KR20070111304A - 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법 및 박리 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 기판의 표면에 부착된 보호 필름의 박리 계기를 정밀하게 만들어 박리 미스를 없애고, 또한, 벗겨내는 시간을 단축시키며, 나아가 박리 테이프의 사용량을 최소한으로 함과 함께 벗겨낸 후의 보호 필름 등의 재생을 용이하게 하는 것.

(해결 수단) 액정 패널 (A) 의 인접하는 2 개의 모서리부에 있는 박리 유닛 (4) 은, 기판의 대각선방향으로 공급되는 박리 테이프 (30) 를 보호 필름에 가압하면서 이동하는 접착 롤러와, 보호 필름에 접착된 박리 테이프 (30) 를 기판으로부터 잡아 떼어 보호 필름을 기판의 모서리부로부터 일으켜 세우는 기구와, 기판의 모서리부로부터 일으켜 세워진 보호 필름을 협지하는 필름 척 기구와, 필름 척 기구에 의해 협지된 부분보다 외측의 보호 필름을 절단하는 절단 기구를 갖고, 필름 척 기구가 보호 필름을 협지한 상태에서 2 개의 박리 유닛 (4) 이 타방의 모서리부측으로 액정 패널 (A) 의 측변을 따른 방향으로 이동함으로써 액정 패널 (A) 의 표면으로부터 보호 필름을 잡아 떼어내는 보호 필름의 박리 장치.

Description

기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법 및 박리 장치 {APPARATUS AND METHOD FOR PEELING THE PROTECTIVE FILM ADHERED TO THE BOARD}

도 1 은 본 발명 장치를 적용한 일 실시형태를 나타내는 평면도이다.

도 2 는 본 발명 장치를 나타내는 평면도이다.

도 3 은 도 2 의 III-III 방향 화살표 방향에서 본 도면이다.

도 4 는 도 2 의 IV-IV 방향 화살표 방향에서 본 도면이다.

도 5 는 도 4 의 V-V 방향 화살표 방향에서 본 도면이다.

도 6(a), (b) 는 필름 척 및 필름 절단의 동작도이다.

도 7(a), (b), (c) 는 보호 필름 박리 동작도이다.

도 8(d), (e), (f) 는 보호 필름 박리 동작도이다.

도 9(g), (h) 는 보호 필름 박리 동작도이다.

도 10(a), (b), (c) 는 보호 필름 박리 동작의 우측 측면도이다.

도 11 은 보호 필름 박리 장치의 종단 정면도이다.

도 12 는 도 11 의 화살표 XII-XII 방향의 측면도이다.

도 13 은 도 11 의 화살표 XIII-XIII 방향의 종단 측면도이다.

도 14(a) 및 (b) 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 초기 동작 설명도이다.

도 15(c) 및 (d) 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 중기 동작 설명도이다.

도 16(e) 및 (f) 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 후기동작 설명도이다.

도 17(a) 내지 (d) 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 전반 동작 설명도이다.

도 18(e) 내지 (h) 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 후반 동작 설명도이다.

도 19(a) 및 (b) 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 초기 동작 설명도이다.

도 20(c) 및 (d) 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 중기 동작 설명도이다.

도 21(e) 및 (f) 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 후기 동작 설명도이다.

도 22 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전반의 동작 설명도이다.

도 23 은 보호 필름의 박리 방법에 있어서 후반의 동작 설명도이다.

도 24(a) 는 보호 필름 수납부의 보호 필름 압출전의 종단 측면도, (b) 는 보호 필름 수납부의 보호 필름 압출 상태의 종단 측면도이다.

도 25 는 보호 필름의 박리 방법에 있어서 전처리 박리의 후반 동작을 설명한 사시도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

a: 액정 패널 공급부

b: 액정 패널 위치 결정부

c: 보호 필름 박리부

d: 보호 필름 회수부

e: 백라이트 유닛 공급부

f: 백라이트 조립부

g: 베셀 조립부

A: 액정 패널

B: 편광판

C: 보호 필름

C': 보호 필름 절단편

D: 모서리부

E: 시트재

F: 보호 필름

1: 수납 카세트

2: 흡착 테이블

3: 흡착 테이블

4: 박리 유닛

5: 백라이트 유닛

6: 기대(機臺)

7: 레일

8: 슬라이더

9: 지지틀

10: 베이스판

11: 레일

12: 슬라이더

13: 유닛대(臺)

14: 레일

15: 슬라이더

16: 지지판

17: 실린더

18: 보호 필름 돌상 (突上) 유닛

19: 슬라이더

20: 제전 블로우

21: 보호 필름 배출 유닛

22: 지지틀

23: 지지틀

24: 롤러

25: 엔드리스 벨트

26: 지지틀

27: 실린더

28: 박리 테이프 공급 릴

29: 박리 테이프 권취 릴

30: 박리 테이프

31: 가이드 롤러

32: 접착 롤러

33: 가이드 롤러

34: 가이드 롤러

35: 박리 테이프 권취 모터

36: 실린더

36: 공급측 테이프 척

38: 레일

39: 슬라이더

40: 실린더

41: 실린더

42: 실린더

43: 회수측 테이프 척

44: 고정틀

45: 받이측 (受側) 필름 척

46: 레일

47: 슬라이더

48: 구동측 필름 척

49: 실린더

50: 커터 고정틀

51: 커터 날

52: 스프링

53: 시트재 수납부

54: 시트재 취출 기구

55: 시트재 이송 기구

56: 전처리 기구

57: 박리 기구

58: 분리편

59: 박리 완료 시트재의 수납부

60: 반송 벨트

61: 보호 필름 수납부

62: 보호 필름의 압출 기구

63: 틀형 프레임

64: 지지틀

65: 지지틀

66: 수평 실린더

67: 수직 실린더

68: 시트재 흡착 패드

69: 흡착 반송 유닛

70: 지지 가이드

71: 롤러축

72: 정위치 반송 롤러

73: 실린더

74: 고정 지지틀

75: 승강 반송 롤러

76: 리어부 압접판

77: 프론트부 압접판

78: 지지틀

79: 레일

80: 이동대

81: 박리 유닛

82: 실린더

83: 점착 롤러

84: 실린더

85: 승강틀

86: 점착 롤러

87: 점착 롤러

88: 지지 롤러

89: 롤러축

90: 간극

91: 구동 모터

92: 구동 기어

93: 플레이트

94: 토우부

95: 가이드 롤러

96: 지지틀

97: 지지틀

98: 고정틀

99: 압출판

100: 가이드

101: 실린더

특허 문헌 1: 일본 공개특허공보 평5-273413호

특허 문헌 2: 일본 공개특허공보 평6-278936호

특허 문헌 3: 일본 공개특허공보 평5-273508호

본 발명은 기판의 표면에 적층된 보호 필름을 박리하는 방법 및 장치, 더욱 상세하게는, 전처리 공정에서 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공한 후, 점착 롤러에 의해 보호 필름을 박리하고, 박리한 보호 필름을 점착 롤러로부터 분리하여 이것을 수납하도록 한 보호 필름의 박리 방법 및 장치에 관한 것이다.

종래부터 액정 패널을 제조하는 데에 있어서, 하나의 액정 패널의 양 표면에 대하여 점착제층을 일방 표면에 형성한 2 장의 편광판을 접착하고, 그 위에 백라이트 등을 조립하여 액정 패널 완성품이 된다.

이 편광판에 있어서, 액정 패널에 접착시키는 일방의 점착면측을 덮고 있는 이형 필름과 타방면을 보호하는 보호 필름이 사전에 접착되어 있어, 이형 필름을 박리하면서 액정 패널에 편광판을 접착하고, 그 후, 액정 패널에 백라이트를 조립하기 직전에 편광판 타방면측의 보호 필름이 박리된다.

또한, 액정 패널의 제조에 있어서, 렌즈 시트 등의 각종 시트재 형상의 기판에 표면을 보호하는 보호 필름을 기판으로부터 박리한 다음 확산판 등과 적층하여 백라이트용 확산판을 구성하는 경우도 있다.

이 이형 필름 및 보호 필름 양자의 박리는, 종래 박리 테이프를 편광판의 상기 필름 상에 접착하고, 이 박리 테이프를 권취함으로써, 상기 보호 필름을 박리 테이프와 일체로 박리시키고 있다.

또한, 상기 보호 필름의 박리에 있어서, 그 박리성의 향상을 위해 보호 필름 상의 벗기기 쉬운 대각 부분의 한 지점에 박리 테이프편을 접착하고, 그 박리 테이프편의 편광판보다 외측 부분의 일단을 로봇 아암 등에 의해 잡고, 대각방향으로 박리 테이프편과 보호 필름을 일체로 박리하는 방법이 행해지고 있다 (예를 들어, 상기 특허 문헌 1 참조).

또한, 별도 수단으로서, 보호 필름 상의 1 변에 대하여 수직방향으로 박리 테이프를 접착하고, 보호 필름의 1 변측의 일부를 일으켜 세우고, 그 일으켜 세운 부분의 보호 필름측부를 척 기구에 의해 잡은 후, 보호 필름을 척에 의해 잡아 당겨 보호 필름과 박리 테이프를 떼어내고, 계속해서 잡고 있는 보호 필름을 편광판의 1 변을 따라서 평행하게 벗겨내는 방법이 행해지고 있다 (예를 들어, 상기 특허 문헌 2 참조).

또 별도의 수단으로서, 점착 롤러를 보호 필름에 세게 누르고 접착 롤러를 회전시켜서, 이 점착 롤러의 외주에 보호 필름을 권취하는 방법 등이 행해지고 있다 (예를 들어, 상기 특허 문헌 3 참조).

