KR101605806B1 - 보호필름 제거장치 - Google Patents

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KR101605806B1 KR1020150072903A KR20150072903A KR101605806B1 KR 101605806 B1 KR101605806 B1 KR 101605806B1 KR 1020150072903 A KR1020150072903 A KR 1020150072903A KR 20150072903 A KR20150072903 A KR 20150072903A KR 101605806 B1 KR101605806 B1 KR 101605806B1
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Abstract

보호필름 제거장치에 관한 것으로, 보호필름이 부착된 기재가 이송되도록 설치된 컨베이어의 하부에 승강 가능하게 설치되며 상기 컨베이어에 의해 이송된 상기 기재가 진공에 의해 정지된 상태를 일시적으로 유지시키는 진공 흡착부, 상기 기재의 일측 모서리에서 분리된 상기 보호필름을 일측으로 이동시키면서 상기 기재로부터 상기 보호필름을 제거하는 필름 제거부, 상기 필름 제거부의 일측에 승강 가능하게 설치되며 상기 기재에 부착된 상기 보호필름의 모서리 부분이 분리되도록 상기 보호필름의 상면에 접촉되어 왕복 이동되는 롤러에 감긴 박리 테이프에 의해 상기 보호필름을 분리시키는 필름 분리부를를 마련하여 수 있고, 보호필름의 분리 시 물을 분사하여 정전기에 의한 기재의 손상을 방지할 수 있으며, 보호필름의 제거 수율을 높임은 물론 기재의 손상 또는 파손을 획기적으로 줄일 수 있다는 효과가 얻어진다.

Description

보호필름 제거장치{Protective Film Removal Device}
본 발명은 보호필름 제거장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정 등의 박막에 부착되어 있는 보호필름을 정전기가 발생되지 않도록 제거할 수 있는 보호필름 제거장치에 관한 것이다.
일반적으로 기재(또는 박막)에 회로패턴을 형성하기 위해서는 기판에 감광성 필름(드라이 필름)을 붙이고 노광, 현상 및 에칭 과정을 차례로 수행하여 상기 기판에 일정한 회로패턴을 형성한다.
상기 감광성 필름의 상측에는 감광물질을 보호하기 위한 보호필름이 부착되는데, 상기 보호필름은 노광 과정이 끝난 후에 제거되어야 상기 기판의 현상 및 에칭 과정을 수행할 수 있다. 종래에는 노광 과정 후에 수작업으로 상기 보호필름을 제거하거나, 상기 기판에 에어를 불어넣어 상기 보호필름을 박리하였다.
하지만 수작업에 의해 상기 보호필름을 제거하는 경우에는 경제성이 저하됨은 물론 쉽게 찢어지는 보호필름의 일부가 상기 감광성 필름의 상면에 잔존하게 되어 제대로 현상 및 에칭 과정이 수행되지 않아 상기 기판에 최종적으로 형성된 회로패턴에 불량이 발생한다.
또한 상기 기판에 에어를 불어넣어 상기 보호필름을 제거하는 방법 역시 상기 보호필름의 일부가 상기 감광성 필름의 상면에 잔존하여 상기 기판에 형성된 회로패턴에 불량이 발생하고, 에어를 불어넣어 주는 과정에서 분진이 발생하여 상기 분진이 상기 기판을 오염시키거나 파손하게 된다.
한편 근래에는 모니터, 핸드폰, 터치 스크린 등의 두께를 얇게 하기 위하여 액정 등의 기재(박막) 두께를 매우 얇은 두께로 형성하고 있다.
이러한 기재의 두께는 0.3㎜ 이상의 두께를 가지고 있었으나, 두께를 보다 얇게 하기 위하여 0.15~0.3㎜의 두께로 형성되고 있으며, 기재에 부착된 보호필름을 제거할 때 기재의 파손 또는 손상이 자주 발생하고 있다.
즉, 기재의 두께가 얇아짐에 따라 기재의 강도는 더욱 낮아지게 되고, 기재의 강도가 낮아짐에 따라 보호필름의 분리 시 기재의 파손이 심하게 발생되고 있으며, 보호필름의 제거 시 정전기에 의한 기재의 손상 또한 빈번하게 발생되고 있다.
이에 따라 대략 0.15~0.3㎜의 두께를 갖는 기재의 보호필름을 보다 안정되게 제거할 수 있는 제거장치의 필요성이 대두되고 있다. 또한 기재로부터 제거되는 보호필름에 의해 기재의 손상을 방지할 수 있는 제거장치를 사용하여 수율을 높일 수 있는 제거장치의 필요성이 대두되고 있다.
한편 본 출원인은 "보호필름 제거장치"를 특허등록 제1135522호로 등록 받은 바 있으며, 이를 하기의 특허문헌 1로 기재한다.
예를 들어, 하기 특허문헌 1에는 '보호필름 제거장치'가 개시되어 있다.
하기 특허문헌 1에 따른 보호필름 제거장치는 외형을 형성하는 하우징과; 상기 하우징의 내부로 유입되어 보호필름이 제거된 후 외부로 배출되는 기재를 이송시키는 기재이송부와; 상기 하우징의 내부에 위치하여 보호필름을 점착시켜 제거하는 필름제거부와; 상기 필름제거부에서 제거된 보호필름을 파지하여 이송시키는 필름이송장치가 개시되어 있다.
하기 특허문헌 2에는 '필름 제거장치'가 개시되어 있다.
하기 특허문헌 2에 따른 필름 제거장치는 적어도 일면에 보호필름이 부착된 기판을 이송하는 이송부와; 상기 이송부의 연속된 상부 또는 하부에 위치하고 공기를 분사하여 상기 보호필름의 일측이 상기 기판으로부터 분리되도록 하는 블로우 장치와; 상하 운동하고, 상기 블로우 장치의 맞은편에 상기 보호필름과 일정간격 떨어진 상태로 위치하여 상기 보호필름의 분리된 상기 일측을 흡착하는 진공패드와; 이격된 원통형상의 제 1 및 제 2 회전롤러와, 상기 제 1 및 제 2 회전롤러 각각을 동시에 감싸는 폐루프형상의 벨트로 구성되어 상기 진공패드에 흡착된 상기 보호필름의 상기 일측을 잡고 서로 맞닿아 회전하는 제 1 및 제 2 회전벨트가 개시되어 있다.
