JP3907316B2 - フィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プリント配線板用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータ等の電子機器に使用されるプリント配線板の製造過程において、プリント配線板用基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポリエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、これがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付けられる。
【０００３】
上記のような積層体フィルムを張り付けるためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連続張りタイプのものがある。
【０００４】
基板に張り付けられた透光性支持フィルムは、露光の前又は後で、且つ、現像工程の前において感光性樹脂層を基板側に残して剥離されなければならないが、剥離と同時又は剥離の前又は後に各基板間で分離されなければならない。
【０００５】
透光性支持フィルムを剥離方向に引張る場合、その裏面の感光性樹脂層が、基板からのはみ出し部分から基板上に連続していると、透光性支持フィルムを剥離する際に残さなければならない基板上の感光性樹脂層までがはみ出し部分の感光性樹脂層に続いて剥離されてしまうという問題点がある。
【０００６】
これらの問題点を解消するため、従来、例えば特開平７−１５７１８６号公報に開示されるフィルム剥離装置においては、フィルムを基板に連続的に張り付けた後、各基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを基板の端縁に沿ってフィルム幅方向に切断し、しかる後、透光性支持フィルムを連続的に剥離するものであり、この際、剥離された透光性支持フィルム側には、各基板間部分での感光性樹脂層が付着されている。
【０００７】
又、特開平８−１５０６９４号公報に開示されるフィルム張付装置では、各基板間に対応する感光性樹脂層の部分に予めフィルム幅方向にスリットを形成し、そのまま基板に連続的に張り付けて、張付後に各基板間位置で切断し、切断端縁から透光性支持フィルムを剥離させるようにしている。
【０００８】
更に、特開平７−１１０５７５号公報に開示されるフィルム張付装置は、カバーフィルム剥離前に、各基板間に対応する部分の両端間よりもやや広めに、カバーフィルム及びその内側の感光性樹脂層と共にフィルム幅方向に切断してハーフカット線を形成し、次に、基板に張り付けられるべき部分のカバーフィルムのみを粘着テープにより剥離して感光性樹脂層を露出させ、この状態で基板に連続的に張り付けるようにしたものである。従って、張付後、カバーフィルムは各基板間位置で透光性支持フィルムに積層したまま残っていて、この位置で透光性支持フィルム感光性樹脂層とともにカッターにより切断される。
【０００９】
上記のような積層体フィルムはフィルム供給ロールから巻き出されて供給されるものであるが、フィルム供給ロールの巻き取り長さは有限であるので、当然、一定量使用することによってフィルム供給ロールを交換しなければならない。又、フィルム残量が極めて少なくなった場合や、フィルム張付装置本体に供給するフィルムの種類、銘柄等を用途に応じて変更する必要が生じた場合にも、フィルム供給ロールを交換し、新しいフィルムを供給する必要がある。
【００１０】
この場合、原反フィルムが巻き付けられていた巻芯を、残った原反フィルムと共に除去して新たなフィルム供給ロールを装填することになる。
【００１１】
従来、この交換は、先行するフィルム供給ロールにつき交換すべき時期が来ると、フィルム張付装置を停止させ、先行フィルム供給ロールを取除き、新しいフィルム供給ロールから引き出したフィルム先端を、フィルム分離部材、テンションローラから、フィルム供給経路の各ローラを経て、ラミネーションロールの位置にまで手作業により通してセットする必要があった。
【００１２】
このため、従来は、例えば２時間で巻き戻しが終了した上下のフィルム供給ロールの交換作業に１０分を要し、実操業時間に対するいわゆる段取り時間の占める割合が非常に大きく、フィルム張付装置の稼働率を低下させるのみならず、ライン全体の効率も低下させるという問題点があった。
【００１３】
これに対して、特開平８−２５８２３７号公報に開示されるような、フィルム供給ロールの交換を、装置の運転を停止させることなく行うことができ、且つ、先行原反フィルムの後端と後行原反フィルムの先端との接続を自動的に行うことができるようにしたフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置が提案されている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、先行原反フィルムの後端と後行原反フィルムの先端との接続線が、これら原反フィルムを基板上に張り付けた状態で、該基板の露光面上になったとき、そのまま露光すると感光性樹脂層の接続線により不良品となってしまうという問題点がある。
【００１５】
この発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、フィルムが張り付けられた基板が先行原反フィルムの後端と後行原反フィルムの先端との接続線により不良品とならないようにしたフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本方法発明は、請求項１のように、透光性支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給ロールから引き出し、前記カバーフィルム及び前記感光性樹脂層を前記透光性支持フィルムの厚さ方向の少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断してハーフカット線を形成し、前記カバーフィルムの前記ハーフカット線間の、基板への張付予定範囲を剥離させ、且つ、他の部分を残して、搬送手段により一定間隔で順次搬送されてくる複数の基板のフィルム張付面側に前記感光性樹脂層側が位置するようにして、ラミネーティングロールにより前記連続フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされたフィルム張付装置における前記フィルム供給ロールからの原反フィルムの連続的供給方法において、前記フィルム供給ロールから巻き出された先行原反フィルムの終端部の透光性支持フィルム側の面を第１の吸着手段により定位置で吸引保持する工程と、非粘着面側が第２の吸着手段により吸引保持されている片面粘着テープの粘着面の一部に、後行フィルム供給ロールから巻き出された後行原反フィルムの先端部のカバーフィルム側の面を接着させる工程と、前記片面粘着テープの残りの粘着面を、前記第１の吸着手段に吸引保持されている前記先行原反フィルムの終端部のカバーフィルム側の面に押付けて、該終端部を片面粘着テープに接着させる工程と、を有してなり、前記先行原反フィルムが前記複数の基板に張り付けられるとき基板の端部間となる位置で、前記第１の吸着手段に吸引保持された状態の先行原反フィルムを幅方向に切断して長さを揃えて前記終端部を形成し、前記基板に張り付けられた後の前記連続フィルムは、各基板の端部間の位置でフィルム幅方向に全切断され、前記片面粘着テープは、前記全切断の位置からずらして粘着されることを特徴とするフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法により、上記目的を達成するものである。
【００１７】
前記粘着テープの、フィルム送り方向の幅を、前記複数の基板の端部間の距離よりも小さくすると共に、先行原反フィルム及び後行原反フィルムが、隙間をもって隣接する２枚の基板にわたって張り付けられたとき、前記隙間に位置するように前記粘着テープを前記先行原反フィルムと後行原反フィルムとの接続部に粘着させるようにしてもよい。
【００１８】
又、前記フィルム張付装置は、前記基板に張り付けられた後の前記フィルムを、各基板の端部間の位置でフィルム幅方向に全切断するようにされ、前記粘着テープを、前記全切断の位置からずらして粘着するようにしてもよい。
【００１９】
