JP4745040B2 - 基板搬送装置及び基板処理装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、ステージ80および基板Gのサイズがそれほど大きなものでなければ、図21に示すように片側(たとえば左側)の可動搬送機構120Aだけで基板Gの搬入・搬出を行う構成とすることも可能である。
32A 搬入側の固定搬送路
32B 搬出側の固定搬送路
40 レジスト塗布ユニット(CT)
80 ステージ
82 塗布処理部
84 インステージ(IN)
86 アウトステージ(OUT)
88 レジストノズル
102 リフトピン
120,120A,120B 可動搬送機構
122,122A,122B ガイドレール
124,124A,124B ベース部
126,126A,126B 搬送ブリッジ
128 昇降本体
130,130A,130B 片持ち型梁部
132,132A,132B ローラ
144 エアシリンダ
148 スライドシャフト
150 電気モータ
166 タイミングベルト
180 駆動ベルト
182 電気モータ
Claims (17)
- ステージ上で被処理基板に所定の処理を施す処理部に対して、処理前の前記基板を搬入し、処理済の前記基板を搬出するための基板搬送装置であって、
前記基板を平流しで搬送するための第1の搬送体を敷設し、水平な第1の方向において前記ステージの一方のサイドに終端を有する第1の固定搬送路と、
前記基板を平流しで搬送するための第2の搬送体を敷設し、前記第1の方向において前記ステージの他方のサイドに始端を有する第2の固定搬送路と、
前記基板を平流しで搬送するための第3の搬送体を取り付け、前記ステージに前記基板を搬入し、または前記ステージから前記基板を搬出するための前記第1の固定搬走路の終端または前記第2の固定搬走路の始端と接続して前記ステージの上方に架かるブリッジ往動位置と、前記処理部における基板処理の際に退避するための前記第1または第2の固定搬送路の下に潜るブリッジ復動位置との間で移動可能に構成された可動搬送ブリッジと
を有し、
前記可動搬送ブリッジが、第1の片持ち型搬送ブリッジと第2の片持ち型搬送ブリッジとに2分割され、
前記第1の片持ち型搬送ブリッジが、前記第1の固定搬送路の終端と接続して前記ステージの上方に架かる第1のブリッジ往動位置と、前記第1の固定搬送路の下に潜る第1のブリッジ復動位置との間で移動可能に構成され、
前記第2の片持ち型搬送ブリッジが、前記第2の固定搬送路の始端と接続して前記ステージの上方に架かる第2のブリッジ往動位置と、前記第2の固定搬送路の下に潜る第2のブリッジ復動位置との間で移動可能に構成され、
前記ステージに前記基板を搬入するために前記第1の搬送体と前記第3の搬送体とを連動させて駆動し、前記ステージから前記基板を搬出するために前記第2の搬送体と前記第3の搬送体とを連動させて駆動する、
基板搬送装置。 - 前記第1の片持ち型搬送ブリッジを搭載する可動の第1のベースと、
前記第1の方向において前記第1のベースを前記第1のブリッジ復動位置に対応する第1のベース復動位置と前記第1のブリッジ往動位置に対応する第1のベース往動位置との間で移動させる第1のベース移動部と、
前記第1のベース上で前記第1の片持ち型搬送ブリッジを昇降移動させる第1のブリッジ昇降部と
を有する、請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記第1のベース移動部が、前記第1のベース復動位置と前記第1のベース往動位置との間で前記第1のベースを水平移動させ、
前記第1のブリッジ昇降部が、前記第1のベース往動位置にて前記第1のベース上の前記第1の片持ち型搬送ブリッジを昇降移動させる、
請求項2に記載の基板搬送装置。 - 前記第1の片持ち型搬送ブリッジが、
前記第1のベースに昇降可能に支持される第1の昇降本体と、
前記第1の昇降本体から前記ステージ側に突き出して延びる複数本の片持ち梁部と、
各々の前記片持ち梁部に前記第3の搬送体として回転可能に取り付けられる複数個の第1のコロと、
前記第1のコロを回転駆動する力を発生するために前記第1のブリッジ本体に設けられる第1のコロ駆動部と、
前記第1のコロ駆動部より発生される回転駆動力を一部または全部の前記第1のコロに伝えるための第1の伝動部と