대한민국 특허 등록번호 제 10-1135522 호(2012년 4월 3일 등록) 대한민국 특허 공개번호 제10-2006-0075501호(2006년 7월 4일 공개)
그러나 종래기술에 따른 보호필름 제거장치는 이송되는 기재로부터 필름을 제거할 수 있는 것으로, 두께가 얇은 기재의 보호필름을 제거하는 데 사용될 수 없는 문제점이 있었다.
이러한 보호필름 제거장치는 대략 0.1~0.4㎜의 두께를 갖는 기재로부터 보호필름을 제거하게 되면, 기재의 파손 또는 손상이 과도하게 발생될 수 있으며, 정전기 등에 의한 기재의 손상이 발생될 수 있는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 두께가 얇은 박막의 기재로부터 보호필름을 안정되게 분리시킬 수 있는 보호필름 제거장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 두께가 0.1~0.4㎜의 두께를 갖는 박막의 기재로부터 보호필름의 제거 시 기재의 파손 또는 손상을 방지할 수 있는 보호필름 제거장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 박막의 기재로부터 보호필름의 분리 시 정전기에 의한 기재의 손상을 방지할 수 있는 보호필름 제거장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 보호필름 제거장치는 보호필름이 부착된 기재가 이송되도록 설치된 컨베이어의 하부에 승강 가능하게 설치되며, 상기 컨베이어에 의해 이송되는 상기 기재를 흡착하여, 일시적으로 정지된 상태를 유지시키는 진공 진공 흡착부; 상기 기재에 부착된 상기 보호필름의 모서리 부분이 분리되도록 일시적으로 정지된 상태의 상기 보호필름 상면에 접촉되어 왕복 이동되며, 그 외면에 박리 테이프가 감긴 롤러를 구비하여 상기 기재로부터 상기 보호필름의 일측 모서리를 분리시키는 필름 분리부; 상기 기재의 일측 모서리로부터 분리된 상기 보호필름의 분리 부분과 일시적으로 결합되어, 상기 분리 부분을 타측 모서리로 이동시킴으로써 상기 기재로부터 상기 보호필름을 제거하는 필름 제거부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 필름 분리부의 일측에 설치되며 상기 보호필름의 제거 시 발생되는 정전기로부터 상기 기재의 파손 또는 손상을 방지하도록 물이 분사되는 물 분사기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 진공 흡착부는 상기 컨베이어의 하부에 설치되는 구동모터; 상기 구동모터에 의해 회전 가능하게 설치되는 회전축; 상기 회전축의 상단에 고정되며, 진공이 이루어지도록 공간부를 갖는 진공탱크; 상기 진공탱크의 상면으로 이송된 상기 기재가 진공에 의해 흡착되도록 형성되는 구멍을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 필름 제거부는 상기 필름 분리부에 의해 분리된 상기 보호필름을 소정의 거리만큼 이동시키는 제1 이송부; 상기 컨베이어의 일측에 이동 가능하게 설치되며, 상기 제1 이송부에 의해 이송되는 상기 보호필름을 잡은 상태로 이동되어, 상기 기재로부터 상기 보호필름을 제거하는 제2 이송부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 필름 분리부는 상기 필름 제거부의 안내블록에 설치되는 안내프레임; 상기 안내프레임의 일측에 설치되는 엘엠 가이드; 상기 엘엠 가이드의 일측에 고정되는 승강 프레임; 상기 승강 프레임의 일측에 회전 가능하게 설치되며 장력 조절 가능하도록 상기 박리 테이프가 공급되는 제1 권취 롤러; 상기 제1 권취 롤러의 하부에 회전 가능하게 설치되며 장력 조절 가능하도록 상기 박리 테이프를 감아 주는 제2 권취 롤러; 상기 제1 권취 롤러와 제2 권취 롤러 및 다수의 아이들 롤러 사이에 상기 박리 테이프의 장력을 조절하도록 상기 승강 프레임에 설치되는 장력 조절기; 상기 승강 프레임에 회전 가능하게 설치되는 실린더; 상기 실린더의 피스톤 로드에 설치되며 상기 실린더에 의해 일단이 승강 가능하게 설치되는 회전 로드; 상기 회전 로드의 타단에 회전 가능하게 설치되며 상기 박리 테이프가 상기 보호필름에 접착되도록 왕복 이동되는 가압롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 보호필름 제거장치에 의하면, 0.1~0.4㎜의 두께를 갖는 박막의 기재로부터 보호필름을 안전하게 분리하여 제거할 수 있고, 보호필름의 분리 시 물을 분사하여 정전기에 의한 기재의 손상을 방지할 수 있으며, 보호필름의 제거 수율을 높임은 물론 기재의 손상 또는 파손을 획기적으로 줄일 수 있다는 효과가 얻어진다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 보인 평면도,
도 2는은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 보인 정면도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 보인 우측면도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 보인 좌측면도,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 진공 흡착부를 보인 평단면도,
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 제거부 및 필름 분리부를 보인 확대 정면도,
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 제거부 및 필름 분리부를 보인 확대 우측면도,
도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 제거부 및 필름 분리부를 보인 확대 평면도,
도 9는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 분리부의 동작 상태를 보인 측면도,
도 10은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 제거부 및 필름 분리부의 동작 전후 상태를 보인 평면도,
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 보인 평면도이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치는 보호필름이 부착된 기재가 이송되도록 설치된 컨베이어(110)의 하부에 승강 가능하게 설치되며, 상기 컨베이어(110)에 의해 이송되는 상기 기재를 흡착하여, 일시적으로 정지된 상태를 유지시키는 진공 진공 흡착부(100); 상기 기재에 부착된 상기 보호필름의 모서리 부분이 분리되도록 일시적으로 정지된 상태의 상기 보호필름 상면에 접촉되어 왕복 이동되며, 그 외면에 박리 테이프가 감긴 롤러를 구비하여 상기 기재로부터 상기 보호필름의 일측 모서리를 분리시키는 필름 분리부(300); 상기 기재의 일측 모서리로부터 분리된 상기 보호필름의 분리 부분과 일시적으로 결합되어, 상기 분리 부분을 타측 모서리로 이동시킴으로써 상기 기재로부터 상기 보호필름을 제거하는 필름 제거부(200)를 포함한다.
