JPH08258237A - フィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置 - Google Patents

フィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置

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JPH08258237A
JPH08258237A JP7058956A JP5895695A JPH08258237A JP H08258237 A JPH08258237 A JP H08258237A JP 7058956 A JP7058956 A JP 7058956A JP 5895695 A JP5895695 A JP 5895695A JP H08258237 A JPH08258237 A JP H08258237A
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洋二 鷲崎
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    • B32B38/00Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/18Handling of layers or the laminate
    • B32B38/1858Handling of layers or the laminate using vacuum
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16Coating processes; Apparatus therefor

Abstract

(57)【要約】 【目的】 支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフ
ィルムが積層された原反フィルムを、カバーフィルムが
剥離できるような状態で連続的に接続供給する方法及び
装置。 【構成】 先行原反フィルム12の終端12Dを第1の
吸着装置24により吸着した状態で、交換用の後行フィ
ルム供給ロール40からの後行原反フィルム先端12E
を、第2の吸着装置46に予め吸着されている片面粘着
テープ56の粘着面56Bに接着しておき、その片面粘
着テープ56の残りの部分を、前記第1の吸着装置24
により吸着されている状態のフィルム12の終端12D
に押付けて、先端12Eと終端12Dが厚さ方向に重な
ることなく、片面粘着テープ56を介して接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、プリント配線用等の
基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付装
置における原反フィルムの連結的供給方法及び装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、透光性支持フィル
ム(ベースフィルム;通常はポリエステルに代表される
樹脂フィルム)上に感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥してプリント配線用基板の表面
の導電層に張付ける。そして、この後、配線パターンフ
ィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光
性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光
する。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光さ
れた感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターン
を形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチン
グにより除去し、これにより、所定の配線パターンを有
するプリント配線板が形成される。
【0003】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルム(原反フィルム)を、搬送手段に
より搬送されてくる基板の先端に、感光性樹脂層が該基
板側となるように導き、基板に対して近接及び離反移動
可能な仮付け手段によって該基板の先端に仮付けした
後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧
着しつつ、基板を搬送するようにされている。
【0004】基板へのフィルム圧着張付けは、張付け長
さが基板長にほぼ対応した長さとなるように行われてお
り、その長さとなるように供給フィルムはフィルム仮付
け手段自体又はその近傍の部材に設けられたフィルム切
断手段で切断される。カバーフィルムは、仮付け手段の
前又は後で剥される。
【0005】他のフィルム張付装置としては、間欠的に
搬送されてくる基板のフィルム張付け面に、予めカバー
フィルムを剥したフィルムの感光性樹脂層側を連続的に
同期して搬送しつつ張付けた後に、隣接する基板間でフ
ィルムを切断するようにしたものもある。
【0006】上記のような積層体フィルムはフィルム供
給ロールから巻き出されて供給されるものであるが、フ
ィルム供給ロールの巻き取り長さは有限であるので、当
然、一定量使用することによってフィルム供給ロールを
交換しなければならない。又、フィルム残量が極めて少
なくなった場合や、フィルム張付装置本体に供給するフ
ィルムの種類、銘柄等を用途に応じて変更する必要が生
じた場合にも、フィルム供給ロールを交換し、新しいフ
ィルムを供給する必要がある。
【0007】この場合、原反フィルムが巻き付けられて
いた巻芯を、残った原反フィルムと共に除去して新たな
フィルム供給ロールを装填することになる。
【0008】従来、この交換は、先行するフィルム供給
ロールにつき交換すべき時期が来ると、フィルム張付装
置を停止させ、先行フィルム供給ロールを取除き、新し
いフィルム供給ロールから引き出したフィルム先端を、
フィルム分離部材、テンションローラから、フィルム供
給経路の各ローラを経て、ラミネーションロールの位置