を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 一部または全部の前記片持ち梁部において前記複数個の第1のコロが前記第1の方向と直交する水平な第2の方向に所定のピッチでオフセットして配列される、請求項4に記載の基板搬送装置。
- 前記第2の片持ち型搬送ブリッジを搭載する可動の第2のベースと、
前記第2の方向において前記第2のベースを前記第2のブリッジ復動位置に対応する第2のベース復動位置と前記第2のブリッジ往動位置に対応する第2のベース往動位置との間で移動させる第2のベース移動部と、
前記第2のベース上で前記第2の片持ち型搬送ブリッジを昇降移動させる第2のブリッジ昇降部と
を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 前記第2のベース移動部が、前記第2のベース復動位置と前記第2のベース往動位置との間で前記第2のベースを水平移動させ、
前記第2のブリッジ昇降部が、前記第2のベース往動位置にて前記第2のベース上の前記第2の片持ち型搬送ブリッジを昇降移動させる、
請求項6に記載の基板搬送装置。 - 前記第2の片持ち型搬送ブリッジが、
前記第2のベースに昇降可能に支持される第2の昇降本体と、
前記第2の昇降本体から前記ステージ側に突き出して延びる複数本の片持ち梁部と、
各々の前記片持ち梁部に前記第3の搬送体として回転可能に取り付けられる複数個の第2のコロと、
前記第2のコロを回転駆動する力を発生するために前記第2のブリッジ本体に設けられた第2のコロ駆動源と、
前記第2のローラ駆動源より発生される回転駆動力を前記第2のコロに伝えるための第2の伝動部と
を有する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板搬送装置。 - 一部または全部の前記片持ち梁部において前記複数個の第2のコロが前記第1の方向と直交する水平な第2の方向に所定のピッチでオフセットして配列される、請求項8に記載の基板搬送装置。
- 前記ステージ上で処理の済んだ基板を前記可動搬送ブリッジから前記第2の固定搬送路へ移す搬送動作と、前記ステージ上で処理を受ける前の次の基板を前記第1の固定搬送路から前記可動搬送ブリッジへ移す搬送動作とを同時に行う、請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記第1、第2および第3の搬送体が互いに独立した形状またはサイズを有し、同一の平流し搬送速度を得るように運動する、請求項1〜10のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記第1の固定搬送路が、前記第1の搬送体として第3のコロを一定の間隔で敷設してなる、請求項1〜11のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記第2の固定搬送路が、前記第2の搬送体として第4のコロを一定の間隔で敷設してなる、請求項1〜12のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- ステージ上で被処理基板をほぼ水平に支持して所定の処理を施す処理部と、
前記処理部に対して、処理前の前記基板を搬入し、処理済の前記基板を搬出するための請求項1〜13のいずれか一項に記載の基板搬送装置と
を有する基板処理装置。 - 前記処理部が、
前記ステージ上で前記基板に向けて処理液を吐出するノズルと、
前記ステージ上で前記基板と前記ノズルとの間に相対的な水平移動を行わせる走査機構と
を有する、請求項14に記載の基板処理装置。 - 前記ノズルが、前記第1の方向に延びる吐出口を有する長尺型のノズルであり、
前記走査機構が、前記基板に対して前記ノズルを前記第1の方向と直交する水平な第2の方向に相対的に移動させる、
請求項15に記載の基板処理装置。 - 前記処理部が、前記ステージ上に前記基板をローディングし、前記ステージから前記基板をアンローディングし、または前記ステージの上方で前記可動搬送ブリッジと前記基板の受け渡しを行うために、前記ステージを貫通して上下移動可能に構成された複数本のリフトピンを有する、請求項14〜16のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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