JP5941644B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
3 ステージ
6 ノズル洗浄装置
11 本体
12 ステージ
14 基板搬送機構
15 基板搬送機構
30 保持面
33 孔部
34 支持板
35 ネジ
36 エアシリンダ
40 ノズル支持部
41 スリットノズル
44 吐出用スリット
45 塗布液
50 リニアモータ
50a 固定子
50b 移動子
71 吸着盤
71a 吸着部
71b 基部
71c 連通孔
72 吸着溝
81 ローラ
82 支持部材
83 エアシリンダ
84 ベルト
85 外周部押さえ部材
86 エアシリンダ
91 ベルト
92 駆動軸
93 側板
95 ベルト
96 駆動軸
97 側板
S 基板
Claims (6)
- スリットノズルにおける塗布液吐出用スリットを、ステージの保持面上に載置された基板の表面と近接させた状態で、当該基板に対して水平方向に相対的に移動させることにより、基板の表面に塗布液を塗布する塗布装置において、
前記スリットノズルにより前記基板に塗布液を塗布している間、前記基板の裏面の複数の位置を吸着保持した状態で、前記基板を前記ステージの表面に押し付け、前記基板を前記ステージに対して平坦に保持する複数の吸着部材を備え、
前記保持面には、前記吸着部材が配設される所定の長さを有する孔部が形成され、前記複数の吸着部材のうち、前記所定の長さを有する孔部内に配設された吸着部材は、その位置を調整し得ることを特徴とする塗布装置。 - スリットノズルにおける塗布液吐出用スリットを、ステージの保持面上に載置された基板の表面と近接させた状態で、当該基板に対して水平方向に相対的に移動させることにより、基板の表面に塗布液を塗布する塗布装置において、
前記スリットノズルにより前記基板に塗布液を塗布している間、前記基板の裏面の複数の位置を吸着保持した状態で、前記基板を前記ステージの表面に押し付け、前記基板を前記ステージに対して平坦に保持する複数の吸着部材を備え、
前記複数の吸着部材は、エアシリンダの駆動により、前記保持面に対して昇降可能であることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1または請求項2に記載の塗布装置において、
前記吸着部材は、弾性材からなる皿状の吸着部と減圧手段に連通する基部とを備え、前記ステージに形成された孔部内において、吸着部の先端が前記ステージの表面より突出した状態で、その基部が前記ステージに固定された吸着盤より構成され、
前記吸着部の先端と前記基板の裏面とが当接した状態で、前記吸着部と前記基板とにより形成される空間内を排気することにより、前記吸着部が弾性変形する作用を利用して、前記基板の裏面を前記ステージの表面に押し付ける塗布装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の塗布装置において、
前記ステージ上に載置された基板の外周部を前記ステージの表面に押し付ける外周部押さえ部材をさらに備える塗布装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の塗布装置において、
前記基板は、太陽電池用パネル基板である塗布装置。 - 請求項5に記載の塗布装置において、
前記基板の厚みは、1.7mm以上である塗布装置。
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