KR20130058607A - 도포 장치 - Google Patents

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KR20130058607A
KR20130058607A KR1020120126697A KR20120126697A KR20130058607A KR 20130058607 A KR20130058607 A KR 20130058607A KR 1020120126697 A KR1020120126697 A KR 1020120126697A KR 20120126697 A KR20120126697 A KR 20120126697A KR 20130058607 A KR20130058607 A KR 20130058607A
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KR
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detention
substrate
coating
board
work space
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Application number
KR1020120126697A
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English (en)
Inventor
켄지 하마카와
토시히로 모리
Original Assignee
도레 엔지니아린구 가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

[과제] 기판 반송로가 일 방향으로 연속적으로 연장되는 경우여도, 구금부(口金部)를 용이하게 교환할 수 있는 도포 장치를 제공한다.
[해결 수단] 일 방향으로 연장되는 기판 반송로와, 기판 반송로에 기판을 대면시킨 상태로 기판 반송로가 연장되는 방향을 따라 기판을 반송하는 기판 반송부와, 구금부가 기판 반송로에 대향한 상태로 고정하여 설치된 도포 유닛을 구비한 도포 장치이고, 상기 구금부를 재치(載置)하는 것이며, 도포 유닛에 취부된 구금부와 대향하는 구금 수취 위치와, 상기 구금부를 교환하는 구금 교환 위치로 이동 가능한 구금 이재(移載) 유닛을 더 구비하고, 상기 기판 반송로는 작업 스페이스 형성부를 가지고 있고, 이 작업 스페이스 형성부에 의하여, 기판 반송로의 일부가 제거되어 상기 구금부를 교환하기 위한 작업 스페이스가 형성되며, 상기 구금 교환 위치는, 상기 작업 스페이스 형성부에서 구금부의 교환 작업이 가능한 범위에 설정되어 있는 구성으로 한다.

Description

도포 장치{COATING DEVICE}
본 발명은 기판 상에 도포막을 형성하는 도포 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이나 플라스마 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이에는, 유리 등의 기판 상에 레지스트액 등의 도포액이 도포된 것(도포 기판이라고 한다)이 사용되고 있다. 이 도포 기판은, 도포액을 균일하게 도포하는 도포 장치에 의하여 형성되어 있다. 이와 같은 도포 장치는, 일 방향으로 연장되는 기판 반송로와, 기판 반송로 상의 기판을 반송하는 기판 반송부와, 도포액을 토출하는 도포 유닛을 가지고 있고, 도포 유닛의 구금부(口金部)로부터 도포액을 토출시키면서, 기판과 도포 유닛을 상대적으로 이동시키는 것에 의하여, 기판 상에 도포막이 형성되도록 되어 있다. 구체적으로는, 특허 문헌 1에 나타내지는 바와 같이, 반송되어 온 기판을 기판 반송로 상에 정지시키고, 구금부로부터 도포액을 토출시키면서 도포 유닛을 이동시키는 것에 의하여 기판 상에 도포막이 형성된다. 그리고, 도포 기판이 소정 매수에 달한 경우나 종류가 다른 도포액으로 도포막을 형성하는 경우에는, 도포 유닛의 구금부가 교환된다. 이 구금 교환 시에는, 작업 편리성의 점으로부터 도포 유닛을 기판 반송로의 단부 부근으로 이동시켜, 작업자에 의하여 구금부를 도포 유닛으로부터 떼어낸 후, 구금부를 전용의 이재기(移載機)로 매달아 옮기는 것에 의하여 구금부의 교환이 행하여지고 있었다.
일본국 공개특허공보 특개 2010-034309호
그러나, 상기와 같이 구금부의 교환 작업을 행할 수 있는 것은, 도포 장치의 상류 측 또는 하류 측에 구금부의 교환 작업의 스페이스가 존재하는 경우에 한정된다. 즉, 도포 장치의 상류 측 또는 하류 측에 로봇 핸드 등의 반송 장치가 존재하는 경우이면, 상기와 같이 구금부를 교환할 수 있다.
근년(近年)에는, 도포 장치와, 도포 장치의 상류 측 및 하류 측의 처리 장치(예를 들어 건조 장치 등)가 기판 반송로로 연결되어 있고, 기판 반송로 상을 반송되는 기판이 이들 장치에 의하여 연속적으로 처리되도록 되어 있다. 따라서, 도포 장치의 상류 측 또는 하류 측에 작업 스페이스로 되는 단부가 존재하지 않아, 구금부의 교환 작업이 곤란하였다.
본 발명은, 상기의 문제점에 감안하여 이루어진 것이며, 기판 반송로가 일 방향으로 연속적으로 연장되는 경우여도, 구금부를 용이하게 교환할 수 있는 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 도포 장치는, 일 방향으로 연장되는 기판 반송로와, 상기 기판 반송로에 기판을 대면시킨 상태로 기판 반송로가 연장되는 방향을 따라 기판을 반송하는 기판 반송부와, 도포액을 토출하는 구금부가 착탈(着脫) 가능하게 지지되는 것과 함께, 상기 구금부가 상기 기판 반송로에 대향한 상태로 고정하여 설치된 도포 유닛을 구비하고, 상기 기판 반송로 상의 기판을 상기 기판 반송부에 의하여 상기 도포 유닛에 대하여 이동시키면서 상기 구금부로부터 도포액을 토출하는 것에 의하여, 기판 상에 도포막을 형성하는 도포 장치이고, 상기 구금부를 재치(載置, 물건의 위에 다른 것을 올리는 것)하는 것이며, 도포 유닛에 취부된 구금부와 대향하는 구금 수취 위치와, 상기 구금부를 교환하는 구금 교환 위치로 이동 가능한 구금 이재(移載, 실어 이송하는 것) 유닛을 더 구비하고, 상기 기판 반송로는, 작업 스페이스 형성부를 가지고 있고, 이 작업 스페이스 형성부에 의하여, 기판 반송로의 일부가 제거되어 상기 구금부를 교환하기 위한 작업 스페이스가 형성되며, 상기 구금 교환 위치는, 상기 작업 스페이스 형성부에서 구금부의 교환 작업이 가능한 범위에 설정되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 도포 장치에 의하면, 기판 반송로에 작업 스페이스 형성부가 설치되어 있기 때문에, 기판 반송로가 일 방향으로 연속하여 형성되어 있는 경우여도, 구금부의 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다. 즉, 기판 반송로에 작업 스페이스 형성부가 설치되어 있기 때문에, 연속하는 기판 반송로의 일부가 제거되는 것에 의하여, 구금부를 교환하기 위한 작업 스페이스가 형성된다. 그리고, 구금 교환 위치가, 작업 스페이스 형성부에서 구금부의 교환 작업이 가능한 범위에 설정되어 있고, 도포 유닛으로부터 떼어내진 구금부가 구금 이재 유닛에 탑재되어 구금 교환 위치까지 옮겨지는 것에 의하여, 형성된 작업 스페이스에서 구금부의 교환 작업을 행할 수 있다. 따라서, 기판 반송로가 일 방향으로 연속하여 형성되어 있는 경우여도, 구금부의 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다.