그런데, 최근에는 액정 패널의 대형화가 도모되어 32 인치를 초과하는 액정 패널도 많이 제조되게 되었으며, 상기 박리 테이프를 편광판에 접착하고, 이형 필름 또는 보호 필름을 벗겨내는 방법에서는 적어도 박리 테이프를 액정 패널의 1 변방향 전체에 걸쳐서 접착하기 때문에, 박리 테이프의 사용량이 매우 많아진다는 문제가 있다.

또한, 편광판의 1 변방향을 따라 평행하게 상기 필름을 벗기는 경우, 박리 개시단부의 편광판과 상기 필름이 접착되는 양이 편광판 모서리부로부터 벗기는 경우와 비교하여 커지기 때문에, 박리의 계기를 만들기가 곤란하다.

그래서, 특허 문헌 1 과 같이 기판의 모서리로부터 대각방향으로 박리함으로써 박리성의 향상이 기도되고 있는데, 이 방법은 박리하기 쉬운 대각방향에 박리의 계기를 만들지만, 대각방향으로 박리를 실시하기 때문에 최근의 액정 패널의 대형화에 수반하여, 박리 거리가 길어지고, 시간이 많이 걸린다는 문제나 간접적으로 박리 테이프편을 잡아 당기기 때문에 박리 테이프편과 보호 필름이 어긋나, 박리 미스가 일어나는 문제가 있다.

그리고, 최근의 환경 문제에 동반하여 보호 필름을 리사이클해서 재생시키고자 하는 경우, 보호 필름 상에 박리 테이프가 잔존하기 때문에, 재생시에 박리 테이프나 점착제 등의 불순물을 제거할 필요가 있어 재생 비용이 커지는 문제가 있다.

또한, 특허 문헌 2 의 방법은, 박리 테이프에 의해 박리의 계기를 만든 후, 척 기구로 직접 보호 필름만을 박리하는 것이지만, 박리 계기는 편광판의 1 변에 대하여 수직방향으로 실시하기 때문에, 상기 서술한 바와 같이 박리의 계기를 만드는 것이 어려우므로, 박리 테이프의 점착력을 높이거나, 박리 테이프와 척 기구를 늘리거나 할 필요가 있어 비용이 증가하는 문제가 있다.

또한, 박리 테이프의 점착력을 높이면, 특허 문헌 2 의 방법에서는 액정 패널의 하면이 롤러 상에 탑재되어 있는 상태로 유지되어 있지 않기 때문에, 박리 테 이프에 의해 박리 계기를 만들 때에, 액정 패널이 점착 테이프에 의해 들어 올려져, 파손될 우려가 있다. 따라서 박리 테이프의 점착력을 높일 수 없고, 박리 미스가 발생하기 쉬운 문제가 있었다.

그 밖에, 박리 테이프를 사용하는 방법을 사용하는 한, 박리 미스를 없애기 위해서는 박리 테이프의 점착력을 높이지 않으면 안되지만, 점착력을 높이면 높일수록 보호 필름과 박리 테이프를 떼어내기가 어려워져, 보호 필름의 재생시의 박리 테이프나 점착제 등의 불순물이 잔존하는 문제가 생기고 있었다.

또한, 특허 문헌 3 과 같은 점착 롤러에 의한 보호 필름의 박리 방법에서는, 박리 개시시에 보호 필름과 기판이 잘 벗겨지지 않아, 그 때문에 박리가 실패하거나, 점착 롤러에 기판을 말려 들어가게 하거나 하는 경우가 있고, 특히 기판이 대형화하면 이 문제가 현저해졌다.

기판의 양면에 박리해야 할 보호 필름 등이 형성되어 있는 경우에는 박리 기구가 표리 2 기(機)가 필요해지거나, 또는, 박리 기구를 1 기로 실시하기 위해서는 기판의 반전 기구가 필요해지고, 1 장씩 박리해야 하기 때문에 시간을 필요로 한다.

또한, 점착 롤러로 감아들이는 방법은, 감아들인 보호 필름에 따라서 감긴 직경이 증대하여 점착 롤러의 누르는 힘이 변화되어서 안정된 박리가 불가능해지는 문제가 있다.

또한, 점착 롤러로부터 보호 필름을 배출할 때까지 점착면이 노출되지 않기 때문에, 그 상태로는 복수 장의 보호 필름을 박리할 수 없고, 감아들인 보호 필름 을 폐기할 때에 별도의 박리 장치를 준비하여, 감아들인 보호 필름을 역전시켜 풀면서 폐기시키고 있기 때문에, 작업에 시간이 걸린다는 문제가 있다.

그래서, 본 발명의 과제는, 기판의 표면에 부착된 보호 필름의 박리 계기를 정밀하게 만들어 박리 미스를 없애고, 벗겨내는 시간을 단축시키며, 또한 박리 테이프의 사용량을 최소한으로 함과 함께 벗겨낸 후의 보호 필름 등의 재생을 용이하게 하고, 또한 점착 롤러에 의한 보호 필름의 박리에 실패가 발생하지 않고, 보호 필름을 연속적으로 벗겨낼 수 있기 때문에, 작업 능률을 향상시킬 수 있으며, 나아가, 양면에 박리해야 할 보호 필름 등이 형성되어 있는 경우에도 동시에 벗겨낼 수 있는, 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법 및 박리 장치를 제공하는 것에 있다.

상기한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 청구항 1 의 발명은, 기판으로부터 보호 필름을 벗겨내는 박리 방법으로, 기판에 대한 보호 필름의 박리 개시전에, 보호 필름의 박리 선단부에 대하여 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법이다.

청구항 2 의 발명은, 상기 청구항 1 에 기재된 보호 필름의 박리 방법 발명에 있어서, 전처리 공정에서 처리한 기판을 적어도 일방에 점착 롤러를 사용하여 대향하는 형상으로 배치한 롤러 사이에, 박리의 계기를 제공한 보호 필름의 선단부로부터 공급하고, 점착 롤러에 의해 기판으로부터 보호 필름을 벗겨내는 박리 공정으로 이루어지는 구성을 채용한 것이다.

청구항 3 의 발명은, 상기 청구항 2 에 기재된 보호 필름의 박리 방법 발명에 있어서, 박리 공정의 직후에서, 점착 롤러 부분에 배치한 분리편에 의해 점착 롤러로부터 보호 필름을 분리하는 분리 공정을 추가한 구성을 채용한 것이다.

청구항 4 의 발명은, 기판을 쌓아올린 형상으로 수납하는 기판 수납부와, 상기 기판 수납부의 상방에 위치하고, 기판 수납부로부터 기판을 꺼내어 전방으로 이송하는 기판 취출 기구와, 상기 기판 취출 기구로부터 받아들인 기판을 전방으로 이송하는 기판 이송 기구와, 상기 기판 이송 기구의 전방에 위치하고, 이 기판 이송 기구에 의해 정위치에 정지하도록 이송되어진 기판에 대하여, 보호 필름의 박리 선단부에 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 기구를 갖는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 장치이다.

청구항 5 의 발명은, 상기 청구항 4 에 기재된 박리 장치 발명에 있어서, 상기 전처리 기구의 전방에 위치하고, 적어도 일방에 점착 롤러를 사용하여 대향하는 형상으로 배치한 롤러 사이에 기판이, 박리의 계기를 제공한 보호 필름의 선단부로부터 공급되면, 점착 롤러에 의해 기판으로부터 보호 필름을 벗겨내는 박리 기구로 형성되어 있는 구성을 채용한 것이다.

청구항 6 의 발명은, 상기 청구항 5 에 기재된 박리 장치 발명에 있어서, 상기 박리 기구의 점착 롤러 부분에, 점착 롤러로부터 보호 필름을 분리하는 분리편을 배치한 구성을 채용한 것이다.

또, 청구항 2 또는 5 의 발명에 있어서, 박리 공정에 사용하는 롤러의 양쪽 을 점착 롤러로 함으로써, 기판의 양면에 박리해야 할 보호 필름 등이 형성되어 있는 경우에 양면의 박리가 동시에 실시될 수 있게 된다.

청구항 7 의 발명은, 표면에 보호 필름이 접착된 기판의 인접하는 2 개의 모서리부 부근에 있어서 기판의 대각선방향으로 공급되는 박리 테이프의 점착면을 보호 필름에 접착하는 공정과, 보호 필름에 접착된 박리 테이프를 기판으로부터 잡아 떼어냄으로써 보호 필름을 기판의 모서리부로부터 일으켜 세우는 공정과, 일으켜 세워진 보호 필름을 필름 척 기구에 의해 협지하는 공정과, 필름 척 기구에 의해 협지된 부분보다 외측의 보호 필름을 절단하는 공정과, 보호 필름을 협지한 상태의 2 개의 필름 척 기구를 동시에 기판의 타방측으로 기판의 측변을 따른 방향으로 이동시키는 공정에 의해 기판으로부터 보호 필름을 잡아 떼어내는 구성으로 이루어지는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법이다.

청구항 8 의 발명은, 청구항 7 에 기재된 보호 필름의 박리 방법에 있어서, 기판에 대한 보호 필름의 박리 개시전에, 보호 필름의 박리 선단부에 대하여 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 공정을 실시하는 구성을 채용한 것이다.

