JPH11340297A

JPH11340297A - 基板搬送装置および方法

Info

Publication number: JPH11340297A
Application number: JP13992198A
Authority: JP
Inventors: Hiroo Nakamura; 宏生中村; Masashi Nakayama; 正志中山
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-05-21
Filing date: 1998-05-21
Publication date: 1999-12-10

Abstract

(57)【要約】【課題】基板搬送に要する時間を短縮化することがで
きる基板搬送装置および方法を提供する。【解決手段】ハンドが基板を保持しているか否かを検
出するセンサが設けられている。そして、このセンサの
検出結果に基づき、ハンドが基板を保持している時には
基板を振り落とさない程度の速度でハンドはインデクサ
ー部２内を移動するため、基板を破損させることなく確
実に搬送することができる。しかも、ハンドが基板を保
持しない時には、ハンドの移動速度を、基板を保持して
いる時の移動速度よりも高くなるように制御しているの
で、基板搬送に要する時間を短縮して基板処理装置のス
ループットを向上させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置用ガ
ラス基板、半導体基板およびプラズマディスプレイ用基
板などの基板を第１基板位置から第２基板位置に搬送す
る基板搬送装置および方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より周知のように、プラズマディス
プレイ用基板、液晶表示基板や半導体基板などの精密電
子基板（以下、単に「基板」という）の製造プロセスに
おいては、例えば回転式塗布処理部，回転式現像処理
部，密着強化ユニット，クーリングプレートおよびホッ
トプレートなどを適当に配置し、基板搬送ロボットなど
の基板搬送装置により基板をカセットから取出し、それ
らの処理部の間を所定の搬送順序で搬送しつつ、それら
の処理部に出入れして一連の処理を行った後、当該処理
済みの基板をカセットに戻す基板処理装置が使用され
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記基板処
理装置に用いられている基板搬送装置は、互いに異なる
基板位置（例えば、カセットと処理部、あるいは互いに
異なる処理部）の間で基板を搬送するものであり、基板
を保持可能なハンドを一方の基板位置に移動させて基板
を受取り、この基板を保持したままで当該ハンドを別の
基板位置に移動させて基板搬送を行っている。また、こ
の基板搬送装置では、基板搬送を行っている際にハンド
から基板が脱落しない範囲内で、基板搬送に要する時間
を短縮して基板処理装置の高スループット化を図るべ
く、移動可能なハンドの移動速度を定めている。

【０００４】しかしながら、従来の基板搬送装置はハン
ドの移動速度を一律に設定しており、ハンドが基板を保
持していない時、例えば基板を第１基板位置に受取りに
行く際においても、基板の脱落防止を考慮した移動速度
で移動するように構成しており、基板搬送装置の搬送能
力を最大限に引出した状態で基板搬送を行っているとは
言えず、現状では基板搬送に要する時間のさらなる短縮
化の余地を残しているといわざるを得ない。

【０００５】この発明は、上記のような問題に鑑みてな
されたものであり、基板搬送に要する時間を短縮化する
ことができる基板搬送装置および方法を提供することを
目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、第１
基板位置にある基板を、前記第１基板位置とは異なる第
２基板位置に搬送する基板搬送装置であって、上記目的
を達成するため、基板を保持可能な基板保持手段と、前
記基板保持手段を移動させる移動機構と、前記移動機構
を制御して前記基板保持手段によって前記第１基板位置
にある基板を受け取り、前記第２基板位置に搬送する制
御手段とを備え、前記制御手段によって、基板受取から
第２基板位置までの基板搬送中、前記基板保持手段の動
作状況に応じて前記基板保持手段の移動速度を変更して
いる。

【０００７】請求項２の発明は、前記基板保持手段が基
板を保持しているか否かを検出する検出手段をさらに備
え、前記制御手段によっては、前記検出手段による検出
結果に基づき、基板を保持しない時の前記基板保持手段
の移動速度が基板を保持している時の移動速度よりも高
くなるようにしている。

【０００８】請求項３の発明は、基板受取から第２基板
位置までの基板搬送を複数の運転ステップに分割し、記
憶する記憶手段を備え、前記制御手段によって、各運転
ステップ毎に前記基板保持手段の移動速度を制御してい
る。

【０００９】請求項４の発明は、前記制御手段によっ
て、基板を保持しないで前記基板保持手段を移動させる
運転ステップにおける前記基板保持手段の移動速度が、
基板を保持して前記基板保持手段を移動させる運転ステ
ップにおける移動速度よりも高くなるようにしている。

【００１０】請求項５の発明は、基板保持手段によって
第１基板位置にある基板を受け取り、前記第１基板位置
とは異なる第２基板位置に搬送する基板搬送方法であっ
て、上記目的を達成するため、基板受取から第２基板位
置までの基板搬送中、前記基板保持手段の動作状況に応
じて前記基板保持手段の移動速度を変更している。

【００１１】この発明では、基板保持手段が第１基板位
置にある基板を受け取り、第２基板位置に搬送して一連
の基板搬送処理を行うが、この基板搬送中、基板保持手
段の動作状況に応じて基板保持手段の移動速度が変更制
御される。このため、基板保持手段は基板を有している
時には基板が基板保持手段から脱落しない範囲内で最高
速度で移動させる一方、基板を有していない時には基板
の脱落を考慮することなく装置の最大能力で基板保持手
段を移動させることができ、基板を有していない時の基
板保持手段の移動速度がより一層高速化されて基板搬送
に要する時間が短縮される。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を用いて説明する。図１は、本発明にかかる基板搬送装
置の一の実施形態が適用された基板処理装置の一例を示
している。この図に示す基板処理装置１は、例えば、液
晶表示器用のガラス基板の処理においてフォトリソグラ
フィ工程を担う装置で、レジスト塗布前の洗浄処理から
レジスト塗布・露光・現像までを連続して順次行うよう
に構成されている。

【００１３】基板処理装置１は、同図に示すように、本
発明の供給部としてのインデクサー部２と、単位処理部
としての洗浄ユニット１０、脱水ベークユニット２０、
レジスト塗布ユニット３０、プリベークユニット４０、
露光ユニット６０、現像ユニット８０およびポストベー
クユニット９０と、プリベークユニット４０および露光
ユニット６０の間に介設されるバッファ（バッファ部）
５０とを有しており、インデクサー部２から供給される
所定の搬送順序で各単位処理部に搬送しながら各単位処
理部で処理した後、再度、上記インデクサー部２に基板
を戻すように、インデクサー部２に対して他の処理部が
Ｕ字型に接続されたレイアウト構成となっている。

【００１４】上記インデクサー部２には、基板を収納し
たカセット４を載置するカセット載置部と、本発明にか
かる基板搬送装置３が設けられ、上記カセット載置部に
セットされたカセット４から基板搬送装置３により基板
を取り出して洗浄ユニット１０に受け渡すとともに、処
理後の基板をポストベークユニット９０から受け取って
もとのカセット４に収納するように構成されている。な
お、この基板搬送装置３の機械的および電気的構成、な
らびに動作については、後で詳述する。

【００１５】上記洗浄ユニット１０は、搬入部１１、Ｕ
Ｖオゾン洗浄部１２、水洗部１３、液滴除去部１４およ
び搬出部１５を有し、上記インデクサー部２から供給さ
れた基板を例えば水平姿勢で搬送しながら洗浄処理を施
すように構成されている。

【００１６】上記脱水ベークユニット２０は、搬入部２
１、加熱部２２、密着強化処理部２３および冷却部２４
を有しており、洗浄処理を終えた基板に対し、まず、加
熱部２２において加熱処理を施して水分を除去し、レジ
スト液の密着性を向上させるべく密着強化処理部２３に
おいてＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラザン）を塗布す
る。そして、最後に冷却部２４において基板に冷却処理
を施すように構成されている。

【００１７】上記レジスト塗布ユニット３０は、搬入部
３１、スピンコータ部３２、減圧乾燥部３３、エッジリ
ンス部３４および搬出部３５を有しており、まず、スピ
ンコータ部３２において基板の表面に均一なレジスト膜
を形成し、これを減圧乾燥部３３で減圧ベークした後、
エッジリンス部３４において基板周縁の不要なレジスト
膜を除去するように構成されている。

【００１８】上記プリベークユニット４０は、加熱部と
冷却部とを多段に備えた２つの処理部４１を有してお
り、これら処理部４１の間に介設されたロボット４２に
より、該処理部４１に対して基板を出し入れして基板に
加熱および冷却処理を施すように構成されている。

【００１９】上記バッファ５０は、多数の基板を収納可
能とする２つの収納部５１と、これら収納部５１の間に
介設されるロボット５２とから構成されており、露光前
の基板および露光後の基板をロボット５２により各収納
部５１に収納して一時的に基板を待機させるように構成
されている。

【００２０】上記露光ユニット６０は、例えば、縮小投
影露光機等の露光機や、露光機での露光パターンの焼き
付けのための位置決め行うアライメント機構等を備えて
おり、プリベーク後の基板を露光するように構成されて
いる。

【００２１】上記現像ユニット８０は、搬入部８１、現
像部８２、水洗乾燥部８３および搬出部８４を有してお
り、現像部８２では、例えば、現像液を基板に対して噴
霧しながら現像処理を施すように構成されている。

【００２２】上記ポストベークユニット９０は、搬入部
９１、加熱部９２、冷却部９３及び搬出部９４を有して
おり、まず、現像処理の後の基板に対して加熱処理を施
して基板上に残留した現像液や洗浄液を蒸発除去し、そ
の後、冷却処理を施すように構成されている。

【００２３】なお、図１中、符号７および８は、基板の
載置テーブルであり、レジスト塗布ユニット３０とプリ
ベークユニット４０との間での基板の受渡し、あるいは
プリベークユニット４０とバッファ５０との間での基板
の受渡しの際に、一時的に基板を載置するようになって
いる。また、符号７０は、露光処理後の基板を現像ユニ
ット８０まで搬送するコンベアである。

【００２４】図２は図１の基板処理装置に適用された基
板搬送装置を示す斜視図である。この基板搬送装置３
は、インデクサー部２において、カセット４の配列方向
Ｙに沿って移動するとともに、ハンド３ａを配列方向Ｙ
および上下方向Ｚの両方向と直交するＸ方向に移動させ
てカセット４と搬入部１１および搬出部９４との間で基
板搬送を行うように構成されている。このような機能を
有する基板搬送装置３は、具体的には以下のように構成
されている。

【００２５】基板搬送装置３が配置されている搬送領域
では、方向Ｙに延びるガイドレール３ｂがインデクサー
部２の本体底部に固定され、そのガイドレール３ｂに沿
って基台３ｃが往復移動自在となっている。また、この
基台３ｃには、後で説明するロボットコントローラが連
結されており、インデクサ−部２全体を制御するインデ
クサー制御部からの指令に応じてロボットコントローラ
が動作し、基台３ｃを方向Ｙに移動させる。また、この
基台３ｃには、ハンド３ａを備えた４軸搬送ロボット３
ｄが固定されており、上記ロボットコントローラにより
この搬送ロボット３ｄを方向Ｙに往復移動させ、任意の
処理部の前に位置させることができるようになってい
る。

【００２６】この搬送ロボット３ｄは、ロボット本体３
ｅから上下方向Ｚに進退するコラム３ｆを有しており、
コラム３ｆに連結されたロボットコントローラがインデ
クサー制御部からの指令を受け、コラム３ｆを上下方向
Ｚに進退駆動する。このコラム３ｆの先端には、水平方
向に伸びる第１アーム３ｇの一方端が回転軸Ａ1回りに
回転自在に取り付けられている。また、第１アーム３ｇ
の他方端に第２アーム３ｈの一方端が、また第２アーム
３ｈの他方端にハンド３ａの後端部がそれぞれ回転軸Ａ
2、Ａ3回りに回転自在となっている。そして、搬送ロボ
ット３ｄには、図示を省略しているが、各回転軸Ａ1、
Ａ2、Ａ3の回りに各部を回転させるための駆動源たるモ
ータが組み込まれている。このため、この搬送ロボット
３ｄでは、続いて説明するようにしてハンド３ａにより
基板を吸着保持した状態で、インデクサー制御部からの
指令に応じて、ハンド３ａを三次元的に移動させること
ができ、搬送ロボット３ｄの停止位置に対応するカセッ
ト４、搬入部１１、搬出部９４の間で基板の受渡しを行
うことができる。

【００２７】図３は、インデクサ−部全体を制御する制
御ユニットの電気的構成を示すブロック図である。この
制御ユニット１００は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭを
備えたインデクサー制御部１０１を備えている。このイ
ンデクサー制御部１０１は、ＬＡＮ・Ｉ／Ｆ１０２を介
して他の処理部およびホストコンピュータと電気的に接
続されてローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）が形成
されており、他の処理部やホストコンピュータと各種の
データを相互にやり取りしながら、インデクサー部２の
基本的な動作を制御する。また、このインデクサー制御
部１０１には、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭを備えたロ
ボットコントローラ１０３が接続されており、インデク
サー制御部１０１から基板搬送装置３の動作に関する搬
送命令を受けると、次に説明する動作フローチャートに
したがってハンド３ａの動作速度を２段階に変更しなが
ら基板搬送を行う。なお、同図中の符号１０４は、ハン
ド３ａに取り付けられてハンド３ａ上に基板が保持され
ているか否かを検出するセンサである。

【００２８】図４は、図２の基板搬送装置の動作を示す
フローチャートである。以下、このフローチャートを参
照しつつ基板搬送装置３の動作について説明する。この
基板搬送装置３では、インデクサー制御部１０１から搬
送命令がロボットコントローラ１０３に与えられる（ス
テップＳ１）と、ロボットコントローラ１０３はＲＯＭ
に記憶されているプログラムにしたがってステップＳ２
〜Ｓ６を実行する。すなわち、ハンド３ａ上に基板が存
在するか否かを示す検出信号がセンサ１０４からロボッ
トコントローラ１０３に与えられ（ステップＳ２）、こ
の検出信号を受けてロボットコントローラ１０３は、ハ
ンド３ａが基板を保持しているか否かを判断する（ステ
ップＳ３）。

【００２９】そして、このステップＳ３で「ＹＥＳ」、
つまり基板を保持していると判断した場合には、基板搬
送装置３の各部に低速で動作する旨の指令を与える（ス
テップＳ４）一方、ステップＳ３で「ＮＯ」、つまり基
板を保持していないと判断した場合には、基板搬送装置
３の各部に高速で動作する旨の指令を与える（ステップ
Ｓ５）。こうして、動作指令が与えられると、ステップ
Ｓ６で動作指令に応じて基板搬送装置３の各部（モータ
など）を駆動してハンド３ａを移動させる。ここで、低
速動作指令が与えられた場合（ステップＳ４）には、基
板を保持したハンド３ａは基板を振り落とさない程度の
速度でインデクサー部２内を移動するため、基板を破損
させることなく確実に、カセット４から受取った基板を
搬入部１１に搬送したり、搬出部９４から受取った基板
をカセット４に戻すことができる。一方、高速動作指令
が与えられた場合（ステップＳ５）には、基板を保持し
ていないハンド３ａは低速移動させる場合（ステップＳ
４）よりも速い速度で移動し、カセット４から次の基板
を取出すべく高速でカセット４の手前まで移動したり、
搬出部９４に高速で移動して搬出部９４からの基板搬出
に備えることができる。

【００３０】このような一連の動作（ステップＳ２〜Ｓ
６）が、ステップＳ７で搬送完了の判断がなされるまで
繰り返されて、インデクサー制御部１０１からの搬送命
令に対応する基板搬送がハンド３ａによって行われる。

【００３１】したがって、例えば具体的な搬送例として
カセット４に収納されている基板を受取り、搬入部１１
に搬送する場合、カセット４から基板を受取るために基
板搬送装置３はカセット４の前まで移動するが、この
時、ハンド３ａは基板を保持しておらず、高速移動され
る。また、カセット４から基板を受取った後、ハンド３
ａが基板を保持したまま搬入部１１まで移動する際に
は、ハンド３ａは基板の破損を防止すべく低速移動す
る。