또한, 상기 기판 반송로는, 상기 도포 유닛과 대향하는 메인 반송로를 가지고 있고, 상기 작업 스페이스 형성부는, 이 메인 반송로와, 기판에의 도포가 종료할 때에 기판이 점유하는 도포 완료 영역 이외의 영역에 설치되어 있는 구성으로 하여도 무방하다.
이 구성에 의하면, 기판 반송로에 작업 스페이스 형성부를 설치한 경우여도, 도포 정도(精度)에의 영향을 억제할 수 있다. 즉, 기판 반송로는, 도포 얼룩의 영향을 억제하기 위하여, 극력 평탄하게 형성되어 있다. 그런데, 작업 스페이스 형성부를 설치하면, 기판 반송로의 일부가 제거 가능하게 구성되기 때문에, 기판 반송로의 평탄도가 손상될 우려가 있다. 그 결과, 작업 스페이스 형성부와 기판이 겹치는 상태로 도포 동작을 행하면, 도포 얼룩이나 건조 얼룩의 영향이 나오기 쉬워진다. 그래서, 도포 유닛과 대향하는 메인 반송로 및 도포 완료 영역에는 작업 스페이스 형성부를 설치하지 않는 것에 의하여, 도포 동작 중에 기판과 작업 스페이스 형성부가 겹치는 상태를 회피할 수 있다. 따라서, 기판에 대하여 평탄한 기판 반송로 상에서 도포 동작이 행하여지는 것에 의하여, 도포 얼룩이나 건조 얼룩의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 상기 작업 스페이스 형성부는, 기판에의 도포가 개시될 때에 기판이 점유하는 도포 개시 영역과, 상기 도포 완료 영역 이외의 영역에 설치되어 있는 구성으로 하여도 무방하다.
이 구성에 의하면, 도포 개시부터 도포 완료까지, 기판과 작업 스페이스 형성부가 겹치는 상태를 확실히 회피할 수 있기 때문에, 도포 얼룩이나 건조 얼룩의 발생을 보다 억제할 수 있다.
또한, 상기 작업 스페이스 형성부는, 상기 기판 반송로의 일부가 접히는 것에 의하여 작업 스페이스가 형성되는 구성으로 하여도 무방하다.
이 구성에 의하면, 기판 반송로의 일부를 제거하는 경우, 슬라이드시켜 제거하는 구성이면, 슬라이드시키기 위한 스페이스를 확보할 필요가 있다. 따라서, 슬라이드시키는 구성에 비하여 작업 스페이스 형성부를 공간 절약하여 설치할 수 있다.
또한, 상기 구금 교환 위치는, 상기 작업 스페이스 형성부 상에 설정되어 있는 구성으로 하여도 무방하다.
이 구성에 의하면, 구금부를 구금 교환 위치로부터 바로 아래에 내려놓을 수 있기 때문에, 구금부를 반송 방향으로 이동하기 위한 크레인 등이 불필요하게 되어, 장치의 코스트를 억제할 수 있다.
본 발명의 도포 장치에 의하면, 기판 반송로가 일 방향으로 연속적으로 연장되는 경우여도, 구금부를 용이하게 교환할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 있어서의 도포 장치를 도시하는 상면도이다.
도 2는 상기 도포 장치의 측면도이다.
도 3은 상기 도포 장치의 정면도이다.
도 4는 구금 이재 유닛을 도시하는 확대도이다.
도 5는 작업 스페이스 형성부를 도시하는 측면도이며, (a)는 작업 스페이스가 형성되기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 작업 스페이스가 형성된 상태를 도시하는 도면이다.
도 6은 작업 스페이스 형성부를 도시하는 상면도이며, (a)는 작업 스페이스가 형성되기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 작업 스페이스가 형성된 상태를 도시하는 도면이다.
도 7은 작업 스페이스 형성부의 확대도이며, (a)는 분리 스테이지부가 수평 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 분리 스테이지부가 수직 상태를 도시하는 도면이다.
도 8은 도포 개시 영역 및 도포 완료 영역을 도시하는 도면이다.
본 발명의 도포 장치와 관련되는 실시예에 관하여, 도면을 이용하여 설명한다.
도 1은 도포 장치의 일 실시예를 도시하는 상면도이고, 도 2는 도포 장치의 측면도, 도 3은 도포 장치의 정면도이다.
도 1 ~ 도 3에 있어서, 도포 장치(1)는, 유리 등의 기판(W) 상에 레지스트액 등의 도포액을 도포하는 것에 의하여, 기판(W) 상에 도포막을 형성하는 것이다. 이 도포 장치(1)는, 기판 반송로(2)와 기판 반송부(3)와 도포 유닛(4)를 구비하고 있고, 기판 반송로(2) 상의 기판(W)을 기판 반송부(3)에 의하여 이동시키면서 도포 유닛(4)으로부터 도포액을 토출하는 것에 의하여, 기판(W) 상에 도포막을 형성할 수 있도록 되어 있다.
덧붙여, 이하의 설명에서는, 기판(W)이 반송되는 반송 방향을 X축 방향으로 하고, 이것과 수평면 상에서 직교하는 방향을 Y축 방향, X축 방향 및 Y축 방향의 쌍방에 직교하는 방향을 Z축 방향으로 하여 설명을 진행하는 것으로 한다.