にまで手作業により通してセットする必要があった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】このため、従来は、例
えば2時間で巻き戻しが終了した上下のフィルム供給ロ
ールの交換作業に10分を要し、実操業時間に対するい
わゆる段取り時間の占める割合が非常に大きく、フィル
ム張付装置の稼働率を低下させるのみならず、ライン全
体の効率も低下させるという問題点があった。
【0010】これに対して、実開平3−15131号公
報に開示されるような、フィルムの交換を短時間で行う
ようにしたフィルム張付装置用フィルムロールユニット
があるが、これは、フィルム供給ロールとカバーフィル
ム巻取りロールと、カイドロールをユニット化し、同時
に交換するものであり、新しいフィルムの先端を手作業
によりセットする工程は省略できていない。又、フィル
ムロールの重量が大きいときは適用できない。
【0011】ここで、近年、プリント配線等の基板の回
路密度が向上し、僅かな埃等が基板やフィルムに付着し
ただけでも不良品となってしまうので、清浄空間、例え
ばクリーンルーム内にフィルム張付装置を設置し、ここ
で運転することが多くなってきている。
【0012】従来のフィルム張付装置においては、フィ
ルム供給ロールの交換の都度フィルムをセットする作業
が必要であり、この作業中に埃が発生し易いため、クリ
ーンルーム内で運転する場合は、セット終了後、埃が減
少するまで装置を運転することができず、非能率である
という問題点があった。
【0013】この発明は上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、フィルム供給ロールの交換を、装置
の運転を停止させることなく行うことができ、且つ、先
行原反フィルムの後端と後行原反フィルムの先端との接
続を自動的に行うことができるようにしたフィルム張付
装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置に
関する。
【0014】
【課題を解決するための手段】この発明は、請求項1記
載のように、支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバー
フィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給
ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、
搬送手段により搬送されてくる基板のフィルム張付面側
に感光性樹脂層側が位置するようにして、ラミネーショ
ンロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬
送するようにされたフィルム張付装置における前記フィ
ルム供給ロールからの原反フィルムの連続的供給方法に
おいて、前記フィルム供給ロールから巻き出された先行
原反フィルムの終端のカバーフィルム側面を第1の吸着
手段により定位置で吸引保持し、非粘着面側が第2の吸
着手段により吸引保持されている片面粘着シートの粘着
面の一部に、後行フィルム供給ロールから巻き出された
後行原反フィルムの先端の支持フィルム側面を接着さ
せ、次に前記粘着シートの残りの粘着面を、前記第1の
吸着手段に吸引保持されている前記先行原反フィルムの
終端の支持フィルム側面に押付けて、該終端を粘着シー
トに接着させることにより、上記目的を達成するもので
ある。
【0015】又、請求項2のように、前記第1の吸着手
段の位置で、これに吸引保持された状態の先行原反フィ
ルムを幅方向に切断して長さを揃えて前記終端を形成す
るするようにしてもよい。
【0016】又、請求項3のように、前記後行原反フィ
ルムの先端部を前記第2の吸着手段に吸引保持させた状
態で、該第2の吸着手段のフィルム送り方向中間位置で
後行原反フィルムの先端部を幅方向に切断して長さを揃
えて先端を形成し、次に、第2の吸着手段の、後行フィ
ルム供給ロール中心側に隣接した位置で、第3の吸着手
段により後行原反フィルムを吸引保持し、この状態で先
端部を前記第2の吸着手段から引き剥し、且つ、前記片
面粘着シートの非粘着面を第2の吸着手段により吸引保
持させ、次に、前記引き剥した後行フィルム先端部を、
前記第2の吸着手段の吸着面上で、前記粘着面に接着さ
せるようにしてもよい。
【0017】更に、請求項4のように、前記第2の吸着
手段により、前記粘着シートを、前記第1の吸着手段に
吸引保持されている先行原反フィルムの終端に押付ける
ようにしてもよい。
【0018】又、請求項5のように、前記第2の吸着手
段と前記後行フィルム供給ロールとが同期して移動さ
れ、該後行フィルム供給ロールがセット位置となると
き、前記第2の吸着手段に吸着されている粘着シートの
残りの粘着面が、前記第1の吸着手段に吸着されている
先行原反フィルムの終端に圧着されるようにしてもよ
い。
【0019】この発明は、請求項6のように、支持フィ
ルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層されて
なる連続フィルムをフィルム供給ロールから引き出し、
前記カバーフィルムを剥離させ、搬送手段により搬送さ
れてくる基板のフィルム張付面側に感光性樹脂層側が位
置するようにして、ラミネーションロールによりフィル
ムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされたフ
ィルム張付装置における前記フィルム供給ロールからの
原反フィルムを連続的に供給する装置において、セット
位置にある先行フィルム供給ロールから巻き出された先
行原反フィルムの終端のカバーフィルム側面を定位置で
吸引保持する第1の吸着手段と、前記原反フィルムと略
同一幅で、片面粘着シートの非粘着面側を吸引保持自在
の第2の吸着手段と、後行フィルム供給ロールから巻き
出された後行原反フィルムの先端の支持フィルム側面
が、前記第2の吸着手段に吸引保持された片面粘着シー
トの粘着面における原反フィルム長手方向の一部に接着
された状態のまま、該第2の吸着手段を、前記第1の吸
着手段の位置まで送り、前記片面粘着シートの残りの粘
着面に、該第1の吸着手段に吸引保持されている先行原
反フィルムの終端の支持フィルム側面を圧着させる搬送
手段と、を有していることにより、上記目的を達成する
ものである。
【0020】又、請求項7のように、前記搬送手段は、
前記後行フィルム供給ロールを、セット位置の前記先行