청구항 9 의 발명은, 표면에 보호 필름이 접착된 기판을 흡착 고정하는 흡착 테이블과, 흡착 테이블의 반대측에 있어서 흡착 테이블에 고정된 기판의 인접하는 2 개의 모서리부에서부터 타방의 모서리부측으로 기판의 측변을 따른 방향으로 상대 이동 가능한 2 개의 박리 유닛으로 이루어지고, 각 박리 유닛은, 기판의 모서리부 부근에 있어서 기판의 대각선방향으로 공급되는 박리 테이프의 점착면을 기판의 보호 필름에 가압하면서 이동하는 접착 롤러와, 보호 필름에 접착된 박리 테이프를 기판으로부터 잡아 떼어 보호 필름을 기판의 모서리부로부터 일으켜 세우는 기구와, 기판의 모서리부로부터 일으켜 세워진 보호 필름을 협지하는 필름 척 기구와, 필름 척 기구에 의해 협지된 부분보다 외측의 보호 필름을 절단하는 절단 기구를 갖고, 필름 척 기구가 보호 필름을 협지한 상태에서 2 개의 박리 유닛이 동시에 이동함으로써 기판으로부터 보호 필름을 잡아 떼어내는 구성으로 이루어지는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 장치이다.

청구항 10 의 발명은, 청구항 9 에 기재된 보호 필름의 박리 장치에 있어서, 상기 기판을 쌓아올린 형상으로 수납하는 기판 수납부와, 상기 기판 수납부의 상방에 위치하고, 기판 수납부로부터 기판을 꺼내어 전방으로 이송하는 기판 취출 기구와, 상기 기판 취출 기구로부터 받아들인 기판을 전방으로 이송하는 기판 이송 기구와, 상기 기판 이송 기구의 전방에 위치하고, 이 기판 이송 기구에 의해 정위치에 정지하도록 이송되어진 기판에 대하여, 보호 필름의 박리 선단부에 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 기구를 갖는 구성을 채용한 것이다.

상기한 청구항 1 내지 10 의 발명에 있어서, 기판이란, 예를 들어 표면이 보호 필름으로 덮인 편광판을 양면에 접착한 액정 패널이나, 그 양면 또는 한쪽면에 보호 테이프가 접착된 시트형상의 편광판이나 렌즈 시트 등을 들 수 있고, 요컨대, 양면 또는 한쪽면에 박리해야 할 보호 필름이 부착되어 있는 판형상, 시트형상인 것을 나타낸다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

[제 1 실시형태]

이하, 본 발명의 제 1 실시형태를 도 1 내지 도 10 에 따라서 설명한다.

도 1 은 본 발명에 관련된 보호 필름의 박리 장치를 적용한 액정 패널 제조 장치의 일 실시형태를 나타내는 평면도로, 편광판 접착이 끝난 액정 패널로부터 보호 필름을 박리하고, 이 액정 패널에 백라이트 유닛을 조립하는 공정에 사용되는 장치이다.

도시한 바와 같이, 액정 패널 제조 장치는 보호 필름 박리 라인과 백라이트 장착 라인이 형성되어, 보호 필름 박리 라인은, 액정 패널 공급부 (a), 액정 패널 위치 결정부 (b), 보호 필름 박리부 (c), 보호 필름 회수부 (d) 가 직선 상에 정렬되어 있고, 이 라인에 평행하게, 백라이트 유닛 공급부 (e), 백라이트 조립부 (f), 베셀 조립부 (g) 로 이루어지는 백라이트 조립 라인이 직선상으로 형성되어 있다.

상기 전자의 보호 필름 박리 라인에 있어서의 액정 패널 공급부 (a) 에는, 전공정에서 그 양면에 편광판이 접착된 액정 패널 (A) 이 여러 장 적층되어 수납된 수납 카세트 (1) 가 설치되어 있으며, 엘리베이터 기구에 의해 1 장씩 액정 패널 (A) 을 꺼내고, 꺼낸 액정 패널 (A) 은 상면에서 액정 패널 (A) 을 흡착하는 흡착 테이블 (2) 에 흡착되고, 액정 패널 위치 결정부 (b) 에 있어서 일반적인 위치 결정 작업, 예를 들어 가이드핀에 밀어 누르거나 하여 위치 결정이 행해진다.

위치 결정 후의 액정 패널 (A) 은, 흡착 테이블 (2) 에 흡착된 채로 흡착 테이블 (2) 의 이동에 의해 보호 필름 박리부 (c) 로 운반되고, 여기서 하면에서 액 정 패널 (A) 을 흡착하는 흡착 테이블 (3) 로 옮겨진 후, 1 쌍의 박리 유닛 (4, 4) 에 의해 보호 필름이 박리되고, 박리된 보호 필름은 보호 필름 회수부 (d) 에 회수된다.

편광판 표면의 보호 필름이 박리된 후의 액정 패널 (A) 은 흡착 테이블 (3) 에 흡착된 채로 보호 필름 박리 라인과 직각방향으로 이동하여, 백라이트 조립 라인의 백라이트 조립부 (f) 까지 운반되고 (보호 필름 박리부 (c) 에서 박리 미스가 있었던 경우에는 백라이트 조립부 (f) 의 직전에서 재작업을 실시한다), 백라이트 공급부 (e) 로부터 공급되는 형광관, 확산 시트 등이 조립된 백라이트 유닛 (5) 상에 흡착 테이블 (3) 이 위치하여, 백라이트 유닛 (5) 에 대하여 액정 패널 (A) 의 보호 필름이 박리된 측이 조립되어진다.

그 후, 액정 패널 (A) 과 백라이트 유닛 (5) 은 베셀 조립부 (g) 로 이송되어 베셀을 조립한 후, 다음 공정에서 액정 패널 (A) 표측의 보호 필름이 벗겨지고, 검사 등의 공정을 거쳐 액정 패널의 완성품이 얻어지도록 되어 있다.

다음으로, 보호 필름 박리부 (c) 에 있어서의 본 발명 보호 필름의 박리 장치 전체를 도 2 와 도 3 에 기초하여 설명한다.

기대 (6: 機臺) 상에 평행한 2 개의 레일 (7, 7) 이 설치되고, 각각의 레일 (7) 에 슬라이딩이 자유롭게 끼워진 한 쌍의 슬라이더 (8) 를 연결하도록 지지틀 (9) 이 설치되고, 이 지지틀 (9) 은 도시하지 않은 적당한 수단에 의해 레일 (7) 을 따라서 이동이 자유롭게 되어 있으며, 이 지지틀 (9) 상에 설치된 베이스판 (10) 상에는 상기 레일 (7) 과 직각방향으로 연장되는 한 쌍의 레일 (11, 11) 이 설치되어 있다.

박리 유닛 (4) 은 이 지지틀 (9) 상에 2 대가 설치되어 있고, 각각의 박리 유닛 (4) 은, 지지틀 (9) 상의 레일 (11, 11) 에 슬라이딩이 자유롭게 끼워진 한 쌍의 슬라이더 (12, 12) 상에 설치된 유닛대 (13) 에 탑재되어 있고, 양 박리 유닛 (4) 은 유닛대 (13) 와 함께 도시하지 않은 적당한 수단에 의해 레일 (11, 11) 상을 이동이 자유롭게 되어 있으며, 통상은 접근 이반 동작을 실시하여 보호 필름을 박리하는 기판의 변의 크기에 맞춰지도록 되어 있다.

각 유닛대 (13) 상에는, 레일 (11) 에 대하여 약 45°의 경사방향으로 연장되는 레일 (14) 이 대칭방향에 설치되고, 이 레일 (14) 에 슬라이딩이 자유롭게 끼워진 슬라이더 (15) 상에 설치된 지지판 (16) 은 후술하는 구동 수단에 의해 유닛대 (13) 상에서 도 2 중 경사진 화살표로 나타내는 방향으로 이동이 자유롭게 되어 있다.

베이스판 (10) 의 레일 (11) 보다 우측의 하면에는 실린더 (17) 가 설치되어, 베이스판 (10) 상면의 보호 필름 돌상 유닛 (18) 을 승강이동시키도록 되어 있다.

또한, 지지틀 (9) 의 우측에는, 일방의 레일 (7) 에 슬라이딩이 자유롭게 끼워진 슬라이더 (19) 에 접속된 제전 블로우 (20) 가 설치되어 있고, 이 제전 블로우 (20) 는 기어나 풀리 등의 적당한 구동 수단에 의해 지지틀 (9) 의 이동과 대략 1/2 비율로 이동함으로써, 보호 필름 (C) 의 박리 직후에 생긴 정전기를 이온화된 에어를 분사함으로써 정전기를 없애도록 되어 있다.

기대 (6) 우측의 액정 패널 위치 결정부 (b) (도 1 참조) 로부터 흡착 테이블 (2) 이 상면에 편광판 접착이 끝난 액정 패널 (A) 을 흡착한 상태로, 도 3 중의 화살표로 나타내는 방향으로 진입하여, 하면이 흡착면이 되는 흡착 테이블 (3) 에 액정 패널 (A) 을 건네주도록 되어 있다.

흡착 테이블 (3) 에 흡착된 액정 패널 (A) 의 하면에 접착된 편광판의 보호 필름 (C) 은 2 대의 박리 유닛 (4) 의 레일 (7) 을 따른 이동에 의해 액정 패널 (A) 하면측의 편광판 (B) 의 표면으로부터 벗겨지고, 양 박리 유닛 (4) 이 도면 중 왼쪽의 2 점 쇄선의 위치까지 왔을 때, 보호 필름 돌상 유닛 (18) 의 상승에 의해, 보호 필름 (C) 은 기대 (6) 의 좌측 상방에 있는 보호 필름 배출 유닛 (21) 을 통하여 보호 필름 회수부 (d) (도 1 참조) 로 회수된다.

보호 필름 배출 유닛 (21) 은, 상부의 지지틀 (22) 로부터 좌측으로 돌출한 2 개의 지지틀 (23, 23) 사이에 축지지된 적절한 구동원 (도시 생략) 에 의해 회전 구동되는 복수의 롤러 (24) 와 이 롤러 (24) 에 감겨진 복수 개의 엔드리스 벨트 (25) 로 이루어지고, 각 엔드리스 벨트 (25) 는 마주 보는 엔드리스 벨트 (25) 사이에 보호 필름 (C) 을 끼워 도면 중 좌측으로 이송하도록 되어 있다.

