KR100898025B1 - 필름 박리방법과 장치 - Google Patents

Abstract

표리면(表裏面)에 보호필름(保護film)54가 점착(粘着)된 글라스 기판6의 단부(端部) 근방에 위치한 점착 테이프30과, 점착 테이프30의 점착면38을 글라스 기판6 측을 향하여 가압하는 박리 헤드40을 구비한다. 보호필름54의 단부에 점착된 점착 테이프30을 글라스 기판6의 면에 대하여 분리하여 글라스 기판6으로부터 보호필름54를 일부 박리하는 액추에이터46을 구비한다. 박리한 보호필름54의 단부를 지지하는 필름 척장치58을 구비하고, 필름 척장치58로 지지한 보호필름54를 롤러 콘베이어4에 의하여 글라스 기판6을 구동하여 분리한다.

Description

필름 박리방법과 장치{METHOD AND DEVICE FOR PEELING OFF FILM}

본 발명은 액정 디스플레이 등에 사용되는 글라스 기판 표면에 부착된 보호필름의 박리방법과 장치에 관한 것이다.

액정 디스플레이에 사용되는 글라스 기판은, 1장의 대형의 글라스 기판으로부터 개개의 디스플레이용으로서 복수의 글라스 기판을 잘라내어 사용하고 있다. 상기 대형의 글라스 기판은, 최근의 대형화에 의하여 공장에 입하되는 때에는 여러 장을 포갠 상태로 운반되어 제조공정에 놓인다. 그리고 글라스 기판을 사용할 때에는, 여러 장을 포갠 상태의 대형의 글라스 기판으로부터 1장을 꺼내어 사용하고 있다. 그 때문에 각 글라스 기판의 표리면(表裏面)에는 흠집방지를 위한 보호필름이 점착(粘着)되어 있고 가공할 때에 상기 보호필름을 박리(剝離)하고 있다.

보호필름을 박리하는 방법으로서, 예를 들면 특허문헌1, 2에 개시되어 있는 바와 같은 점착 테이프를 사용하는 박리방법이 알려져 있다. 특허문헌1은, 보호필름이 부착된 기판을 흡착 플레이트 상에 흡착 고정하고, 기 판의 보호필름을 박리하는 면의 한 쌍의 대각(對角) 사이에 1개의 긴 모양의 점착 테이프를 부착하고, 상기 점착 테이프의 배면을 롤러로 가압한 상태에서 테이프 단부(端部)를 들어올리는 것을 개시하고 있다. 그리고 테이프 배면을 가압한 상태에서 롤러를 회전시키면서 점착 테이프를 들어올림으로써 필름 전체를 박리한다. 특허문헌2에서는, 점착 테이프의 사용량을 절감하고 또한 박리 후의 보호필름의 처리를 쉽게 하는 박리방법이 개시되어 있다. 상기 박리방법은 우선, 점착 테이프를 내리누르는 가압롤러를 글라스 기판에 점착된 보호필름의 단부(端部)의 중앙 근방에 가압하여 회전시키고, 보호필름의 끝을 일정한 각도로 가압롤러에 감아서 박리한다. 그리고 박리한 보호필름의 끝을 필름 클램퍼에 의하여 지지하여 보호필름 전체를 분리한다. 또한 분리한 보호필름을 필름 캐처(film catcher)에 의하여 지지하여 수평으로 적층하여 수납하는 것이 나타나 있다.

특허문헌1 : 일본국 공개특허공보 특개평9-114384호 공보

특허문헌2 : 일본국 공개특허공보 특개평6-278936호 공보

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

그러나 상기 특허문헌1에서는 글라스 기판 등의 보호필름을 박리하는 면의 1대각선 상의 대략 전체 길이에 긴 점착 테이프를 부착하기 때문에 테이프의 소비량이 크다고 하는 문제가 있었다. 이에 따라 제조공정에 있어서의 박리용의 테이프의 교환이 빈번해져서 제조 라인의 가동률의 저하나 제조 속도의 저하의 원인이 되었다. 특히, 점착 테이프의 교환은 클린룸 내에서 고무장갑을 착용한 상태에서 하지 않으면 안되므로 시간이 걸리는 작업이었다. 또한 필름 박리에 사용한 테이프는 박리된 필름에 감겨지기 때문에, 필름과 테이프의 재질이 다른 경우 분리하여 폐기하는 처리가 필요하게 되어 처리가 번거롭다고 하는 문제가 있다.

한편 상기 특허문헌2에서는 보호필름을 가압롤러에 감아서 박리하고, 그 후 클램퍼에 의하여 지지하여 박리하고 있으므로, 보호필름의 단부가 글라스 기판에 접어 넣어져 있거나, 보호필름의 단부 상호간이 글라스 기판의 단면(端面)에서 겹쳐져 있는 경우에는 보호필름이 가압롤러에 감기지 않는 것이었다. 이에 따라 보호필름 박리공정에 있어서의 박리 미스(오류)에 의하여 제조라인이 정지하고, 제조공정전체의 수율이 저하된다고 하는 문제가 있었다. 또한 박리된 필름의 수납까지의 일련의 동작을 기계장치로 하기 때문에 장치 전체의 기구가 복잡하고 대규모로 비용이 들게 된다.

또한 상기 특허문헌1 및 특허문헌2는 글라스 기판 등의 양면에 보호필름이 점착되어 있을 때에는 한 면 단위로 보호필름의 박리를 할 필요가 있다. 이 때문에 박리공정이 번잡해지는 동시에 공정길이도 길어져서 비용도 들게 된다.