본 발명에서 기재는 액정, 기판, 터치 스크린, 터치 패늘, 아크릴 등을 총칭한다. 이러한 기재는 유리, 금속, 플라스틱 등의 재질로 이루어질 수 있다. 상기 기재는 에칭 공정을 하기 전에 것으로, 기재의 표면 또는 이면에는 표면을 보호하기 위한 보호필름이 접착되어 있다.
한편 본 발명에서 사용되는 기재는 대략 0.1~0.4㎜의 두께로 이루어질 수 있다. 이러한 기재는 비교적 강도가 약한 박막으로 이루어질 수 있다. 또한 얇은 두께에 의해 기재는 그 형태적인 변형이 쉽게 이루어질 수 있다.
즉, 0.1~0.4㎜의 두께로 이루어진 기재는 양 끝단을 고정시키더라도 휨에 의해 절단이 이루어질 수 있고, 평면 상에 올려 놓은 상태에서도 충격이나 진동이 가해질 경우 쉽게 파손이 이루어질 수 있다.
또한 보호필름은 일정 강도로 기재에 부착되어 있으므로, 보호필름의 분리 또는 제거 시 보호필름의 접착력에 의해서도 파손 될 수 있으므로, 보호필름을 안전하게 제거할 수 있어야 한다.
아울러 본 발명의 실시 예에 따른 보호필름 제거장치에 따른 액정, 기판, 터치 스크린, 터치 패널 등의 기재는 정전기 등에 의해서도 손상될 수 있으므로, 보호필름의 제거 시 물을 분사시켜 줌으로써 정전기를 발생시키지 않고서 안전하게 제거할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 보호필름 제거장치는 컨베이어(110)의 일측에서 이송된 기재의 표면에 부착된 보호필름을 제거한다. 기재에 부착된 보호필름은 기재의 일측 모서리에 접촉되는 필름 분리부(300)의 박리 테이프(341)에 접착된 상태로 필름 제거부(200)에 의해 이동되면서 제거하게 된다.
상기 기재는 도 1의 도면상 오른쪽에서 공급될 수 있고, 보호필름이 제거된 기재는 도 1의 도면상 왼쪽으로 이동되어 배출될 수 있다.
도 1에서와 같이, 컨베이어(110)에는 기재를 안정된 상태로 유지시키는 진공 흡착부(100), 상기 진공 흡착부(100)의 일측, 즉, 기재의 일측 모서리 쪽에는 보호필름을 분리시키는 필름 분리부(300), 상기 필름 분리부(300)에 부착된 보호필름을 기재로부터 떨어지도록 이동되는 필름 제거부(200)가 설치될 수 있다.
상기 필름 분리부(300)는 진공 흡착부(100)의 상면, 즉 기재의 표면에 밀착되도록 필름 제거부(200)의 일측에 승강 가능하게 설치될 수 있다. 또 필름 분리부(300)는 기재로부터 분리된 보호필름이 고정된 상태에서 필름 제거부(200)에 의해 이동될 수 있다.
상기 진공 흡착부(100)는 컨베이어(110)의 소정 위치에 마련될 수 있으며, 컨베이어(110)에는 기재의 이동이 원활하면서 양호하게 이루어질 수 있도록 일정 간격으로 다수의 이송롤러(111)가 설치될 수 있다.
상기 이송롤러(111)는 모터 등의 구동수단에 의해 회전 가능하게 설치될 수 있고, 기재가 안정되게 이동되도록 속도를 제어하여 이동될 수 있다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 보인 정면도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 보인 우측면도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치를 보인 좌측면도이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 컨베이어(110)에는 기재의 이동을 감지할 수 있는 감지센서(112)가 설치될 수 있고, 이동되는 기재를 컨베이어(110)의 진공 흡착부(100)에 위치하도록 정지시키는 스토퍼(미도시)가 설치될 수 있다.
또 컨베이어(110)에는 정지된 기재가 컨베이어(110)의 중앙에 위치하도록 정렬시키는 정렬장치(미도시)가 설치될 수 있다. 즉, 스토퍼는 이송되는 기재를 정 위치에 정지시킬 수 있으며, 정렬장치는 기재를 컨베이어(110)의 폭 방향 중앙으로 이동시킬 수 있다.
또한 컨베이어(110)의 하부에는 물 분사기(400)에 물을 공급할 수 있는 워터펌프(113)가 설치될 수 있고, 진공 흡착부(100)를 진공 상태로 유지시킬 수 있는 진공펌프(114)가 설치될 수 있다.
상기 진공 흡착부(100)는 컨베이어(110) 하부에 설치되는 구동모터(120), 상기 구동모터(120)에 의해 승강되도록 회전 가능하게 설치되는 회전축(121), 상기 회전축(121)의 상단에 소정의 공간부(123)를 갖는 진공탱크(122), 상기 진공탱크(122)의 상면에 놓인 기재를 진공에 의해 흡착할 수 있도록 다수의 구멍(124)이 형성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 진공 흡착부를 보인 평단면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 진공탱크(122)는 진공펌프(114)에 의해 진공상태로 유지되며, 진공탱크(122)의 상면에는 기재가 안정되게 장착된 상태를 유지할 수 있도록 구멍(124)이 형성될 수 있다.