기판 반송로(2)는, X축 방향으로 분할하여 설치되어 있고, 상류 측으로부터, 상류 측 서브 반송로(21), 메인 반송로(22) 및 하류 측 서브 반송로(23)를 가지고 있다. 이러한 각 스테이지 각각은, 기대(基臺, 24) 상에 평판상(平板狀)의 스테이지 본체(20)를 가지고 있고, 이 스테이지 본체(20)에, 미세한 분출 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 그리고, 분출 구멍의 각각과 컴프레서(compressor, 도시하지 않음)가 배관으로 접속되어 있고, 컴프레서를 작동시키는 것에 의하여 분출 구멍으로부터 압축 공기를 분사할 수 있도록 되어 있다. 이것에 의하여, 분출 구멍으로부터 압축 공기가 분사된 상태로 기판(W)이 스테이지 본체(20)에 재치되면, 기판(W)과 스테이지 본체(20)의 표면에 공기층이 형성되어, 스테이지 본체(20)의 표면으로부터 기판(W)을 부상할 수 있도록 되어 있다.
또한, 스테이지 본체(20)에는, 공기를 흡인하는 흡인 구멍(도시하지 않음)이 적소에 형성되어 있고, 이 흡인 구멍과 진공 펌프(도시하지 않음)가 배관으로 접속되어 있다. 그리고, 진공 펌프를 작동시키면, 흡인 구멍에 흡인력이 발생하여, 분출 구멍으로부터 분사된 공기가 흡인되도록 되어 있다. 즉, 컴프레서와 진공 펌프를 제어하는 것에 의하여, 이 분출 구멍으로부터 분출되는 압축 공기와, 흡인 구멍에 발생하는 흡인력이 밸런스를 잡기 때문에, 기판(W)이 스테이지 본체(20)의 표면으로부터 일정 높이에 수평의 자세로 부상시킬 수 있도록 되어 있다.
덧붙여, 메인 반송로(22)와 상하 서브 반송로(21, 23)는, 부상 높이 정도(精度)가 다르다. 즉, 메인 반송로(22)에서는, 분출 구멍에 있어서의 압축 공기의 분사량의 불균형이, 상하 서브 반송로(21, 23)보다도 작게 되어 있다. 이것에 의하여, 메인 반송로(22) 상에 부상하는 기판(W)의 부상 높이는, 서브 반송로(21, 23)에 비하여, 기판(W) 전체에 걸쳐 균일 높이로 유지할 수 있도록 되어 있다.
또한, 기판 반송로(2)의 스테이지 본체(20)는, 그 Y축 방향 치수가 기판(W)의 Y축 방향 치수보다도 작게 형성되어 있고, 기판 반송로(2) 상에 기판(W)을 재치하면, 기판 반송로(2)로부터 기판(W)의 Y축 방향 단부가 비어져 나온 상태로 된다. 이 비어져 나온 부분을 후술의 기판 반송부(3)로 파지(把持)하는 것에 의하여, 기판(W)을 반송할 수 있도록 되어 있다.
기판 반송부(3)는, 기판(W)을 기판 반송로(2)를 따라 반송하는 것이며, 반송 본체부(31)와 기판 파지부(32)를 가지고 있다. 반송 본체부(31)는, 기판 반송로(2)를 따라 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 기판 반송로(2)의 Y축 방향 양측에는, 스테이지 본체(20)의 배열 방향(X축 방향)을 따라 기대(33)가 배치되어 있고, 이 기대(33) 상을 반송 본체부(31)가 X축 방향을 따라 이동할 수 있도록 되어 있다. 즉, 기대(33) 상에는, X축 방향으로 연장되는 레일(34)이 배치되어 있고, 반송 본체부(31)가 레일(34) 상을 슬라이드 가능하게 취부되어 있다. 그리고, 반송 본체부(31)에는 리니어 모터(35)가 취부되어 있고, 이 리니어 모터(35)를 구동 제어하는 것에 의하여, 반송 본체부(31)가 X축 방향으로 이동하여, 임의의 위치에서 정지할 수 있다. 덧붙여, 반송 본체부(31)는, Y축 방향 양측에 2대 설치되어 있고, 리니어 모터(35)의 구동 시에는, 이러한 2대의 위치 관계가 유지된 채로 이동할 수 있도록 설정되어 있다.
또한, 기판 파지부(32)는 기판(W)을 파지하는 것이며, 반송 본체부(31)에 취부되어 있다. 즉, 기판 파지부(32)는, 반송 본체부(31)로부터 기판 반송로(2) 측으로 돌출하여 취부되어 있고, 그 돌출량은, 기판 파지부(32)의 상면(上面)이 기판 반송로(2)에 재치된 기판(W)의 이면과 대면하는 치수로 설정되어 있다. 그리고, 기판 파지부(32)의 상면에는, 흡인 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 이 흡인 구멍이 진공 펌프에 접속되어 있다. 이것에 의하여, 진공 펌프를 작동시키면, 흡인 구멍에 흡인력이 발생하여, 기판 반송로(2)에 재치된 기판(W)의 비어져 나온 부분이 기판 파지부(32)의 상면에 흡착된다. 따라서, 이 상태로 리니어 모터(35)를 구동 제어하여 반송 본체부(31)를 이동시키는 것에 의하여, 기판(W)이 기판 반송로(2)를 따라 반송되고, 임의의 위치에서 정지시킬 수 있다. 즉, 상류로부터 기판(W)이 공급될 때에는, 기판 파지부(32)가 상류 측 서브 반송로(21)에 대기하고 있고, 기판(W)이 기판 반송로(2)에 재치되면, 흡인 구멍에 흡인력을 발생시켜 기판 파지부(32)에 기판(W)을 흡착시키는 것에 의하여 기판(W)이 파지된다. 그리고, 도포 동작 시에는, 기판(W)을 메인 반송로(22)까지 반송하고, 기판(W) 배출 시에는, 기판(W)을 하류 측 서브 반송로(23)까지 반송하여, 배출 동작 완료까지 그 위치에서 정지할 수 있도록 되어 있다.