本装置発明は、請求項３のように、透光性支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層されてなり、フィルム供給ロールから引き出された連続フィルムにおける前記カバーフィルム及び感光性樹脂層をフィルム幅方向に切断してハーフカット線を形成するハーフカッターと、前記ハーフカット線間であって、基板への張り付け予定範囲における前記カバーフィルムを、他の部分を残して剥離するカバーフィルム剥離装置と、を有してなり、搬送手段により間欠的に順次搬送されてくる基板のフィルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するようにして、ラミネーティングロールにより前記連続フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされたフィルム張付装置における前記フィルム供給ロールからの原反フィルムを連続的に供給する装置において、先行フィルム供給ロールから巻き出された先行原反フィルムの終端部の透光性支持フィルム側の面を定位置で吸引保持する第１の吸着手段と、前記原反フィルムと略同一幅で、片面粘着テープの非粘着面側を吸引保持自在の第２の吸着手段と、後行フィルム供給ロールから巻き出された後行原反フィルムの先端部のカバーフィルム側の面が、前記第２の吸着手段に吸引保持された片面粘着テープの粘着面における原反フィルム長手方向の一部に接着された状態のまま、該第２の吸着手段を、前記第１の吸着手段の位置まで送り、前記片面粘着テープの残りの粘着面に、該第１の吸着手段に吸引保持されている先行原反フィルムの終端部のカバーフィルム側の面を圧着させる搬送手段と、前記第１の吸着手段におけるフィルム吸着面に対向して前記フィルム吸着面のフィルム送り方向中間位置で、フィルム幅方向移動自在に配置され、該フィルム吸着面に吸引保持された状態の先行原反フィルムを、前記先行原反フィルムが前記複数の基板に張り付けられるときに基板の端部間となる位置で、幅方向に切断して切り揃える終端カッターと、前記基板に張り付けられた後の前記連続フィルムを、各基板の端部間の位置でフィルム幅方向に全切断するフルカッターと、を有し、前記片面粘着テープは前記全切断の位置からずらして粘着されることを特徴とするフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給装置により、上記目的を達成するものである。
【００２０】
前記先行フィルム供給ロールにおける先行原反フィルムの残量を検出する残量検出手段と、この残量検出手段の検出信号に基づき、先行原反フィルムにおける終端を算出すると共に、算出した終端となる位置で、前記第１の吸着手段により、先行原反フィルムを吸着させる制御装置とを有するようにしてもよい。
【００２１】
この発明においては、先行原反フィルムの後端と後行原反フィルムの先端との接続線が、積層体フィルムが複数の基板に連続的に張り付けられたときに基板間の位置となるようにしているので、前記接続線による露光不良等を防止することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態の例を図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
図１は、本発明に係るフィルムの連続的供給装置１を含むフィルム張付装置１０を示す。
【００２４】
このフィルム張付装置１０は、基板搬送面１４Ａに沿って複数の基板１６を一定間隔で順次搬送する基板搬送装置１４と、前述のような積層体フィルム１２をロールにしてなるフィルム供給ロール１８と、一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂとの間にフィルム供給ロール１８側から、アキュームレータ２１、ハーフカッター２２、カバーフィルム剥離装置２４、サクションロール２６、フリー回転のガイドロール２８Ａ〜２８Ｃ、フィルムガイドロール５２をこの順で配置してなり、フィルム供給ロール１８から巻き出した積層体フィルム１２の、カバーフィルム１２Ｃ及び感光性樹脂層１２Ｂ（図５参照）を所定位置で、前記ハーフカッター２２によってフィルム幅方向に切断してハーフカット線を形成し、次に、カバーフィルム剥離装置２４によって、カバーフィルム１２Ｃの、各ハーフカット線間部分のうち基板１６に張付けるべき部分のみを間欠的に剥離し、感光性樹脂層１２Ｂを露出させた状態で、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に送り込み、ここで、基板搬送装置１４によって搬送されてくる基板１６の対応箇所に露出された感光性樹脂層１２Ｂが重なるようにして、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂにより熱圧着するものである。
【００２５】
この一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂは、金属製ロールの外周に、シリコーンゴム、あるいは表面がフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆されたシリコーンゴム等の弾性材料を設けて構成され、又、ヒーター（図示省略）を内蔵し、装置の運転開始に先立って、表面が１００°〜１５０℃にまで加熱され、運転中は常時回転されている。
【００２６】
前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの出側には、第１ニップロール３０、フルカッター３２、及び、第２ニップロール３４が、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ側からこの順で基板搬送方向に配置されている。
【００２７】
前記フィルム供給ロール１８の出側近傍には上下一対のフリーロール３６Ａ、３６Ｂが配置され、上側のフリーロール３６Ａの上端と、前記サクションロール２６の上端とがほぼ同一水平面上に位置するようにされている。
【００２８】
又、前記サクションロール２６は、その表面に多数の吸引孔（図示省略）が形成され、ここに印加される負圧によって、巻き掛けられている積層体フィルム１２を吸着し、前記フリーロール３６Ａ、３６Ｂとの間及びラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂとの間で積層体フィルム１２に所定の張力を付与できるようにされている。
【００２９】
なお、前記フィルム供給ロール１８に、トルクモータ１８Ａによりフィルム巻取り方向のトルクがかけられた状態で積層体フィルム１２が巻き出されることにより、積層体フィルム１２に引張力（後述のサクションロール２６との間での張力は、積層体フィルム１２の幅が１０００ｍｍのとき、２〜１０Ｋｇ好ましくは５Ｋｇ前後がよい）が発生するようにされている。
【００３０】
図１の符号１８Ｂは、フィルム供給ロール１８のフィルム残量センサを示す。このセンサ１８Ｂは、ロールの半径方向に複数の光センサを配置してなるラインセンサであり、フィルム残量に対応して信号を出力するようにされていて、前記トルクモータ１８Ａは、前記信号に対応して、制御装置４０（図２参照）により、フィルム流れの下流側におけるフィルム張力をほぼ一定にするため、フィルム残量が少なくなるにつれてフィルム巻き取り方向のトルクが小さくなるようにされている。
【００３１】
又、前記フリーロール３６Ａには、ロータリエンコーダ３８が接続され、積層体フィルム１２がサクションロール２６方向に送られるときのフリーロール３６Ａの回転数に応じたパルスを制御装置４０に出力するようにされている。
【００３２】
前記ハーフカッター２２は、図３及び図４に示されるように、前記サクションロール２６とフリーロール３６Ａとの間で水平に送られる積層体フィルム１２の送り面とほぼ一致する吸着面４２Ａを備えたカッター台４２と、このカッター台４２の上面に沿ってフィルム幅方向に往復動自在の一対のディスクカッター４４Ａ、４４Ｂとを有して構成され、これらカッター台４２及びディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを、積層体フィルム１２と等速でその送り方向に移動させつつ、該ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂをフィルム幅方向に移動して、積層体フィルム１２の図５において上面側のカバーフィルム１２Ｃ及び感光性樹脂層１２Ｂを、透光性支持フィルム１２Ａを残して切断するようにされている。