본 발명은 상기 종래기술의 문제를 감안하여 이루어진 것으로서, 점착 테이프의 소비량이 작고, 글라스 기판 양면에 점착된 보호필름을 용이하고 또한 확실하게 박리할 수 있고, 효율이 좋은 필름 박리를 가능하게 하는 필름 박리방법과 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

[발명의 구성]

본 발명은 표리면(表裏面)에 보호필름(保護film)이 점착(粘着)된 글라스 기판 단부(端部) 근방에 점착 테이프를 설치하여 그 점착면을 가압하고, 상기 글라스 기판 표리면의 각 보호필름에 점착된 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면으로부터 분리하여 상기 글라스 기판 단부 근방의 상기 보호필름을 일부 박리하고, 박리한 상기 보호필름 단부를 필름 척장치의 척(chuck)으로 지지하고 상기 글라스 기판을 이동시켜서 상기 글라스 기판의 이동에 의하여 양면 동시에 상기 보호필름을 박리하는 필름 박리방법이다. 또한 상기 글라스 기판 각부(角部 ; 모서리부)의 가장자리에 대하여 상기 점착 테이프가 약간 돌출된 상태에서 상기 보호필름에 상기 점착 테이프를 부착하고, 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면으로부터 분리하는 것이다.

또한, 상기 글라스 기판으로부터 상기 보호필름을 일부 박리한 상태에서, 상기 보호필름과 글라스 기판의 사이에 에어(air)를 분사(噴射)하면서 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면으로부터 분리하는 필름 박리장치이다

상기 필름 척장치는 상기 글라스 기판 양면(兩面) 각각의 폭방향의 단부(端部) 근방에 위치하고, 상기 글라스 기판이 놓여진 콘베이어에 대하여 상기 글라스 기판의 이송방향으로 상기 척을 평행 이동시킴과 아울러 상기 글라스 기판을 되돌아가는 방향으로 이동시켜 상기 보호필름을 박리하는 것이다.

상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판의 상기 보호필름에 가압한 후에, 상기 점착 테이프에 있어서 상기 글라스 기판 내측방향의 텐션(tension)을 완화하고, 이러한 후에 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판으로부터 분리하도록 하여도 좋다.

또한 본 발명은, 표리면에 보호필름이 점착된 글라스 기판 단부 근방에 각각 위치한 점착 테이프와, 상기 글라스 기판 표리면 측에 각각 설치되어 상기 점착 테이프의 점착면을 상기 글라스 기판 측을 향하여 가압하는 박리 헤드와, 상기 보호필름에 점착된 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면에 대하여 분리하여 상기 글라스 기판으로부터 상기 보호필름을 일부 박리하는 점착 테이프 이동수단과, 박리한 상기 보호필름의 단부를 지지하는 필름 척장치와, 상기 필름 척장치로 지지한 보호필름을 상기 글라스 기판 양면으로부터 분리하는 분리수단을 구비한 필름 박리장치이다. 상기 박리 헤드는, 상기 글라스 기판 각부(모서리부)의 일단(一端)의 가장자리의 상기 보호필름에 대하여 상기 점착 테이프가 약간 돌출된 위치에 부착가능하게 위치결정 되어 있는 것이다.

상기 박리 헤드는, 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판 표면 방향으로 가압이동이 자유롭게 설치된 가압유지부재를 구비하고, 상기 박리 헤드가 상기 점착 테이프를 통하여 상기 글라스 기판에 접촉한 후에, 상기 박리 헤드의 대피 시에 상기 가압유지부재는 일시적으로 상기 글라스 기판을 눌러 상기 보호필름과 함께 상기 글라스 기판이 들어올려지는 것을 방지하는 것이다.

상기 박리 헤드는, 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판에 가압한 상태로 회전 가능하게 설치되어 있다. 또한 상기 점착 테이프는 점착 테이프 카세트부에 수납되고, 이 점착 테이프 카세트부는 상기 글라스 기판의 양면 양단부에 각각 위치하고 있다.

상기 필름 척장치는 상기 점착 테이프 카세트부 마다 설치되고, 상기 글라스 기판에 대하여 상대적으로 상기 필름 척장치가 이동 가능하게 설치되어 있다.

상기 점착 테이프를 수납한 상기 점착 테이프 카세트부는, 상기 점착 테이프 카세트부로부터 돌출된 상기 박리 헤드를 구비하고, 이러한 점착 테이프 카세트부는 상기 점착 테이프와 함께 일체로 착탈 가능하게 설치되어 있다. 또한 상기 박리 헤드를 상기 글라스 기판의 보호필름에 가압한 상태로 상기 점착 테이프의 상기 글라스 기판 내측방향의 텐션을 완화하는 테이프 텐션 조절기구를 설치한 것이다.

상기 점착 테이프에 의하여 상기 보호필름을 일부 박리한 상태로 상기 보호필름과 글라스 기판의 사이에 에어를 분사하는 에어 분사수단을 설치한 필름 박리장치이다. 또한 상기 에어 분사수단은, 상기 기판의 일변(一邊)을 따라 이동 가능하게 설치되고, 상기 박리 헤드에 의하여 상기 기판 코너부에서 박리된 상기 보호필름의 박리를, 상기 기판의 일변으로 확장하는 것이다.

도1은 본 발명의 제1실시예의 필름 박리장치의 우측면도이다.

도2는 본 발명의 제1실시예의 필름 박리장치의 박리 처리부의 정면도이다.

도3은 본 발명의 제1실시예의 필름 박리장치에 의한 박리상태를 나타내는 부분사시도이다.

도4는 본 발명의 제1실시예의 필름이 부착된 글라스 기판을 나타내는 평면도이다.

도5는 본 발명의 제2실시예의 필름 박리장치에 의한 필름 박리를 나타내는 부분평면도이다.