또한, 도포 유닛(4)은 기판(W) 상에 도포액을 토출하는 것이고, 본 실시예에서는, 기판 반송로(2)의 X축 방향 거의 중앙 위치에 배치되어 있다. 도포 유닛(4)은, 문형(門型) 형상의 프레임부(41)와, 이 프레임부(41)에 취부된 구금부(42)를 가지고 있고, 구금부(42)가 메인 반송로(22)에 대향하는 상태로 프레임부(41)에 고정하여 설치되어 있다.
프레임부(41)는 구금부(42)를 지지하는 것이며, 문형 형상으로 형성되어 있다. 즉, 프레임부(41)는, 바닥면에 고정되는 2개의 지주(支柱, 41a)와, 이러한 지주(41a)에 가설(架設)되는 빔 부재(41b)를 가지고 있고, 메인 반송로(22)의 양측에 지주(41a)가 고정되는 것에 의하여, 빔 부재(41b)가 메인 반송로(22)를 걸치는 상태로 설치되어 있다. 그리고, 빔 부재(41b)에는 구금부(42)가 설치되어 있고, 구금부(42)가 메인 반송로(22)를 Y축 방향으로 가로지르는 상태로 취부되어 있다.
빔 부재(41b)는 일 방향으로 연장되는 봉상 부재이고, 서보 모터(servo-motor)로 구동되는 볼 나사 기구에 의하여 지주(41a)에 대하여 승강 동작 가능하게 취부되어 있다. 이 빔 부재(41b)의 승강 동작에 의하여, 구금부(42)가 빔 부재(41b)와 함께 승강 동작할 수 있고, 기판 반송로(2)에 대하여 접리(接離) 가능하게 동작할 수 있도록 되어 있다. 본 실시예에서는, 구금부(42)의 높이 위치가, 도포 동작을 행하는 도포 동작 위치와, 구금부(42)의 떼어냄 작업을 행하는 떼어냄 위치로 조절할 수 있도록 되어 있다.
구금부(42)는 도포액을 기판(W) 상에 토출하는 것이다. 즉, 구금부(42)는, 일 방향으로 연장되는 대략 직방체 형상을 가지고 있고, 공급되는 도포액을 모으는 챔버와 일 방향으로 연장되는 형상으로 형성된 슬릿 노즐(42a)을 가지고 있다. 이 챔버에는, 도포액을 공급하는 펌프가 배관을 통하여 접속되어 있고, 펌프를 작동시키는 것에 의하여 챔버에 도포액이 공급되는 것과 함께 챔버 내의 도포액이 슬릿 노즐(42a)을 통하여 토출되도록 되어 있다. 또한, 구금부(42)는, 슬릿 노즐(42a)이 기판 반송로(2) 측에 대향하는 상태로 빔 부재(41b)에 취부되어 있다. 이것에 의하여, 메인 반송로(22)에 기판(W)이 공급된 상태로 펌프를 작동시키면, 챔버 내의 도포액이 슬릿 노즐(42a)을 통하여 기판(W)에 토출된다. 그리고, 펌프를 작동시키면서, 기판 반송부(3)에 의하여 기판(W)을 하류 측으로 반송시키는 것에 의하여, 기판(W) 상에 균일 두께의 도포막이 형성되도록 되어 있다.
또한, 구금부(42)는, 빔 부재(41b)에 착탈 가능하게 취부되어 있다. 본 실시예에서는, 구금부(42)의 상면 부분과 빔 부재(41b)가 복수의 볼트로 체결되는 것에 의하여 취부되어 있다. 따라서, 구금부(42)의 탈착은, 작업자가 볼트를 푸는 것에 의하여 빔 부재(41b)로부터 구금부(42)를 떼어낼 수 있고, 청소 후의 구금부(42)를 볼트로 체결시키는 것에 의하여 빔 부재(41b)에 구금부(42)를 장착할 수 있다.
또한, 본 도포 장치(1)는, 구금 이재 유닛(5)을 더 구비하고 있다. 구금 이재 유닛(5)은, 구금부(42)의 탈착 작업을 행할 때, 구금부(42)를 재치하여 적당한 위치에 이동시키기 위한 것이다. 구금 이재 유닛(5)은 문형 형상을 가지고 있고, 2개의 다리부(51)와 이러한 다리부(51)를 연결하는 구금 재치부(52)를 가지고 있다. 이러한 다리부(51)는, 기판 반송로(2)의 양측에 배치된 기대(33) 상에 취부되어 있다. 구체적으로는, 기대(33) 상에는, 기판 반송부(3)의 레일(34)의 외측에 X축 방향으로 연장되는 레일(53)이 배치되어 있고, 다리부(51)가 레일(53) 상을 슬라이드 가능하게 취부되어 있다. 그리고, 다리부(51)에는 리니어 모터(도시하지 않음)가 취부되어 있고, 이 리니어 모터를 구동 제어하는 것에 의하여, 구금 이재 유닛(5)이 X축 방향으로 이동하여, 임의의 위치에서 정지할 수 있다. 그리고, 구금 재치부(52)의 높이 위치가 기판 반송로(2)와 도포 유닛(4)의 구금부(42)와의 사이에 위치하도록 설정되어 있기 때문에, 구금 이재 유닛(5)이 X축 방향으로 이동할 때, 구금 재치부(52)가 기판 반송로(2)나 구금부(42)에 충돌하는 일 없이 레일(53) 상을 자유롭게 이동할 수 있다.
또한, 구금 이재 유닛(5)은, 구금 수취 위치와 구금 교환 위치로 이동할 수 있다. 구금 수취 위치란, 도포 유닛(4)의 구금부(42)를 받는 위치이며, 도포 유닛(4)으로부터 떼어내진 구금부(42)가 구금 이재 유닛(5)에 재치할 수 있는 위치이다. 본 실시예에서는, 도포 유닛(4)이 고정되어 있는 위치이며, 도포 유닛(4)의 구금부(42)와 구금 이재 유닛(5)의 구금 재치부(52)가 서로 대향하는 위치에 설정되어 있다. 이것에 의하여, 구금부(42)를 받을 때, 작업자가 볼트를 느슨해지게 하는 것에 의하여 도포 유닛(4)으로부터 구금부(42)를 떼어내면, 그대로 구금부(42)를 구금 재치부(52)에 재치할 수 있다.