フィルム供給ロールと平行に保持し、且つ、フィルム供
給ロールのセット位置まで搬送自在とされると共に、前
記第2の吸着手段は、該セット位置への到達時に、第1
の吸着手段に、片面粘着シート、原反フィルムを介して
圧着するように構成してもよい。
【0021】又、請求項8のように、前記第2の吸着手
段を、前記第1の吸着手段方向へ進退自在に支持するシ
リンダ装置を設けるようにしてもよい。
【0022】更に、請求項9のように、前記第1の吸着
手段におけるフィルム吸着面に対向して前記フィルム吸
着面のフィルム送り方向中間位置で、フィルム幅方向移
動自在に配置され、該フィルム吸着面に吸引保持された
状態の先行原反フィルムを、その幅方向に切断して切り
揃える終端カッターを設けてもよい。
【0023】又、請求項10のように、前記終端カッタ
ーに、前記第1の吸着手段に吸引保持されていて、片面
粘着シートにより接着接続されている先行原反フィルム
の終端と後行原反フィルムの先端とを、前記粘着シート
と共にその厚さ方向に押圧しつつ、フィルム幅方向に移
動自在の移動圧着部材を設けるようにしてもよい。
【0024】又、請求項11のように、前記第2の吸着
手段におけるフィルム吸着面に対向して、前記フィルム
吸着面のフィルム送り方向中間位置で、該フィルム吸着
面に吸引保持された後行原反フィルムの先端部を、その
幅方向に切断して切り揃える先端カッターを設けるよう
にしてもよい。
【0025】更に、請求項12のように、前記搬送手段
を、前記フィルム供給ロールの回転中心軸と平行方向に
出し入れ自在とされた移動台を含んで構成してもよい。
【0026】又、請求項13のように、前記搬送手段
を、前記第2の吸着手段の、後行フィルム供給ロール中
心側に隣接して、該後行原反フィルムの、前記第2の吸
着手段により吸引保持されるべき先端部のロール中心側
に隣接する部分を吸引保持する第3の吸着保持手段を設
けるようにしてもよい。
【0027】又、請求項14のように、前記搬送手段
を、セット状態の先行フィルム供給ロールの下方近傍に
位置され、フィルム残量が一定値以下となって解放落下
された前記先行フィルム供給ロールを収容する巻き芯回
収部を備えるようにしてもよい。
【0028】更に、請求項15のように、前記セット状
態の先行フィルム供給ロールの近傍に一定角度範囲で揺
動自在に配置され、該先行フィルム供給ロールを前記巻
き芯回収部に向けて斜め下方に案内する傾斜ガイド面と
なる傾斜位置と、フィルム供給ロールと非接触となる退
避位置とをとり得るガイドプレートを設けるようにして
もよい。
【0029】
【作用及び効果】請求項1の発明によれば、先行原反フ
ィルムの終端と後行原反フィルムの先端との支持フィル
ム側面を、これらが重ね合わされることなく、片面粘着
シートによって連続的に接着させ、フィルム張付装置に
原反フィルムを途切れることなく供給することができ
る。
【0030】従って、後行原反フィルム先端をロール、
仮付け部材、カッター等に手動で通してセットする作業
が不要となる。又、人手によるところが少なく、クリー
ンルーム内でフィルム張付装置を運転する場合に好適で
ある。
【0031】請求項2の発明によれば、第1の吸着手段
に吸引保持された状態のまま先行原反フィルムをその幅
方向に切断することによってフィルム送り方向に長さを
揃えて終端を容易に形成することができる。
【0032】請求項3の発明によれば、後行原反フィル
ム先端部を第2の吸着手段に吸引保持させた状態で切り
揃えて先端を形成し、次にその近傍を第3の吸着手段に
よって吸引保持したまま先端部を第2の吸着手段から引
き剥し、ここに片面粘着シートを吸引保持し、該片面粘
着シートの粘着面に前記引き剥した後行原反フィルムの
先端部を接着させることによって、先行原反フィルムの
終端への接続を容易に、且つ自動的に行うことができ
る。
【0033】請求項4の発明によれば、第2の吸着手段
により粘着シートの粘着面を先行原反フィルムの終端に
押付けて自動的に接着することができる。
【0034】請求項5の発明によれば、後行フィルム供
給ロールがセット位置とされるときに、後行フィルム先
端が接着された粘着シートの残りの粘着面が先行原反フ
ィルムの終端に同時に圧着される。
【0035】請求項6の発明によれば、先行原反フィル
ムの終端と後行原反フィルムの先端の支持フィルム側面
を片面粘着シートによって連続的且つ自動的に接着、接
続して、フィルム張付装置に原反フィルムを途切れるこ
となく供給することができ、これにより後行原反フィル
ム先端をロール、張付け部材、カッター等に手動で通し
てセットする作業が不要となり、装置の運転効率を向上
させることができる。
【0036】請求項7の発明によれば、搬送手段によっ
て後行フィルム供給ロールをセット位置に搬送すると
き、同時に、第2の吸着手段に吸引保持されていた片面
粘着シートの残りの粘着面に第1の吸着手段により吸着
されていた先行原反フィルムの終端が自動的に接着され
る。
【0037】請求項8の発明によれば、シリンダ装置に
より第2の吸着手段を第1の吸着手段に強く押圧して、
片面粘面シートをフィルムに圧着することができる。
【0038】請求項9の発明によれば、第1の吸着手段
に対向して配置された終端カッターにより、先行原反フ
ィルムを切り揃えて終端を形成することができる。
【0039】請求項10の発明によれば、フィルム幅方
向に移動する終端カッターに設けられた移動圧着部材に
よって、片面粘着シートを先行原反フィルムの終端及び
後行原反フィルムの先端に強く圧着することができる。
【0040】請求項11の発明によれば、第2の吸着手
段に対向して設けられた先端カッターによって後行原反
フィルムの先端部を切り揃えて先端を形成することがで
きる。
【0041】請求項12の発明によれば、搬送手段がフ
ィルム供給ロールの回転中心軸の方向に出し入れ自在で
あるので、側方に引出したオフライン状態で次のフィル
ム供給ロールを載置し、且つ原反ロールの先端を巻き出
して第2の吸着手段に吸引保持されている片面粘着シー
トの粘着面にセットすることができる。
【0042】請求項13の発明によれば、第2の吸着手
段の、フィルム供給ロール中心側に隣接して第3の吸着
保持手段を設けたので、後行原反フィルムの先端を切り
揃えた後に、第3の吸着手段によって吸引保持した状態
で、第2の吸着手段から後行原反フィルムの先端を引き
剥し、ここに片面粘着シートを吸引保持させ、しかる後