【００３２】以上のように、この実施形態にかかる基板
搬送装置によれば、第１基板位置にある基板を受取り、
第１基板位置とは異なる第２基板位置に搬送するのに際
して、ハンド（基板保持手段）３１が基板を保持してい
るか否かをセンサ１０４によって検出し、その検出結果
に基づき、基板を保持している時には基板を振り落とさ
ない程度の速度でインデクサー部２内を移動するため、
基板を破損させることなく確実に搬送することができ
る。しかも、基板を保持しない時には、ハンド３ａの移
動速度を、基板を保持している時の移動速度よりも高く
なるように制御しているので、基板搬送に要する時間を
短縮して基板処理装置のスループットを向上させること
ができる。

【００３３】図５は、この発明にかかる基板搬送装置の
他の実施形態を示すフローチャートである。この実施形
態では、基板搬送装置の機械的および電気的構成はほぼ
同一であり、インデクサー制御部１０１から搬送命令に
基づくロボットコントローラ１０３による制御動作が異
なっている。すなわち、この実施形態では、同図に示す
ように、インデクサー制御部１０１から搬送命令がロボ
ットコントローラ１０３に与えられる（ステップＳ１
１）と、その搬送命令に相当する搬送動作を複数の運転
ステップに分割し、各ステップの運転パターンを決定
し、ロボットコントローラ１０３中のＲＡＭ（図示省
略）に一時的に記憶する（ステップＳ１２）。例えば、
先に説明した実施形態における具体的な搬送例と同様
に、カセット４を第１基板位置とし、搬入部１１の基板
載置部１１ａ（後の図６〜図８参照）を第２基板位置と
し、カセット４に収納されている基板を受取り、搬入部
１１の基板載置部１１ａに搬送する搬送命令がインデク
サー制御部１０１からロボットコントローラ１０３に与
えられると、図６〜図８に示すように、Ａ〜Ｉの９つの
運転ステップに分割する。なお、これらの図中の「運転
ステップ」の欄中のパターン(1)、(2)、…は各運転ステ
ップを実行する運転パターンを示すものであり、〔高
速〕および〔低速〕は、各運転ステップにおいてハンド
３ａが高速移動するのか、低速移動するのかを示してお
り、この切換制御は後で説明するステップＳ１３の判断
結果に基づいて行われる。さらに、「動作概要」の欄は
各運転ステップにおける基板搬送装置３の動作を模式的
に示している。

【００３４】・運転ステップＡ：カセット４から基板Ｓ
を受取るためにハンド３ａをカセット４の前まで移動す
る。

【００３５】・運転ステップＢ：アーム３ｇ，３ｈをカ
セット４側に伸ばしてハンド３ａを基板Ｓの直下位置に
位置決めする。

【００３６】・運転ステップＣ：ハンド３ａが基板Ｓの
裏面と当接するまで、ハンド３ａを上昇させる。

【００３７】・運転ステップＤ：ハンド３ａをさらに上
昇させてカセット４から基板Ｓをハンド３ａ上に受取
る。

【００３８】・運転ステップＥ：アーム３ｇ，３ｈを収
縮させた後、ハンド３ａを搬入部１１の前まで移動す
る。

【００３９】・運転ステップＦ：アーム３ｇ，３ｈを搬
入部１１側に伸ばしてハンド３ａを搬入部１１の基板載
置部１１ａの直上位置に位置決めする。

【００４０】・運転ステップＧ：ハンド３ａに保持され
ている基板Ｓの裏面が基板載置部１１ａと当接するま
で、ハンド３ａを降下させる。

【００４１】・運転ステップＨ：ハンド３ａをさらに降
下させてハンド３ａ上の基板Ｓを基板載置部１１ａに移
す。

【００４２】・運転ステップＩ：アーム３ｇ，３ｈを収
縮させてハンド３ａを搬入部１１から退避する。

【００４３】このようにステップＳ１２で運転ステップ
に対応する運転パターンが決定されると、ステップＳ１
３で次に実行すべき運転ステップに対応する運転パター
ンを選択する。そして、その選択されたパターンに応じ
てステップＳ１４，Ｓ１５が選択的に実行される。つま
り、例えば運転ステップＡに対応する運転パターンはパ
ターン(1)であり、この運転パターン(1)ではハンド３ａ
上に基板Ｓは保持されておらないため、基板搬送装置３
の各部に高速で動作する旨の指令を与える（ステップＳ
１５）一方、例えば運転ステップＤに対応する運転パタ
ーンはパターン(4)であり、この運転パターン(4)ではハ
ンド３ａ上に基板Ｓが保持されているため、基板搬送装
置３の各部に低速で動作する旨の指令を与える（ステッ
プＳ１４）。