도6은 본 발명의 제2실시예의 필름 박리장치에 의한 필름 박리를 나타내는 공정의 부분정면도이다.

도7은 본 발명의 제2실시예의 필름 박리장치에 의한 필름 박리를 나타내는 공정의 부분우측면도이다.

도8은 본 발명의 제3실시예의 필름 박리장치에 의한 필름 박리를 나타내는 공정의 정면도이다.

도9는 본 발명의 제3실시예의 필름 박리장치에 의한 필름 박리를 나 타내는 다음의 공정의 부분정면도이다.

도10은 본 발명의 제4실시예의 필름 박리장치에 의한 필름 박리를 나타내는 공정의 정면도이다.

도11은 본 발명의 제4실시예의 필름 박리장치에 의한 필름 박리를 나타내는 다음의 공정의 부분정면도이다.

도12는 본 발명의 제5실시예의 필름 박리장치에 의한 필름 박리를 나타내는 공정의 정면도이다.

[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]

2 필름 박리장치 4, 5, 7a, 7b 롤러 콘베이어

6 글라스 기판 20 박리 처리부

22 방전 블로우 28 점착 테이프 카세트부

30 점착 테이프 31 이송릴(移送reel)

32 권취릴(卷取reel) 34 가이드 롤러

38 점착면 40 박리 헤드

46 액추에이터 48 주행 레일

54 보호필름 56 척(chuck)

58 필름 척장치

[발명을 실시하기 위한 최적의 형태]

이하 본 발명인 필름 박리방법과 장치의 제1실시예에 대하여 도1∼도4를 기초로 하여 설명한다.

상기 실시예의 필름 박리장치는, 액정 디스플레이에 사용되는 대형의 글라스 기판의 손상방지를 위하여 부착된 보호필름을 박리하는 장치이다.

상기 실시예의 필름 박리장치2의 구성에 대하여 설명한다. 필름 박리장치2는 도1의 좌단으로부터 롤러 콘베이어4를 구비한 투입부10이 설치되고, 투입부10은 글라스 기판6의 투입위치의 롤러 콘베이어4상방에서 도면에 나타내지 않은 반입장치로부터 글라스 기판6을 수용하는 승강 가능한 기판수용장치8을 구비한다. 투입부10의 상방에는 도면에 나타내지 않은 지지구조에 지지되어 글라스 기판6을 다음 공정으로 보내는 반출부12가 설치되어 있다. 반출부12는 롤러 콘베이어5를 구비하고, 롤러 콘베이어5로부터 글라스 기판6을 약간 상승시켜서 롤러 콘베이어5의 상방에서 글라스 기판6을 지지하는 승강 가능한 기판수용장치9를 구비한다.

투입부10의 도면 우측 옆에는 2단의 롤러 콘베이어7a, 7b가 일정 간격으로 배치된 승강부재14가 설치되고, 상기 승강부재14를 2단계의 높이로 승강시킬 수 있는 리프터16을 구비한 연결부18이 위치하고 있다. 승강부재14의 2단계의 높이는 우선, 강하 상태에서 하단의 롤러 콘베이어7a가 투입부10의 롤러 콘베이어4와 같은 높이이며, 상단의 롤러 콘베이어7b는 후술하는 박리 처리부20의 롤러 콘베이어11과 같은 높이이고, 다음에 상승 시에는 하단의 롤러 콘베이어7a가 후술하는 박리 처리부20의 롤러 콘베이어11과 같은 높이이며, 상단의 롤러 콘베이어7b는 반출부12의 롤러 콘베이어5와 같은 높이이다.

연결부18의 도면 우측 옆에는 박리 처리부20이 설치되어 있다. 박리 처리부20은 글라스 기판6을 반입 및 반출하는 롤러 콘베이어11을 구비하고, 글라스 기판6의 입출부 측에 한 쌍의 방전 블로우22가 롤러 콘베이어11을 사이에 두고 상하 대칭된 위치에 설치되어 있다. 박리 처리부20의 롤러 콘베이어11에는, 글라스 기판6을 롤러 콘베이어11에 의하여 박리 처리부20의 도면 우측까지 반송한 상태에서 글라스 기판6의 좌측단부가 위치하는 장소에 롤러24가 없는 틈26이 형성되어 있다. 상기 틈26의 상하로는 롤러 콘베이어11의 롤러24의 양단부 근방에서 각각 한 쌍의 점착 테이프 카세트부28이 롤러 콘베이어11을 사이에 두고 상하 대칭으로 배치되어 있다.

다음에 점착 테이프 카세트부28에 대하여 설명한다. 점착 테이프 카세트부28에는 점착 테이프30의 이송릴(移送reel)31과 권취릴(卷取reel)32를 구비한다. 이송릴31로부터 배출된 점착 테이프30은 가이드 롤러34를 거쳐서 점착면36이 아닌 테이프 배면38이 박리 헤드40에 접촉하여 슬라이딩하며 진행하고, 다른 한쪽의 가이드 롤러34를 거쳐서 권취릴32에 감겨진다. 이러한 부재는 대략 사각형의 판자모양 케이스42에 수용되어 있지만, 박리 헤드40은, 케이스42의 외측에 점착 테이프30의 점착면36이 돌출되도록 돌출하여 위치하고 있다.