にその粘着面に後行原反フィルムの先端を接着すること
ができる。又、これらの作業を第2、第3の吸着手段を
利用することによって容易に行うことができる。
【0043】請求項14の発明によれば、搬送手段に巻
き芯回収部が設けられているので、後行フィルム供給ロ
ールのセットに先立ち、先行フィルム供給ロールの巻き
芯を落下回収させ、その後に容易に、後行フィルム供給
ロールをセットすることができる。
【0044】請求項15の発明によれば、ガイドプレー
トにより先行フィルム供給ロール解放落下時にこれを搬
送手段の巻き芯回収部に案内して落下させることができ
るので、落下時の衝撃を防止できると共に、巻き芯を確
実に回収することができる。特に、巻き芯回収部は搬送
手段に設けられているので、後行フィルム供給ロールの
セット時に1つの作業で容易に回収することができる。
【0045】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
【0046】図1及び図2に示されるように、この発明
の実施例に係るフィルム張付装置10は、図6に示され
るような、透光性支持フィルム12A上に感光性樹脂層
12B及びカバーフィルム12Cが積層されてなる連続
したフィルム12を、フィルム供給ロール14から引出
し、前記カバーフィルム12Cを剥離させ、搬送手段に
より間欠的に所定間隔で搬送されてくる基板18の下側
面であるフィルム張付面18A側に前記感光性樹脂層1
2B側が位置するようにしてラミネーションロール20
によりフィルム12を基板18に連続的に圧着しつつ基
板18を搬送するようにされたものである。フィルム1
2は、ロータリーカッター22により各基板間の位置で
幅方向に切断される。
【0047】前記フィルム供給ロール14は原反フィル
ムの連続的供給装置23により順次交換され、フィルム
張付装置10に対して、途切れることなくフィルム12
が供給されるようになっている。
【0048】前記フィルム供給ロール14から巻き出さ
れたフィルム12は、第1の吸着装置24、アキュムレ
ータ26を経て、一対のカバーフィルム剥離装置28、
28の一方によりカバーフィルム12Cが剥された後、
前記ラミネーションロール20に、その感光性樹脂層1
2Bを上側にして連続的に供給されるようになってい
る。
【0049】前記連続的供給装置23は、図3に拡大し
て示されるように、前記第1の吸着装置24と、アキュ
ムレータ26と、交換ロール搬送台30と、ガイトプレ
ート32と、前記交換ロール搬送台30の一部である水
平台30Aを図1及び図3において左右方向に駆動する
エアシリンダ34とを含んで構成されている。
【0050】前記交換ロール搬送台30は、フィルム張
付装置10のハウジング10A側壁に取付けた上下一対
のバー37に、上下一対のレール38を介して、図3に
おいて紙面と直交する方向に水平に移動自在に支持され
るフレーム30Bを備えている。即ち、フィルム張付装
置10のハウジング10Aからフィルム送り方向に対し
て側方に水平に引き出され得るようにされている。
【0051】又、交換ロール搬送台30は、図4に示さ
れるように、フレーム30Bの、図4において左右底辺
内側に、レール39を介して、フレーム30Bに対して
図3で左右方向に往復動自在に支持された前記水平台3
0Aを備えている。この水平台30Aには、交換用の後
行フィルム供給ロール40を載置するロール台42と、
巻き芯回収部44と、第2の吸着装置46及び第3の吸
着装置48とをその上面及び先端部に備え、且つ、前記
エアシリンダ34により図1及び図3において水平方向
に往復動されるようになっている。エアシリンダ34と
水平台30Aは、レール38と平行、且つ、水平な係止
片50に摺動自在に係合され、レール38に沿う水平台
30Aの摺動を許容するようにされている。
【0052】前記ロール台42はマンドレル52(図4
参照)によってセット位置に回転自在に支持された前記
フィルム供給ロール(以下先行フィルム供給ロール)1
4と平行且つ水平に後行フィルム供給ロール40を載置
すると共に、エアシリンダ42Aによって該後行フィル
ム供給ロール40の高さを調整できるようにされてい
る。
【0053】前記ロール台42の水平方向の位置は、水
平台30Aがエアシリンダ34によって図1、図3にお
いて左方向に押し出され、ストロークエンドとなったと
きに、後行フィルム供給ロール40の中心が、マンドレ
ル52の中心軸線の位置にくるようにされている。
【0054】マンドレル52は、左右一対であり、図4
に示されるように、エアーシリンダ52Aにより軸線方
向に進退自在の状態で軸受け52Bにより回転自在に支
持され、突出したとき、フィルム供給ロールの巻き芯1
4Aの両端に係合して、これを回転自在に支持するよう
にされている。
【0055】図4の左側のマンドレル52の基端には回
転遮光板53Aが取付けられ、これを光センサ53Bに
より検出することによって、マンドレル52が回転して
いるか否かを検出するようにされている。又右側のマン
ドレル(図示省略)にはブレーキ動作を行うトルクモー
タ(図示省略)が設けられている。
【0056】前記第1の吸着装置24は、セット位置に
ある先行フィルム供給ロール14から巻き出されたフィ
ルム12を垂直方向に案内する一対のガイドロール54
A、54Bの間に配置され、これらカイドロール54
A、54B間におけるフィルム12の走行面と平行且つ
接近して垂直の吸着面24Aを備えている。この吸着面
24Aには、負圧が印加される多数の吸着孔24Bが形
成されている。
【0057】前記第2の吸着装置46は、水平台30A
上の左右両端に、前記フレーム30Bに接近して垂設さ
れた一対の支持ポスト30Cの上端に、シリンダ装置4
7を介して取り付けられている。ここで、前記第2の吸
着装置46は前記第1の吸着装置24の吸着面24Aと
同一高さで、且つこれと平行に対向する位置に配置され
た吸着面46Aを備えている。この吸着面46Aには負
圧が印加される多数の吸着孔46Bが形成されている。
【0058】又、前記第3の吸着装置48は、前記第2
の吸着装置46の吸着面46Aの下側位置で、前記支持
ポスト30C間に張り渡した支持バー30D上に、前記
吸着面46Aに対して、吸着面48Aが垂直に連続する
ように取付けられている。この吸着面48Aには負圧が
印加される多数の吸着孔48Bが形成されている。
【0059】更に、前記フレーム30Bには、前記第2
の吸着装置46の吸着面46Aに対向して、その高さ方
向中間位置で該吸着面46Aに吸着されたフィルムを水
平且つ幅方向に切断するための先端カッター60が設け
られている。
【0060】この先端カッター60はディスクカッター
であり、ハウジング60A内に回転自在に支持され、こ
のハウジング60Aはフレーム30Bの左右柱部間に水
平、且つ、吸着面46Aと平行に張渡されたガイドバー
60Bに摺動自在に支持され、操作ノブ60Cにより手
動で往復動され、このとき吸着面46Aに吸着されてい
るフィルムを切断するものである。
【0061】同様に、前記第1の吸着装置24における
吸着面24Aに対向して、その高さ方向中間位置で、該
吸着面24Aに吸着されているフィルムを水平且つ幅方
向に切断する終端カッター62が設けられている。この
終端カッター62はディスクカッターであり、ハウジン
グ62A内に収容され、このハウジング62Aはフィー
ドスクリュー62Cに螺合され、該フィードスクリュー
62Cがモータ(図示省略)により回転されることによ
り吸着面24Aに沿ってフィルム幅方向に移動され、こ
れにより終端カッター62が吸着面24Aに吸着されて
いるフィルム12を切断するようにされている。
【0062】前記巻き芯回収部44は、前記水平台30
Aのレール38と反対側の先端の幅方向2個所に、該水
平台30Aよりも低い位置で、上側が開口した断面バケ
ット状に形成され、先端側は斜め上外側に傾いた傾斜面
44Aとされ、傾斜面44Aの下側にはスライドボール
44Bが取付けられている。
【0063】前記ガイドプレート32は、断面が略L字
形状であって、一端において、前記セット位置の先行フ
ィルム供給ロール14と平行、且つこれよりも高い位置
で、水平の揺動軸33により、鉛直面内揺動自在に支持
されている。
【0064】このガイドプレート32は、駆動装置64
により揺動軸33廻りに揺動されるものであり、常態で
は図3に実線で示されるように、2片が水平及び垂直と
なり、先行フィルム供給ロール14と非接触となる退避
位置にされ、二点鎖線で示されるように、退避位置から
反時計方向に略30°揺動されてガイド位置となったと
き、前記巻き芯回収部44の傾斜面44Aに連続する傾
斜ガイド面32Bを構成するようにされている。このと
き、傾斜ガイド面32Bは、フィルム供給ロール14の
巻き芯14A両端部の外周に略接触する位置とされるよ
うになっている。
【0065】図3の符号66は前記マンドレル52を、
フィルム供給ロール14の軸心方向に移動させてその位
置調整を行うためのレール、67はフィルム供給ロール
からの原反フィルム巻き出し量を検出するためのロータ
リーエンコーダをそれぞれ示す。
【0066】前記アキュムレータ26は、図5に示され
るように、ガイドロール54Bの下流側に配置された固
定ロール26Aと、ガイドロール54Bと固定ロール2
6Aとの間の位置に配置され、レバー26Bにより上下
動されるテンションロール26Cと、ガイドロール54
Bに外接してその間にフィルムを挾持固定可能のピンチ
ロール26Dとを備えて構成され、テンションロール2
6Cが、レバー26Bにより上方に付勢されることによ
ってフィルム経路13よりも上方にフィルム12を持上
げて、ここにフィルムを一定量蓄えることができるよう
にされている。レバー26Bは、ウエイト26Eによっ
て時計方向に付勢されている。
【0067】前記カバーフィルム剥離装置28は、フィ
ルム経路13の下側、即ちカバーフィルム12Cに対向
した位置に、フィルム移動方向に並んで一対配置され、
どちらか一方のカバーフィルム剥離装置28における粘
着テープ28Aの粘着面が下方からロール28Bにより
カバーフィルム12Cに押付けられることによってこれ
を引剥して、粘着テープ28Aと共に、巻き取りロール
28Cに巻き取るようにされている。
【0068】前記一対のカバーフィルム剥離装置28、
28は、各々別個にフィルム張付装置10のハウジング
10Aからフィルム経路に対して側方に引出し且つ挿入
できるようにされ、これによって、フィルム張付け装置
10の運転中にも、粘着テープ巻き取りが終了したカバ
ーフィルム剥離装置28を引出して、新しい粘着テープ
28A及び巻き取りロール28Cを取付け、且つセット
することができるようにされている。
【0069】図1の符号68は保温用ヒータを示し、こ
の保温用ヒータ68は、フィルム張付装置10の入側に
配置された反転加熱装置69内に設けられ、反転装置
(図示省略)により反転してフィルム張付面18Aが下
向きとされて、搬送ライン19に沿って送られてきた基
板18を下方から加熱してフィルム張付けに最適な温度
にするものである。又、図1の符号19Aは搬送ロール
を示し、ラミネーションロール20によってフィルム1
2が張付けられた基板18を図1において右方向に搬送
するものである。
【0070】前記ロータリーカッター22は回転刃22
Aと固定刃22Bとから構成され、各基板18間の位置
でフィルム12をその幅方向に切断するものである。こ
こで、回転刃22Aは基板18の搬送ライン19に対し
て上側に、且つ固定刃22Bは下側にそれぞれ配置さ
れ、回転刃22Aは図1において反時計方向に回転駆動
され、これによってフィルム12を蹴り上げることがな
いようにされている。もし、回転刃22Aがフィルム1
2を介して基板18を蹴り上げると、基板18が薄い硝
子板のような場合は、破損してしまうことがある。
【0071】図1の符号70は、フィルム張付装置10
の出側に設けられた反転搬出装置を示し、ここでは、フ
ィルム12が張付けられ、搬送ロール19Aにより搬送
されてきた基板18が、反転装置71によって回転軸7
1Aを中心として180°反転され、フィルム12側が
上向とされた状態で、搬出装置72上に移載され、該搬
出装置72はこれを装置外に搬出するものである。
【0072】ここで、フィルム張付装置10は、入側の
反転加熱装置69及び出側の反転搬出装置70に対し
て、ライン側方に移動して引出されるように、基盤側レ
ール78に対して、これを上下から挟み込む移動車輪8
0を備え、該基盤側レール78に沿って図2において下
方、図1においては紙面手前側に引出され得るようにさ
れている。
【0073】この基盤側レール78に沿って引出される
フィルム張付装置10のハウジング10Aは、前記ラミ
ネーションロール20、ロータリーカッター22と共に