본 발명 박리 장치의 전체는 상기에서 설명한 바와 같고, 다음으로 박리 유닛의 상세한 내용을 도 4 및 도 5 에 기초하여 설명한다.

도 4 는 도 2 의 IV-IV 선 화살표 방향에서 본 도면으로, 베이스판 (10) 으로부터 위의 박리 유닛 (4) 전체를 나타내는 것이고, 유닛대 (13) 상의 레일 (14) 에 끼워지는 슬라이더 (15) 에 의해 레일 (14) 을 따라 이동이 자유롭게 되는 지지 틀 (26) 상에 주면(主面)이 수직면이 되는 지지판 (16) 이 연장되어 있고, 이 지지판 (16) 은 지지틀 (26) 과 유닛대 (13) 사이에 설치한 수평방향으로 작용하는 실린더 (27) 의 작용에 의해, 도면에서 2 점 쇄선으로 나타내는 위치까지 레일 (14) 을 따라 이동이 가능하게 되어 있다.

지지판 (16) 에는 박리 테이프 공급 릴 (28) 및 박리 테이프 권취 릴 (29) 이 축지지되고, 박리 테이프 공급 릴 (28) 로부터 공급되는 박리 테이프 (30) 는 가이드 롤러 (31), 접착 롤러 (32), 가이드 롤러 (33), 및 가이드 롤러 (34) 에 감겨지고, 지지판 (16) 의 뒷편에 있는 박리 테이프 권취 모터 (35) (도 2 참조) 에 의해 구동·제어되는 박리 테이프 권취 릴 (29) 에 의해 소정의 길이분량이 감겨져 가도록 되어 있다.

가이드 롤러 (31) 는 지지판 (16) 에 축지지되고, 실린더 (36) 의 작용에 의해 이 가이드 롤러 (31) 에 대하여 진퇴이동하는 공급측 테이프 척 (37) 과 함께 박리 테이프 (30) 를 협지하여 고정할 수 있도록 되어 있다.

접착 롤러 (32) 와 그 밑의 가이드 롤러 (33) 는, 지지판 (16) 에 수직방향으로 연장된 레일 (38) (도 5 참조) 에 슬라이딩이 자유롭게 끼워진 슬라이더 (39) (도 5 참조) 와 일체로 설치되어 있고, 실린더 (40) 의 작용에 의해 레일 (38) 을 따른 승강이동을 실시하여, 상승하면 도 4 중 2 점 쇄선으로 나타낸 흡착 테이블 (3) 에 흡착된 액정 패널 (A) 에 도달하고, 접착 롤러 (32) 와 가이드 롤러 (33) 에 S 자 형상으로 감겨있는 박리 테이프 (30) 는, 그 점착면이 액정 패널 (A) 하면측의 편광판 (B) 표면에 접착된 보호 필름 (C) 에 세게 눌려지게 되어 있다.

가이드 롤러 (34) 는 지지판 (16) 에 고정된 실린더 (41) 의 선단부에 접속되어 있고, 마찬가지로 이 실린더 (41) 의 선단부에 설치한 실린더 (42) 의 작용에 의해 가이드 롤러 (34) 에 대하여 진퇴이동하는 회수측 테이프 척 (43) 과 함께 박리 테이프 (30) 를 협지하여 고정할 수 있도록 되어 있으며, 이들 가이드 롤러 (34) 및 회수측 테이프 척 (43) 은 상기 실린더 (41) 의 연신 작용에 의해 지지판 (16) 에 대하여 도면 중 좌우방향의 2 점 쇄선으로 나타내는 위치까지 이동 가능하게 되어 있다.

도 4 중, 접착 롤러 (32) 가 승강이동하는 부분의 우측에서 지지판 (16) 의 상부에 고정된 고정틀 (44) 에 받이측 (受側) 필름 척 (45) 이 설치되어 있고, 또한, 접착 롤러 (32) 가 승강이동하는 부분의 좌측에서 지지판 (16) 의 상부에 이 지지판 (16) 을 따라서 설치된 수평의 레일 (46) 에 슬라이딩이 자유롭게 끼워진 슬라이더 (47) 상에 구동측 필름 척 (48) 이 설치되어, 구동측 필름 척 (48) 이 레일 (46) 상을 받이측 필름 척 (45) 측으로 진퇴이동 가능하도록 되어 있다.

또한, 구동측 필름 척 (48) 의 아래에는, 레일 (46) 과 동일방향으로 진퇴이동하는 실린더 (49) 가 지지판 (16) 에 고정되어 있고, 실린더 (49) 의 선단에 고정된 커터 고정틀 (50) 에 커터날 (51) 이 고정되며, 또한 커터 고정틀 (50) 과 구동측 필름 척 (48) 은 스프링 (52) 에 의해 접속되어 있다.

도 6 은 상기 필름 척의 동작을 설명하는 것으로, 도 6(a) 는 흡착 테이블 (3) 에 흡착된 양면에 편광판 (B) 접착이 끝난 액정 패널 (A) 의 하면 모서리부로부터 보호 필름 (C) 의 일부를 벗겨낸 상태이고, 접착 롤러 (32) 및 가이드 롤러 (33) 는 감겨진 박리 테이프 (30) 가 보호 필름 (C) 을 접착한 상태로 하방의 원위치로 되돌아가 있어, 편광판 (B) 으로부터 보호 필름 (C) 이 떼어내져 고정틀 (44) 에 고정된 받이측 필름 척 (45) 의 직전에 면해 있다.

이 상태로, 실린더 (49) 를 연신시키면, 커터 고정틀 (50) 이 보호 필름 (C) 을 향하여 전진하고, 스프링 (52) 에 의해 커터 고정틀 (50) 과 접속된 구동측 필름 척 (48) 도 레일 (46) 을 따라서 전진하여, 구동측 필름 척 (48) 이 받이측 필름 척 (45) 과 함께 보호 필름 (C) 을 협지하여 정지한다.

구동측 필름 척 (48) 이 정지한 후에도 커터 고정틀 (50) 은 실린더 (49) 의 연신에 수반하여 스프링 (52) 을 연신시키면서 전진하여, 구동측 필름 척 (48) 과 받이측 필름 척 (45) 에 의해서 협지된 보호 필름 (C) 을 척부분의 직하에서 커터날 (51) 에 의해 절단한다 (도 6(b)).

다음으로, 액정 패널 (A) 에 접착된 편광판 (B) 표면의 보호 필름 (C) 의 박리 방법을, 도 7 내지 도 9 의 (a)∼(h) 및 도 10(a)∼(c) 에 나타낸 공정도를 중심으로 하여 설명한다.

우선, 액정 패널 위치 결정부 (b) 에서 위치 결정된 편광판 (B) 접착이 끝난 액정 패널 (A) 이 도 3 에서 나타내는 바와 같이 흡착 테이블 (2) 에 의해 보호 필름 박리부 (c) 로 운반되고 흡착 테이블 (3) 로 옮겨지는데, 이 때, 양 박리 유닛 (4) 은 이반시켜 둠으로써, 흡착 테이블 (2) 이 진입할 수 있는 간극을 만들어 놓는다.

도 7(a) 의 2 점 쇄선으로 나타내는 것은 박리 작업 초기의 상태를 나타내 며, 공급측 테이프 척 (37) 은 가이드 롤러 (31) 로부터 떨어져 박리 테이프 공급 릴 (28) 로부터의 박리 테이프 (30) 의 공급이 프리하게 되어 있고, 회수측 테이프 척 (43) 은 가이드 롤러 (34) 와 함께 박리 테이프 (30) 를 협지하고, 접착 롤러 (32) 는 흡착 테이블 (3) 에 대하여 후퇴한 하강 위치에 대기하고 있다.

다음으로, 접착 롤러 (32) 를 상승이동시켜 그 외주부에 감긴 박리 테이프 (30) 의 점착면을 흡착 테이블 (3) 하면에 흡착된 액정 패널 (A) 의 모서리부 (D) 부근의 하면측 보호 필름 (C) 의 표면에 세게 밀어 누르고, 회수측 테이프 척 (43) 은 가이드 롤러 (34) 와 함께 박리 테이프 (30) 를 협지한 채로 실린더 (41) (도 4 참조) 의 연신 작용에 의해 접착 롤러 (32) 측으로 전진하여, 접착 롤러 (32) 와의 사이에서 후의 보호 필름 (C) 의 박리시에 필요해지는 박리 테이프 (30) 의 처짐이 생기도록 한다 (도 7(a) 실선 참조)).

접착 롤러 (32) 는 상승 위치인 채로, 실린더 (27) (도 4 참조) 의 연신 작용에 의해 지지판 (16) 이 우측으로 이동하여, 접착 롤러 (32) 가 액정 패널 (A) 에 대하여 박리 테이프 (30) 를 누르면서 액정 패널 (A) 의 모서리부 (D) 를 향하여 이동하게 된다 (도 7(b) 참조).

액정 패널 (A) 의 모서리부 (D) 까지 이동한 접착 롤러 (32) 는 실린더 (27) 의 신축 작용에 의해 좌측의 원위치까지 되돌아가는데, 박리 테이프 (30) 는 접착 롤러 (32) 가 이동한 부분이 보호 필름 (C) 의 표면에 접착된 상태로 되어 있고, 그 후, 공급측 테이프 척 (37) 에 의해 공급측의 박리 테이프 (30) 를 잡아 고정한다 (도 7(c) 참조).

여기서 접착 롤러 (32) 를 하강시키는데, 먼저 접착 롤러 (32) 의 이동에 의해 액정 패널 (A) 의 모서리부 (D) 의 보호 필름 (C) 에 접착된 박리 테이프 (30) 는, 그 점착력에 의해 모서리부 (D) 에 접착된 채로 되어 있다 (도 10(a) 참조).

다음으로, 회수측 테이프 척 (43) 및 가이드 롤러 (34) 를 실린더 (41) 의 작용에 의해 우측으로 후퇴이동시킴으로써 (도 4 참조), 박리 테이프 (30) 가 하방향으로 잡아 당겨져, 이 박리 테이프 (30) 에 접착된 보호 필름 (C) 이 편광판 (B) 의 모서리부 (D) 로부터 떨어져 벗겨지게 된다 (도 8(d), 도 10(b) 참조).

이 상태로, 도 6 에 나타낸 바와 같이 실린더 (49) 의 연신 작용에 의해 편광판 (B) 의 보호 필름 (C) 중 하방으로 끌려 내려간 부분을 구동측 필름 척 (48) 및 받이측 필름 척 (45) 에 의해 협지하여 고정하고, 그 후 척부분의 하측을 커터날 (51) 에 의해 커트한다 (도 8(e), 도 10(c) 참조).

또한, 공급측 테이프 척 (37) 및 회수측 테이프 척 (43) 의 척 작용을 해제하고, 박리 테이프 권취 릴 (29) 의 감기 작용에 의해 보호 필름 절단편 (C') 을 박리 테이프 (30) 와 함께 감아들이는데, 감는 양은 보호 필름 절단편 (C') 을 감아들이기만 하면 되므로 소량이어도 된다 (도 8(f) 참조).

소정 치수의 박리 테이프 (30) 를 감아들인 후, 공급측 테이프 척 (37) 및 회수측 테이프 척 (43) 은 척 작용을 행하여, 박리 테이프 (30) 를 고정시킨다 (도 9 (g)).

그 후, 구동측 필름 척 (48) 및 받이측 필름 척 (45) 에 의해 액정 패널 (A) 측의 보호 필름 (C) 을 협지하여 고정한 채로, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같 이 각 박리 유닛 (4) 은 레일 (7) 을 따라서 도면 좌측으로 동시에 이동하여, 보호 필름 (C) 을 편광판 (B) 의 표면으로부터 박리해 나가게 된다 (도 9(h) 참조).

이 때, 제전 블로우 (20) 가 박리 유닛 (4) 의 이동과 대략 1/2 비율로 이동함으로써 편광판 (B) 의 표면으로부터 박리된 직후의 보호 필름 (C) 에 추종하여, 박리에 수반되는 정전기의 발생을 이온화한 에어를 분사하여 없애 나간다.

박리 유닛 (4) 이 도 2 및 도 3 에서 2 점 쇄선으로 나타내는 위치까지 오면 보호 필름 (C) 은 편광판 (B) 으로부터 거의 박리되어 있고, 실린더 (17) 의 연신 작용에 의해 보호 필름 돌상 유닛 (18) 이 보호 필름 (C) 을 위로 밀어 올리고, 보호 필름 배출 유닛 (21) 에 의해 보호 필름 (C) 은 편광판 (B) 의 표면으로부터 완전히 벗겨져 배출되게 된다.

본 발명의 실시형태는 이상과 같지만, 본 발명은 상기 실시형태의 것에 한정되지 않고, 본 발명의 목적하는 범위 내에서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.

예를 들어, 상기 실시형태에서는 기판의 단변측 양 모서리부에 박리 유닛을 면하게 하여, 박리 유닛을 기판의 장변을 따라서 이동시켰지만, 기판의 장변측 양 모서리부에 박리 유닛을 면하게 하고, 박리 유닛을 기판의 단변을 따라서 이동시켜도 되며, 그 경우, 박리 유닛의 이동 거리가 짧아져 박리 시간이 보다 짧아진다는 이점이 있다.

또한, 보호 필름 전체의 박리는 2 개의 박리 유닛을 이동시키는 것에 의해 실시하고 있었지만, 액정 패널 등을 유지하는 흡착 테이블과 박리 유닛이 상대적으로 이동하면 되므로, 흡착 테이블측만, 또는 흡착 테이블과 박리 유닛 양자를 이동 시켜 보호 필름을 박리할 수도 있다.

그리고, 본 발명을 적용할 수 있는 기판에 관해서는 실시형태의 액정 패널에 한정되지 않고, 각종 기판에 있어서의 보호 필름 등의 박리에 적용할 수 있다.

[제 2 실시형태]

이하, 본 발명의 제 2 실시형태를 도 11 내지 도 25 에 기초하여 설명한다.

도 11 은, 본 발명에 관련된 편광판이나 렌즈 시트 등의 시트형상 기판 (이하, 시트재라고 한다) 에 적층된 보호 필름 박리 장치의 종단 정면도, 도 12 는 도 11 의 화살표 XII-XII 방향의 측면도, 도 13 은 도 11 의 화살표 XIII-XIII 의 종단 측면도이다.

상기 보호 필름의 박리 장치는, 시트재 (E) 를 수납하는 시트재 수납부 (53) 와, 상기 시트재 수납부 (53) 의 상방에서 선단측에 위치하고, 시트재 수납부 (53) 로부터 최상부의 시트재 (E) 를 꺼내어 전방으로 이송하는 시트재 취출 기구 (54) 와, 상기 시트재 수납부 (53) 의 전방에 위치하고, 시트재 취출 기구 (54) 로부터 받은 시트재 (E) 를 전방으로 이송하는 시트재 이송 기구 (55) 와, 상기 시트재 이송 기구 (55) 의 전방에 위치하고, 이 시트재 이송 기구 (55) 에 의해 정위치에 정지하도록 이송된 시트재 (E) 에 대하여, 보호 필름 (F) 의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 기구 (56) 와, 상기 전처리 기구 (56) 의 전방에 위치하는 박리 기구 (57) 와, 이 박리 기구 (57) 로부터 보호 필름 (F) 을 분리하는 분리편 (58) 과, 상기 박리 기구 (57) 의 전방에 위치하는 박리 완료 시트재의 수납부 (59) 와, 상기 분리편 (58) 에 의해 분리된 보호 필름 (F) 의 양측을 협지하여 반 송하는 한 쌍의 반송 벨트 (60) 와, 상기 반송 벨트 (60) 의 보호 필름 취출측 단부에 위치하는 보호 필름 수납부 (61) 및 보호 필름의 압출 기구 (62) 에 의해 형성되어 있다.

상기 시트재 수납부 (53) 는, 필요한 매수의 시트재 (E) 를 수평 상태로 쌓아올린 형상으로 수납하는 상면이 개방된 케이스에 형성되고, 틀형 프레임 (63) 의 리어부 중단에 지지틀 (64) 을 통하여 수평으로 고정되어 있다.

상기 시트재 취출 기구 (54) 는, 틀형 프레임 (63) 에 고정 배치한 지지틀 (65) 에, 복수의 수평 실린더 (66) 와, 이 수평 실린더 (66) 에 의해 전후이동하는 복수의 하향 수직 실린더 (67) 를 장착하고, 각 수직 실린더 (67) 의 피스톤 로드의 하단에, 하면에 복수의 시트재 흡착 패드 (68) 를 갖는 흡착 반송 유닛 (69) 을 설치하여 형성되며, 수평 실린더 (66) 와 수직 실린더 (67) 의 신축을 제어하여 시트재 흡착 패드 (68) 에 상하이동과 전후이동을 부여함으로써, 시트재 수납부 (53) 에 수납된 최상부 시트재 (E) 의 선단측 위치를 흡착하여 들어 올려, 시트재 수납부 (53) 의 전방에 고정 배치한 지지 가이드 (70) 상으로부터 시트재 이송 기구 (55) 로 시트재 (E) 의 선단을 반송하도록 되어 있다.

상기 시트재 이송 기구 (55) 는 시트재 (E) 의 폭보다 길며, 틀형 프레임 (63) 에 가설 (架設) 된 롤러축 (71) 에 회전이 가능하게 장착되고, 상면을 지지 가이드 (70) 의 상면과 동일한 레벨 높이에 배치한 정위치 반송 롤러 (72) 와, 이 정위치 반송 롤러 (72) 의 바로 위에서 양측 위치에 상하방향의 실린더 (73) 를 고정 지지틀 (74) 에 장착하여 배치하고, 이 실린더 (73) 에 승강 반송 롤러 (75) 를 장착하여, 정위치 반송 롤러 (72) 와 승강 반송 롤러 (75) 를 평행 상태에서 상하로 대향시켜 배치하고, 시트재 취출 기구 (54) 에 의해 시트재 (E) 의 선단이 이송되어 오면 승강 반송 롤러 (75) 가 하강하여, 정위치 반송 롤러 (72) 와 함께 시트재 (E) 를 협지한 상태로, 적절한 수단 (도시 생략) 에 의해 정위치 반송 롤러 (72) 를 회전시켜 시트재 (E) 를 전방으로 송출하도록 되어 있다.

상기 전처리 기구 (56) 는, 틀형 프레임 (63) 에, 시트재 (E) 의 폭보다 긴 수평으로, 하면이 지지 가이드 (70) 의 상면과 대략 동일한 레벨 높이가 되도록 배치한 리어부 압접판 (76) 과, 상면이 지지 가이드 (70) 의 상면과 대략 동일한 레벨 높이가 되도록 배치한 프론트부 압접판 (77) 을 접근시킨 배치로 가설하고, 또, 틀형 프레임 (63) 에 있어서의 양 압접판 (76 과 77) 하부에, 시트재 (E) 의 폭방향으로 걸쳐진 지지틀 (78) 상에 시트재 (E) 의 폭방향을 따른 수평의 레일 (79) 을 가설하고, 이 레일 (79) 위에 슬라이더를 통하여 탑재한 이동대 (80) 상에 박리 유닛 (81) 이 설치되어 있다.