또한 도2에 나타낸 바와 같이 점착 테이프 카세트부28에는 권취릴32를 회전시키는 모터44가 도면에 나타내지 않은 구동 연결 기구를 통하여 접속되어 있다. 또한 박리 헤드40이 롤러 콘베이어11의 틈26과 일치하는 위치에는 각각 모터나 실린더 기구 등에 의한 액추에이터46이 설치되어 있다. 액추에이터46은 도면에 나타내지 않은 지지부에 의하여 고정되고, 점착 테이프 카세트부28은 상기 액추에이터46에 의하여 상하로 승강시킬 수 있도록 부착되어 있다. 또한 점착 테이프 카세트부28은 모터44나 액추에이터46 등에 대하여 일체로 착탈이 자유롭게 설치되고, 점착 테이프30을 점착 테이프 카세트부28에 의하여 용이하게 교환 가능하도록 설치되어 있다.

박리 처리부20에 있어서 롤러 콘베이어11의 롤러 양단 근방 내면에는 롤러 콘베이어11을 사이에 두고 상하 대칭으로, 롤러 콘베이어11의 반송방향과 평행하게 주행 레일48이 지지부재50을 통하여 각각 박리 처리부20에 부착되어 있다. 각각의 주행 레일48에 있어서 롤러 콘베이어11에 접한 측면52에는 보호필름54를 지지할 수 있는 척56을 구비한 필름 척장치58이 설치되어 있다. 상기 필름 척장치58은 주행 레일48을 따라 롤러 콘베이어11의 반송방향과 평행하게 이동 가능하도록 설치되어 있다.

또한 박리 처리부20의 도면 우측 옆에는 분리한 보호필름54를 수납하는 필름 스토커59를 구비한 필름 스토커부57이 설치되어 있다.

다음에 상기 필름 박리장치2의 동작에 관하여 설명한다. 우선, 도면에 나타내지 않은 반입장치에 의하여 여러 장 포개진 글라스 기판으로부터 1장의 글라스 기판6을 투입부10에 반입한다. 반입된 글라스 기판6은 표리(表裏)에 보호필름54가 부착된 상태이며, 그 상태에서 기판수용장치8에 의하여 롤러 콘베이어4의 상방에서 지지되고, 기판수용장치8이 강하함으로써 롤러 콘베이어4 상에 놓여진다. 다음에 글라스 기판6은 투입부10의 롤러 콘베이어4에 의하여 연결부18의 승강부재14 측으로 이송된다. 이 때에 리프터16의 승강상태는 하단에 있고, 글라스 기판6은 롤러 콘베이어7a 상에 실린다. 그리고 리프터16은 글라스 기판6이 실린 승강부재14를 상단까지 상승시키고, 롤러 콘베이어7a에 의하여 글라스 기판6을 박리 처리부20으로 이송한다.

박리 처리부20에서는 롤러 콘베이어11에 의하여 글라스 기판6의 일단부가 도면 우단에 도달할 때까지 이동된다. 그리고 방전 블로우22에 의하여 필름 단부에 공기를 세차게 불어서 정전기를 제거한다. 다음에 글라스 기판6의 표리에 위치한 점착 테이프 카세트부28을 각각의 액추에이터46에 의하여 동시에 글라스 기판6에 가까이 한다. 그리고 점착 테이프 카세트부28의 박리 헤드40에 의하여 점착 테이프30의 점착면36이 글라스 기판6의 보호필름54의 표면에 가압된다. 롤러 콘베이어11의 하방의 점착 테이프 카세트부28은 롤러 콘베이어11의 틈26으로부터 글라스 기판6의 이면(裏面) 측의 보호필름54에 접촉된다. 이 때의 각 박리 헤드40의 위치는, 도3에 나타낸 바와 같이 글라스 기판6의 각부(모서리부) 가장자리6a에 대하여 점착 테이프30이 보호필름54의 가장자리로부터 약간 돌출된 상태가 되는 위치로 설정되어 있다.

그리고 액추에이터46에 의하여 점착 테이프 카세트부28의 박리 헤드40을 글라스 기판6에 대하여 직각방향으로 멀어지도록 이동시킨다. 이렇게 하면 도3에 나타낸 바와 같이 점착 테이프30의 점착면36에 보호필름54가 점착된 상태에서 박리 헤드40과 함께 점착 테이프30에 부착되어서 보호필름54가 글라스 기판6으로부터 분리된다. 그리고 글라스 기판6의 폭방향의 양단부에서 박리된 보호필름6의 가장자리를 필름 척장치58의 척56에 의하여 지지한다.

다음에 필름 척장치58은 주행 레일48을 따라서 도1에 있어서 우측으로 이동한다. 이에 따라 점착 테이프30의 점착면36에 붙은 보호필름54는 분리된다. 동시에 글라스 기판6을 롤러 콘베이어11에 의하여 도면 좌측으로 이동시킨다. 이 때에 보호필름54의 박리위치가 롤러 콘베이어11의 틈26과 일치하도록 하는 속도로 글라스 기판6이 박리 처리부20의 롤러 콘베이어11로부터 좌측의 롤러 콘베이어7b로 이동한다. 그 후에 글라스 기판6이 연결부18의 승강부14로 이동을 완료하면 보호필름54의 박리도 완료된다. 주행 레일48의 도면 우단부로 이동한 필름 척장치58은 지지를 해제하고 보호필름54를 필름 스토커59에 낙하한다.

점착 테이프 카세트부28의 점착 테이프 이송에 관하여 설명한다. 필름 척장치58에 의하여 점착 테이프30에 점착된 보호필름54가 분리된 후에 점착 테이프 권취릴32는 박리 헤드40과의 접촉면 부분을 감아서 박리 헤드40의 단부에 새로운 점착면36이 위치하도록 회전한다.