前記連続的供給装置23及び一対のカバーフィルム剥離
装置28を内包している。
【0074】又前述の如く、ハウジング10Aに対して
前記連続的供給装置23、一対のカバーフィルム剥離装
置28は各々別個独立に側方に引出され得るようにされ
ている。
【0075】次に上記実施例装置の作用について説明す
る。
【0076】まず連続的供給装置23は、フィルム張付
装置10の運転中に、その交換ロール搬送台30をレー
ル38に沿ってライン外に引出しておき、ここで、交換
用の後行フィルム供給ロール40をロール台42に載置
して、これから巻き出したフィルム12の先端部を第
2、第3の吸着装置46、48の吸着面46A、48A
に吸着させておく(図7参照)。
【0077】次に、図8に示されるように、先端カッタ
ー60を手動により駆動して、前記吸着面46Aにより
吸着させた状態のフィルム12の先端部を、吸着面46
Aの高さ方向中間位置で幅方向に切断して先端12Eを
形成する。
【0078】次に、図9に示されるように、第3の吸着
装置48の吸着面48Aにフィルム12を吸着した状態
のまま、該フィルム12を先端12Eから引張って第2
の吸着装置46の吸着面46Aから引離す。
【0079】次いで、図10に示されるように、粘着テ
ープ供給ロール(図示省略)から片面粘着テープ56を
引出し、その非粘着面56Aを、前記第2の吸着装置4
6の吸着面46Aに吸着させ、且つ、該片面粘着テープ
56を、フィルム12と等しい幅の長さに切断する。
【0080】次に、図11に示されるように、前記引離
しておいたフィルム12の先端12Eを、前記吸着面4
6Aに吸着された状態の片面粘着テープ56の粘着面5
6Bに接着する。従って、先端12Eは吸着面46Aの
高さ方向中間位置において片面粘着テープ56の粘着面
56Bに接着された状態となる。
【0081】又、交換ロール搬送台30を引出したとき
に、予め巻き芯回収部44内に回収されている巻き芯を
取出し、次に、前記交換ロール搬送台30をレール38
に沿ってハウジング10A内に押し込み、図11に示さ
れる状態にセットしておく。
【0082】先行フィルム供給ロール14からの原反フ
ィルムの巻き出量が一定値以上となったことをロータリ
ーエンコーダ67が検出すると、その出力信号に基づい
て、アキュムレータ26におけるレバー26Bを図5の
時計方向に駆動して(ウエイト26Eの拘束を解除す
る)テンションロール26Cを上行させ、ここにフィル
ム12を巻き出す。次にピンチロール26Dをカイドロ
ール54Bに圧接してフィルム12を挾持、固定する。
【0083】その状態で、第1の吸着装置24によりフ
ィルム12を吸着して、図12に示されるように、終端
カッター62を駆動し、図13に示されるようにフィル
ム12の終端12Dを形成する。
【0084】次に、図11に示されるように、予めガイ
ドプレート32を図の反時計方向に略30°駆動して、
その傾斜ガイド面32Bが巻き芯回収部44の傾斜面4
4Aと連続するガイド位置にセットしておき、マンドレ
ル52を、先行フィルム供給ロール14から引出すと、
巻き芯14A及びこれに僅かに巻き付いている残りのフ
ィルム12が落下する。従って、マンドレル52から解
放された巻き芯14Aは傾斜ガイド面32B及び傾斜面
44Aに沿って案内されて、巻き芯回収部44内に落下
する。
【0085】このとき、巻き芯14Aの落下の勢いによ
り、終端カッター62によって切断されたフィルム12
のフィルム供給ロール14側の先端が第1の吸着装置2
4から剥離する。
【0086】次いでカイドプレート32を図3の実線位
置に戻し、続いてエアシリンダ34により水平台30A
を図14に示されるように左方向に押出し、後行フィル
ム供給ロール40の中心が、セット位置におけるフィル
ム供給ロール中心位置となるようにする。
【0087】このとき、第2の吸着装置46に吸着され
ている片面粘着テープ56の粘着面56Bの上半分が、
該第2の吸着装置46に押圧されて、第1の吸着装置2
4に吸着された状態の先行原反フィルム12の終端12
Dの透光性支持フィルム12A側面に接着される。ここ
で、シリンダ装置47により第2の吸着装置46を第1
の吸着装置24に押付ければ、接着がより強固になる。
【0088】従って、先行原反フィルムの終端12D及
び後行原反フィルムの先端12Eは、その透光性支持フ
ィルム12A側面において、一枚の片面粘着テープ56
の粘着面56Bに、長手方向に連続して接着されること
になる。
【0089】この接着工程の間に、フィルム12はラミ
ネーションロール20に送られ、間欠的に搬送されてく
る基板18のフィルム張付面18Aに順次連続的に張付
けられていくが、その間に必要なフィルムは、前記アキ
ュムレータ26のテンションロール26Cが下降するこ
とによって繰出されたフィルムにより補給される。
【0090】先行原反フィルムの終端12Dと後行原反
フィルムの先端12Eとの、片面粘着テープ56を介し
ての接続中に、セット位置での後行フィルム供給ロール
40がマンドレル52により回転自在に支持される。
【0091】次に、エアシリンダ42Aによりロール台
42を下げて、更に、エアシリンダ34により、水平台
30Aを図11に示される状態にまで戻し、その後は、
交換ロール搬送台30をライン側方に引出して、前記回
収した巻き芯14Aを取出すと共に、ロール台42に新
たなフィルム供給ロールを載せて、前述と同様に、その
先端12Eが第2の吸着装置46における吸着面46A
に吸着された片面粘着テープ56の粘着面56Bに接着
された状態で、再度交換ロール搬送台30をハウジング
10A内に押し込み、次のフィルム供給ロール交換まで
待機させておく。
【0092】なお上記実施例において、片面粘着テープ
56の粘着面56Bは、第2の吸着装置46によって先
行原反フィルムの終端12Dに押付けられるものである
が、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば図1
5に示されるように、第2の吸着装置46によってフィ
ルム12の終端12Dと先端12Eが接着された状態
で、これらを第1の吸着装置24の吸着面24Aに押付
けつつフィルム幅方向に移動する押圧ローラ等の押圧部
材63を前記終端カッター62に設け、これにより終端
12Dと先端12Eを片面粘着テープ56に強力に接着
させるようにしてもよい。この場合、終端カッター62
は退避させておく。