이 박리 유닛 (81) 은, 이동대 (80) 의 상면에서 리어부 압접판 (76) 의 직하 위치에, 실린더 (82) 에 의해 상하이동하도록 설치한 점착 롤러 (83) 와, 이동대 (80) 의 상면에서 프론트부 압접판 (77) 의 직하 위치에 설치한 실린더 (84) 에 의해 상하이동하는 승강틀 (85) 을 상단이 프론트부 압접판 (77) 의 상부에 위치하도록 배치하고, 이 승강틀 (85) 의 상단에 프론트부 압접판 (77) 의 바로 위에 위치하도록 장착한 점착 롤러 (86) 에 의해 형성되고, 양 점착 롤러 (83 과 86) 는 이동대 (80) 의 적당한 구동 수단 (도시 생략) 에 의한 이동에 의해서 시트재 (E) 의 폭방향으로 구름이동이 가능하게 되어 있다.

상기 박리 기구 (57) 는, 틀형 프레임 (63) 에, 시트재 (E) 의 폭보다 긴 점착 롤러 (87) 를 상하 대향 위치에 2 개 가설하고, 상부 점착 롤러 (87) 의 상부와 하부 점착 롤러 (87) 의 하부에 백업용 지지 롤러 (88) 를 압접시켜 놓는다.

상하의 점착 롤러 (87) 는, 도 12 와 같이, 롤러축 (89) 에 다수의 단척 (短尺) 롤러 (87a) 를 일정 간격의 간극 (90) 이 생기도록 장착하여 형성되고, 상하 점착 롤러 (87) 의 겹치는 부분이 프론트부 압접판 (77) 의 상면과 대략 동일한 레벨 높이가 되는 배치가 되며, 이 상하 점착 롤러 (87) 는 시트재 (E) 를 상하로부터 누르도록 되어 있음과 함께, 도 12 에 나타내는 구동 모터 (91) 를 구동하여 구동 기어 (92) 를 통해 상하의 롤러축 (89) 을 회전시킴으로써, 상하 점착 롤러 (87) 는 도 11 에 화살표로 나타낸 바와 같이, 서로 역회전하여 시트재 (E) 를 전방의 박리 완료 시트재 수납부 (59) 를 향하여 송출하도록 되어 있다.

상기 분리편 (58) 은 상부 점착 롤러 (87) 의 프론트면측 상부와 하부 점착 롤러 (87) 의 프론트면측 하부에 배치되고, 도 12 와 같이, 가로로 긴 플레이트 (93) 에, 단척 롤러 (87a) 의 각 간극 (90) 에 끼워지는 다수의 토우부 (94) 를 설치하여 형성되고, 각 점착 롤러 (87) 에 대하여 접착함으로써 시트재 (E) 로부터 박리된 보호 필름 (F) 을, 토우부 (94) 와 플레이트 (93) 에 의해 점착 롤러 (87) 로부터 분리하게 된다.

상기 분리편 (58) 에 의해 점착 롤러 (87) 로부터 분리된 보호 필름 (F) 을 처리하는 상하 한 쌍의 반송 벨트 (60) 는, 도 22 와 같이, 보호 필름 (F) 의 폭방 향의 양측을 협지할 수 있도록 보호 필름 (F) 의 폭방향 양측의 위치에 대향하여 배치되고, 보호 필름 (F) 의 양측을 협지하여 반송하도록 상하의 반송면이 서로 겹쳐지고, 도 11 과 같이, 그 보호 필름 (F) 의 수취측 단부를 분리편 (58) 의 플레이트 (93) 에서의 후단부에 대략 연장된 형상의 배치가 되도록 복수의 가이드 롤러 (95) 에 의해 각도를 부여하여, 그 도중에서 후방으로 수평으로 굴곡시켜 후단측을 시트재 수납부 (53) 의 상하에 있어서 보호 필름 취출측 단부로 하고, 이 취출측 단부에, 반송 벨트 (60) 의 하방에 위치하는 보호 필름 수납부 (61) 와, 이 보호 필름 수납부 (61) 의 상방에 위치하고, 반송 벨트 (60) 에 의해 협지된 보호 필름 (F) 을 보호 필름 수납부 (61) 에 압출하는 압출 기구 (62) 가 설치되어 있다.

상기 보호 필름 수납부 (61) 는 여러 장의 보호 필름 (F) 을 수납할 수 있는 상면이 개방된 케이스에 형성되고, 지지틀 (96) 에 의해 틀형 프레임 (63) 에 수평 상태가 되도록 고정되어 있다.

또한, 압출 기구 (62) 는, 도 11 과 도 24 와 같이, 양측 반송 벨트 (60) 의 보호 필름 취출측 단부에 있어서 내측에 가까운 위치에 한 쌍이 배치되고, 보호 필름 취출측 단부에서 틀형 프레임 (63) 에 고정시킨 지지틀 (97) 에 반송 벨트 (60) 의 반송방향으로 긴 고정틀 (98) 을 설치하고, 이 고정틀 (98) 의 하부에 고정틀 (98) 과 동일한 긴 압출판 (99) 을, 고정틀 (98) 의 양 단부에 설치한 가이드 (100) 를 따라서, 고정틀 (98) 에 설치한 하향 실린더 (101) 에 의해 상하이동하도록 설치하여 형성되며, 도 24(a) 와 같이, 양측 반송 벨트 (60) 에 의해 양측이 협지된 보호 필름 (F) 이 보호 필름 취출측 단부로 반송되어, 보호 필름 수납부 (61) 의 바로 위에서 정지하면, 실린더 (101) 의 신장에 의해 압출판 (99) 이 하강하여, 도 24(b) 와 같이, 보호 필름 (F) 을 밀어 내림으로써 양측을 반송 벨트 (60) 로부터 이탈시키고, 이것을 보호 필름 수납부 (61) 내에 수납하게 된다.

또, 한쪽 면에 보호 필름 (F) 이 형성된 시트재 (E) 를 박리하는 경우, 박리 기구 (57) 는 상하 롤러의 일방을 점착 롤러 (87) 로 타방을 평활 롤러로 하고, 점착 롤러 (87) 측에 분리편 (58) 과 이것에 이어지는 반송 벨트 (60) 등을 설치하면 된다.

또, 본 실시예에서는 점착 롤러에 의해 보호 필름을 박리하도록 하였지만, 전처리 후에 점착 롤러 이외 (예를 들어 점착 테이프에 의한 박리 등) 의 것으로 박리하도록 해도 된다.

본 발명의 보호 필름의 박리 장치는 상기한 바와 같은 구성이고, 다음으로, 이 장치를 사용한 보호 필름의 박리 방법에 대해 설명한다.

도 11 과 같이, 양면에 보호 필름 (F) 이 형성된 시트재 (E) 를 시트재 수납부 (53) 에 적층 상태로 수납하고, 작업 개시전에는, 시트재 취출 기구 (54) 의 시트재 흡착 패드 (68) 가 시트재 수납부 (53) 의 상방에 대기하고, 시트재 이송 기구 (55) 의 승강 반송 롤러 (75) 가 상승 위치에 있으며, 전처리 기구 (56) 의 하부 점착 롤러 (83) 와 상부 점착 롤러 (86) 는 시트재 (E) 의 폭방향의 일방 외측에 대기하고 있다.

이 상태에서 작업을 시작하면, 먼저, 도 14(a) 와 같이 시트재 취출 기구 (54) 의 시트재 흡착 패드 (68) 가 하강하여 시트재 수납부 (53) 에 수납된 최상부 시트재 (E) 의 선단측 위치를 흡착하고, 도 14(b) 와 같이, 상승과 전방으로의 이동에 의해 시트재 (E) 의 선단측을 들어 올려, 시트재 수납부 (53) 의 전방에 고정 배치한 지지 가이드 (70) 위에서 시트재 이송 기구 (55) 로 이송한다.

도 15(c) 와 같이 시트재 이송 기구 (55) 는, 시트재 (E) 선단측이 이송되면 승강 반송 롤러 (75) 가 하강하여, 정위치 반송 롤러 (72) 와 함께 시트재 (E) 를 협지하고, 양 롤러 (72 와 75) 의 회전에 의해 시트재 (E) 를 그 선단이 전처리 기구 (56) 에 있어서의 리어부 압접판 (76) 의 하부에 도달하는 위치로 이송하여 정지하고, 이것보다 앞에 시트재 취출 기구 (54) 의 시트재 흡착 패드 (68) 는 시트재 (E) 의 흡착을 해제하여 상승과 후퇴이동을 실시, 대기 위치로 되돌아간다.

다음으로, 전처리 기구 (56) 의 리어부 압접판 (76) 에 대응하는 점착 롤러 (83) 는, 도 17(a) 의 실선으로 나타내는 바와 같이, 시트재 (E) 폭방향의 일방의 외측에서 하강 위치에 대기하고 있고, 리어부 압접판 (76) 의 하면에 시트재 (E) 의 선단측이 이송되면, 동 도의 2 점 쇄선과 같이, 시트재 (E) 의 중앙 위치로 수평 이동한 후 상승하여, 도 19(a) 와 같이, 리어부 압접판 (76) 에 시트재 (E) 의 선단부에서 폭방향의 중앙 위치를 세게 눌러, 도 15(d) 와 도 19 (b) 와 같이 점착 롤러 (83) 는 하측의 보호 필름 (F) 에 접착된다.