글라스 기판6을 탑재한 연결부18의 승강부재14에서는 리프터16에 의하 여 글라스 기판6이 상단으로 상승하고, 롤러 콘베이어7b에 의하여 반출부12로 이송된다. 반출부12에서는 기판수용장치9가 상승하여 롤러 콘베이어5 상의 글라스 기판6을 약간 더 상승시켜서 롤러 콘베이어5로부터 분리된 상태가 된다. 그 상태에서 도면에 나타내지 않은 반송장치에 의하여 글라스 기판6이 반출되어 일련의 글라스 기판6의 보호필름54의 분리가 완료된다.

다음에 연결부18의 2단의 롤러 콘베이어7a, 7b에 의한 글라스 기판6의 움직임에 대하여 설명한다. 보호필름54가 부착된 글라스 기판6이 투입부10의 롤러 콘베이어4로부터 하단의 롤러 콘베이어7a에 반입될 때에 박리 처리부20에서의 필름 박리가 이루어진 글라스 기판6이 상단의 롤러 콘베이어7b에 반입된다. 그 후에 리프터16에 의하여 승강부재14가 상승하여 하단의 롤러 콘베이어7a 상의 글라스 기판6이 박리 처리부20으로 보내질 때에, 상단의 롤러 콘베이어7b에 위치하며 보호필름54가 박리된 글라스 기판6이 기판수용장치9의 롤러 콘베이어5로 옮겨진다. 그리고 상기 동작을 반복하여 효율적으로 필름 박리가 이루어진다.

상기 실시예의 필름 박리장치2에 의하면 박리 처리부20에 의하여 글라스 기판6의 표면(表面) 및 이면(裏面)의 양면으로부터 동시에 보호필름54를 분리하기 때문에 글라스 기판6의 면을 반전시키는 등의 필요가 없어서 효율이 좋다. 또한 박리 헤드40은, 도4에 나타낸 바와 같이 보호필름54의 가장자리가 돌출되어 있는 측의 글라스 기판6의 가장자리부 외에도 보호필름54의 가장자리가 돌출되어 있는 측과 내측에 위치하고 있는 부분에 점 착시켜서 박리하여도 좋다. 이 경우에 보호필름54가 돌출되어 있는 측으로부터 박리한다. 이에 따라 글라스 기판6의 이송방향을 단변방향(短邊方向)과 장변방향(長邊方向)의 어느 쪽이든 선택가능하게 되어 공정상의 제약이 없어진다. 특히, 대형의 글라스 기판6의 보호필름을 박리하는 경우는 길이방향으로 이동시키는 편이 스페이스 효율이 좋다. 또한 보호필름54의 분리와 동시에 연결부18로 글라스 기판6의 이송이 이루어지므로, 이동의 낭비가 없고 처리시간이 짧다.

또한 보호필름54의 전체길이에 점착 테이프30을 부착시켜 분리하는 것이 아니기 때문에 처리하기가 쉽다. 보호필름54의 끝을 박리할 때에 사용하는 점착 테이프30은 보호필름54의 가장자리로부터 약간 일부 돌출되어 점착하여 보호필름54를 분리하므로, 보호필름54의 가장자리부에 공기가 들어가서 용이하게 들어올릴 수 있어 확실하게 보호필름54가 분리된다. 또한 박리 헤드40의 단면부분 만의 면적을 사용하기 때문에 점착 테이프30의 사용량도 소량으로 끝나므로 비용을 절감할 수 있다.

또한 점착 테이프30은 점착 테이프 카세트부28에 의하여 일체적으로 교환가능하고, 용이하게 착탈 가능하고, 클린룸 내에서 장갑을 끼고 있는 상태에서도 용이하게 교환 작업이 가능하다. 또한 분리한 보호필름54는 필름 스토커59에 수납하기 때문에 필름 처리의 시간이 들지 않는다.

다음에 본 발명의 필름 박리장치의 제2실시예에 대하여 도5∼도7을 기초로 하여 설명한다. 여기에서 상기 실시예와 동일한 부재는 동일한 부 호를 붙인다. 본 실시예에서는 도5에 나타낸 바와 같이 보호필름54는 글라스 기판6의 일변(一邊)에서 일부가 돌출된 상태로 부착되어 있다. 이와 같이 부착된 보호필름54를 박리하는 경우에 보호필름54가 돌출된 가장자리부 상방에 박리 헤드40을 위치시켜서, 박리 헤드40 및 점착 테이프30이 접촉상태에서는 글라스 기판6의 가장자리로부터 일부가 돌출되도록 배치한다. 또한 한 쌍의 박리 헤드40 사이에는 상기 박리 헤드40 사이를 글라스 기판6의 가장자리 부분의 근방에서 이동 가능한 에어 스크레이퍼(air scraper)60이 설치되어 있다.

본 실시예의 필름 박리장치2의 박리 헤드40에는 점착 테이프30을 글라스 기판6의 표면방향으로 가압 이동이 자유롭게 설치된 막대 모양의 가압유지부재62을 구비하고 있다. 가압유지부재62는, 박리 헤드40이 점착 테이프30을 통하여 글라스 기판6에 접촉한 후에 박리 헤드40의 대피시에 일시적으로 글라스 기판6을 눌러서, 보호필름54과 함께 글라스 기판6이 들어올려지는 것을 방지하기 위한 것이다.

이하에 본 실시예의 필름 박리장치2의 동작에 관하여 설명한다. 우선, 도면에 나타내지 않은 반입장치에 의하여 여러 장 포개진 글라스 기판으로부터 1장의 글라스 기판6을 반입하여 박리 처리부20으로 이송한다. 이송방법은 상기 실시예와 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 다음에 보호필름54를 박리할 때에 도6(a)에 나타낸 바와 같이 글라스 기판6에 대면한 점착 테이프 카세트부28을 글라스 기판6 측에 가까이 한다. 그리고 도6(b)에 나타낸 바와 같이 각 점착 테이프 카세트부28의 박리 헤드40에 의하여 점착 테이프30의 점착면36을 글라스 기판6의 보호필름54의 표면에 가압시킨다.

다음에 도6(c) 및 도7(a)에 나타낸 바와 같이 박리 헤드40을 점착 테이프30과 함께 글라스 기판6의 표면으로부터 분리함과 아울러 가압유지부재62를 점착 테이프30을 통하여 글라스 기판6에 일시적으로 가압시킨다. 이에 따라 박리 헤드40이 이동하며 점착 테이프30의 점착면36과 함께 보호필름54가 일부 들어올려진다. 그러나 가압유지부재62에 의하여 글라스 기판6이 눌려져 있으므로, 점착 테이프30의 상승과 함께 글라스 기판6이 들어올려지는 것을 방지한다.

이후에 도7(b)에 나타낸 바와 같이 가압유지부재62를 대피시켜서 점착 테이프30을 박리 헤드40 측에 접촉시키면, 보호필름54도 박리 헤드40의 밑면으로 끌어당겨진다. 그리고 에어 스크레이퍼60을 에어 분사 상태로 한 쌍의 박리 헤드40사이를 이동시켜서 보호필름54의 단부를 확실하게 글라스 기판6의 표면으로부터 박리함과 아울러 상기 실시예와 같이 척에 의하여 보호필름54를 지지하여 글라스 기판6의 표면으로부터 분리한다.

본 실시예의 필름 박리장치2에 의하면, 글라스 기판6으로부터 보호필름54를 박리할 때에 글라스 기판6 자체가 들어올려지는 것을 방지하여 글라스 기판6에 뒤틀림이나 그 이외의 영향을 끼치지 않고 깨끗하게 보호필름54를 박리할 수 있다. 또한 가장자리부에서 박리한 보호필름54의 박리부분에 에어 스크레이퍼60에서 에어를 분사하는 것에 의하여 용이하고 확실하게 보호필름54가 글라스 기판6으로부터 분리된다.

다음에 본 발명의 필름 박리장치의 제3실시예에 관하여 도8, 도9를 기초로 하여 설명한다. 여기에서 상기 실시예와 동일한 부재는 동일한 부호를 붙인다. 본 실시예에서는 필름 박리장치2의 박리 헤드40은 각각 독립적으로 상승 및 하강이 가능하도록 가압부40a, 40b로 2분할되어 있다. 박리 헤드40의 양측에는 롤러 부재41, 43이 별체(別體)로 설치되어 있다. 본 실시예에서는 가압부40a가 보호필름54를 점착 테이프30에 점착시키는 것이고, 가압부40b는 상기 실시예의 가압유지부재의 기능을 수행한다.

본 실시예의 필름 박리장치2의 동작도 상기 실시예와 같이, 도면에 나타내지 않은 반입장치에 의하여 여러 장 포개진 글라스 기판으로부터 1장의 글라스 기판6을 반입하여 박리 처리부20에서 보호필름54를 박리할 때에 먼저 글라스 기판6에 대면한 점착 테이프 카세트부28을 글라스 기판6 측에 가까이 한다. 그리고 도8(a)에 나타낸 바와 같이 각 점착 테이프 카세트부28의 박리 헤드40에 의하여 점착 테이프30의 점착면36을 글라스 기판6의 보호필름54의 표면에 가압시킨다.

다음에 도8(b)에 나타낸 바와 같이 박리 헤드40의 가압부40a를 글라스 기판6으로부터 분리한다. 이에 따라 점착 테이프30과 함께 글라스 기판6의 표면으로부터 보호필름54가 일부 들어올려진다. 그러나 이 때에 가압부40b에 의하여 점착 테이프30 및 보호필름54를 통하여 글라스 기판6이 가압된 상태를 유지하고 있다. 이에 따라 박리 헤드40의 가압부40a의 이동과 함께 글라스 기판6이 들어올려지는 것을 방지한다.

이후에 도8(c)에 나타낸 바와 같이 박리 헤드40의 가압부40b도 대피시켜 점착 테이프30을 박리 헤드40 측에 가까이 당기면, 점착면36에 붙은 보호필름54도 박리 헤드40의 단면(端面)으로 끌어당겨진다. 또한 도9(a)에 나타낸 바와 같이 박리 헤드40을 글라스 기판6으로부터 분리하고, 도9(b)에 나타낸 바와 같이 필름 척장치의 척56에 의하여 보호필름54를 파지(把持)한다. 그 후에 필름 척장치의 척56을 보호필름54의 분리방향으로 상대적으로 이동시켜서 보호필름54를 확실하게 글라스 기판6의 표면으로부터 박리한다.

본 실시예의 필름 박리장치2에 의하면, 글라스 기판6로부터 보호필름54를 박리할 때에 글라스 기판6 자체가 들어올려지는 것을 방지하여 글라스 기판6에 뒤틀림이나 그 이외의 영향을 끼치지 않고 깨끗하게 보호필름54를 박리할 수 있다.

다음에 본 발명인 필름 박리장치의 제4실시예에 관하여 도10, 도11을 기초로 하여 설명한다. 여기에서 상기 실시예와 동일한 부재는 동일한 부호를 붙인다. 본 실시예의 필름 박리장치2는 박리 헤드40과 그 양측의 롤러 부재41, 43을 구비하고, 롤러 부재43에 있어서 테이프 이송 상류 측에 테이프 텐션 조절기구45가 설치된 것이다. 테이프 텐션 조절기구45는 테이프 이송 측에 텐션 조절 롤러를 설치하고, 상기 롤러를 테이프 이송방향과 교차하는 방향으로 위치조절이 가능하게 한 것이다. 또한 테이프 이송 측의 이송모터(feed motor)의 제어에 의하여 이루어져도 좋다.

본 실시예의 필름 박리장치2의 동작은 상기 실시예와 같이 도면에 나타내지 않은 반입장치에 의하여 여러 장 포개진 글라스 기판으로부터 1장의 글라스 기판6을 반입하여 박리 처리부20에서 보호필름54를 박리할 때에 우선 글라스 기판6에 대면한 점착 테이프 카세트부28을 글라스 기판6 측에 가까이 한다. 그리고 도10(a)에 나타낸 바와 같이 각 점착 테이프 카세트부28의 박리 헤드40에 의하여 점착 테이프30의 점착면36을 글라스 기판6의 보호필름54의 표면에 가압시킨다.

다음에 도10(b)에 나타낸 바와 같이 테이프 텐션 조절기구45에 의하여 글라스 기판6의 가장자리 측이 아닌 내측의 점착 테이프30을 소정량 휘어지게 한다. 이후에 도10(c)에 나타낸 바와 같이 한 쌍의 박리 헤드40을 글라스 기판6으로부터 대피시킨다. 이 때에 휘어진 측의 점착 테이프30은 박리 헤드40의 대피에 있어서 휘어진 정도만큼 이동이 늦고, 글라스 기판6의 가장자리부 측의 보호필름54가 먼저 박리 헤드40과 함께 들어올려진다. 이후에 도11(a)에 나타낸 바와 같이 박리 헤드40을 글라스 기판6으로부터 더욱 분리하고, 점착 테이프30을 박리 헤드40 측으로 가까이 당긴다. 이에 따라 보호필름54도 박리 헤드40의 단면 측으로 끌어당겨진다. 다음에 도11(b)에 나타낸 바와 같이 필름 척장치의 척56에 의하여 보호필름54를 파지한다. 그리고 필름 척장치의 척56을 보호필름54의 분리방향으로 상대적으로 이동시킴과 아울러 글라스 기판6을 반대방향으로 이동시켜서 보호필름54를 확실하게 글라스 기판6의 표면으로부터 박리할 수 있다.

본 실시예의 필름 박리장치2에 의하면 글라스 기판6으로부터 보호필름54를 박리할 때에 간단한 구조로 글라스 기판6 자체가 들어올려지는 것을 방지하고, 글라스 기판6에 비틀림이나 그 이외의 영향을 끼치지 않고 깨끗하게 보호필름54를 박리할 수 있다.

다음에 본 발명의 필름 박리장치의 제5실시예에 대해서 도12를 기초로 하여 설명한다. 여기에서 상기 실시예와 동일한 부재는 동일한 부호를 붙인다. 본 실시예에서는 필름 박리장치2의 박리 헤드40은 양측의 롤러 부재41, 43과 함께 필름 박리방향으로 회전가능하게 설치된 것이다. 본 실시예에서는 도12(a)에 나타낸 바와 같이 박리 헤드40이 점착 테이프30을 통하여 글라스 기판6에 접촉하고, 박리 헤드40에 의하여 보호필름54를 점착 테이프30에 점착시킨 후에 도12(b)에 나타낸 바와 같이 박리 헤드40과 롤러 부재41, 43이 보호필름54의 단부로부터 박리방향으로 회전한다. 이에 따라 롤러 부재43에 의하여 글라스 기판6을 누른 상태로 보호필름54의 단부가 박리된다.

이후에 상기 실시예와 같이 즉 도11(a)와 같이 박리 헤드40이 글라스 기판6으로부터 분리되면 보호필름54의 단부가 글라스 기판6으로부터 박리되어 도11(b), (c)에 나타낸 바와 같이 척56에 의하여 보호필름54를 파지하고 글라스 기판6으로부터 보호필름54를 확실하게 분리할 수 있다.

또한 본 발명의 필름 박리장치는 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고, 필름 척장치가 박리한 보호필름을 지지할 때에는 글라스 기판의 폭방향 양단에 위치하는 가장자리를 동시에 지지하는 것 외에 어느 일방을 지지하여도 좋다. 또한 박리 처리부는 상기 실시예와 같이 설치되는 것 외에, 글라스 기판의 일련의 공정 중에 설치 되어 있어도 좋다. 또한 글라스 기판 이외의 기판의 보호필름의 박리에 사용하여도 좋은 것이다.

보호필름에 대한 점착위치는 기판의 각부(모서리부)이며 보호필름 가장자리 근방이면 좋고, 박리 헤드나 점착 테이프는 보호필름의 가장자리로부터 약간 돌출된 상태에서 점착시켜서 분리하면 더 바람직하다.

또한 보호필름을 지지하고 점착 테이프로부터 보호필름을 분리할 때에, 점착 테이프로부터의 분리로부터 글라스 기판으로부터의 분리까지 단숨에 하지 않고 우선, 점착 테이프로부터 분리한 후에 글라스 기판으로부터 보호필름을 분리하는 동작이어도 좋다. 이러한 동작은 보호필름과 점착 테이프의 소재(素材)에 의하여 적절하게 선택 가능한 것이다.

그 밖에 점착 테이프의 점착력이 보호필름을 점착하고 박리시키는 것에 충분한 점착력이 있으면 되기 때문에, 점착 테이프의 이송을 줄이고, 점착면을 반복하여 사용하여도 좋고, 이에 따라 점착 테이프의 소비량이 적어지므로 보다 효율적이다.