【0093】又、上記実施例において、フィルム12は
予めカバーフィルム12Cを剥した状態で間欠的に搬送
されてくる基板18に連続的に張付けられるものである
が、本発明はこれに限定されるものではなく、予めフィ
ルムを切断し、これを仮付部材により基板に張付けるフ
ィルム張付装置、予めカバーフィルムを剥し、基板長さ
に合せて切断しつつ基板に張付けるようにしたフィルム
張付装置等も含めて、原反フィルムを連続的に供給する
場合に適用されるものである。
【0094】更に、上記実施例は、感光性樹脂層12B
が透光性支持フィルム12Aに積層されたものである
が、この透光性支持フィルム12Aは必ずしも光を透過
するものでなくても、例えば電子線、X線、紫外線等を
透過するもので不透明であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る原反フィルムの連続的供給装置を
設けたフィルム張付装置の実施例を示す略示側面図
【図2】図1の略示平面図
【図3】同実施例における原反フィルムの連続的供給装
置を拡大して示す断面図
【図4】同正面図
【図5】同連続的供給装置におけるアキュムレータを拡
大して示す略示側面図
【図6】本発明実施例装置により供給されるフィルムを
拡大して示す断面図
【図7】同原反フィルムの連続的供給装置における後行
原反フィルムの先端形成過程を示す略示断面図
【図8】同形成された後行原反フィルムの先端を示す略
示断面図
【図9】同後行原反フィルムの先端を剥離した状態を示
す略示断面図
【図10】第2の吸着面に片面粘着テープを吸着させた
状態を示す略示断面図
【図11】同連続的供給装置におけるフィルム接続直前
の状態を示す略示断面図
【図12】同連続的供給装置における先行原反フィルム
終端形成過程を示す略示断面図
【図13】同連続的供給装置における先行原反フィルム
の終端形成後の状態を示す略示断面図
【図14】同連続的供給装置により、先行原反ロールの
終端と後行原反ロールの先端を接続した状態を示す略示
断面図
【図15】同連続的供給装置における片面粘着テープの
押圧手段の他の実施例を示す断面図
【符号の説明】
10…フィルム張付装置 10A…ハウジング 12…フィルム 12A…透光性支持フィルム 12B…感光性樹脂層 12C…カバーフィルム 12D…終端 13…フィルム経路 14…フィルム供給ロール 14A…巻き芯 18…基板 18A…フィルム張付面 19…搬送ライン 20…ラミネーションロール 22…ロータリーカッター 22A…回転刃 22B…固定刃 23…連続的供給装置 24…第1の吸着装置 24A、46A、48A…吸着面 24B、46B、48B…吸着孔 26…アキュームレータ 28…カバーフィルム剥離装置 30…交換ロール搬送台 30A…水平台 30C…支持ポスト 32…ガイドプレート 32B…傾斜ガイド面 34…エアシリンダ 36…ハウジング側壁 38、66…レール 40…後行フィルム供給ロール 42…ロール台 44…巻き芯回収部 44A…傾斜面 46…第2の吸着装置 48…第3の吸着装置 52…マンドレル 54A、54B…ガイドロール 56…片面粘着テープ 56A…非粘着面 56B…粘着面 58…粘着テープ供給装置 60…先端カッター 62…終端カッター 63…押圧部材 64…駆動装置 67…ロータリーエンコーダ 74…反転加熱装置 76…反転搬出装置

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバー
    フィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給
    ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、
    搬送手段により搬送されてくる基板のフィルム張付面側
    に感光性樹脂層側が位置するようにして、ラミネーショ
    ンロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬
    送するようにされたフィルム張付装置における前記フィ
    ルム供給ロールからの原反フィルムの連続的供給方法に
    おいて、前記フィルム供給ロールから巻き出された先行
    原反フィルムの終端のカバーフィルム側面を第1の吸着
    手段により定位置で吸引保持し、非粘着面側が第2の吸
    着手段により吸引保持されている片面粘着シートの粘着
    面の一部に、後行フィルム供給ロールから巻き出された
    後行原反フィルムの先端の支持フィルム側面を接着さ
    せ、次に前記粘着シートの残りの粘着面を、前記第1の
    吸着手段に吸引保持されている前記先行原反フィルムの
    終端の支持フィルム側面に押付けて、該終端を粘着シー
    トに接着させることを特徴とするフィルム張付装置にお
    ける原反フィルムの連続的供給方法。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記第1の吸着手段の
    位置で、これに吸引保持された状態の先行原反フィルム
    を幅方向に切断して長さを揃えて前記終端を形成するこ
    とを特徴とするフィルム張付装置における原反フィルム
    の連続的供給方法。
  3. 【請求項3】請求項1又は2において、前記後行原反フ
    ィルムの先端部を前記第2の吸着手段に吸引保持させた
    状態で、該第2の吸着手段のフィルム送り方向中間位置
    で後行原反フィルムの先端部を幅方向に切断して長さを
    揃えて先端を形成し、次に、第2の吸着手段の、後行フ
    ィルム供給ロール中心側に隣接した位置で、第3の吸着
    手段により後行原反フィルムを吸引保持し、この状態で
    先端部を前記第2の吸着手段から引き剥し、且つ、前記
    片面粘着シートの非粘着面を第2の吸着手段により吸引
    保持させ、次に、前記引き剥した後行フィルム先端部
    を、前記第2の吸着手段の吸着面上で、前記粘着面に接
    着させることを特徴とするフィルム張付装置における原
    反フィルムの連続的供給方法。
  4. 【請求項4】請求項1、2又は3において、前記第2の
    吸着手段により、前記粘着シートを、前記第1の吸着手
    段に吸引保持されている先行原反フィルムの終端に押付
    けることを特徴とするフィルム張付装置における原反フ
