 상기 기판의 방향에 대응하는 방향으로 상기 아암부를 회전키고 나서 상기 아암부에 상기 기판을 재치시키는 동작 제어부를 가지는, 기판 처리 장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 복합 처리부를 복수 구비하고, 하나의 복합 처리부에 구비되어 있는 처리 유닛과 다른 복합 처리부에 구비되어 있는 처리 유닛 사이에 상기 기판 반송 기구가 설치되어 있는, 기판 처리 장치.
  12. 기판에 대해서 미리 정해진 레지스트 도포 처리 또는 현상 처리를 포함하는 일련의 처리를 실시하는 복수의 처리 유닛을 가지는 복합 처리부를 구비한 기판 처리 장치로서,
    상기 기판에 각각 노광 처리를 행하는 2개의 노광 장치의 일방과의 사이에서 상기 기판의 수수를 행하는 제1 인터페이스부가 상기 복합 처리부에 구비되어 있음과 동시에,
    상기 복합 처리부 외에 설치되고 상기 2개의 노광 장치의 타방과의 사이에서 상기 기판의 수수를 행하는 제2 인터페이스부와,
    제1 인터페이스부와 제2 인터페이스부 사이에서 기판을 반송하는 기판 반송 기구를 또한 구비하고,
    상기 기판 반송 기구는, 적어도 그 일부가 제1 인터페이스부 및 제2 인터페이스부의 일부와 적층 배치된 상태에서 설치되어 있는 기판 처리 장치.
KR1020050060753A 2004-07-06 2005-07-06 기판 처리 장치 KR100687565B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004199718A JP2006024643A (ja) 2004-07-06 2004-07-06 基板処理装置
JPJP-P-2004-00199718 2004-07-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060049892A KR20060049892A (ko) 2006-05-19
KR100687565B1 true KR100687565B1 (ko) 2007-02-27

Family

ID=35797722

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050060753A KR100687565B1 (ko) 2004-07-06 2005-07-06 기판 처리 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2006024643A (ko)
KR (1) KR100687565B1 (ko)
CN (1) CN1718521A (ko)
TW (1) TW200610091A (ko)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4509926B2 (ja) * 2005-12-27 2010-07-21 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
KR100978854B1 (ko) * 2008-06-03 2010-08-31 세메스 주식회사 기판 이송 장치
JP4370363B1 (ja) * 2009-03-16 2009-11-25 株式会社幸和 加熱及び冷却機能を備えたコンベア
CN102367201A (zh) * 2011-10-19 2012-03-07 东莞宏威数码机械有限公司 玻璃基板涂胶自动化系统及涂胶方法
CN102367202A (zh) * 2011-10-19 2012-03-07 东莞宏威数码机械有限公司 基板涂胶系统及涂胶方法
CN102838286A (zh) * 2012-09-06 2012-12-26 张家港市广丰玻璃有限公司 一种检测周转台
JP6079510B2 (ja) * 2013-08-30 2017-02-15 東京エレクトロン株式会社 基板処理システム、基板処理方法及び記憶媒体
CN104401767B (zh) * 2014-11-14 2017-03-15 广州兴森快捷电路科技有限公司 Pcb转角传输装置及方法
CN104326264B (zh) * 2014-11-18 2018-09-04 厦门航天思尔特机器人系统股份公司 一种汽车三角窗玻璃生产线
CN106179875A (zh) * 2016-07-29 2016-12-07 芜湖市振华戎科智能科技有限公司 一种加密光盘生产线用滴胶装置
JP7405889B2 (ja) 2022-03-23 2023-12-26 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980041844A (ko) * 1996-11-26 1998-08-17 이시다 아키라 기판 처리장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980041844A (ko) * 1996-11-26 1998-08-17 이시다 아키라 기판 처리장치

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1019980041844 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN1718521A (zh) 2006-01-11
JP2006024643A (ja) 2006-01-26
KR20060049892A (ko) 2006-05-19
TW200610091A (en) 2006-03-16
TWI294156B (ko) 2008-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100687565B1 (ko) 기판 처리 장치
JP4753313B2 (ja) 基板処理装置
KR101079441B1 (ko) 스테이지 장치 및 도포 처리 장치
JP2007158005A (ja) 基板搬送装置及び基板処理装置
KR20080068581A (ko) 기판 반송 장치
TWI388031B (zh) 處理系統
KR20060094488A (ko) 처리시스템
JP2004241702A (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
KR101069494B1 (ko) 도포막형성장치
JP6058999B2 (ja) 基板処理装置および基板処理方法
KR101060368B1 (ko) 기판 처리 장치
JP4114737B2 (ja) 処理装置
KR101327009B1 (ko) 도포막 형성 장치, 기판 반송 방법 및 기억 매체
KR101031464B1 (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
JP2003031637A (ja) 基板搬送装置
JP2004273714A (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
KR100856532B1 (ko) 처리장치
JP2007019340A (ja) 基板処理装置
KR100590174B1 (ko) 기판처리장치
JP3605541B2 (ja) 基板処理装置
JPH11340297A (ja) 基板搬送装置および方法
JP3732388B2 (ja) 処理装置および処理方法
JP2004179513A (ja) 基板保持装置及び基板処理装置
KR100968315B1 (ko) 기판반송장치 및 기판처리장치
KR20010110650A (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130201

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140204

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150120

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160119

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee