KR100576509B1 - 카세트 반송장치 - Google Patents

Abstract

개시된 본 발명은 카세트 반송장치에 수평이동, 상하이동, 회전이 가능한 수단들을 구비시켜 엘시디 제조공정상에서 다수장의 유리기판이 적재된 카세트를 용이하게 반송할 수 있도록 하기 위한 카세트 반송장치에 관한 것으로서, 레일을 따라 수평방향으로 이동하면 기판을 반송하는 수평구동부; 상기 수평구동부 상부에 마련되며, 그 상부에 마련되는 기판 적재용 카세트를 상하 방향으로 이동시키기 위한 상하이동부; 및 상기 기판 적재용 카세트가 놓여지는 회전체에 결합되어, 상기 기판 적재용 카세트를 회전시키기 위한 회전구동부를 포함하여 구비되는 것을 특징으로 한다.

카세트, 반송장치, 수평이동, 수직이동, 회전

Description

카세트 반송장치{CASSETTE SENDING APPARATUS}

도 1은 본 발명에 따른 카세트 반송장치의 구조를 설명하기 위한 도면,

도 2는 도 1에서 기판 적재용 카세트를 업시킨 구조를 설명하기 위한 도면,

도 3은 본 발명에 적용된 회전구동수단을 설명하기 위한 일측 단면도,

도 4는 본 발명에 적용된 턴 지지 프레임과 업다운 프레임의 연결구조를 설명하기 위한 도면,

도 5는 본 발명에 따른 카세트 반송장치의 카세트를 탑재한 평면도이다.

*** 도면의 주요부분에 대한 부호 설명 ***

10 : 수평구동부 12 : 구동휠

14 : 주행서보 모터 16 : 타임벨트

20 : 상하이동부 21, 22 : 제1, 제2 가이드부재

23, 24 : 플레이트 25 : 시이저

26 : 좌우 볼 스크류 27, 47 : 업다운 모터

30 : 회전구동부 32 : 회전모터

50 : 회전체

본 발명은 카세트 반송장치에 관한 것이다.

보다 상세하게는, 카세트 반송장치에 수평이동, 상하이동, 회전이 가능한 수단들을 구비시켜 엘시디 제조공정상에서 다수장의 유리기판이 적재된 카세트를 용이하게 반송할 수 있도록 하기 위한 카세트 반송장치에 관한 것이다.

LCD의 제조공정에 있어서는, 피처리체인 LCD용의 유리기판 상에 IT0 (Indium Tin Oxide)의 박막이나 전극패턴을 형성하기 위해서, 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 것과 같은 포토리소그래피 기술이 이용된다. 포토리소그래피 기술에서는, 포토레지스트를 유리기판에 도포하여, 이것을 노광하고, 또한 현상한다.

이들 일련의 처리공정은, 종래부터 일체형(一體型)의 도포현상처리 시스템에 의해 이루어지고 있다. 이 도포현상처리 시스템은, 예를 들면, 유리기판이 복수 수용되는 캐리어 카세트가 놓여지는 카세트 스테이션(cassette station)과, 기판에 대하여 레지스트 도포, 현상, 가열·냉각, 세정 등의 각 처리를 하는 처리부(處理部)와, 노광장치에 대하여 기판을 반출 및 반입하기 위한 인터페이스부를 구비하고 있으며, 캐리어 카세트로의 기판 반입반출 및 각 처리부로의 기판의 반송은 반송 로봇에 의해 행하여지고 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 수평이동, 상하이동, 회전이 가능한 구조를 갖도록 하여 엘시디 제조공정상에서 다수장의 유리기판이 적재된 카세트를 용이하게 반송할 수 있도록 하기 위한 카세트 반송장치를 제공하는데 있다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명의 일 실시예는, 카세트 반송장치에 있어서, 레일을 따라 수평방향으로 이동하면 기판을 반송하는 수평구동부; 상기 수평구동부 상부에 마련되며, 그 상부에 마련되는 기판 적재용 카세트를 상하 방향으로 이동시키기 위한 상하이동부; 및 상기 기판 적재용 카세트 하단에 마련되어, 상기 기판 적재용 카세트를 회전시키는 회전구동부를 포함하여 구비되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 카세트 반송장치에 대해 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 카세트 반송장치를 설명하기 위한 도면이다.