또한, 구금 교환 위치는, 구금 이재 유닛(5)에 재치된 구금부(42)를 새로운 구금부(42)로 교환하기 위한 위치이다. 구금 교환 위치는, 후술의 작업 스페이스 형성부(70)에서 구금부의 교환 작업이 가능한 범위에 설정되어 있다. 즉, 형성된 작업 스페이스로부터 작업자의 수작업에 의하여 구금 이재 유닛(5)으로부터 구금부(42)를 작업 스페이스에 내려놓을 수 있는 범위이다. 본 실시예에서는, 작업 스페이스 형성부(70) 상에 설치되어 있다. 구체적으로는, 작업 스페이스 형성부(70)에 구금 이재 유닛(5)이 정지한 상태로, 작업 스페이스 형성부(70)에 작업자가 침입하여, 체인 블록 등을 이용하여 구금 이재 유닛(5)으로부터 구금부(42)를 내려놓는 것과 함께, 새로운 구금부(42)를 구금 이재 유닛(5)에 탑재하는 것에 의하여 구금부(42)의 교환 작업이 행하여진다.
또한, 구금 이재 유닛(5)의 구금 재치부(52)는, 구금부(42)를 보지(保持)하는 구금 지지부(54)를 가지고 있다. 본 실시예에서는, 도 1, 3, 4에 도시하는 바와 같이, 평판 부재 상에 2개의 구금 지지부(54)를 가지고 있고, 이러한 2개의 구금 지지부(54)에 의하여 구금부(42)의 양단(兩端) 부분에 당접(當接, 부딪는 상태로 접함)하여 구금부(42)를 수평 상태로 보지할 수 있도록 되어 있다. 이러한 구금 지지부(54)는, 구금부(42)의 저면(底面)을 받는 구금 받이부(541)와, 구금부(42)의 측면을 누르는 구금 협지부(542)를 가지고 있다. 구금 받이부(541)는, 구금부(42)의 저면에 당접하는 것에 의하여, 재치되는 구금부(42)를 하측으로부터 받는 것이다. 이 구금 받이부(541)는, 구금부(42)의 저면, 즉, 구금부(42)의 슬릿 노즐(42a)이 형성되는 면에 당접하는 당접부(541a)를 가지고 있고, 이 당접부(541a)에는, 노치(notch) 홈(541b)이 형성되어 있다. 즉, 구금 받이부(541)에 구금부(42)를 재치하여 구금부(42)의 저면이 당접부(541a)에 당접한 경우에, 슬릿 노즐(42a)의 위치와 노치 홈(541b)의 위치를 일치시키는 것에 의하여, 슬릿 노즐(42a)이 노치 홈(541b)으로 들어가, 슬릿 노즐(42a)이 당접부(541a)에 당접하여 손상되는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다.
또한, 구금 받이부(541)에는 평판 부재 측에 용수철 기구(55)를 가지고 있고, 구금 받이부(541)는, 이 용수철 기구(55)에 의하여 탄성적으로 Z 방향으로 변위할 수 있다. 이것에 의하여, 만일 구금 받이부(541)에 구금부(42)가 힘차게 당접한 경우에서도, 그 충격을 흡수할 수 있고, 구금부(42)의 저면에 당접부(541a)가 당접한 것에 의하여 손상을 받는 것을 방지할 수 있도록 되어 있다. 덧붙여, 구금 지지부(54)에는 센서가 설치되어 있고, 구금 받이부(541)의 하강 위치가 일정값을 넘으면 반응하도록 되어 있다. 이것에 의하여, 구금 지지부(54)에 구금부(42)가 재치되었는지 여부를 판단할 수 있도록 되어 있다.
또한, 구금 협지부(542)는, X축 방향 양측에 패드부(542a)를 가지고 있고, 이 패드부(542a)가 평판 부재의 중앙 부분을 향하여 돌출하는 파지 위치와, 중앙 부분으로부터 퇴피하는 퇴피 위치로 진퇴 가능하게 구성되어 있다. 즉, 구금 받이부(541)에 구금부(42)가 재치되어 있지 않는 상태에서는, 패드부(542a)가 퇴피 위치에 위치하여 대기하고 있고, 구금 받이부(541)에 구금부(42)가 재치되면, 패드부(542a)가 파지 위치로 돌출하는 것에 의하여, 구금부(42)의 측면에 당접하여 구금부(42)를 협지한다. 이것에 의하여, 도포 유닛(4)으로부터 떼어내진 구금부(42)가 구금 지지부(54)에 의하여 보지된다.
덧붙여, 구금 재치부(52)는, Y축 방향으로 연장되는 LM 가이드(521)에 탑재되어 있어, Y축 방향으로 변위할 수 있도록 되어 있다. 이것에 의하여, 2개의 구금 지지부(54)가 구금부(42)의 양단 부분에 위치하도록 조절할 수 있게 되어 있다.
또한, 기판 반송로(2)는, 도 5, 도 6에 도시하는 바와 같이, 작업 스페이스 형성부(70)를 가지고 있다. 여기서, 도 5는 작업 스페이스 형성부를 측면으로부터 본 도면이며, (a)는 작업 스페이스가 형성되기 전의 상태를 도시하는 도면이고, (b)는 작업 스페이스가 형성된 상태를 도시하는 도면이다. 그리고, 도 6은 그것들을 상면으로부터 본 도면이다. 이 작업 스페이스 형성부(70)는, 구금부(42)를 교환할 때에 작업자가 침입하는 스페이스를 형성하기 위한 것이다. 이것에 의하여, 도포 방향(X축 방향)으로 연속적으로 연장되는 기판 반송로(2)여도 구금부(42)의 교환 작업에 필요한 스페이스를 형성하여, 교환 작업을 용이하게 할 수 있다.
작업 스페이스 형성부(70)는, 기판 반송로(2)의 일부를 제거하는 것에 의하여 작업 스페이스(S)를 형성한다. 이 작업 스페이스 형성부(70)는, 기판 반송로(2)의 기대(24)가 없는 부분에 설치되어 있고, 이 부분에 있어서의 스테이지 본체(20)(분리 스테이지부(25))가 다른 스테이지 본체(20)로부터 독립하여 설치되어 있다. 구체적으로는, 도 7에 도시하는 바와 같이, 작업 스페이스 형성부(70)는, 분리 스테이지부(25)와 개폐 실린더부(71)와 승강 실린더부(72)를 가지고 있고, 개폐 실린더부(71)와 승강 실린더부(72)가 동작하는 것에 의하여, 분리 스테이지부(25)의 자세를 수평 상태(도 7(a))로부터 수직 상태(도 7(b))로 변화시켜 작업 스페이스(S)가 형성되도록 되어 있다.