즉, 기재는 진공탱크(122)의 상면에 안착된 상태에서 진공탱크(122)가 진공으로 전환됨에 따라 진공탱크(122)의 상면에 안착될 수 있다. 상기 기재는 컨베이어(110)에 의해 진공탱크(122)의 상부로 이송되며, 이송롤러(111)의 하부에 설치된 진공탱크(122)가 상승된다.
상기 상승된 진공탱크(122)의 상면에는 기재가 안착된 상태에서 진공펌프(114)에 의해 진공 상태로 전환되며, 구멍(124)을 통해 진공압에 의해 기재가 진공탱크(122)의 상면에 흡착된 상태를 유지할 수 있게 된다.
상기 진공탱크(122)의 상부는 이송롤러(111)에 대응되는 위치에 일정 깊이를 갖는 홈부(125)가 형성될 수 있다. 상기 홈부(125)는 이송롤러(111)에 각각 대응되는 위치에 형성될 수 있으며, 홈부(125)는 진공탱크(122)의 상승되는 깊이로 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 컨베이어(110)의 상측에는 대각선 방향으로 이동 가능한 필름 제거부(200)가 설치될 수 있다. 상기 필름 제거부(200)는 필름 분리부(300)에 의해 보호필름의 일부분이 분리되어 고정된 상태에서 필름 분리부(300)를 일측으로 이동시킬 수 있도록 설치될 수 있다.
상기 필름 제거부(200)는 필름 분리부(300)를 이동시키는 제1 이송부(210)와 상기 제1 이송부(210)에 의해 이동된 보호필름을 이동시키는 제2 이송부(250)를 포함할 수 있다.
상기 제1 이송부(210)는 기재의 일측 모서리에서 분리된 보호필름을 기재의 대칭된 모서리 방향으로 이동시킬 수 있고, 제2 이송부(210)는 제1 이송부(210)에 의해 이동된 보호필름을 잡고서 컨베이어(210)의 외측으로 이동되어 기재로부터 보호필름 전체를 분리시킬 수 있다.
상기 컨베이어(110)의 출구 상측에는 프레임(미도시)에 제1 받침판(201)이 고정될 수 있고, 제1 받침판(201)의 상면에는 제1 이송부(210)가 설치될 수 있다.
상기 제1 이송부(210)는 제1 받침판(201)의 상면에 설치되는 안내레일(211)과 상기 안내레일(211)을 따라 이동되는 안내블록(212)을 포함할 수 있다.
상기 제1 이송부(210)는 직선 이동이 가능한 엘엠 가이드(Linear Motion Guide)를 사용할 수 있다. 상기 제1 이송부(210)는 필름 분리부(300)를 컨베이어(110)의 대각선 방향으로 이동시켜 줌으로써, 기재에 부착된 보호필름을 분리시킬 수 있게 된다.
또한 제2 이송부(250)는 컨베이어(110)의 일 측면에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상기 컨베이어(110)의 일 측면에는 제2 받침판(202)이 고정되며, 제2 받침판(202)에는 일정 길이를 갖는 안내레일(251)이 설치될 수 있고, 안내레일(251)에는 안내블록(252)이 설치될 수 있다.
상기 제2 이송부(250)는 직선 이동이 가능한 엘엠 가이드를 사용할 수 있음은 물론이다.
상기 안내블록(252)에는 안내레일(251)과 직교되는 방향으로 제1 고정프레임(253)이 설치될 수 있고, 제1 고정프레임(253)의 끝단에는 제2 고정프레임(254)이 설치될 수 있으며, 제2 고정프레임(254)에는 보호필름을 잡을 수 있는 그리퍼(255)가 설치될 수 있다.
상기 그리퍼(255)는 보호필름을 잡을 수 있도록 회전 가능하게 설치될 수 있다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 제거부 및 필름 분리부를 보인 확대 정면도이고, 도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 제거부 및 필름 분리부를 보인 확대 우측면도이며, 도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 제거부 및 필름 분리부를 보인 확대 평면도이다.
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 필름 분리부(300)는 상기 필름 제거부(200)의 제1 이송부(210)를 따라 이동 가능하게 설치됨과 함께 기재의 모서리 부분에 밀착되어 왕복 이동되면서 보호필름의 일부분을 기재로부터 분리할 수 있다.
상기 필름 분리부(300)는 상기 필름 제거부(200)의 안내블록(212)에 설치되는 안내프레임(310), 상기 안내프레임(310)의 일측에 설치되는 엘엠 가이드(320), 상기 엘엠 가이드(320)의 일측에 설치되는 승강 프레임(330), 상기 승강 프레임(330)의 일측에 회전 가능하게 설치되며 장력 조절 가능하도록 상기 박리 테이프(341)가 공급되는 제1 권취 롤러(340), 상기 제1 권취 롤러(340)의 하부에 회전 가능하게 설치되며 장력 조절 가능하도록 상기 박리 테이프(341)를 감아 주는 제2 권취 롤러(350), 상기 제1 권취 롤러(340)와 제2 권취 롤러(350) 및 다수의 아이들 롤러 사이에 상기 박리 테이프(341)의 장력을 조절하도록 상기 승강 프레임(330)에 설치되는 장력 조절기(360), 상기 승강 프레임(330)에 회전 가능하게 설치되는 실린더(370), 상기 실린더(370)의 피스톤 로드(371)에 설치되며 상기 실린더(370)에 의해 일단이 승강 가능하게 설치되는 회전 로드(380), 상기 회전 로드(380)의 타단에 회전 가능하게 설치되며 상기 박리 테이프(341)가 상기 보호필름에 접착되도록 왕복 이동되는 가압롤러(390)를 포함할 수 있다.
또한 필름 분리부(300)의 일측에는 상기 보호필름의 제거 시 발생되는 정전기로부터 상기 기재의 파손 또는 손상을 방지하도록 물을 분사시키는 물 분사기(400)를 더 포함할 수 있다.
상기 안내프레임(310)은 필름 제거부(200)의 안내블록(212) 일면에 설치되는 제1 프레임(311)과 상기 제1 프레임(311)의 일면에 설치되는 제2 프레임(312), 상기 제2 프레임(312)에 회전 가능하게 설치되는 제3 프레임(313)을 포함할 수 있다.