상기한 바와 같이, 점착 롤러 (83) 는, 리어부 압접판 (76) 에 시트재 (E) 의 선단부에서 중앙 위치를 세게 누르면, 도 17(b) 과 같이 누른 상태인 채로 시트재 (E) 폭방향의 타방측을 향하여 구르면서 이동하고, 점착 롤러 (83) 는 하측의 보호 필름 (F) 과 접착되어 있기 때문에, 도 17(c) 와 같이, 이 구름 이동에 의해 이동방향의 후방 위치에 있어서 보호 필름 (F) 이 시트재 (E) 로부터 벗겨지게 되고, 도 17(d) 와 도 20(c) 와 같이, 점착 롤러 (83) 가 시트재 (E) 폭방향의 타방 외측에 도달하면, 보호 필름 (F) 의 선단부는 폭방향의 절반이 시트재 (E) 로부터 박리되게 된다.

상기 점착 롤러 (83) 는, 시트재 (E) 폭방향의 타방 외측에서 하강한 후, 시트재 (E) 의 중앙 위치로 수평 이동한 후 상승하여, 도 18(e) 와 같이, 리어부 압접판 (76) 에 시트재 (E) 의 선단부에서 폭방향의 중앙 위치를 세게 누르고, 이번에는 시트재 (E) 폭방향의 일방 외측을 향하여 구르면서 이동하면, 도 18(f) 내지 (h) 와 같이, 이동방향의 후방 위치에 있어서 보호 필름 (F) 이 시트재 (E) 로부터 벗겨지게 되어, 점착 롤러 (83) 가 시트재 (E) 폭방향의 타방 외측에 도달하면, 하측 보호 필름 (F) 의 선단부는 폭방향의 나머지 절반이 시트재 (E) 로부터 박리되게 되고, 도 20(c) 와 같이 점착 롤러 (83) 는 일 측방에서 하강하여 대기한다.

이렇게 해서, 하측 보호 필름 (F) 의 선단부가 폭방향의 전체 길이에 걸쳐서 소정의 폭으로 시트재 (E) 로부터 벗겨지면, 시트재 이송 기구 (55) 가 작동하여, 도 16(e) 와 도 20(d) 와 같이 시트재 (E) 를, 그 선단이 전처리 기구 (56) 에 있어서 프론트부 압접판 (77) 의 상부에 도달하는 위치로 이송하여 정지하고, 전처리 기구 (56) 의 프론트부 압접판 (77) 에 대응하는 점착 롤러 (86) 는, 시트재 (E) 폭방향의 일방의 외측에서 상승 위치에 대기하고 있어, 프론트부 압접판 (77) 의 상면에 시트재 (E) 의 선단측이 이송되면, 시트재 (E) 의 중앙 위치로 수평 이동한 후 하강하여, 도 16(f) 와 도 21(e) 와 같이, 프론트부 압접판 (77) 에 시트재 (E) 의 선단부에서 폭방향의 중앙 위치를 세게 눌러, 점착 롤러 (86) 는 상측의 보호 필름 (F) 에 접착된다.

이 상태에서 상측의 점착 롤러 (86) 는 전술한 하측 점착 롤러 (83) 와 상하이동이 반대가 되는 동일한 동작을 실시하여, 도 25 와 같이, 상측 보호 필름 (F) 의 선단부를 소정의 폭으로 시트재 (E) 로부터 벗겨내고, 도 21(f) 와 같이 일 측방에서 상승한 대기 위치로 되돌아간다.

또, 본 실시예에서는 전처리에 있어서의 박리를 보호 필름 폭방향의 중앙 위치로부터 실시하도록 하였지만, 단부 위치 또는 그 밖의 위치로부터 실시해도 된다.

상기한 바와 같이, 전처리 기구 (56) 에 있어서, 상하 보호 필름 (F) 의 박리 개시측 선단부에 대하여 점착 롤러 (83, 86) 를 접촉시킨 상태로 시트재 (E) 의 폭방향으로 주행시켜서, 상하 보호 필름 (F) 의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하면, 시트재 이송 기구 (55) 가 작동하여, 도 21(f) 의 2 점 쇄선과 도 22 와 같이 시트재 (E) 를 전방의 박리 기구 (57) 에 있어서의 상하 점착 롤러 (87) 사이를 향하여 송출한다.

박리 기구 (57) 는 상하의 점착 롤러 (87) 가 도 11 의 화살표와 같이 시트재 (E) 를 전방으로 이송하도록 회전하고, 시트재 (E) 는 박리의 계기를 제공한 상하의 보호 필름 (F) 의 선단부로부터 상하의 점착 롤러 (87) 사이로 진입하여, 상하 점착 롤러 (87) 에 의해 협지된 시트재 (E) 의 상하의 보호 필름 (F) 은 각각 점착 롤러 (87) 에 접착하고, 점착 롤러 (87) 의 외면에 감겨짐으로써 시트재 (E) 로부터 벗겨진다.

상하 보호 필름 (F) 의 박리 개시측 선단부는 전처리 기구 (56) 에 의해 벗겨져 박리의 계기를 제공하고 있기 때문에, 상하의 점착 롤러 (87) 사이로 진입하였을 때, 상하의 보호 필름 (F) 의 선단부는 시트재 (E) 로부터의 박리성이 향상되어 있어, 점착 롤러 (87) 의 접착력으로 시트재 (E) 로부터 확실하게 잡아 떼어내지게 되어, 박리 작업의 실패가 발생하지 않는다.

도 23 과 같이, 시트재 (E) 로부터 상하의 보호 필름 (F) 이 벗겨진 시트재 (E') 는, 전방의 박리 완료된 시트재 수납부 (59) 로 이송되어 적절한 수납 수단 (도시 생략) 에 의해 수납되고, 또한, 점착 롤러 (87) 의 외면에 접착한 보호 필름 (F) 은 분리편 (58) 의 토우부 (94) 에 의해서 점착 롤러 (87) 로부터 박리되고, 이 보호 필름 (F) 은 분리편 (58) 의 플레이트 (93) 를 따라서 이동하여, 폭방향의 양측이 상하 한 쌍의 반송 벨트 (60) 의 수취측 단부에 진입한다.

양측이 반송 벨트 (60) 에 의해 협지된 보호 필름 (F) 은, 후단측의 보호 필름 취출측 단부로 이송되고, 도 24 와 같이 시트재 수납부 (61) 의 바로 위에 정지하면, 압출 기구 (62) 의 압출판 (99) 이 하강하여, 반송 벨트 (60) 에 의해 양측이 협지된 보호 필름 (F) 은 보호 필름 수납부 (61) 로 압출되어 수납된다.

또, 본 실시예에서는 반송 벨트 (60) 에 의해 배출하여, 시트재 수납부 (61) 에 수납하도록 하였지만, 반송 벨트 (60) 에 의해서 직접 장치 밖의 배출부로 배출해도 되고, 박리하는 보호 필름의 유연성에 따라서, 반송 벨트 (60) 의 개수를 적절히 늘리거나, 간격을 변경하는 것도 가능하다. 또한, 반송 벨트 (60) 이외의 적당한 수단에 의해서 보호 필름 (F) 을 배출하도록 해도 된다.

상기한 바와 같이, 본 발명의 보호 필름의 박리 방법에 의하면, 시트재 수납부 (53) 의 시트재 (E) 를 시트재 취출 기구 (54) 에 의해 한 장씩 꺼내고, 이것을 시트재 이송 기구 (55) 에 의해 전방으로 이송하여, 상기 시트재 이송 기구 (55) 의 전방에 위치하는 전처리 기구 (56) 에 의해 보호 필름 (F) 의 선단부를 시트재 (E) 로부터 벗겨 박리의 계기를 제공하며, 이 후, 박리 기구 (57) 의 점착 롤러 (87) 에 의해 시트재 (E) 로부터 보호 필름 (F) 을 박리하고, 분리편 (58) 에 의해 점착 롤러 (87) 로부터 분리한 보호 필름 (F) 을 반송 벨트 (60) 에 의해 이송하여, 이것을 상기 반송 벨트 (60) 의 보호 필름 취출측 단부에 위치하는 보호 필름 수납부 (61) 에 수납함으로써, 점착 롤러 (83) 등의 교환을 필요로 하지 않고, 보호 필름 (F) 의 박리를 연속적으로 실시할 수 있어, 중단되는 일이 없어지므로 작업 능률의 향상을 꾀할 수 있음과 함께, 시트재 (E) 의 양면에 박리해야 할 보호 필름 (F) 등이 형성되어 있는 경우에, 1 기의 박리 장치로 양면의 박리를 동시에 실시할 수 있기 때문에, 설비 비용의 저감과 장치의 간소화 및 박리 능률의 향상이 가능해진다.

[제 3 실시형태]

상기 제 1 실시형태에서 사용한 액정 패널로부터 보호 필름을 박리하는 장치에 있어서, 액정 패널 위치 결정부 (b) 와 보호 필름 박리부 (c) 사이에 (도 1 참조) 상기 제 2 실시형태의 전처리 기구 (56) 를 설치하여, 액정 패널로부터 보호 필름을 박리하기 전에 점착 롤러에 의해 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 공정을 실시하는 것이다.

이 실시형태에 있어서의 전처리 기구 (56) 의 동작 및 작용은, 제 2 실시형태에서 사용한 전처리 기구 (56) 중, 하면측의 보호 필름만을 박리하기 때문에, 리어부 압접판 (76) 과 점착 롤러 (83) 의 조합만으로 가능하다.

이 제 3 실시형태에 의하면, 액정 패널 (A) 의 박리 개시전에, 보호 필름 (C) 의 박리 선단부에 대하여 점착 롤러 (83) 를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름 (C) 의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 공정을 실시하였기 때문에, 이 전처리 공정에 의해 보호 필름의 선단부가 벗겨져 있음으로써, 계속되는 박리 테이프를 기판 모서리부의 보호 필름에 접착한 다음에 떼어내는 박리 공정에서의 보호 필름의 박리가 확실하게 실시되어, 박리 실패가 없어진다.