【００３３】
前記一対のディスクカッター４４Ａ、４４Ｂは、積層体フィルム１２の送り方向に離間して設けられ、且つその距離は、図５に示されるように、前記基板搬送面１４Ａを搬送される先行基板１６の後端と後行基板１６の先端間の距離よりもわずかに大きくなるようにされている。
【００３４】
前記カッター台４２及びディスクカッター４４Ａ、４４Ｂの、積層体フィルム送り方向の往復動はラックアンドピニオン機構４６により、又、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂのフィルム幅方向の往復動は、一軸ロボット４８によってそれぞれなされ、これらラックアンドピニオン機構４６及び一軸ロボット４８は、前記制御装置４０によって制御される。
【００３５】
前記ラックアンドピニオン機構４６は、カッター台４２と一体のラック４６Ａと、このラック４６Ａをフィルム送り方向、且つ、水平に往復動自在に支持するレール４６Ｂと、前記ラック４６Ａと噛み合って、これをレール４６Ｂに沿って駆動するピニオン４６Ｃと、を含んで構成されている。
【００３６】
前記カッター台４２はフィルム幅方向に長く配置され、その上面に、前記ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂの刃先を受ける、例えば合成樹脂からなる棒状のカッター受け４５Ａ、４５Ｂがフィルム幅方向に埋込み配置されている。
【００３７】
前記ラック４６Ａ上には前記一軸ロボット４８が配置され、この一軸ロボット４８はボールねじ機構（図示省略）を有し、前記ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを支持する支持台４５をフィルム幅方向に駆動するようにされている。
【００３８】
前記フィルム供給ロール１８は原反フィルムの連続的供給装置１により順次交換され、フィルム張付装置１０に対して、途切れることなく積層体フィルム１２が供給されるようになっている。
【００３９】
前記フィルム供給ロール１８から巻き出された積層体フィルム１２は、第１の吸着装置５４、アキュムレータ２１を経て、カバーフィルム剥離装置２４によりカバーフィルム１２Ｃが剥された後、前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に、感光性樹脂層１２Ｂを下側にして連続的に供給されるようになっている。
【００４０】
前記連続的供給装置１は、図６に拡大して示されるように、前記第１の吸着装置５４と、アキュムレータ２１（図１、図８にのみ示される）と、交換ロール搬送台６０と、巻き芯回収装置６２と、前記交換ロール搬送台６０の一部である水平台６０Ａを図６において左右方向に駆動するエアシリンダ６４とを含んで構成されている。
【００４１】
前記交換ロール搬送台６０は、フィルム張付装置１０のハウジング側壁１０Ａに取付けた上下一対のバー６７に、上下一対のレール６８を介して、図６において紙面と直交する方向に水平に移動自在に支持されるフレーム６０Ｂを備えている。即ち、フィルム張付装置１０のハウジング側壁１０Ａからフィルム送り方向に対して側方に水平に引き出され得るようにされている。
【００４２】
又、交換ロール搬送台６０は、図７に示されるように、フレーム６０Ｂの、図７において左右底辺内側に、レール６９を介して、フレーム６０Ｂに対して図６で左右方向に往復動自在に支持された前記水平台６０Ａを備えている。この水平台６０Ａには、交換用の後行フィルム供給ロール７０を載置するロール台７２と、前記巻き芯回収装置６２の一部の回収巻き芯受け部６３と、第２の吸着装置７６及び第３の吸着装置７８とをその上面及び先端部に備え、且つ、前記エアシリンダ６４により図６において水平方向に往復動されるようになっている。エアシリンダ６４と水平台６０Ａは、レール６８と平行、且つ、水平な係止片８０に摺動自在に係合され、レール６８に沿う水平台６０Ａの摺動を許容するようにされている。
【００４３】
ここで、前記フィルム供給ロール１８、７０は、その中心に巻き芯１９を備え、この巻き芯１９は、積層体フィルム１２が巻き付けられている樹脂製の円筒部材１９Ａと、この円筒部材１９Ａに嵌合、且つ貫通して円筒部材１９Ａの両端から突出している金属製の中径円筒部材１９Ｂと、この中径円筒部材１９Ｂの両端に嵌合し、且つ、更に突出している小径バー１９Ｃとを備えて構成されている。
【００４４】
前記ロール台７２はスピンドル８２（図７参照）によってセット位置に回転自在に支持された前記フィルム供給ロール（以下先行フィルム供給ロール）１８と平行且つ水平に後行フィルム供給ロール７０を載置すると共に、エアシリンダ７２Ａによって該後行フィルム供給ロール７０の高さを調整できるようにされている。なお、ロール台７２は後行フィルム供給ロール７０の巻き芯１９における小径バー１９Ｃを支持している。
【００４５】
前記ロール台７２の水平方向の位置は、水平台６０Ａがエアシリンダ６４によって図６において左方向に押し出され、ストロークエンドとなったときに、後行フィルム供給ロール７０の中心が、スピンドル８２の中心軸線の位置にくるようにされている。
【００４６】
スピンドル８２は、左右一対であり、図７に示されるように、エアーシリンダ８２Ａにより軸線方向に進退自在の状態で軸受け８２Ｂにより回転自在に支持され、突出したとき、フィルム供給ロールの巻き芯１９における両端の小径バー１９Ｃの端面に係合して、これを回転自在に支持するようにされている。
【００４７】
図７の左側のスピンドル８２の基端には回転遮光板８３Ａが取付けられ、これを光センサ８３Ｂにより検出することによって、スピンドル８２が回転しているか否かを検出するようにされている。又右側のスピンドル（図示省略）にはブレーキ動作を行う前記トルクモータ１８Ａ（図１参照）が設けられている。
【００４８】
図６にも示されるように、前記第１の吸着装置５４は、セット位置にある先行フィルム供給ロール１８から巻き出された積層体フィルム１２を垂直方向に案内する一対のガイドロール８４Ａ、８４Ｂの間に配置され、これらガイドロール８４Ａ、８４Ｂ間における積層体フィルム１２の走行面と平行且つ接近して同一垂直面上に配置された上下の吸着面５４Ａ、５４Ｂを備えている。これら吸着面５４Ａ、５４Ｂには、負圧が印加される多数の吸着孔５４Ｃが形成されている。
【００４９】
前記第２の吸着装置７６（図１、図６、図７参照）は、水平台６０Ａ上の左右両端に、前記フレーム６０Ｂに接近して垂設された一対の支持ポスト６０Ｃの上端に、シリンダ装置７７を介して取り付けられている。ここで、前記第２の吸着装置７６は前記第１の吸着装置５４の吸着面５４Ａと同一高さで、且つこれと平行に対向する位置に配置された吸着面７６Ａを備えている。この吸着面７６Ａには負圧が印加される多数の吸着孔７６Ｂが形成されている。
【００５０】
又、前記第３の吸着装置７８（図１、図６、図７参照）は、前記第２の吸着装置７６の吸着面７６Ａの下側位置で、前記支持ポスト６０Ｃ間に張り渡した支持バー６０Ｄ上に、前記吸着面７６Ａに対して、吸着面７８Ａが垂直に連続するように取付けられている。この吸着面７８Ａには負圧が印加される多数の吸着孔７８Ｂが形成されている。
【００５１】
更に、前記フレーム６０Ｂには、前記第２の吸着装置７６の吸着面７６Ａに対向して、その高さ方向中間位置で該吸着面７６Ａに吸着されたフィルムを水平且つ幅方向に切断するための先端カッター９０が設けられている。
【００５２】
この先端カッター９０はディスクカッターであり、ハウジング９０Ａ内に回転自在に支持され、このハウジング９０Ａはフレーム６０Ｂの左右柱部間に水平、且つ、吸着面７６Ａと平行に張渡されたガイドバー９０Ｂに摺動自在に支持され、操作ノブ９０Ｃにより手動で往復動され、このとき吸着面７６Ａに吸着されているフィルムを切断するものである。
【００５３】
同様に、前記第１の吸着装置５４における吸着面５４Ａ、５４Ｂに対向して、これらの境界位置で、該吸着面５４Ａ、５４Ｂに吸着されているフィルムを水平且つ幅方向に切断する終端カッター９２が設けられている。この終端カッター９２はディスクカッターであり、図６、図２０、図２１に示されるように、ハウジング９２Ａ内に収容され、このハウジング９２Ａはロッドレスシリンダ９３の摺動部９３Ａに連結され、シリンダ９３Ｃ内に導入されるエアーにより磁性体９３Ｂが移動するとき、摺動部９３Ａと共に、吸着面５４Ａ、５４Ｂの境界線に沿ってフィルム幅方向に移動され、これにより終端カッター９２が吸着面５４Ａ、５４Ｂに吸着されている積層体フィルム１２を切断するようにされている。