상기 제1 프레임(311)은 안내블록(212)의 일면에 설치될 수 있으며, 제1 프레임(311)의 일면에는 일정 길이를 갖는 제2 프레임(312)이 설치될 수 있고, 제2 프레임(312)에는 일정 길이를 갖는 제3 프레임(313)이 회전 가능하게 설치될 수 있다.
상기 제3 프레임(313)의 일면에는 엘엠 가이드(320)가 설치될 수 있다. 상기 엘엠 가이드(320)에는 이동블록(321)이 승강 가능하게 설치될 수 있다. 상기 이동블록(321)에는 승강 프레임(330)이 설치될 수 있다.
상기 승강 프레임(330)은 안내블록(321)에 제1 이동판(331)이 설치될 수 있고, 제1 이동판(331)의 일측에는 제2 이동판(332)이 설치될 수 있으며, 제2 이동판(332)의 일측에는 제3 이동판(333)이 설치될 수 있다.
상기 승강 프레임(330)은 엘엠 가이드(320)의 이동블록(321)에 의해 승강될 수 있다.
상기 제3 이동판(333)에는 기재에 부착된 보호필름을 떼어낼 수 있는 박리 테이프(341)가 공급되는 제1 권취롤러(340)가 회전 가능하게 설치될 수 있고, 제1 권취롤러(340)의 하부에는 사용된 박리 테이프(341)를 감아주는 제2 권취롤러(350)가 회전 가능하게 설치될 수 있다.
상기 제1 권취롤러(340) 및 제2 권취롤러(350)에는 박리 테이프(341)가 적정 장력을 유지할 수 있도록 설치될 수 있다. 즉, 제1 권취롤러(340) 및 제2 권취롤러(350)에는 제1 권취롤러(340)에서 공급되는 박리 테이프(341)가 일정한 장력을 유지할 수 있는 장력조절수단이 설치될 수 있다.
상기 제2 이동판(332)에는 박리 테이프(341)가 원활하게 공급될 수 있도록 다수의 아이들 롤러(335)가 설치될 수 있다. 제2 이동판(332)에는 박리 테이프(341)의 장력을 조절할 수 있는 장력 조절기(360)가 설치될 수 있다.
또한 제2 이동판(332)에는 고정 브래킷(336)이 설치될 수 있고, 고정 브래킷(336)에는 회전 가능하도록 실린더(370)가 설치될 수 있다.
상기 실린더(370)는 피스톤 로드(371)가 이동 가능하게 결합되어 있으며, 피스톤 로드(371)의 끝단에는 회전 로드(380)의 일단이 회전 가능하게 설치될 수 있다.
상기 회전 로드(380)는 대략 '∧'자 형상으로 이루어질 수 있으며, 회전 로드(380)의 일단에는 피스톤 로드(371)가 결합될 수 있고, 회전 로드(380)의 타단에는 가압롤러(390)가 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 회전 로드(380)에는 소정의 각도만큼 왕복 회전되도록 힌지 결합되는 힌지구멍(381)이 형성될 수 있으며, 상기 회전 로드(380)는 힌지구멍(381)을 중심으로 상기 피스톤 로드(371)에 의해 상하로 소정의 각도만큼 회전되도록 설치될 수 있다.
또 회전 로드(380)의 타단에는 박리 테이프(341)가 이동 가능하게 감겨져 있으며, 가압롤러(390)는 박리 테이프(341)를 기재의 보호필름에 부착되도록 상하 왕복 이동되면서 접촉되도록 설치될 수 있다.
즉, 상기 가압롤러(390)는 박리 테이프(341)를 보호필름에 밀착되어 왕복 이동되면서 기재의 모서리에 접촉된 보호필름을 분리시키게 된다. 상기 가압롤러(390)에는 다수의 롤러가 회전 가능하게 설치되어 있으며, 롤러에는 박리 테이프가 감겨 있게 된다.
상기 가압롤러(390)의 일측에는 보호필름의 분리 시 정전기가 발생되지 않도록 물을 분사시켜 주는 물 분사기(400)가 설치될 수 있다.
상기 물 분사기(400)는 다수의 노즐(미도시)에 의해 고압으로 물이 분사되게 한다.
다음 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 결합관계를 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 8에 도시된 바와 갈이, 본 발명의 실시 예에 따른 보호필름 제거장치는 기재를 이송할 수 있도록 컨베이어(110)에 다수의 이송롤러(111)를 회전 가능하게 설치할 수 있다. 상기 이송롤러(111) 사이에는 기재의 이송을 감지하는 감지센서(112)를 소정 위치에 다수 설치할 수 있다.
또 이송롤러(111)의 하부에는 물 분사기(400)에 물을 공급할 수 있는 워터펌프(113)를 설치할 수 있으며, 진공 흡착부(100)의 진공탱크(122)를 진공 상태로 유지시키는 진공펌프(114)를 설치할 수 있다.
아울러 컨베이어(110)에는 이송되는 기재를 정 위치에서 정지시키는 스토퍼(미도시)를 설치할 수 있으며, 이송된 기재가 이송롤러(111)의 중앙에 위치하도록 조정하는 정렬장치(미도시)를 설치할 수 있다.
또한 컨베이어(110)의 하부에는 승강 가능하게 진공 흡착부(100)를 설치할 수 있다. 상기 진공 흡착부(100)는 컨베이어(110) 하부에 구동모터(120)를 설치할 수 있고, 구동모터(120)에 의해 회전되는 회전축(122)을 설치할 수 있다.
상기 구동모터(121)와 회전축(121)은 벨트와 풀리 등의 동력전달수단으로 연결할 수 있다. 상기 회전축(121)의 상단에는 공간부(123)가 형성된 진공탱크(122)를 설치할 수 있다. 이러한 진공탱크(122)의 공간부(123)는 진공펌프(114)에 의해 진공 상태로 전환될 수 있다.