본 발명의 필름 박리방법과 장치에 의하면, 보호필름 가장자리부의 상태에 관계없이 확실하게 보호필름을 글라스 기판으로부터 박리할 수 있 다. 또한 점착 테이프의 소비량이 적고, 점착 테이프의 교환 사이클이 길고, 장치 자체의 유지보수의 빈도도 극히 적어서 좋다. 또한 글라스 기판 양면에 점착된 보호필름을 간단한 장치로 짧은 공정에 의하여 동시에 확실하게 박리하는 것도 가능하여 작업 효율이 좋다.

Claims (15)

1. 표리면(表裏面)에 보호필름(保護film)이 점착(粘着)된 글라스 기판 단부(端部) 근방에 점착 테이프를 설치하여 그 점착면을 가압하고, 상기 글라스 기판 표리면의 각 보호필름에 점착된 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면으로부터 분리하여 상기 글라스 기판 단부 근방의 상기 보호필름을 일부 박리하고, 박리한 상기 보호필름 단부를 필름 척장치의 척(chuck)으로 지지하고 상기 글라스 기판을 이동시켜서 상기 글라스 기판의 이동에 의하여 상기 글라스 기판의 양면으로부터 동시에 상기 보호필름을 박리하는 필름 박리방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 글라스 기판의 각부(角部 ; 모서리부)의 가장자리로부터 상기 점착 테이프가 약간 돌출된 상태에서 상기 보호필름에 상기 점착 테이프를 부착하고, 그 후에 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 필름 박리방법.
3. 제2항에 있어서,

   상기 글라스 기판으로부터 상기 보호필름을 일부 박리한 상태에서, 상기 보호필름과 글라스 기판의 사이에 에어(air)를 분사(噴射)하면서 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 필름 박리방법.
4. 제2항에 있어서,

   상기 필름 척장치는, 상기 글라스 기판 양면(兩面) 각각의 폭방향의 단부(端部) 근방에 위치하고, 상기 글라스 기판이 놓여진 콘베이어의 상기 글라스 기판의 이송방향으로 상기 척을 평행 이동시킴과 아울러 상기 글라스 기판을 되돌아가는 방향으로 이동시켜 상기 보호필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 필름 박리방법.
5. 제2항에 있어서,

   상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판의 상기 보호필름에 가압한 후에, 상기 점착 테이프에 있어서 상기 글라스 기판 내측방향의 텐션(tension)을 완화하고, 이러한 후에 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판으로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 필름 박리방법.
6. 표리면에 보호필름이 점착된 글라스 기판 단부 근방에 각각 위치한 점착 테이프와, 상기 글라스 기판 표리면 측에 각각 설치되어 상기 점착 테이프의 점착면을 상기 글라스 기판 측을 향하여 가압하는 박리 헤드와, 상기 보호필름에 점착된 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면으로부터 분리하여 상기 글라스 기판으로부터 상기 보호필름을 일부 박리하는 점착 테이프 이동수단과, 박리한 상기 보호필름의 단부를 지지하는 필름 척장치와, 상기 필름 척장치로 지지한 보호필름을 상기 글라스 기판 양면으로부터 분리하는 분리수단을 갖춘 필름 박리장치.
7. 제6항에 있어서,

   상기 박리 헤드는, 상기 글라스 기판 각부(모서리부)의 일단(一端)의 가장자리의 상기 보호필름의 가장자리로부터 상기 점착 테이프가 약간 돌출된 위치에 부착 가능하게 위치결정 되어 있는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
8. 제6항에 있어서,

   상기 박리 헤드는, 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판면 방향으로 가압이 자유롭게 설치된 가압유지부재를 구비하고, 상기 박리 헤드가 상기 점착 테이프를 통하여 상기 글라스 기판에 접촉한 후에, 상기 글라스 기판면으로부터 상기 박리 헤드가 분리될 때에 상기 가압유지부재가 일시적으로 상기 글라스 기판을 눌러 상기 보호필름과 함께 상기 글라스 기판이 들어올려지는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
9. 제6항에 있어서,

   상기 박리 헤드는, 상기 점착 테이프를 상기 글라스 기판에 가압한 상태로 회전 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
10. 제6항에 있어서,

    상기 점착 테이프는 점착 테이프 카세트부에 수납되고, 이 점착 테이프 카세트부는 상기 글라스 기판의 양면 양단부에 각각 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
11. 제10항에 있어서,

    상기 필름 척장치는 상기 점착 테이프 카세트부 마다 설치되고, 상기 글라스 기판에 대하여 상대적으로 상기 필름 척장치가 이동 가능하게 설치 되어 있는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
12. 제10항에 있어서,

    상기 점착 테이프를 수납한 상기 점착 테이프 카세트부는, 상기 점착 테이프 카세트부로부터 돌출된 상기 박리 헤드를 구비하고, 이러한 점착 테이프 카세트부는 상기 점착 테이프와 함께 일체로 착탈 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
13. 제6항에 있어서,

    상기 박리 헤드를 상기 글라스 기판의 보호필름에 가압한 상태로 상기 점착 테이프의 상기 글라스 기판 내측방향의 텐션을 완화하는 테이프 텐션 조절기구를 설치한 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
14. 제7항에 있어서,

    상기 점착 테이프에 의하여 상기 보호필름을 일부 박리한 상태로 상기 보호필름과 글라스 기판의 사이에 에어를 분사하는 에어 분사수단을 설치한 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.
15. 제14항에 있어서,

    상기 에어 분사수단은, 상기 기판의 박리가 진행되는 일변(一邊)을 따라 이동 가능하게 설치되고, 상기 박리 헤드에 의하여 상기 기판 코너부에서 박리된 상기 보호필름의 박리를, 상기 기판의 일변으로 확장하는 것을 특징으로 하는 필름 박리장치.

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