【００５４】
又、前記摺動部９３Ａには、これと前記終端カッター９２がシリンダ９３Ｃに沿って移動するとき、終端カッター９２の前後で前記積層体フィルム１２を押圧する一対の押圧ローラ９５Ａ、９５Ｂが設けられている。
【００５５】
この押圧ローラ９５Ａ、９５Ｂは、直動ガイド９５Ｃにより、積層体フィルム１２に垂直な方向に移動自在に支持されるとともにばね９５Ｄにより積層体フィルム１２を押圧する方向に付勢されている。
【００５６】
図２０、２１に示されるように、前記シリンダ９３Ｃの両端は、前記終端カッター９２の積層体フィルム１２に対する進退方向と平行な直動ガイド９５Ｅの摺動ブロック９５Ｆに支持され、この摺動ブロック９５Ｆは、エアシリンダ９５Ｇにより駆動されるようになっている。
【００５７】
前記終端カッター９２は、前記摺動ブロック９５Ｆがエアシリンダ９５Ｇにより最も突出されたとき吸着面５４Ａ、５４Ｂに吸着されているフィルムを切断するように、摺動部９３Ａに取付けられている。終端カッター９２よるフィルム切込量の微調整は、終端カッター９２の取付部の軸位置変更によってもできるようにされている。
【００５８】
又、前記押圧ローラ９５Ａ、９５Ｂは、前記終端部カッター９２が吸着面５４Ａ、５４Ｂ及びこれに吸着されている積層体フィルム１２からわずかに離間した状態でも、該積層体フィルム１２を押圧できるようにされている。
【００５９】
前記巻き芯回収部６２は、前記水平台６０Ａのレール６８と反対側の先端の幅方向２個所に、該水平台６０Ａの上面よりも低い位置に取付けられ、上側に凹部６３Ａが形成された回収巻き芯受け部６３と、図６において右側の前記ハウジング側壁１０Ａと反対側（左側）のハウジング側壁１０Ｂに、基端側で軸７４Ａにより鉛直面内で揺動自在に枢支された一対の回収レバー７４と、を含んで構成されている。
【００６０】
この一対の回収レバー７４は、先端の上面に、前記セット位置にある先行フィルム供給ロール１８における前記巻き芯１９の両端の小径バー１９Ｃに下方から係合可能な凹部７４Ｂを備え、前記ハウジング側壁１０Ｂに支持されたエアシリンダ７４Ｃにより、図６において反時計方向に揺動されるとき、巻き芯１９を持ち上げ、支持できるようにされている。
【００６１】
又、前記回収巻き芯受け部６３は、巻き芯１９を支持した回収レバー７４を図６において時計方向に、回収巻き芯受け部６３よりも下方に揺動したとき、巻き芯１９の中径円筒部材１９Ｂを凹部６３Ａにより受け止めるようにされている。
【００６２】
図６の符号９６は前記スピンドル８２を、フィルム供給ロール１８の軸心方向に移動させてその位置調整を行うためのレールを示す。
【００６３】
前記アキュムレータ２１は、図８に示されるように、ガイドロール８４Ｂの下流側に配置された固定ロール２１Ａと、ガイドロール８４Ｂと固定ロール２１Ａとの間の位置に配置され、レバー２１Ｂにより上下動されるテンションロール２１Ｃと、ガイドロール８４Ｂに外接してその間にフィルムを挾持固定可能のピンチプレート２１Ｄと、このピンチプレート２１Ｄをガイドロール８４Ｂに対して離接させるようにアクチュエータ（シリンダ）２１Ｆと、を備えて構成され、テンションロール２１Ｃが、レバー２１Ｂにより上方に付勢されることによってフィルム経路よりも上方に積層体フィルム１２を持上げて、ここにフィルムを一定量蓄えることができるようにされている。レバー２１Ｂは、ウエイト２１Ｅによって時計方向に付勢されている。なお、テンションロール２１Ｃは常態では最上位置とされている。
【００６４】
前記ピンチプレート２１Ｄは前記アクチュエータ（シリンダ）２１Ｆのピストンロッド２１Ｇの先端にブロック２１Ｈを介して取付け、支持されている。
【００６５】
前記アクチュエータ（シリンダ）２１Ｆは積層体フィルム１２の幅方向に少なくとも２基が並列して配置され、積層体フィルム幅方向に長い前記ピンチプレート２１Ｄを同期して駆動できるようにされている。
【００６６】
ピンチプレート２１Ｄは、前記のようにアクチュエータ２１Ｆにより突出されて積層体フィルム１２をガイドロール８４Ｂに押付る位置と、積層体フィルム１２の経路から引込んでわずかな隙間（５ｍｍ程度）をもって、該経路と平行に対峙する位置をとり得るようにされている。
【００６７】
前記カバーフィルム剥離装置２４は、図１、図９に示されるように、前記ハーフカッター２２とサクションロール２６の間の位置で、フィルム通過面１３における積層体フィルム１２の下側に接触する受けロール２４Ａ、２４Ｂと、サクションロール２６に近い側の前記受けロール２４Ｂに上方から離接自在のタッチロール２４Ｃと、片面に粘着層が形成され、その粘着層を図１、図９において下側にして、前記タッチロール２４Ｃに巻き掛けられた粘着テープ２４Ｄと、この粘着テープ２４Ｄの先端を巻き取る巻取り装置２４Ｅと、を備えている。
【００６８】
図１、図９の符号２４Ｆは、前記受けロール２４Ａの上側位置で、受けロール２４Ａと共に自重により、積層体フィルム１２を挟み込み、カバーフィルム１２Ｃが上向きに引張られるときに積層体フィルム１２が浮き上がることを防止するためのニップロール、２４Ｇは、粘着テープ２４Ｄの供給源であるテープロール２４Ｈに巻取り方向のトルクを付与することによって、粘着テープ２４Ｄに張力を与えるためのテープブレーキ、２４Ｉ、２４Ｊは、タッチロール２４Ｃと巻取り装置２４Ｅとの間で粘着テープ２４Ｄを挟み込むニップロール、２４Ｋは、ニップロール２４Ｊを前記積層体フィルム１２の送り速度と等速で、粘着テープ２４Ｄを巻取る方向に駆動させるモータ、図９の符号２４Ｌは、巻取り装置２４Ｅにおける巻取りロールを駆動するためのモータ、２４Ｍは、前記タッチロール２４Ｃを受けロール２４Ｂに離接自在に支持する揺動レバー、２４Ｎは揺動レバー２４Ｍを駆動するためのタッチシリンダをそれぞれ示す。
【００６９】
前記ニップロール２４Ｉは、その表面が粗面下された（通常、表面粗さＲａが１０μｍ程度）ロールであり、詳細には、外周が金属であり、且つ、この金属表面がブラスト処理されると共にフッ素樹脂、シリコーン樹脂等の離型性コーティングがなされていて、粘着テープ２４Ｄの粘着層、カバーフィルム１２Ｃに付着している感光性樹脂が粘着しないようにされている。
【００７０】
前記タッチシリンダ２４Ｎは、前記制御装置４０によって制御され、前記ハーフカッター２２によって切断されたカバーフィルム１２Ｃの、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂ間部分の、フィルム送り方向（図９の矢印方向）の略前半部には粘着テープ２４Ｄが接触しないようにし、且つ、フィルム送り方向の略後半部から、後側のディスクカッター４４Ａのハーフカット線４９Ａ（図９において右側）を含む部分に接触して、該ハーフカット線４９Ａからカバーフィルム１２Ｃの剥離を開始し、次のディスクカッター４４Ｂのハーフカット線４９Ｂの手前までの間、カバーフィルム１２Ｃに粘着テープ２４Ｄを粘着させるように揺動レバー２４Ｍを介してタッチロール２４Ｃを駆動するようにされている。
【００７１】
粘着テープ２４Ｄは、これに粘着されたカバーフィルム１２Ｃと共にニップロール２４Ｉ、２４Ｊを経て巻取り装置２４Ｅにより巻き取られることにより、カバーフィルム１２Ｃを感光性樹脂層１２Ｂから剥離するようにされている。
【００７２】
従って、透光性支持フィルム１２Ａ上には、図５に示されるように、基板１６の搬送ピッチと等しいピッチで、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂ間に等しい長さのカバーフィルム１２Ｃが残されることになる。
【００７３】
なお、図１０に示されるように、タッチロール２４Ｃは受けロール２４Ｂの頂点よりも図においてわずかに左側にずれた位置で、積層体フィルム１２の進行方向前方からカバーフィルム１２Ｃを押圧するようにされている。
【００７４】
図９の符号２４Ｐはニップロール２４Ｉを揺動自在に支持するレバー、２４Ｑは、レバー２４Ｐを、ニップロール２４Ｉがニップロール２４Ｊに圧接する方向に付勢するためのばね、２４Ｒはガイドロール、２４Ｓ（図９のみ）は、粘着テープ２４Ｄに剥離されたカバーフィルム１２Ｃが付着しているか否かを確認するための剥離確認センサ、２４Ｔは前記揺動レバー２４を揺動自在に支持する支持軸、２４Ｕは支持軸２４Ｔに回転自在に支持され、テープロール２４Ｈから巻き出された粘着テープ２４Ｄの非粘着面側が巻き掛けられるガイドロールをそれぞれ示す。