이상과 같이 청구항 1 또는 4 의 박리 방법 및 박리 장치의 발명에 의하면, 기판의 박리 개시전에, 보호 필름의 박리 선단부에 대하여 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 공정을 실시하였기 때문에, 이 전처리 공정에 의해 보호 필름의 선단부가 벗겨져 있음으로써, 계속되는 박리 공정에서의 보호 필름의 박리가 확실하게 실시되어, 박리 실패가 없어진다.

청구항 2 또는 5 의 박리 방법 및 박리 장치의 발명에 의하면, 전처리 공정 후, 점착 롤러에 의해 기판으로부터 보호 필름을 벗겨내도록 하였기 때문에, 전처 리 공정에 의해 보호 필름의 선단부가 벗겨져 있음으로써, 박리 공정에서의 점착 롤러에 의한 보호 필름의 박리가 확실하게 실시되어, 점착 롤러에 기판이 말려 들어가는 경우가 없어, 기판의 손상 발생을 막을 수 있다.

또한, 박리 공정에 사용하는 양쪽의 롤러를 점착 롤러로 함으로써, 기판의 양면에 박리해야 할 보호 필름 등이 형성되어 있는 경우에, 1 기의 박리 장치로 양면의 박리가 동시에 실시될 수 있기 때문에, 설비 비용의 저감과 장치의 간소화 및 박리 능률의 향상이 가능해진다.

청구항 3 또는 6 의 박리 방법 및 박리 장치의 발명에 의하면, 박리 공정의 점착 롤러에 의해 기판으로부터 보호 필름을 벗겨냄과 함께, 점착 롤러 부분에 배치한 분리편에 의해 점착 롤러로부터 보호 필름을 분리하기 때문에, 점착 롤러의 교환을 필요로 하지 않고, 보호 필름의 박리를 연속적으로 실시할 수 있어, 중단되는 일이 없어지므로 작업 능률의 향상을 꾀할 수 있게 된다.

또한, 분리편에 의해 점착 롤러로부터 분리된 보호 필름을 반송 벨트에 의해 취출측 단부로 반송하고, 압출하는 압출 기구에 의해 보호 필름을 보호 필름 수납부로 압출하여 수납하도록 하였기 때문에, 박리한 보호 필름을 간단히 처리할 수 있다.

청구항 7 또는 9 의 보호 필름의 박리 방법 및 박리 장치에 의하면, 기판의 대각선방향으로 공급되는 박리 테이프를 기판 모서리부의 보호 필름에 접착한 다음에 박리 테이프를 잡아 떼어내기 때문에, 기판의 모서리부로부터 대각선방향으로 보호 필름의 박리 계기를 만들게 되어, 박리 테이프의 점착력을 필요 이상으로 높 이는 일 없이 박리가 용이해지므로, 박리 미스를 방지할 수 있다.

또한, 보호 필름의 박리 계기는 기판의 대각선방향이지만, 보호 필름 전체의 박리방향은 기판의 측변와 평행방향이기 때문에, 모서리부로부터 비스듬하게 박리시켜 나가는 것과 비교하여 박리 거리가 짧아지고 박리 시간이 단시간에 끝나게 된다.

그리고, 2 개의 모서리부 부근에 있던 보호 필름을 척킹하여 동시에 기판의 측변과 평행하게 이동시켜서 벗겨내기 때문에, 보호 필름의 1 지점을 협지하여 떼어내는 것과 비교하여 박리의 안정성이 우수하다.

또한, 박리 테이프는 기판의 모서리부에 있어서의 보호 필름의 박리 계기에 사용될 뿐으로, 보호 필름 모서리부의 절단편만을 접착하여 감아들이기 때문에, 박리 테이프의 사용량을 적게 할 수 있다.

그리고, 박리 테이프에 접착된 기판의 모서리부에 있던 보호 필름을 절단하기 때문에, 그 후 척킹하여 제거하는 보호 필름 상에 박리 테이프 및 점착제가 잔류하지 않으므로, 보호 필름에 불순물이 섞여들어가지 않아 재생이 용이해진다.

청구항 8 또는 10 의 박리 방법 및 박리 장치 발명에 의하면, 기판의 박리 개시전에, 보호 필름의 박리 선단부에 대하여 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 공정을 실시하였기 때문에, 이 전처리 공정에 의해 보호 필름의 선단부가 벗겨져 있음으로써, 계속되는 박리 테이프를 기판 모서리부의 보호 필름에 접착한 다음에 떼어내는 박리 공정에서의 보호 필름의 박리가 확실하게 실시되어, 박리 실패가 없어진다.

청구항 9 의 박리 장치 발명에 의하면, 흡착 테이블에 의해 기판 전체를 흡착 유지한 상태에 있기 때문에, 보호 필름을 떼어낼 때에 기판을 파손시키는 등의 일이 없고, 또한, 박리를 완전하게 하기 위해서 박리 테이프의 점착력을 높이더라도 기판 파손의 문제가 일어나지 않는다.

Claims (10)

1. 기판으로부터 보호 필름을 벗겨내는 박리 방법으로, 기판에 대한 보호 필름의 박리 개시전에, 보호 필름의 박리 선단부에 대하여 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   전처리 공정에서 처리한 기판을 적어도 일방에 점착 롤러를 사용하여 대향하는 형상으로 배치한 롤러 사이에, 박리의 계기를 제공한 보호 필름의 선단부로부터 공급하고, 점착 롤러에 의해 기판으로부터 보호 필름을 벗겨내는 박리 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 박리 공정의 직후에서, 점착 롤러 부분에 배치한 분리편에 의해 점착 롤러로부터 보호 필름을 분리하는 분리 공정을 추가한 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법.
4. 기판을 쌓아올린 형상으로 수납하는 기판 수납부와, 상기 기판 수납부의 상 방에 위치하고, 기판 수납부로부터 기판을 꺼내어 전방으로 이송하는 기판 취출 기구와, 상기 기판 취출 기구로부터 받아들인 기판을 전방으로 이송하는 기판 이송 기구와, 상기 기판 이송 기구의 전방에 위치하고, 이 기판 이송 기구에 의해 정위치에 정지하도록 이송되어진 기판에 대하여, 보호 필름의 박리 선단부에 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 전처리 기구의 전방에 위치하고, 적어도 일방에 점착 롤러를 사용하여 대향하는 형상으로 배치한 롤러 사이에 기판이, 박리의 계기를 제공한 보호 필름의 선단부로부터 공급되면, 점착 롤러에 의해 기판으로부터 보호 필름을 벗겨내는 박리 기구로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 박리 기구의 점착 롤러 부분에, 점착 롤러로부터 보호 필름을 분리하는 분리편을 배치한 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 장치.
7. 표면에 보호 필름이 접착된 기판의 인접하는 2 개의 모서리부 부근에 있어서 기판의 대각선방향으로 공급되는 박리 테이프의 점착면을 보호 필름에 접착하는 공정과, 보호 필름에 접착된 박리 테이프를 기판으로부터 잡아 떼어냄으로써 보호 필름을 기판의 모서리부로부터 일으켜 세우는 공정과, 일으켜 세워진 보호 필름을 필름 척 기구에 의해 협지하는 공정과, 필름 척 기구에 의해 협지된 부분보다 외측의 보호 필름을 절단하는 공정과, 보호 필름을 협지한 상태의 2 개의 필름 척 기구를 동시에 기판의 타방측으로 기판의 측변을 따른 방향으로 이동시키는 공정에 의해 기판으로부터 보호 필름을 잡아 떼어내는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   기판에 대한 보호 필름의 박리 개시전에, 보호 필름의 박리 선단부에 대하여 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 방법.
9. 표면에 보호 필름이 접착된 기판을 흡착 고정하는 흡착 테이블과, 흡착 테이블의 반대측에 있어서 흡착 테이블에 고정된 기판의 인접하는 2 개의 모서리부에서부터 타방의 모서리부측으로 기판의 측변을 따른 방향으로 상대 이동 가능한 2 개의 박리 유닛으로 이루어지고, 각 박리 유닛은, 기판의 모서리부 부근에 있어서 기판의 대각선방향으로 공급되는 박리 테이프의 점착면을 기판의 보호 필름에 가압하 면서 이동하는 접착 롤러와, 보호 필름에 접착된 박리 테이프를 기판으로부터 잡아 떼어 보호 필름을 기판의 모서리부로부터 일으켜 세우는 기구와, 기판의 모서리부로부터 일으켜 세워진 보호 필름을 협지하는 필름 척 기구와, 필름 척 기구에 의해 협지된 부분보다 외측의 보호 필름을 절단하는 절단 기구를 갖고, 필름 척 기구가 보호 필름을 협지한 상태에서 2 개의 박리 유닛이 동시에 이동함으로써 기판으로부터 보호 필름을 잡아 떼어내는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 장치.
10. 제 9 항에 있어서,

    기판을 쌓아올린 형상으로 수납하는 기판 수납부와, 상기 기판 수납부의 상방에 위치하고, 기판 수납부로부터 기판을 꺼내어 전방으로 이송하는 기판 취출 기구와, 상기 기판 취출 기구로부터 받아들인 기판을 전방으로 이송하는 기판 이송 기구와, 상기 기판 이송 기구의 전방에 위치하고, 이 기판 이송 기구에 의해 정위치에 정지하도록 이송되어진 기판에 대하여, 보호 필름의 박리 선단부에 점착 롤러를 접촉시킨 상태로 기판의 폭방향으로 주행시켜서, 보호 필름의 선단부를 벗겨 박리의 계기를 제공하는 전처리 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 기판에 부착된 보호 필름의 박리 장치.

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