승강 실린더부(72)는 직동형(直動型)의 실린더이며, 에어압에 의하여 신축할 수 있다. 승강 실린더부(72)는 분리 스테이지부(25)를 들어 올리는 것이며, 본체부(721)와 선단부(722)를 가지고 있다. 그리고, 본체부(721)가 하류 측의 기대(24)에 취부되어 있고, 선단부(722)가 분리 스테이지부(25)의 이면에 취부되어 있다. 구체적으로는, 승강 실린더부(72)의 선단부(722)에는, 선단부(722)의 축 방향과 수직을 이루는 방향으로 회전 지지 가능한 조인트부(723)가 설치되어 있고, 이 조인트부(723)와 분리 스테이지부(25)의 하류 측의 이면 단부가 연결되어 있다. 따라서, 승강 실린더부(72)는, 수축한 상태로 수평 자세의 분리 스테이지부(25)를 지지하고 있고, 그 상태로부터 승강 실린더부(72)를 작동시키면(연신(延伸)시키면), 분리 스테이지부(25)가 들어 올려져 자세 변화한다. 즉, 분리 스테이지부(25)의 이면 단부로부터 들어 올려지는 것에 의하여, 분리 스테이지부(25)의 자세가 수평 상태로부터 비스듬한 자세로 변화하지만, 선단부(722)의 조인트부(723)가 회전을 허용하는 것에 의하여 분리 스테이지부(25)는 부드럽게 자세 변화할 수 있고, 한층 더 승강 실린더부(72)를 연신시키는 것에 의하여 최종적으로 수직 자세로 변화할 수 있다.
개폐 실린더부(71)는, 승강 실린더부(72)와 마찬가지로 직동형의 실린더이며, 본 실시예에서는 에어압에 의하여 신축할 수 있다. 개폐 실린더부(71)는, 기판 반송로(2)의 하류 측의 기대(24)와 분리 스테이지부(25)에 연장된 상태로 연결되어 있다. 구체적으로는, 개폐 실린더부(71)는, 본체부(711)와 선단부(712)를 가지고 있고, 본체부(711)가 기판 반송로(2)의 하류 측의 기대(24)에 연결되고, 선단부(712)가 분리 스테이지부(25)에 연결되어 있다. 이 본체부(711)에는, 본체부(711)의 축 방향과 수직을 이루는 방향으로 회전 지지 가능한 조인트부(713)가 설치되어 있고, 이 조인트부(713)와 하류 측의 기대(24)가 연결되어 있다. 이것에 의하여, 본체부(711)는, 조인트부(713)를 중심으로 하여 반송 방향으로 요동(搖動)할 수 있도록 되어 있다. 또한, 선단부(712)에는, 선단부(712)의 축 방향과 수직을 이루는 방향으로 회전 지지 가능한 조인트부(714)가 설치되어 있고, 이 조인트부(714)와 분리 스테이지부(25)의 이면이 연결되어 있다. 즉, 분리 스테이지부(25)는, 조인트부(714)를 중심으로 하여 자세 변화할 수 있도록 되어 있다.
따라서, 분리 스테이지부(25)가 수평 상태(도 5(a), 도 7(a))인 경우에 있어서, 승강 실린더부(72) 및 개폐 실린더부(71)를 작동시키면, 승강 실린더부(72)가 연장되는 것과 함께, 수평 자세의 분리 스테이지부(25)를 연장된 상태로 지지하는 개폐 실린더부(71)가 수축한다. 이 때, 분리 스테이지부(25)의 하류 측 단부가 승강 실린더부(72)와 회전 가능하게 연결되어 있기 때문에, 승강 실린더부(72)가 연장되고, 개폐 실린더부(71)가 수축하는 것에 의하여, 분리 스테이지부(25)가 개폐 실린더부(71)의 선단부(712)의 조인트부(714)를 중심으로 회전한다. 그리고, 이것에 수반하여 승강 실린더부(72)가 연장되는 것에 의하여, 개폐 실린더부(71)는 본체부(711)의 조인트부(713)를 중심으로 요동하는 것에 따라, 개폐 실린더부(71)의 기울기가 커지고, 분리 스테이지부(25)의 자세가 수평 상태로부터 접혀 수직 상태로 변화한다. 이것에 의하여, 작업 스페이스 형성부(70)에는, 기대(24)가 존재하지 않는 작업 스페이스(S)가 형성된다(도 5(b), 도 7(b)).
그리고, 상술한 바와 같이, 구금 교환 위치는, 작업 스페이스 형성부(70) 상에 설치되어 있고, 이 작업 스페이스 형성부(70)에 형성된 작업 스페이스(S)에 의하여, 구금부(42)의 교환이 용이하게 행하여진다. 구체적으로는, 작업 스페이스 형성부(70)에 작업 스페이스(S)가 형성되면, 구금 이재 유닛(5)이 구금 교환 위치, 즉, 작업 스페이스(S) 상에 정지한다. 그리고, 그 작업 스페이스(S)에 작업자가 침입하여, 구금 이재 유닛(5)에 재치된 구금부(42)를 떼어내고, 체인 블록 등을 이용하여 구금부(42)를 매단다. 그 때, 구금 대차(臺車)가 작업 스페이스(S)에 반입되어 있고, 체인 블록으로 매달린 구금부(42)가 구금 대차 상에 재치된 후, 소정의 장소로 운반된다. 그리고, 새로운 구금부(42)를 탑재한 구금 대차가 작업 스페이스(S)에 반입되고, 새로운 구금부(42)가 체인 블록을 이용하여 구금 이재 유닛(5)에 탑재된다. 이와 같이 하여, 기판 반송로(2)가 일 방향으로 연속하여 형성되어 있는 경우여도, 작업 스페이스 형성부(70)에 의하여 형성된 작업 스페이스(S)를 이용하여, 구금부(42)의 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다.