    ィルムの連続的供給方法。
  5. 【請求項5】請求項1乃至4のいずれかにおいて、前記
    第2の吸着手段と前記後行フィルム供給ロールとが同期
    して移動され、該後行フィルム供給ロールがセット位置
    となるとき、前記第2の吸着手段に吸着されている粘着
    シートの残りの粘着面が、前記第1の吸着手段に吸着さ
    れている先行原反フィルムの終端に圧着されることを特
    徴とするフィルム張付装置における原反フィルムの連続
    的供給方法。
  6. 【請求項6】支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバー
    フィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給
    ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、
    搬送手段により搬送されてくる基板のフィルム張付面側
    に感光性樹脂層側が位置するようにして、ラミネーショ
    ンロールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬
    送するようにされたフィルム張付装置における前記フィ
    ルム供給ロールからの原反フィルムを連続的に供給する
    装置において、セット位置にある先行フィルム供給ロー
    ルから巻き出された先行原反フィルムの終端のカバーフ
    ィルム側面を定位置で吸引保持する第1の吸着手段と、
    前記原反フィルムと略同一幅で、片面粘着シートの非粘
    着面側を吸引保持自在の第2の吸着手段と、後行フィル
    ム供給ロールから巻き出された後行原反フィルムの先端
    の支持フィルム側面が、前記第2の吸着手段に吸引保持
    された片面粘着シートの粘着面における原反フィルム長
    手方向の一部に接着された状態のまま、該第2の吸着手
    段を、前記第1の吸着手段の位置まで送り、前記片面粘
    着シートの残りの粘着面に、該第1の吸着手段に吸引保
    持されている先行原反フィルムの終端の支持フィルム側
    面を圧着させる搬送手段と、を有してなるフィルム張付
    装置における原反フィルムの連続的供給装置。
  7. 【請求項7】請求項6において、前記搬送手段は、前記
    後行フィルム供給ロールを、セット位置の前記先行フィ
    ルム供給ロールと平行に保持し、且つ、フィルム供給ロ
    ールのセット位置まで搬送自在とされると共に、前記第
    2の吸着手段は、該セット位置への到達時に、第1の吸
    着手段に、片面粘着シート、原反フィルムを介して圧着
    するように構成されたことを特徴とするフィルム張付装
    置における原反フィルムの連続的供給装置。
  8. 【請求項8】請求項7において、前記第2の吸着手段
    を、前記第1の吸着手段方向へ進退自在に支持するシリ
    ンダ装置を設けたことを特徴とするフィルム張付装置に
    おける原反フィルムの連続的供給装置。
  9. 【請求項9】請求項6、7又は8において、前記第1の
    吸着手段におけるフィルム吸着面に対向して前記フィル
    ム吸着面のフィルム送り方向中間位置で、フィルム幅方
    向移動自在に配置され、該フィルム吸着面に吸引保持さ
    れた状態の先行原反フィルムを、その幅方向に切断して
    切り揃える終端カッターを設けたことを特徴とするフィ
    ルム張付装置における原反フィルムの連続的供給装置。
  10. 【請求項10】請求項9において、前記終端カッター
    に、前記第1の吸着手段に吸引保持されていて、片面粘
    着シートにより接着接続されている先行原反フィルムの
    終端と後行原反フィルムの先端とを、前記粘着シートと
    共にその厚さ方向に押圧しつつ、フィルム幅方向に移動
    自在の移動圧着部材を設けたことを特徴とするフィルム
    張付装置における原反フィルムの連続的供給装置。
  11. 【請求項11】請求項6乃至10のいずれかにおいて、
    前記第2の吸着手段におけるフィルム吸着面に対向し
    て、前記フィルム吸着面のフィルム送り方向中間位置
    で、該フィルム吸着面に吸引保持された後行原反フィル
    ムの先端部を、その幅方向に切断して切り揃える先端カ
    ッターを設けたことを特徴とするフィルム張付装置にお
    ける原反フィルムの連続的供給装置。
  12. 【請求項12】請求項6乃至11のいずれかにおいて、
    前記搬送手段は、前記フィルム供給ロールの回転中心軸
    と平行方向に出し入れ自在とされた移動台を含んで構成
    されたことを特徴とするフィルム張付装置における原反
    フィルムの連続的供給装置。
  13. 【請求項13】請求項6乃至12のいずれかにおいて、
    前記搬送手段は、前記第2の吸着手段の、後行フィルム
    供給ロール中心側に隣接して、該後行原反フィルムの、
    前記第2の吸着手段により吸引保持されるべき先端部の
    ロール中心側に隣接する部分を吸引保持する第3の吸着
    保持手段を設けたことを特徴とするフィルム張付装置に
    おける原反フィルムの連続的供給装置。
  14. 【請求項14】請求項6乃至12のいずれかにおいて、
    前記搬送手段は、セット状態の先行フィルム供給ロール
    の下方近傍に位置され、フィルム残量が一定値以下とな
    って解放落下された前記先行フィルム供給ロールを収容
    する巻き芯回収部を備えたことを特徴とするフィルム張
    付装置における原反フィルムの連続的供給装置。
  15. 【請求項15】請求項14において、前記セット状態の
    先行フィルム供給ロールの近傍に一定角度範囲で揺動自
    在に配置され、該先行フィルム供給ロールを前記巻き芯
    回収部に向けて斜め下方に案内する傾斜ガイド面となる
    傾斜位置と、フィルム供給ロールと非接触となる退避位
    置とをとり得るガイドプレートを設けたことを特徴とす
    るフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給
    装置。
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