상기 진공탱크(122)의 상면에는 직경이 작은 구멍(124)을 형성할 수 있다. 이러한 진공탱크(122)의 상면에 놓인 기재는 진공탱크(122)의 진공압에 의해 안착된 상태를 유지할 수 있다.
즉, 진공탱크(122)에 기재가 안착된 상태에서 진공펌프(114)에 의해 진공 상태로 전환됨에 따라 구멍(124)을 통해 기재를 흡착하게 된다. 이에 따라 기재는 진공탱크(122)의 상면에 고정된 상태를 유지할 수 있다.
또 진공탱크(122)의 상부에는 이송롤러(111)에 대응되도록 다수의 홈부(125)를 형성할 수 있다. 상기 홈부(125)는 진공탱크(122)의 승강 시 이송롤러(111)와 간섭이 발생되지 않도록 형성할 수 있다.
상기 컨베이어(110)의 상부 일측에는 기재로부터 분리된 보호필름을 일측으로 이동시키는 필름 제거부(200)를 설치할 수 있다. 상기 필름 제거부(200)에는 기재에 부착된 보호필름을 떼어내는 필름 분리부(300)를 설치할 수 있다.
상기 필름 제거부(200)는 필름 분리부(300)에서 보호필름을 떼어 낸 다음에 필름 분리부(300)를 일측으로 이동시키는 제1 이송부(210)와 필름 분리부(300)의 보호필름을 컨베이어(110) 외측으로 이동시켜 제거하는 제2 이송부(250)를 설치할 수 있다.
상기 제1 이송부(210)는 컨베이어(110) 상측에 일정 크기를 갖는 제1 받침판(201)을 설치할 수 있으며, 제1 받침판(201)의 상면에는 일정 길이를 갖는 안내레일(211)을 설치할 수 있다. 상기 안내레일(211)은 컨베이어(110)에 대하여 대략 45°의 각도로 경사지게 설치할 수 있다.
상기 제1 이송부(210)의 안내레일(211)은 필름 분리부(300)에 의해 분리된 보호필름을 이동시키면서 떼어내는 것으로, 안내레일(211)의 설치 각도는 보호필름이 용이하게 분리되도록 다른 각도로 설치될 수 있음은 물론이다.
또한 컨베이어(110)의 일 측면에는 제1 이송부(210)에서 이동된 보호필름을 넘겨 받아 이동시키는 제2 이송부(250)를 설치할 수 있다.
상기 컨베이어(110)의 일 측면에는 제2 받침판(202)을 설치할 수 있고, 제2 받침판(202)에는 일정 길이를 갖는 안내레일(251)을 설치할 수 있다. 상기 안내레일(251)에는 이동 가능한 안내블록(252)을 설치할 수 있다.
상기 안내레일(251)의 끝단에는 안내레일(251)과 교차되는 방향으로 일정 길이를 갖는 제1 고정프레임(253)을 고정할 수 있고, 제1 고정프레임(253)에는 그리퍼(255)를 설치할 수 있는 제2 고정프레임(254)을 설치할 수 있다.
상기 제2 고정프레임(254)에는 보호필름을 잡을 수 있는 그리퍼(255)를 설치할 수 있으며, 상기 그리퍼(255)는 2개로 이루어지고, 상하 방향으로 회전 가능하게 설치하여 보호필름을 잡을 수 있도록 한다.
상기 필름 제거부(200)의 안내블록(212)에는 필름 분리부(300)를 승강 가능하게 설치할 수 있다. 상기 필름 분리부(300)는 기재의 모서리 부분에 박리 테이프가 밀착되어 왕복 이동됨에 따라 보호필름의 일부분을 떼어 분리한다.
상기 안내블록(212)에는 안내프레임(310)을 설치하는데, 안내블록(212)에는 제1 프레임(311)을 수직 방향으로 설치할 수 있고, 제1 프레임(311)에는 일정 길이를 갖는 제2 프레임(312)을 설치할 수 있다.
상기 제2 프레임(312)에는 일정 길이를 갖는 제3 프레임(313)을 회전 가능하게 설치할 수 있고, 제3 프레임(313)의 일면에는 엘엠 가이드(320)를 수직 방향으로 설치할 수 있다.
상기 엘엠 가이드(320)는 승강 프레임(330)을 승강시킴으로써 제1 권취롤러(340), 제2 권취롤러(350), 장력 조절기(360), 실린더(370), 회전 로드(380)를 승강시키게 된다.
상기 승강 프레임(330)은 엘엠 가이드(320)의 일면에 설치되며, 엘엠 가이드(320)의 일면에 제1 이동판(331)을 설치할 수 있고, 제1 이동판(331)에는 제2 이동판(332)을 설치할 수 있다.
상기 제2 이동판(332)에는 박리 테이프(341)의 장력을 조절할 수 있는 장력 조절기(360), 회전 로드(380)를 소정 각도로 회전 및 왕복 이동시키는 실린더(370), 실린더(370)에 의해 회전 및 왕복 이동되는 회전 로드(380) 및 회전 로드(370)에 의해 기재에 밀착되는 가압롤러(390)를 설치할 수 있다.
또 제2 이동판(332)에는 제1 권취롤러(340) 및 제2 권취롤러(350)에 의해 이동되는 박리 테이프(341)의 장력을 조절할 수 장력 조절기(360)를 설치할 수 있으며, 박리 테이프(341)의 이동이 원활하게 이루어지도록 다수의 아이들 롤러(335)를 설치할 수 있다.
상기 제2 이동판(332)에는 실린더(370)를 회전 가능하게 설치할 수 있도록 고정 브래킷(336)을 설치할 수 있다.
또한 제2 이동판(332)의 일측에는 제3 이동판(333)을 설치할 수 있으며, 제3 이동판(333)에는 박리 테이프(341)를 공급하는 제1 권취롤러(340) 및 사용된 박리 테이프(341)를 되감아 주는 제2 권취롤러(350)를 설치할 수 있다.