【００７５】
又、図９の符号２４Ｘは両端が装置フレーム（図示省略）に取付けられ、前記受けロール２４Ａ、２４Ｂ等と平行に配置された支持バーを示す。この支持バー２４Ｘは、前記タッチシリンダ２４Ｎを支持すると共に、略Ｕ字形状の板ばね２４Ｙを介して前記ガイドロール２４Ｒを回転自在に支持している。
【００７６】
ガイドロール２４Ｒは、板ばね２４Ｙが弾力的に変形することにより、粘着テープ２４Ｄにたるみが生じないようにしている。
【００７７】
前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂのうち、上側のラミネーティングロール２０Ａは、ロールクランプシリンダ５０によって、下側のラミネーティングロール２０Ｂに押圧される「閉」位置、及び、両者間を通る基板１６及び積層体フィルム１２に非接触となり得るように上方に離間した「開」位置との間で駆動されるようになっている。
【００７８】
前記第１及び第２ニップロール３０、３４は、それぞれ第１クランプシリンダ３０Ａ、第２クランプシリンダ３４Ａによって下側の搬送ロール１５Ａに対して上方から離接自在とされ、搬送ロール１５Ａとの間に積層体フィルム１２又は積層体フィルム１２と基板１６を挟み込んだとき、搬送ロール１５Ａの回転によってこれらを図１において右方向に搬送できるようにされている。
【００７９】
図１の符号１５Ｂは、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの前後に配置され、前記搬送ロール１５Ａと同期して等速で回転される搬送ロールを示す。
【００８０】
前記フルカッター３２は、前記第１及び第２ニップロール３０、３４との間の位置で、基板搬送装置１４によって搬送される基板と同期して移動しつつ、各基板間の位置で積層体フィルム１２をその幅方向に切断するものである。
【００８１】
フルカッター３２は、基板搬送面１４Ａの下側に沿って基板搬送方向に同期して移動すると共に、反対方向に戻るように往復動されるカッター台３２Ａと、このカッター台３２Ａと共に基板搬送方向に往復動し、且つ、基板搬送面１４Ａに沿って搬送される基板１６に対してカッター台３２Ａが同期して走行する間に、フィルム幅方向に走行して、カッター台３２Ａとの間で積層体フィルム１２を切断するカッター刃３２Ｂと、このカッター刃３２Ｂを基板幅方向に走行させるための走行駆動装置３２Ｃと、前記カッター台３２Ａ、カッター刃３２Ｂ、走行駆動装置３２Ｃを、基板搬送方向に同期して走行（往動）させるラックアンドピニオン機構（図示省略）、及び、急速に復動させる走行シリンダ３２Ｄと、を備えて構成されている。
【００８２】
なお、復動時には、上記ピニオンと駆動モータとの間のクラッチ（ともに図示省略）が切られるようになっている。
【００８３】
又、前記フィルムガイドロール５２は、前記積層体フィルム１２のフィルムパスを、前記一対のラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの両方に非接触となる中立位置に変更すると共に、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂによりフィルム張付動作中は積層体フィルム１２と非接触となるように、揺動自在に配置されている。
【００８４】
前記基板搬送面１４Ａの下側には、前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの入側近傍位置に基板後端センサを兼ねる後続基板スタートセンサ９８及びこれより上流側に離間した位置に基板先端センサを兼ねる基板待機センサ１００が、更に、後続基板スタートセンサ９８の上流側に基板搬送面１４Ａの一部を構成するフリーロール１０２が配置されている。
【００８５】
図１の符号１０４は、基板搬送装置１４におけるコンベアロール１４Ｃ及びその上流の搬送ロール列１４Ｂを駆動するためのコンベアロール駆動用のサーボモータ、１０６は、コンベアロール１４Ｃとの間に基板１６を挟み込んで基板の搬送を安定させるためのニップロール、１０６Ａは、ニップロール１０６を開閉させるためのシリンダ、図１１の符号１０８は、基板搬送面１４Ａ上を搬送中の基板１６が過剰に温度低下しないように加熱するための保温ヒータをそれぞれ示す。
【００８６】
前記基板搬送面１４Ａに沿って、前記保温ヒータ１０８の上流側には、図１１に示されるように、基板幅寄せ装置１１０が配置され、更に上流側には基板ヒータ（図示省略）が配置されている。
【００８７】
前記基板幅寄せ装置１１０は、搬送ロール列１１０Ａ、この搬送ロール列１１０Ａ上に搬送されてきた基板１６を持ち上げてから前記保温ヒータ１０８の下方に水平に送り込み、下降して搬送ロール列１４Ｂ上に基板１６を移載し、搬送ローラ列１１０Ａの下側位置に戻るロボット１１０Ｂと、前記ロボット１１０Ｂにより搬送ロール列１１０Ａの上方に持ち上げられている基板１６を、左右から押すことにより幅方向のセンタリングをする幅寄せロール列１１０Ｃと、を有して構成されている。
【００８８】
図１１の符号１１０Ｄは搬送ロール列１１０Ａの入側に配置された基板位置検出センサ、１１０Ｅは出側に配置された基板位置検出センサをそれぞれ示す。
【００８９】
前記ロボット１１０Ｂは、基板１６を載置するための、基板搬送方向に長い水平の基板載置面を備え、この基板載置面には、負圧が印加され、基板１６を吸着して水平に保持する複数の吸着孔（図示省略）が設けられると共に、基板１６の部分的冷却を抑制するためにヒーター（図示省略）が設けられている。
【００９０】
前記基板載置面は金属面とされ、必要であれば、その金属面をフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆してもよい。
【００９１】
ここで、前記第１、第２ニップロール３０、３４及び、ニップロール１０６は金属性ロールの外周に、シリコーンゴム、あるいは表面がフッ素樹脂等の非粘着性被膜で被覆されたシリコーンゴム等の弾性材料を設けて構成されている。
【００９２】
前記ニップロール１０６は、前記基板待機センサ１００が基板の先端を検出したときの出力信号に基づいて、前記制御装置４０を介して、シリンダ１０６Ａによって下降され、コンベアロール１４Ｃとの間で基板１６を挟持できるようにされている。
【００９３】
前記ニップロール３４はエアシリンダ３４Ａにより、対向する搬送ロール３４Ｂに対して離接自在とされ、この搬送ロール３４Ｂとその上流側に隣接する搬送ロール１５Ａとの間にコンベアベルト１５Ｃが巻き掛けられている。
【００９４】
前記サーボモータ１０４は後続基板スタートセンサ９８が、基板搬送面１４Ａ上に送り込まれた基板の先端を検出したとき、制御装置４０により速度「零」とされ、一時基板を停止させ、次に、基板１６が積層体フィルム１２と同期するようなタイミング及び速度で回転されるようになっている。
【００９５】
なお、前記ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂよりも下流側の搬送ロール１５Ａ、３４Ｂと、上流側のコンベアロール１４Ｃ及び搬送ロール列１４Ｂと、搬送ロール列１１０Ａとは相互に別個独立して、その回転、停止を制御装置４０により制御されるようになっている。
【００９６】
又、前記サクションロール２６の負圧は、ガイドロール２８Ａに加わる力をロードセル２７により検出して、この検出値、即ち積層体フィルム１２にかかる張力が一定になるように制御装置４０により調整される。
【００９７】
図１の符号２４Ｖは巻き取り装置２４Ｅにおけるフィルム巻き取り量センサを示す。このセンサ２４Ｖは、ロールの半径方向に複数の光センサを配置してなるラインセンサであり、フィルム巻き取り量に対応して信号を出力するようにされている。
【００９８】
前記ロータリーエンコーダ３８は、制御装置４０にそのカウント値を出力すると共に、該制御装置４０によりゼロセットされるようになっている。又、前記制御装置４０は、前記先行フィルム供給ロール１８における積層体フィルム１２の巻径が設定値以下となったとき、これを検出する前記フィルム残量センサ１８Ｂからの検出信号によって、フィルム終端切断作業を起動するようにされている。
【００９９】