덧붙여, 이 작업 스페이스 형성부(70)는, 기판 반송로(2)에 설치되어 있지만, 바람직하게는, 메인 반송로(22)와 도포 완료 영역(α)을 제외한 기판 반송로(2), 더 바람직하게는, 도포 개시 영역(β)과 도포 완료 영역(α)을 제외한 기판 반송로(2)에 설치하는 것이 바람직하다. 여기서, 도 8은 기판 반송로(2) 상을 반송되는 기판(W)에 대하여, 도포 유닛(4)에 의하여 도포액이 도포되기 전(실선)과 도포된 후(2점쇄선)를 도시하는 도면이다. 즉, 도 8에 있어서의 실선으로 나타내지는 부분이 도포 직전에 기판(W)이 점유하는 도포 개시 영역(β)이고, 2점쇄선으로 나타내지는 부분이 도포가 끝난 직후에 기판(W)이 점유하는 도포 완료 영역(α)이다. 작업 스페이스 형성부(70)는, 이 도 8에 도시하는 메인 반송로(22)와 도포 완료 영역(α)을 제외한 기판 반송로(2), 또는, 도포 개시 영역(β)과 도포 완료 영역(α)을 제외한 기판 반송로(2)에 설치하는 것이 바람직하다.
즉, 작업 스페이스 형성부(70)는, 기판 반송로(2)의 일부를 제거하여 형성되는 것이기 때문에, 기판 반송로(2)에 설치하는 것에 의하여, 약간이지만 평탄성에 영향을 줄 우려가 있다. 즉, 분리 스테이지부(25)가 수평 자세여도 분리 스테이지부(25)와 다른 스테이지 본체(20)와의 이음매에 단차가 형성되어 평탄성을 해칠 우려가 있다. 이 단차가 기판 상에 형성된 도포막의 건조 상태에 영향을 주는 정도이면, 도포막의 건조 얼룩의 원인으로 된다. 따라서, 적어도 도포막이 형성된 후의 영역, 즉, 메인 반송로(22)와 도포 완료 영역(α)을 제외하는 기판 반송로(2)에 작업 스페이스 형성부(70)를 설치하는 것이 건조 얼룩을 억제하는 점에서 바람직하다. 또한, 이음매에 형성되는 단차가 도포 상태에 영향을 미칠 우려도 있다. 즉, 평탄성이 유지되지 않은 채 도포를 행하면, 기판 상에 형성되는 도포막에 영향을 주어, 도포 얼룩의 원인이 된다. 따라서, 도포가 개시되는 영역으로부터 도포가 완료할 때까지의 영역, 즉, 도포 개시 영역(β)과 도포 완료 영역(α)을 제외한 기판 반송로(2)에 작업 스페이스 형성부(70)를 설치하는 것이 도포 얼룩을 억제하는 점에서 바람직하다. 그리고, 도포 개시 영역(β)과 도포 완료 영역(α)을 제외한 기판 반송로(2)에 작업 스페이스 형성부(70)를 설치하는 것에 의하여, 건조 얼룩에 관해서도 함께 억제할 수 있다.
다음으로, 본 실시예의 도포 장치(1)에 있어서의 구금부(42)의 교환 동작에 관하여 설명한다.
기판 반송부(3)에 의하여 기판(W)이 반송되면서, 도포 유닛(4)의 구금부(42)로부터 도포액이 토출되는 것에 의하여, 기판(W) 상에 도포막이 형성된다. 이와 같은 도포 동작은, 기판(W)이 소정 매수에 달한 경우나, 종류가 다른 도포액으로 도포막을 형성하는 경우에 일시적으로 정지되고, 구금부(42)의 교환 동작이 개시된다.
우선, 기판 반송로(2)에 작업 스페이스(S)가 형성된다. 구체적으로는, 승강 실린더부(72)와 개폐 실린더부(71)를 작동시키는 것에 의하여, 수평 자세의 분리 스테이지부(25)를 접어, 수직 자세로 변화시킨다. 이것에 의하여, 기판 반송로(2)의 일부에 작업자가 침입할 수 있는 정도의 작업 스페이스(S)가 형성된다.
다음으로, 도포 유닛(4)의 구금부(42)의 떼어냄 동작이 행하여진다. 구체적으로는, 리니어 모터를 구동 제어하여, 구금 이재 유닛(5)을 도포 유닛(4)의 위치, 즉 구금 수취 위치로 이동시킨다. 이것에 의하여, 구금부(42)와 구금 재치부(52)가 대향하는 상태가 된다.
다음으로, 구금부(42)를 구금 재치부(52)에 가(假)재치시킨다. 구체적으로는, 구금부(42)를 하강시켜 구금부(42)의 높이 위치를 구금 떼어냄 위치로 설정한다. 그리고, 구금부(42)를 구금 지지부(54)에 당접시킨다. 즉, 구금부(42)를 하강시키는 것에 의하여, 구금부(42)의 슬릿 노즐(42a)이 노치 홈(541b)에 위치한 상태로 구금 받이부(541)의 당접부(541a)에 구금부(42)의 저면이 당접한다. 당접한 후, 한층 더 구금부(42)를 하강시키는 것에 의하여, 용수철 기구(55)가 수축하여 구금 받이부(541)가 하강한다. 여기서, 구금부(42)의 하강이 일정 높이 위치를 넘으면 구금 지지부(54)의 센서가 반응하는 것에 의하여 구금부(42)가 구금 지지부(54)에 당접한 것이 판단되어, 구금부(42)의 하강이 정지된다.
구금부(42)의 하강이 정지되면, 작업자에 의하여 구금부(42)를 떼어내는 것이 행하여진다. 구체적으로는, 볼트를 느슨해지게 하는 것에 의하여 빔 부재(41b)로부터 구금부(42)를 떼어낸다. 이 때, 구금부(42)는, 구금 재치부(52)에 가재치되어 있기 때문에, 볼트를 느슨해지게 하여도 구금부(42)가 낙하하는 것을 방지할 수 있다.
다음으로, 구금부(42)를 떼어내는 것이 완료하면, 도포 유닛(4)의 빔 부재(41b)를 상승시키고, 한편으로, 구금 협지부(542)로 구금부(42)의 측면을 협지시키는 것에 의하여, 구금부(42)를 구금 재치부(52) 상에서 완전하게 보지시킨다. 그리고, 구금 이재 유닛(5)을 이동시켜 구금 교환 위치, 본 실시예에서는 작업 스페이스 형성부(70) 상에 정지시킨다.