첨부 도면 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명이 적용된 카세트 반송장치는 레일을 따라 수평방향으로 이동하면서 기판을 반송하는 수평구동부(10)와, 상기 수평구동부(10) 상부에 마련되며, 그 상부에 마련되는 기판 적재용 카세트를 상하 방향으로 이동시키기 위한 상하이동부(20)와, 상기 기판 적재용 카세트가 놓여지는 회전체에 결합되어, 상기 기판 적재용 카세트를 회전시키기 위한 회전구동부(30)로 구성된다.

상기 수평구동부(10)는 구동휠(12)와, 구동축이 구비된 주행서보 모터(14)와, 상기 구동휠(12)과 구동축을 연결하여 상기 주행서보 모터(14)가 회전하는 경우 상기 구동휠(12)이 회전되도록 하는 타임벨트(16)로 이루어진다.

상기 상하이동부(20)는 첨부 도면 도 5에 도시된 바와 같이 상기 수평구동부의 상부에 구비되되, 서로 대향되는 위치에 한쌍으로 구비된다.

상기 상하이동부 각각은 업다운 프레임(50)의 소정 위치에 결합되는 제1 가이드부재(21)와, 상기 수평구동부(10)의 소정 위치에 결합되는 제2 가이드부재(22)와, 2장의 플레이트(23)(24)로 이루어지며, 상기 제1 플레이트(23)의 일단은 상기 제1 가이드부재(21)에 일단이 연결되고, 제1 플레이트(23)의 타단은 상기 수평구동부(10)의 소정 위치에 연결되고, 제2 플레이트(24)의 일단은 상기 업다운 프레임(50)의 소정 위치에 연결되고, 제2 플레이트(24)의 타단은 상기 제2 가이드부재(22)에 연결되는 복수의 상하조절부재(25)와, 상기 제1 가이드부재(21)와 제2 가이드부재(22)에 양측단이 연결, 결합되어 외부 회전력에 따라 상기 상하조절부재가 업 또는 다운되는 좌우 볼 스크류(26)와, 구동축이 상기 좌우 볼 스크류(26)와 연결되어 상기 좌우 볼 스크류(26)가 소정 방향으로 회전되도록 하는 업다운 모터(27)로 이루어진다.

이때, 상기 복수의 상하조절부재(25)는 상기 업다운 모터(27)에 의해 소정 방향으로 회전하는 상기 좌우 볼 스크류(26)에 의해 연동되어 동시에 업 또는 다운 된다.

상기 상하조절부재(25)는 시이저(SCISSORS)이다.

상기 좌우 볼 스크류(26)는 중심을 기점으로 나사산 방향이 반대인 오른나사와 왼나사가 각각 마련되어 상기 양단에 연결된 상하조절부재(25)가 동시에 업 또는 다운되도록 한다.

상기 회전구동부(30)는 구동축이 상기 기판 적재용 카세트가 놓여있는 회전체에 결합되어 상기 기판 적재용 카세트를 회전시키기 위한 회전모터(32)와, 상기 회전체 내측 양끝단에 구비되어 상기 기판 적재용 카세트의 하중을 받치는 턴지지 베어링(34)으로 이루어진다.

그리고, 상기 회전구동부(30)는 첨부 도면 도 4에 도시된 바와 같이 턴 지지 프레임(60)에 의해 업다운 프레임(도 2의 50)에 연결, 고정된다. 미설명 도면부호는 베어링 및 베어링 베이스이다.

그리고, 도 5의 도면부호 100은 카세트이다.

상기와 같이 구성된 본 발명이 카세트 반송장치의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.

첨부 도면 도 2에 도시된 바와 같이 카세트 반송장치에 구비된 수평구동부(10)의 구동휠(12)은 타임벨트(16)에 의해 주행모터(14)의 구동축에 연결되어 주행모터(14)가 회전됨에 따라 구동휠(12)이 레일을 따라 회전되어 기판이 적재된 카세트를 소정 장소로 이동하게 된다.

한편, 작업자가 기판이 적재된 카세트를 소정 높이로 업시키기 위한 신호를 입력한 경우 첨부 도면 도 4에 도시된 바와 같이 대향되는 위치에 있는 한쌍의 업다운 모터(27)(47)는 동기되어 정방향으로 회전하게 되고, 상기 업다운 모터(27)(47)에 연결된 좌우 볼 스크류(26)가 나사선을 따라 이동하게 되어 첨부 도면 도 3에 도시된 바와 같이 플레이트(23)(24)가 내측방향으로 이동하게 되어 기판이 적재된 카세트가 일정 방향으로 치우쳐지지 않은 상태에서 업되어 수직상승하게 된다.