又、制御装置１０４は、ハーフカッター１６を所定のタイミングで駆動させると共に、前記フルカッター３２を所定タイミングで駆動する信号を出力し、且つ、前記アキュムレータ２１のアクチュエータ２１Ｆに信号を出力してピンチプレート２１Ｄをガイドロール８４Ｂに圧接させ、その間にフィルムを拘束するように駆動すると共に、後述のように装置各部を制御するようにされている。
【０１００】
制御装置４０により前記ピンチプレート２１Ｄを駆動するタイミングは、前記フィルム残量センサ１８Ｂからの、フィルム供給ロール１８におけるフィルム残量が一定値以下となったときの出力信号が入力し、且つ、前記ハーフカッター２２によるハーフカット位置からアキュムレータ２１でのフィルム蓄積量最大のときのフィルム経路長を含める前記終端カッター６２によるフィルム終端切断位置までのフィルム長さが、フィルムが圧着された後の基板１６間のフィルム切断予定個所の基板搬送方向ピッチＰと等しくなる時とされている。搬送方向ピッチＰは、基板１６の長さ、及び、圧着後のフィルムの基板１６前後端からの突出量から割出す。
【０１０１】
次に上記フィルムの連続的供給装置１を含むフィルム張付装置１０の作用について説明する。
【０１０２】
まず連続的供給装置１は、フィルム張付装置１０の運転中に、その交換ロール搬送台６０をレール６８に沿ってライン外に引出しておき、ここで、交換用の後行フィルム供給ロール７０をロール台７２に載置して、これから巻き出した積層体フィルム１２の先端部を第２、第３の吸着装置７６、７８の吸着面７６Ａ、７８Ａに吸着させておく（図１２参照）。
【０１０３】
次に、図１３に示されるように、先端カッター９０を手動により駆動して、前記吸着面７６Ａにより吸着させた状態の積層体フィルム１２の先端部を、吸着面７６Ａの高さ方向中間位置で幅方向に切断して先端１２Ｅを形成する。
【０１０４】
次に、図１４に示されるように、第３の吸着装置７８の吸着面７８Ａに積層体フィルム１２を吸着した状態のまま、該積層体フィルム１２を先端１２Ｅから引張って第２の吸着装置７６の吸着面７６Ａから引離す。
【０１０５】
次いで、図１５に示されるように、粘着テープ供給ロール（図示省略）から片面粘着テープ８６を引出し、その非粘着面８６Ａを、前記第２の吸着装置７６の吸着面７６Ａに吸着させ、且つ、該片面粘着テープ８６を、積層体フィルム１２と等しい幅の長さに切断する。
【０１０６】
次に、図１６に示されるように、前記引離しておいた積層体フィルム１２の先端１２Ｅを、前記吸着面７６Ａに吸着された状態の片面粘着テープ８６の粘着面８６Ｂに接着する。従って、先端１２Ｅは吸着面７６Ａの高さ方向中間位置において片面粘着テープ８６の粘着面８６Ｂに接着された状態となる。
【０１０７】
又、交換ロール搬送台６０を引出したときに、予め巻き芯回収部７４内に回収されている巻き芯を取出し、次に、前記交換ロール搬送台６０をレール６８に沿ってハウジング１０Ａ内に押し込み、図１６に示される状態にセットしておく。ここで、前記アキュムレータ２６においては、予めレバー２６Ｂが図８において時計方向に駆動されていて、移動時フィルム経路が最長となった状態で先行原反フィルム１２が送られるようになっている。
【０１０８】
前記先行フィルム供給ロール１８における原反フィルムの残量が一定値以下となったことをフィルム残量センサ１８Ｂが検出すると、その出力信号に基づいて、制御装置４０は、ハーフカッター２２におけるディスクカッター４４Ａ、４４Ｂの中間点位置からアキュムレータ２１を経て、前記第１の吸着装置５４までの距離を参照して、次にハーフカッター２２によってハーフカット線が形成される位置が、前記第１の吸着装置５４上に到達したとき、該第１の吸着装置５４により積層体フィルム１２を吸着し、同時に、ピンチプレート２１Ｄをアクチュエータ２１Ｆによって押出し、ガイドロール８４Ｂとの間で積層体フィルム１２を挟持、固定し、積層体フィルム１２が第１の吸着装置２４上を移動しないようにする。又、前記アキュムレータ２１におけるレバー２１Ｂを、図８の反時計方向に駆動して、テンションロール２１Ｃを下降させ、第１の吸着装置５４上を積層体フィルム１２が移動することなく、アキュムレータ２１に蓄えられたフィルム１２をハーフカット装置２２方向に繰り出す。
【０１０９】
第１の吸着装置５４により積層体フィルム１２を吸着した状態で、図１７に示されるように、終端カッター９２を駆動し、図１８に示されるように積層体フィルム１２の終端１２Ｄを形成すると、この終端１２Ｄがハーフカッター２２におけるディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによる２本のハーフカット線４９Ａ、４９Ｂ予定個所の間の位置となる。このとき、積層体フィルム１２が巻き出し終端に近い場合は、終端１２Ｄが、巻きぐせにより図１８において右側に凸に強く湾曲して、第１の吸着装置５４から離間しようとするが、ピンチプレート２１Ｄがフィルム経路に沿う板状であるので湾曲が抑制される。
【０１１０】
次に、図１６に示されるように、予めエアシリンダ７４Ｃにより回収レバー７４を図の反時計方向に略４５°駆動して、その凹部７４Ｂが先行フィルム供給ロール１８における巻き芯１９の小径バー１９Ｃに下方から接触する位置にセットしておき、スピンドル８２を、先行フィルム供給ロール１８から引出すと、巻き芯１９及びこれに巻き付いている残りの積層体フィルム１２が回収レバー７４上に移載される。
【０１１１】
従って、スピンドル８２から解放された巻き芯１９が落下して、残りの積層体フィルム１２を損傷することがない。
【０１１２】
このため、先行フィルム供給ロール１８に多くの積層体フィルム１２が残った状態で交換する場合に、残りの積層体フィルム１２を他の機会に使用することができる。
【０１１３】
このとき吸着面５４Ｂ側のみの負圧を解除すると、巻き芯１９の落下のとき、終端カッター９２によって切断された積層体フィルム１２のフィルム供給ロール１８側の先端が第１の吸着装置５４の下側の吸着面５４Ｂから剥離する（図１８参照）。
【０１１４】
次いで回収レバー７４を、エアシリンダ７４Ｃにより図の時計方向に揺動させると、回収レバー７４の先端が回収巻き芯受け部６３を通過するとき、巻き芯１９は、その中径円筒部材１９Ｂの位置で、回収巻き芯受け部６３における凹部６３Ａに受け止められ、これに移載される。続いてエアシリンダ６４により水平台６０Ａを図１９に示されるように左方向に押出し、後行フィルム供給ロール７０の中心が、セット位置におけるフィルム供給ロール中心位置となるようにする。
【０１１５】
このとき、第２の吸着装置７６に吸着されている片面粘着テープ８６の粘着面８６Ｂの上半分が、該第２の吸着装置７６に押圧されて、第１の吸着装置５４に吸着された状態の先行原反積層体フィルム１２の終端１２Ｄのカバーフィルム１２Ｃ側面に接着される。ここで、シリンダ装置７７により第２の吸着装置７６を第１の吸着装置２４に押付ければ、接着がより強固になる。
【０１１６】
更に、第２の吸着装置７６が図１９において右方向に戻った後に、前記終端カッター９２を引込ませた状態で、前期ロッドレスシリンダ９３により押圧ローラ９５Ａ、９５Ｂを片面粘着テープ８６上を転動させれば、接着が更に強固になる。
【０１１７】
従って、先行原反フィルムの終端１２Ｄ及び後行原反フィルムの先端１２Ｅは、そのカバーフィルム１２Ｃ側面において、一枚の片面粘着テープ８６の粘着面８６Ｂに、長手方向に連続して接着されることになる。
【０１１８】
この接着工程の間に、積層体フィルム１２はラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに送られ、間欠的に搬送されてくる基板１６のフィルム張付面（上面）に順次連続的に張付けられていくが、その間に必要なフィルムは、前記アキュムレータ２１のテンションロール２１Ｃが下降することによって繰出されたフィルムにより補給される。
【０１１９】
先行原反フィルムの終端１２Ｄと後行原反フィルムの先端１２Ｅとの、片面粘着テープ８６を介しての接続中に、セット位置での後行フィルム供給ロール７０がスピンドル８２により回転自在に支持される。
【０１２０】
次に、エアシリンダ７２Ａによりロール台７２を下げて、更に、エアシリンダ６４により、水平台６０Ａを図１６に示される状態にまで戻し、その後は、交換ロール搬送台６０をライン側方に引出して、前記回収した巻き芯１９を取出すと共に、ロール台７２に新たなフィルム供給ロールを載せて、前述と同様に、その先端１２Ｅが第２の吸着装置７６における吸着面７６Ａに吸着された片面粘着テープ８６の粘着面８６Ｂに接着された状態で、再度交換ロール搬送台６０をハウジング１０Ａ内に押し込み、次のフィルム供給ロール交換まで待機させておく。