상기 제1 권취롤러(340)에는 박리 테이프(341)가 감겨 있으며, 제2 권취롤러(350)는 박리 테이프(341)를 되감아 주도록 설치할 수 있다. 이들 제1 권취롤러(340) 및 제2 권취롤러(350)에는 박리 테이프(341)가 적정 장력으로 공급될 수 있도록 장력조절수단이 설치될 수 있음은 물론이다.
상기 제1 권취롤러(340)는 접착력을 갖는 박리 테이프(341)가 공급되도록 감겨질 수 있고, 제2 권취롤러(350)는 사용된 박리 테이프(341)를 되감을 수 있도록 설치한다.
상기 제2 이동판(332)에는 고정 브래킷(336)에 실린더(370)를 회전 가능하게 설치할 수 있고, 실린더(370)의 피스톤 로드(371)에는 회전 로드(380)의 일단을 회전 가능하게 설치할 수 있다.
상기 회전 로드(380)는 대략 '∧'자 형상으로 이루어져 있으며, 회전 로드(380)의 일단은 피스톤 로드(371)에 회전 가능하게 설치할 수 있고, 회전 로드(380)의 타단에는 가압롤러(380)를 회전 가능하게 설치할 수 있다.
아울러 회전 로드(380)에는 힌지구멍(391)을 형성할 수 있고, 힌지구멍(391)에는 제2 이동판(332)에 힌지 결합시켜 회전 가능하게 설치할 수 있다.
또 회전 로드(380)의 타단에는 박리 테이프(341)가 보호필름에 부착되도록 밀착된 상태로 가압하는 가압롤러(390)를 설치할 수 있다. 가압롤러(390)는 소정의 각도로 왕복 회전되면서 박리 테이프(341)를 보호필름에 밀착시켜 부착시킴으로써 보호필름을 떼어낼 수 있도록 한다.
상기 가압롤러(390)의 일측에는 보호필름의 분리 시 정전기가 발생되지 않도록 물을 분사할 수 있는 물 분사기(400)를 설치할 수 있다.
다음 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 작동방법을 상세하게 설명한다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 분리부의 동작 상태를 보인 측면도이고, 도 10은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 제거장치의 필름 제거부 및 필름 분리부의 동작 전후 상태를 보인 평면도이다.
본 발명의 실시 예에 따른 보호필름 제거장치는 보호필름이 부착된 기재를 컨베이어(110)에 의해 공급하게 되며, 컨베이어(110)에 공급된 기재는 이송롤러(111)를 따라 이동된다
이렇게 이동되는 기재는 감지세서(112)에 의해 이동되는 상태를 지속적으로 감지하게 되며, 기재는 진공탱크(122)의 상측으로 이동된다. 상기 기재는 스토퍼 및 정렬장치 등에 의해 정해진 위치에 안착된다.
이와 같이 기재가 정 위치에 도달하게 되면, 진공 흡착부(100)가 상승하게 된다. 상기 진공 흡착부(100)의 구동모터(120)는 인가된 신호에 의해 구동되어 회전축(121)을 회전시키며, 진공탱크(122)는 회전축(121)의 회전에 의해 상승하게 된다.
이때 진공탱크(122)는 이송롤러(111)의 상면으로 위치하게 되며, 인가된 신호에 의해 워터펌프(113) 및 진공펌프(114)가 구동된다.
상기 워터펌프(113)는 물 분사기(400)에 물을 공급할 수 있으며, 물 분사기(400)에서는 기재와 보호필름에 물을 분사시켜 주어 보호필름의 분리 시 정전기 등이 발생되지 않도록 한다.
상기 진공펌프(114)는 진공탱크(122)의 내부 공간부(123)를 진공 상태로 전환시키게 되고, 진공탱크(122)의 진공에 의해 진공탱크(122) 상면에 안착된 기재가 흡착되어 고정된 상태를 유지하게 된다.
즉, 진공탱크(122)의 상면에는 일정 간격으로 구멍(124)이 형성되어 있으며, 기재가 구멍(124)에 밀착된 상태에서 진공탱크(122)의 진공에 의해 더욱 강하게 흡착된 상태를 유지하게 된다.
상기 진공탱크(122)의 일측 상측에는 필름 제거부(200) 및 필름 분리부(300)가 설치되어 있으며, 필름 분리부(300)에 의해 기재에 부착된 보호필름을 떼어낸 다음 필름 제거부(200)가 동작하게 된다.
상기 필름 분리부(300)의 엘엠 가이드(320)는 이동블록(321)을 하강시키며, 이동블록(321)의 하강에 의해 승강 프레임(330)이 하강된다. 즉, 승강 프레임(330)에 설치된 제1 권취롤러(340), 제2 권취롤러(350), 장력 조절기(360), 실린더(370) 및 회전 로드(380)는 하강된다.
상기 엘엠 가이드(320)의 이동블록(321)은 최하단에 설치된 가압롤러(390)가 기재에 접촉되는 높이로 하강된다. 아울러 제1 권취롤러(340)에는 접착력을 갖는 박리 테이프(341)가 감겨 있으며, 박리 테이프(340)는 가압롤러(390)에서 소정 길이만큼 사용된 다음 제2 권취롤러(350)에서 되감게 된다.
또 박리 테이프(341)는 제1 권취롤러(340)에서 소정의 길이만큼 공급되며, 제2 권취롤러(350)에서 소정의 길이만큼 되감을 수 있도록 설치되며, 박리 테이프(341)는 제1 권취롤러(340), 제2 권취롤러(350) 및 장력 조절기(360)에 의해 장력을 유지하게 된다.
상기 제1 권취롤러(340)는 장력조절수단에 의해 박리 테이프(341)를 적정 길이로 풀어주게 되며, 제2 권취롤러(350)는 아이들 롤러(335)에 걸쳐져 있는 박리 테이프(341)를 당겨주게 된다. 이와 함께 제2 이동판(333)에 설치되어 있는 장력 조절기(360)는 박리 테이프(341)를 적정 장력으로 유지하게 된다.