그리고, 상기 한쌍의 업다운 모터(27)(47)가 외부로부터 입력되는 전류에 의해 역방향으로 동시에 회전하게 되면, 상기 업다운 모터(27)(47)에 각각 연결된 좌우 볼 스크류(26)은 나사선을 따라 다시 중심을 향하여 이동됨으로써 첨부 도면 도 2와 같이 플레이트(23)(24)가 외측방향으로 이동하게 되어 기판이 적재된 카세트가 다운된다.

이때, 상기 업다운 모터(47)에 연결된 좌우 볼 스크류 및 상하조절부재는 도면에 도시되어 있지 않으나, 첨부 도면 도 2 및 도 3에 도시된 좌우 볼 스크류(27) 및 플레이트(23)(24)로 이루어진 한쌍의 상하조절부재(25)와 동일한 구조로 구비되어 있다.

마지막으로 기판 카세트를 정방향 또는 역방향으로 회전시키고자 하는 경우 작업자의 조작에 따라 첨부 도면 도 3에 도시된 회전모터(32)가 정방향 또는 역방향으로 회전하게 되고, 상기 회전모터(32)의 구동축이 상기 기판 적재용 카세트가 놓여있는 회전체(50)에 결합되어 상기 기판 적재용 카세트가 회전모터(32)의 회전 방향으로 회전하게 된다. 이때, 상기 회전체(50) 내측 양끝단에 구비된 턴지지 베어링(34)은 상기 회전체(50)에 미치는 상기 기판 적재용 카세트의 하중을 받치게 되어, 회전모터(32)의 회전에 따라 상기 기판 적재용 카세트가 용이하게 회전되도록 한다.

이상의 본 발명은 상기 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 포함되는 본 발명의 취지와 범위에 포함된다.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명은 수평이동, 상하이동, 회전이 가능한 구조를 갖도록 하여 엘시디 제조공정상에서 다수장의 유리기판이 적재된 카세트를 용이하게 반송할 수 있도록 하는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 기판 적재용 카세트 반송장치에 있어서,

   레일을 따라 수평방향으로 이동하면서 기판을 반송하는 수평구동부;

   상기 기판 적재용 카세트가 놓여지는 회전체에 결합되어, 상기 기판 적재용 카세트를 회전시키기 위한 회전구동부; 및

   외부로부터 입력되는 구동신호에 응하여 정회전 또는 역회전하는 업다운 모터와, 상기 업다운 모터의 구동축에 일측이 결합되어 상기 업다운 모터의 정회전 또는 역회전에 따라 수평 전진이동 또는 수평 후진이동 하는 제 2 가이드부재와, 상기 회전체 하단에 결합되고 상기 제 2 가이드부재와 연동하여 수평으로 이동하는 제 1 가이드부재와, 일단은 상기 회전체 일측에 고정, 결합되고 타단은 상기 제 2 가이드부재에 고정, 결합되는 제 2 플레이트와, 일단은 상기 수평구동부의 일측에 고정, 결합되고, 타단은 상기 제 1 가이드부재에 연결되며, 상기 제 2 플레이트가 내측방향 또는 외측방향으로 이동 가능하도록 상기 제 2 플레이트와 결합되는 제 1 플레이트로 이루어진 상하이동부

   를 포함하여 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 수평구동부는,

   구동휠;

   구동축이 구비된 주행서보 모터; 및

   상기 구동휠과 구동축을 연결하여 상기 주행서보 모터가 회전하는 경우 상기 구동휠이 회전되도록 하는 타임벨트;

   로 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 상하이동부는,

   상기 수평구동부의 상부에 구비되되, 서로 대향되는 위치에 한쌍으로 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 제 1 항에 있어서, 상기 회전구동부는,

   구동축이 상기 기판 적재용 카세트 하단에 결합되어 상기 기판 적재용 카세트를 회전시키기 위한 회전모터; 및

   상기 회전체 내측 양끝단에 구비되어 상기 기판 적재용 카세트의 하중을 받치는 턴지지 베어링;

   으로 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송장치.

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