【０１２１】
片面粘着テープ５６によって接続された先行原反フィルムの終端１２Ｄと後行原反フィルム先端１２Ｅはフィルム経路１３に沿って図の左方向に送られ、前記ハーフカッター２２に接近する。
【０１２２】
終端カッター９２の作動によりスタンバイされたロータリーエンコーダ３８は、接続された終端１２Ｄと先端１２Ｅが移動し始めると、フィルム送り量のカウントを開始する。
【０１２３】
制御装置４０は、前記接続線及び片面粘着テープ８６が接近したことを、ロータリーエンコーダ３８からの出力信号によって検知し、これによりハーフカッター２２を積層体フィルム１２と同期して走行させつつ、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂをフィルム幅方向に駆動し、カバーフィルム１２Ｃを切断する。
【０１２４】
このとき、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによるカバーフィルム１２Ｃの切断を完全にするためには、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂを感光性樹脂層１２Ｂも切断し、更に透光性支持フィルム１２Ａにもわずかに食い込むようにするとよい。
【０１２５】
なお、片面粘着テープ８６のフィルム送り方向の幅及び張付け位置は、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによるハーフカット線形成位置と片面粘着テープ８６とがずれるようにしておく。
【０１２６】
特に、フルカッター３２による切断線が片面粘着テープ８６からずれるようにするためには、図５（Ａ）に示されるように、片面粘着テープ８６のフィルム送り方向の幅を基板１６、１６間の隙間よりも小さくし、且つ、隙間内でフルカッター３２の切断線３４Ｅ（図５（Ｂ）参照）からずれるようにする。
【０１２７】
前記ハーフカッター２２によるカバーフィルム１２Ｃのハーフカット線の位置は、ロータリエンコーダ３８から出力されるパルス信号の数によって分かり、又、このパルス信号によって図５（Ａ）において右側のディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａが、前記カバーフィルム剥離装置２４におけるタッチロール２４Ｃの位置に到達するタイミングが分かる。
【０１２８】
従って、このタイミングで制御装置４０により、タッチシリンダ２４Ｎを介してタッチロール２４Ｃを下降させ、該タッチロール２４Ｃに巻き掛けられている粘着テープ２４Ｄの粘着面のカバーフィルム１２Ｃへの押付けを、カバーフィルム１２Ｃにおける剥離部のフィルム送り方向中央位置から前記ディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａの直前位置までの間で開始する（図１０参照）。
【０１２９】
前記受けロール２４Ｂの回転中心軸は、この受けロール２４Ｂの外周に積層体フィルム１２及び粘着テープ２４Ｄを介して接触する状態の前記タッチロール２４Ｃの中心軸線よりも、積層体フィルム送り方向後側にわずかにずれているので、受けロール２４Ｂに接触する積層体フィルム１２は、カバーフィルム１２Ｃ側が凸の湾曲面となり、ハーフカット線４９Ａ部分が開かれるようになる。
【０１３０】
従って、このハーフカット線４９Ａの前方側から粘着テープ２４Ｄの粘着面が接触してくると、カバーフィルム１２Ｃは、前記ディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａの位置から容易に剥離が開始され、粘着テープ２４Ｄと共に巻取り装置２４Ｅに巻き取られる。
【０１３１】
ここで、前記粘着テープ２４Ｄは、モータ２４Ｋによって駆動されるニップロール２４Ｊにより、積層体フィルム１２Ｃと等速で且つ、タッチロール２４Ｃの位置では同方向に引張られているので、粘着テープ２４Ｄがカバーフィルム１２Ｃに離接することにより積層体フィルム１２に与えられる張力変動を極めて小さくすることができる。
【０１３２】
なお、粘着テープ２４Ｄの粘着面のカバーフィルム１２Ｃへの押付け開始タイミングが、上記より早すぎると非剥離部のカバーフィルム１２Ｃが剥がされてしまい、又、遅すぎると剥離不能となる。
【０１３３】
次に、前記粘着テープ２４Ｄと共に剥離されたカバーフィルム１２Ｃが前記ニップロール２４Ｉ、２４Ｊに挟み込まれるタイミングから、ハーフカッター２２による次の切断によって生じた、ディスクカッター４４Ｂによるハーフカット線４９Ｂがタッチロール２４Ｃの位置に到達する直前までの間に、制御装置４０によってタッチロール２４Ｃは積層体フィルム１２から離間する方向に駆動され、粘着テープ２４Ｄに粘着したカバーフィルム１２Ｃは、ディスクカッター４４Ｂによるハーフカット線位置で積層体フィルム１２から離れる。
【０１３４】
これにより、ディスクカッター４４Ａ、４４Ｂによるハーフカット線４９Ａ、４９Ｂ間部分の、片面粘着テープ８６により接続されたカバーフィルム１２Ｃは、剥離されることなく透光性支持フィルム１２Ａ及び感光性樹脂層１２Ｂ上に残され、サクションロール２６を経てラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ方向に送られる。
【０１３５】
なお、タッチロール２４Ｃを積層体フィルム１２から離間させるタイミングが前記よりも早すぎると、粘着テープ２４Ｄに粘着していたカバーフィルム１２Ｃが積層体フィルム１２に引張られて、粘着テープ２４Ｄから剥離してしまうことがある。又、遅すぎると、粘着テープ２４Ｄが次の非剥離部のカバーフィルム１２Ｃに粘着して、これを剥がしてしまうことがある。
【０１３６】
前記カバーフィルム１２Ｃ上のディスクカッター４４Ａによるハーフカット線４９Ａが、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに接近する前に基板幅寄せ装置１１０を経て保温ヒータ１０８下方の搬送ローラ列１４Ｂ上に、後行積層体フィルム１２が張付けられる予定の先頭の基板１６を搬送しておく。基板１６の先端が基板待機センサ１００により検出されると、基板１６の先端に合致するタイミングでニップロール１０６が制御装置４０により下降されて基板１６をコンベアロール１４Ｃとの間に挟持する。
【０１３７】
搬送ロール列１４Ｂ及びコンベアロール１４Ｃはサーボモータ１０４により、搬送速度「零」とされた後、前記カバーフィルム１２Ｃ上のハーフカット線４９Ａが先頭基板１６の送り方向先端からわずかに後ろ寄りの位置に一致するタイミング及び速度で積層体フィルム１２に同期して基板１６が基板搬送装置１４によりラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間に送り込まれる。
【０１３８】
この先頭の基板１６の先端部分が、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに到達するタイミングは、前記基板待機センサ１００の位置とラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂ間の距離、及び、サーボモータ１０４による搬送速度との関係から割り出される。
【０１３９】
又、このようにして割り出された基板１６の先端が、ラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂに到達するタイミングで、ロールクランプシリンダ５０によって上側のラミネーティングロール２０Ａが下降され、下降したラミネーティングロール２０Ａと下側のラミネーティングロール２０Ｂ間に先頭の基板１６の先端が後行積層体フィルム１２の先端部から共に挟み込まれ、且つラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂの回転によって、熱圧着されつつ、図１において右方向に送られる。
【０１４０】
上記上側のラミネーティングロール２０Ａを下降するタイミングで、前記フィルムガイドロール５２は図１において積層体フィルム１２から離間する方向に駆動される。これによって、積層体フィルム１２はラミネーティングロール２０Ａ、２０Ｂによって挟持されるようになる。
【０１４１】
基板１６に張り付けられた先行及び後行積層体フィルム１２の接続部は、カバーフィルム１２Ｃ及び片面粘着テープ８６が張り付けられたまま第２ニップロール３４の位置から基板搬送面１４Ａに沿って下流に送られ、２つの基板１６、１６間の位置で、前記フルカッター３２によって切断される。