다음으로, 구금부(42)의 교환 작업이 행하여진다. 구체적으로는, 체인 블록에 의하여 구금 이재 유닛(5)에 탑재된 구금부(42)를 매다는 것에 의하여 구금부(42)를 떼어낸다. 그리고, 형성된 작업 스페이스(S)에 구금 대차를 반입하여, 체인 블록에 매달린 구금부(42)를 구금 대차에 내려놓아 탑재한다. 탑재된 구금부(42)는, 구금 대차에 의하여 소정의 장소까지 운반되고, 새로운 구금부(42)가 구금 대차에 의하여 작업 스페이스(S)로 운반된다. 그 후, 새로운 구금부(42)를 체인 블록에 의하여 매달고, 구금 이재 유닛(5)에 실어, 구금 이재 유닛(5)을 구금 수취 위치까지 이동시키고, 새로운 구금부(42)를 도포 유닛(4)에 탑재하는 것에 의하여, 구금부(42)의 교환 작업은 완료한다.
이와 같이, 상기 실시예에 있어서의 도포 장치에 의하면, 기판 반송로(2)가 일 방향으로 연속하여 형성되어 있는 경우여도, 작업 스페이스 형성부(70)에 의하여 형성된 작업 스페이스(S)를 이용하여, 구금부(42)의 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다. 그리고, 기판 반송로(2)를 제거하는 구성인 분리 스테이지부(25)를 메인 반송로(22)와 도포 완료 영역(α)을 제외한 영역, 혹은, 도포 개시 영역(β)과 도포 완료 영역(α)을 제외한 영역에 설치하는 것에 의하여, 작업 스페이스 형성부(70)를 설치한 것에 의한 도포막의 건조 얼룩이나 도포 얼룩의 영향을 없앨 수 있다.
또한, 상기 본 실시예에서는, 구금 교환 위치를 작업 스페이스 형성부(70) 상에 형성하는 경우의 예에 관하여 설명하였지만, 작업 스페이스 형성부(70)에서 구금부(42)의 교환 작업이 가능한 범위에 설정되어 있으면 된다. 구체적으로는, 형성된 작업 스페이스(S)로부터 작업자가 작업할 수 있는 위치에 설정되어 있으면 되고, 예를 들어, 작업 스페이스 형성부(70)로부터 보아, 기판 반송로(2)의 도포 유닛 측 단부에 설치할 수 있다. 다만, 상기 실시예와 같이 구금 교환 위치를 작업 스페이스 형성부(70) 상에 설치하는 것이, 이것들을 기판 반송 방향에 벗어난 위치에 설치하는 경우에 비하여, 구금 이재 유닛(5)으로부터 구금부(42)를 작업 스페이스(S)로 이동시키는 기재(機材)가 필요 없는 점에서 바람직하다.
또한, 상기 실시예에서는, 기판 반송로(2)의 일부를 접는 것에 의하여, 기판 반송로(2)의 일부를 제거하는 예에 관하여 설명하였지만, 기판 반송로(2)의 일부를 기판 반송 방향이나 기판 반송 방향과 직교하는 방향으로 슬라이드시켜 기판 반송로(2)의 일부를 제거하는 것이어도 무방하다.
또한, 상기 실시예에서는, 기판 반송로(2)에 관하여, 에어를 분출시키는 것에 의한 부상 반송로인 예에 관하여 설명하였지만, 이것에 한정되지 않고, 초음파 진동을 이용하여 부상시키는 부상 반송로여도 무방하고, 단순히 롤러 컨베이어를 이용한 기판 반송로(2)여도 무방하다.
1 : 도포 장치
2 : 기판 반송로
3 : 기판 반송부
4 : 도포 유닛
5 : 구금 이재 유닛
20 : 스테이지 본체
25 : 분리 스테이지부
42 : 구금부
70 : 작업 스페이스 형성부
71 : 개폐 실린더부
72 : 승강 실린더부
S : 작업 스페이스

Claims (5)

  1. 일 방향으로 연장되는 기판 반송로와,
    상기 기판 반송로에 기판을 대면시킨 상태로 기판 반송로가 연장되는 방향을 따라 기판을 반송하는 기판 반송부와,
    도포액을 토출하는 구금부(口金部)가 착탈(着脫) 가능하게 지지되는 것과 함께, 상기 구금부가 상기 기판 반송로에 대향한 상태로 고정하여 설치된 도포 유닛
    을 구비하고, 상기 기판 반송로 상의 기판을 상기 기판 반송부에 의하여 상기 도포 유닛에 대하여 이동시키면서 상기 구금부로부터 도포액을 토출하는 것에 의하여, 기판 상에 도포막을 형성하는 도포 장치이고,
    상기 구금부를 재치(載置)하는 것이며, 도포 유닛에 취부된 구금부와 대향하는 구금 수취 위치와, 상기 구금부를 교환하는 구금 교환 위치로 이동 가능한 구금 이재(移載) 유닛을 더 구비하고,
    상기 기판 반송로는, 작업 스페이스 형성부를 가지고 있고, 이 작업 스페이스 형성부에 의하여, 기판 반송로의 일부가 제거되어 상기 구금부를 교환하기 위한 작업 스페이스가 형성되며, 상기 구금 교환 위치는, 상기 작업 스페이스 형성부에서 구금부의 교환 작업이 가능한 범위에 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기판 반송로는 상기 도포 유닛과 대향하는 메인 반송로를 가지고 있고, 상기 작업 스페이스 형성부는, 이 메인 반송로와, 기판에의 도포가 종료할 때에 기판이 점유하는 도포 완료 영역 이외의 영역에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 작업 스페이스 형성부는, 기판에의 도포가 개시될 때에 기판이 점유하는 도포 개시 영역과, 상기 도포 완료 영역 이외의 영역에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 작업 스페이스 형성부는, 상기 기판 반송로의 일부가 접히는 것에 의하여 작업 스페이스가 형성되는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구금 교환 위치는, 상기 작업 스페이스 형성부 상에 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
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