상기 실린더(370)는 피스톤 로드(371)의 왕복 운동에 의해 회전 로드(380)를 상하 왕복 운동시키게 되며, 회전 로드(380)는 피스톤 로드(371)에 의해 힌지구멍(381)을 중심으로 상하 왕복 운동하게 된다.
이에 따라 회전 로드(380)의 타단에 설치되어 있는 가압롤러(390)는 상하 방향으로 소정 각도 범위 내에서 왕복 이동된다. 이렇게 왕복 이동되는 가압롤러(390)는 박리 테이프(341)를 기재의 보호필름에 반복적으로 가압 및 밀착되면서 보호필름을 기재로부터 떼어내게 된다.
이때 보호필름의 분리 시 기재에는 정전기가 발생되지 않도록 물 분사기(400)에서 물이 분사된다.
상기 가압롤러(390)에 의해 분리된 보호필름은 박리 테이프(341)에 부착된 상태를 유지하게 되며, 필름 분리부(300)는 필름 제거부(200)에 의해 컨베이어(110)의 대각선 방향으로 이동하게 된다.
이렇게 필름 제거부(200)의 제1 이송부(210)는 대각선 방향으로 이동되면서 기재로부터 보호필름을 분리시키며, 제1 이송부(210)가 컨베이어(110)의 측면으로 이동되는 도중에 제2 이송부(250)는 컨베이어(110)의 측면에서 대기하고 있게 된다.
상기 제2 이송부(250)는 그리퍼(255)의 회전에 의해 보호필름을 잡게 되며, 그리퍼(255)는 안내블록(252)의 이동에 의해 컨베이어(110)의 외측으로 이동된다.
상기 제2 이송부(250)가 컨베이어(110)의 외측으로 이동됨에 따라 보호필름은 기재로부터 제거된다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
100: 진공 흡착부 110: 컨베이어
120: 구동모터 121: 회전축
122: 진공탱크 123: 공간부
124: 구멍 125: 홈부
200: 필름 제거부 201: 제1 받침판
202: 제2 받침판 210: 제1 이송부
211: 안내레일 212: 안내블록
250: 제2 이송부 251: 안내레일
252: 안내블록 253: 제1 고정프레임
254: 제2 고정프레임 255: 그리퍼
300: 필름 분리부 310: 안내프레임
311: 제1 프레임 312: 제2 프레임
313: 제3 프레임 320: 엘엠 가이드
321: 이동블록 330: 승강 프레임
331: 제1 이동판 332: 제2 이동판
333: 제3 이동판 335: 아이들 롤러
336: 고정 브래킷 340: 제1 권취롤러
341: 박리 테이프 350: 제2 권취롤러
360: 장력 조절기 370: 실린더
371: 피스톤 로드 380: 회전 로드
381: 힌지구멍 390: 가압롤러
400: 물 분사기

Claims (5)

  1. 보호필름이 부착된 기재가 이송되도록 설치된 컨베이어의 하부에 승강 가능하게 설치되며, 상기 컨베이어에 의해 이송되는 상기 기재를 흡착하여, 일시적으로 정지된 상태를 유지시키는 진공 흡착부;
    상기 기재에 부착된 상기 보호필름의 모서리 부분이 분리되도록 일시적으로 정지된 상태의 상기 보호필름 상면에 접촉되어 왕복 이동되며, 그 외면에 박리 테이프가 감긴 롤러를 구비하여 상기 기재로부터 상기 보호필름의 일측 모서리를 분리시키는 필름 분리부;
    상기 기재의 일측 모서리로부터 분리된 상기 보호필름의 분리 부분과 일시적으로 결합되어, 상기 분리 부분을 타측 모서리로 이동시킴으로써 상기 기재로부터 상기 보호필름을 제거하는 필름 제거부;를 포함하며,
    상기 필름 분리부는 상기 필름 제거부의 안내블록에 설치되는 안내프레임; 상기 안내프레임의 일측에 설치되는 엘엠 가이드; 상기 엘엠 가이드의 일측에 고정되는 승강 프레임; 상기 승강 프레임의 일측에 회전 가능하게 설치되며 장력 조절 가능하도록 상기 박리 테이프가 공급되는 제1 권취 롤러; 상기 제1 권취 롤러의 하부에 회전 가능하게 설치되며 장력 조절 가능하도록 상기 박리 테이프를 감아 주는 제2 권취 롤러; 상기 제1 권취 롤러와 제2 권취 롤러 및 다수의 아이들 롤러 사이에 상기 박리 테이프의 장력을 조절하도록 상기 승강 프레임에 설치되는 장력 조절기; 상기 승강 프레임에 회전 가능하게 설치되는 실린더; 상기 실린더의 피스톤 로드에 설치되며 상기 실린더에 의해 일단이 승강 가능하게 설치되는 회전 로드; 상기 회전 로드의 타단에 회전 가능하게 설치되며 상기 박리 테이프가 상기 보호필름에 접착되도록 왕복 이동되는 가압롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 보호필름 제거장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필름 분리부의 일측에 설치되며 상기 보호필름의 제거 시 발생되는 정전기로부터 상기 기재의 파손 또는 손상을 방지하도록 물이 분사되는 물 분사기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보호필름 제거장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 진공 흡착부는 상기 컨베이어의 하부에 설치되는 구동모터;
    상기 구동모터에 의해 회전 가능하게 설치되는 회전축;
    상기 회전축의 상단에 고정되며, 진공이 이루어지도록 공간부를 갖는 진공탱크;
    상기 진공탱크의 상면으로 이송된 상기 기재가 진공에 의해 흡착되도록 형성되는 구멍을 포함하는 것을 특징으로 하는 보호필름 제거장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 필름 제거부는 상기 필름 분리부에 의해 분리된 상기 보호필름을 소정의 거리만큼 이동시키는 제1 이송부;
    상기 컨베이어의 일측에 이동 가능하게 설치되며, 상기 제1 이송부에 의해 이송되는 상기 보호필름을 잡은 상태로 이동되어, 상기 기재로부터 상기 보호필름을 제거하는 제2 이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 보호필름 제거장치.
  5. 삭제
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