【００４４】こうして、動作指令が与えられる（ステッ
プＳ１４，Ｓ１５）と、ステップＳ１６で動作指令に応
じて基板搬送装置３の各部（モータなど）を駆動してハ
ンド３ａを移動させる。ここで、低速動作指令が与えら
れた場合（ステップＳ１４）には、基板Ｓを保持したハ
ンド３ａは基板Ｓを振り落とさない程度の速度でインデ
クサー部２内を移動するため、基板Ｓを破損させること
なく確実に、運転ステップＤ〜Ｇが実行される一方、高
速動作指令が与えられた場合（ステップＳ１５）には、
基板Ｓを保持していないハンド３ａは低速移動させる場
合（ステップＳ１４）よりも速い速度で移動し、運転ス
テップＡ〜Ｃ、ＨおよびＩが実行される。

【００４５】こうして１つの運転ステップが実行される
と、次に運転ステップに進み（ステップＳ１７）、搬送
完了が判断したか否かがステップＳ１８で判断される。
そして、このステップＳ１８で「ＮＯ」、つまり搬送が
未だ完了していないと判断される間、運転ステップごと
に上記一連の処理（ステップＳ１３〜Ｓ１６）が繰り返
されて、インデクサー制御部１０１からの搬送命令に対
応する基板搬送がハンド３ａによって行われる。

【００４６】以上のように、この実施形態においても、
先に説明した実施形態と同様に、第１基板位置にある基
板を受取り、第１基板位置とは異なる第２基板位置に搬
送するのに際して、ハンド（基板保持手段）３１が基板
を保持しているか否かに応じて基板を保持している時に
は基板を振り落とさない程度の速度でインデクサー部２
内を移動するため、基板を破損させることなく確実に搬
送することができる。しかも、基板を保持しない時に
は、ハンド３ａの移動速度を、基板を保持している時の
移動速度よりも高くなるように制御しているので、基板
搬送に要する時間を短縮して基板処理装置のスループッ
トを向上させることができる。

【００４７】また、この実施形態では、センサ１０４に
よってハンド３ａ上の基板の有無を検出する必要がない
ため、センサ１０４を設ける必要はなくなり、基板搬送
装置３の低コスト化を図ることができる。

【００４８】なお、この実施形態では、カセット４を第
１基板位置とし、搬入部１１を第２基板位置としてカセ
ット４に収納されている基板を受取り、搬入部１１に搬
送する場合を具体例として挙げて説明しているが、搬出
部９４を第１基板位置とし、カセット４を第２基板位置
として搬出部９４の基板載置部（図示省略）にある基板
を受取り、カセット４に戻す場合についても、その基板
搬送動作を複数の運転ステップに分割し、各運転ステッ
プにおいてハンド３ａの移動速度を切換制御すること
で、同様の効果が得られる。

【００４９】また、この実施形態では、カセット４に収
納されている基板を受取り、搬入部１１に搬送する基板
搬送を９つの運転ステップＡ〜Ｉに分割しているが、分
割数および分割態様については任意である。

【００５０】以上、実施の形態に即してこの発明を説明
したが、この発明は上記実施の形態に限定されるもので
はない。例えば、上記実施形態では、運転ステップＣと
Ｄとを区分けして異なるパターンで制御しているが、こ
れらはハンド３ａが上昇するという一連の動作であるの
で、これらをあわせて一つの運転ステップとして取り扱
ってもよい。この場合、運転ステップの後半部分でハン
ド３ａ上に基板Ｓを受け取って動作することになるの
で、当該運転ステップでは安全のため低速動作とするの
が好ましい。運転ステップＧとＨとに関しても同様に一
つの運転ステップとして取り扱うことができる。なお、
これら以外の運転ステップについても連続する動作にお
ける運転ステップの区分けを変更することができるが、
このような区分けにあたってはできる限り細かく区分け
するほうが、よりそれぞれの動作に適した制御をきめ細
かく行うことができて好ましい。

