JP2013066868A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板は、基板搬送機構14によりステージ12上に搬送されて、その保持面30に吸着保持される。そして、ステージ12上に吸着保持された基板の表面に、スリットノズル41における塗布液吐出用スリットを近接させた状態で、スリットノズル41を基板に対して移動させることにより、基板の表面に塗布液を塗布する。しかる後、塗布液が塗布された基板は、基板搬送機構15によりステージ上から搬出される。
【選択図】 図1
Description
12 ステージ
14 基板搬送機構
15 基板搬送機構
30 保持面
40 ノズル支持部
41 スリットノズル
44 吐出用スリット
45 塗布液
50 リニアモータ
50a 固定子
50b 移動子
71 吸着盤
71a 吸着部
71b 基部
71c 連通孔
72 吸着溝
81 ローラ
82 支持部材
83 エアシリンダ
84 ベルト
91 ベルト
92 駆動軸
93 側板
95 ベルト
96 駆動軸
97 側板
S 基板
Claims (8)
- 基板を吸着保持するステージと、
塗布液吐出用スリットを、前記ステージ上に載置された基板の表面と近接させた状態で、前記基板に対して水平方向に相対的に移動させることにより、前記基板の表面に塗布液を塗布するスリットノズルと、
前記ステージに対して基板を水平に搬送する基板搬送機構と、
前記ステージに配設され、少なくともその一部が前記ステージの表面より上方に配置されることにより、前記基板搬送機構との間で基板を搬送する搬送位置と、その全部が前記ステージの表面より下方に配置されることにより、前記基板を前記ステージの表面に吸着保持させるための退避位置との間を昇降可能な複数の基板搬送部材と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記複数の基板搬送部材は、ステージに形成された孔部内において、互いに同期して昇降可能に配設された複数のローラまたはベルトである塗布装置。 - 請求項1または請求項2に記載の塗布装置において、
前記スリットノズルは、前記ステージに対して第1の方向に往復移動するとともに、
前記基板搬送機構および前記複数の基板搬送部材は、前記第1の方向と直交する第2の方向に基板を搬送する塗布装置。 - 請求項3に記載の塗布装置において、
前記基板搬送機構は、前記ステージに近接し基板を受け渡す受渡位置と、前記ステージと前記基板搬送機構との間を前記第1の方向に前記スリットノズルが往復移動可能となる離間位置との間を往復移動する塗布装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の塗布装置において、
前記スリットノズルにより前記基板に塗布液を塗布している間、前記基板の裏面の複数の位置を吸着保持した状態で、前記基板を前記ステージの表面に押し付け、前記基板を前記ステージに対して平坦に保持する複数の吸着部材を備える塗布装置。 - 請求項5に記載の塗布装置において、
前記吸着部材は、弾性材からなる皿状の吸着部と減圧手段に連通する基部とを備え、前記ステージに形成された孔部内において、吸着部の先端が前記ステージの表面より突出した状態で、その基部が前記ステージに固定された吸着盤より構成され、
前記吸着部の先端と前記基板の裏面とが当接した状態で、前記吸着部と前記基板とにより形成される空間内を排気することにより、前記吸着部が弾性変形する作用を利用して、前記基板の裏面を前記ステージの表面に押し付ける塗布装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の塗布装置において、
前記基板は、太陽電池用パネル基板である塗布装置。 - 請求項7に記載の塗布装置において、
前記基板の厚みは、1.7mm以上である塗布装置。
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