【００５１】また、上記実施形態では、基板にレジスト
塗布前の洗浄処理からレジスト塗布・露光・現像までを
連続して順次行う基板処理装置に本発明を適用している
が、これとは異なる装置にも本発明にかかる基板搬送装
置を適用することができる。例えば、処理部の間で基板
搬送装置によって基板を搬送する場合にも、当該装置に
本発明を適用することができる。

【００５２】また、上記実施形態では、ハンド３ａの移
動速度を２段階に設定しているが、３段階以上に設定す
る、あるいは連続的に可変するようにしてもよい。

【００５３】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、基板
保持手段によって第１基板位置にある基板を受け取った
後に第２基板位置に搬送する基板搬送処理において、基
板保持手段の動作状況に応じて基板保持手段の移動速度
を変更する、より具体的には基板を有している時には基
板が基板保持手段から脱落しない範囲内で基板保持手段
を最高速度で移動させる一方、基板を有していない時に
は基板の脱落を考慮することなく装置の最大能力で基板
保持手段を移動させることができ、基板を有していない
時の基板保持手段の移動速度がより一層高速化されて基
板搬送に要する時間を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる基板搬送装置の一の実施形態が
適用された基板処理装置の一例を示す図である。

【図２】本発明にかかる基板搬送装置の機械的構成を示
す斜視図である。

【図３】インデクサ−部全体を制御する制御ユニットの
電気的構成を示すブロック図である。

【図４】図２の基板搬送装置の動作を示すフローチャー
トである。

【図５】この発明にかかる基板搬送装置の他の実施形態
を示すフローチャートである。

【図６】この発明にかかる基板搬送装置の他の実施形態
におけるハンドの動作説明図である。

【図７】この発明にかかる基板搬送装置の他の実施形態
におけるハンドの動作説明図である。

【図８】この発明にかかる基板搬送装置の他の実施形態
におけるハンドの動作説明図である。

【符号の説明】

１…基板処理装置２…インデクサー部３…基板搬送装置３ａ…ハンド（基板保持手段）３ｄ…搬送ロボット３ｇ，３ｈ…アーム４…カセット１１…搬入部１１ａ…基板載置部９４…搬出部１００…制御ユニット１０１…インデクサー制御部１０３…ロボットコントローラ１０４…センサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１基板位置にある基板を、前記第１基
板位置とは異なる第２基板位置に搬送する基板搬送装置
において、基板を保持可能な基板保持手段と、前記基板保持手段を移動させる移動機構と、前記移動機構を制御して前記基板保持手段によって前記
第１基板位置にある基板を受け取り、前記第２基板位置
に搬送する制御手段とを備え、前記制御手段は、基板受取から第２基板位置までの基板
搬送中、前記基板保持手段の動作状況に応じて前記基板
保持手段の移動速度を変更することを特徴とする基板搬
送装置。
【請求項２】前記基板保持手段が基板を保持している
か否かを検出する検出手段をさらに備え、前記制御手段は、前記検出手段による検出結果に基づ
き、基板を保持しない時の前記基板保持手段の移動速度
が基板を保持している時の移動速度よりも高くなるよう
に、制御する請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】基板受取から第２基板位置までの基板搬
送を複数の運転ステップに分割し、記憶する記憶手段を
備え、前記制御手段は各運転ステップ毎に前記基板保持手段の
移動速度を制御する請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項４】前記制御手段は、基板を保持しないで前
記基板保持手段を移動させる運転ステップにおける前記
基板保持手段の移動速度が、基板を保持して前記基板保
持手段を移動させる運転ステップにおける移動速度より
も高くなるように、制御する請求項３記載の基板搬送装
置。
【請求項５】基板保持手段によって第１基板位置にあ
る基板を受け取り、前記第１基板位置とは異なる第２基
板位置に搬送する基板搬送方法において、基板受取から第２基板位置までの基板搬送中、前記基板
保持手段の動作状況に応じて前記基板保持手段の移動速
度を変更することを特徴とする基板搬送方法。