【０１４２】
ここで、前記片面粘着テープ８６の幅及び張付位置（接続線位置）を、図５（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、前記フルカッター３２による切断線３４Ｅからフィルム送り方向の上流側（又は下流側）にずらしてあるので、フルカッター３２が片面粘着テープ８６を切断しない。
【０１４３】
このため、片面粘着テープ８６が、カバーフィルム１２Ｃや透光性支持フィルム１２Ａよりも厚いことによる切刃の消耗、及び、粘着層がフルカッター３２の切刃部分に付着することによる切れ味の低下を抑制できる。
【０１４４】
【発明の効果】
本発明は上記のように構成したので、先行フィルム供給ロールから巻き出された先行積層体フィルムの後端と、後行フィルム供給ロールから巻き出された後行積層体フィルムの先端とを片面粘着テープによって接続して供給する際に、該片面テープが、基板の露光領域に張り付けられて、露光不良を発生したりすることなく、又、ハーフカッター及びフルカッターの工具寿命の低下を抑制することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る原反フィルム供給装置を含むフィルム張付装置を示す一部ブロック図を含む略示側面図
【図２】同フィルム張付装置における制御系を示すブロック図
【図３】同フィルム張付装置におけるハーフカッターを拡大して示す平面図
【図４】図３のIV−IV線視図
【図５】同ハーフカッターによる切断位置と基板と位置関係を拡大して示す略示側面図
【図６】同原反フィルムの連続的供給装置を拡大して示す断面図
【図７】同正面図
【図８】同連続的供給装置におけるアキュムレータを拡大して示す略示側面図
【図９】フィルム供給装置におけるカバーフィルム剥離装置を拡大して示す略示側面図
【図１０】同カバーフィルム剥離装置におけるタッチロールと積層体フィルムとの関係を拡大して示す側面図
【図１１】同フィルム張付装置における基板幅寄せ装置及び保温ヒータを示す略示側面図
【図１２】同原反フィルムの連続的供給装置における後行原反フィルムの先端形成過程を示す略示断面図
【図１３】同形成された後行原反フィルムの先端を示す略示断面図
【図１４】同後行原反フィルムの先端を剥離した状態を示す略示断面図
【図１５】第２の吸着面に片面粘着テープを吸着させた状態を示す略示断面図
【図１６】同連続的供給装置におけるフィルム接続直前の状態を示す略示断面図
【図１７】同連続的供給装置における先行原反フィルム終端形成過程を示す略示断面図
【図１８】同連続的供給装置における先行原反フィルムの終端形成後の状態を示す略示断面図
【図１９】同連続的供給装置により、先行原反ロールの終端と後行原反ロールの先端を接続した状態を示す略示断面図
【図２０】同連続的供給装置における終端カッター及びその駆動機構を示す平面図
【図２１】同斜視図
【符号の説明】
１…連続的供給装置
１０…フィルム張付装置
１２…積層体フィルム
１２Ａ…透光性支持フィルム
１２Ｂ…感光性樹脂層
１２Ｃ…カバーフィルム
１４…基板搬送装置
１４Ａ…基板搬送面
１４Ｃ、１５Ａ、３４Ｂ…搬送ロール
１６…基板
１８…フィルム供給ロール
１９…巻き芯
２０Ａ、２０Ｂ…ラミネーティングロール
２１…アキュームレータ
２２…ハーフカッター
２４…カバーフィルム剥離装置
２４Ｃ…タッチロール
２４Ｄ…粘着テープ
２６…サクションロール
３０…第１ニップロール
３２…フルカッター
３４…第２ニップロール
３８…ロータリエンコーダ
４０…制御装置
４４Ａ、４４Ｂ…ディスクカッター
４９Ａ、４９Ｂ…ハーフカット線

Claims (4)

1. 透光性支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給ロールから引き出し、前記カバーフィルム及び前記感光性樹脂層を前記透光性支持フィルムの厚さ方向の少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断してハーフカット線を形成し、前記カバーフィルムの前記ハーフカット線間の、基板への張付予定範囲を剥離させ、且つ、他の部分を残して、搬送手段により一定間隔で順次搬送されてくる複数の基板のフィルム張付面側に前記感光性樹脂層側が位置するようにして、ラミネーティングロールにより前記連続フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされたフィルム張付装置における前記フィルム供給ロールからの原反フィルムの連続的供給方法において、前記フィルム供給ロールから巻き出された先行原反フィルムの終端部の透光性支持フィルム側の面を第１の吸着手段により定位置で吸引保持する工程と、非粘着面側が第２の吸着手段により吸引保持されている片面粘着テープの粘着面の一部に、後行フィルム供給ロールから巻き出された後行原反フィルムの先端部のカバーフィルム側の面を接着させる工程と、前記片面粘着テープの残りの粘着面を、前記第１の吸着手段に吸引保持されている前記先行原反フィルムの終端部のカバーフィルム側の面に押付けて、該終端部を片面粘着テープに接着させる工程と、を有してなり、前記先行原反フィルムが前記複数の基板に張り付けられるとき基板の端部間となる位置で、前記第１の吸着手段に吸引保持された状態の先行原反フィルムを幅方向に切断して長さを揃えて前記終端部を形成し、前記基板に張り付けられた後の前記連続フィルムは、各基板の端部間の位置でフィルム幅方向に全切断され、前記片面粘着テープは、前記全切断の位置からずらして粘着されることを特徴とするフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法。
2. 請求項１において、前記片面粘着テープの、フィルム送り方向の幅を、前記複数の基板の端部間の距離よりも小さくすると共に、先行原反フィルム及び後行原反フィルムが、隙間をもって隣接する２枚の基板にわたって張り付けられたとき、前記隙間に位置するように前記片面粘着テープを前記先行原反フィルムと後行原反フィルムとの接続部に粘着させることを特徴とするフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法。
3. 透光性支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層されてなり、フィルム供給ロールから引き出された連続フィルムにおける前記カバーフィルム及び感光性樹脂層をフィルム幅方向に切断してハーフカット線を形成するハーフカッターと、前記ハーフカット線間であって、基板への張り付け予定範囲における前記カバーフィルムを、他の部分を残して剥離するカバーフィルム剥離装置と、を有してなり、搬送手段により間欠的に順次搬送されてくる基板のフィルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するようにして、ラミネーティングロールにより前記連続フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにされたフィルム張付装置における前記フィルム供給ロールからの原反フィルムを連続的に供給する装置において、先行フィルム供給ロールから巻き出された先行原反フィルムの終端部の透光性支持フィルム側の面を定位置で吸引保持する第１の吸着手段と、前記原反フィルムと略同一幅で、片面粘着テープの非粘着面側を吸引保持自在の第２の吸着手段と、後行フィルム供給ロールから巻き出された後行原反フィルムの先端部のカバーフィルム側の面が、前記第２の吸着手段に吸引保持された片面粘着テープの粘着面における原反フィルム長手方向の一部に接着された状態のまま、該第２の吸着手段を、前記第１の吸着手段の位置まで送り、前記片面粘着テープの残りの粘着面に、該第１の吸着手段に吸引保持されている先行原反フィルムの終端部のカバーフィルム側の面を圧着させる搬送手段と、前記第１の吸着手段におけるフィルム吸着面に対向して前記フィルム吸着面のフィルム送り方向中間位置で、フィルム幅方向移動自在に配置され、該フィルム吸着面に吸引保持された状態の先行原反フィルムを、前記先行原反フィルムが前記複数の基板に張り付けられるときに基板の端部間となる位置で、幅方向に切断して切り揃える終端カッターと、前記基板に張り付けられた後の前記連続フィルムを、各基板の端部間の位置でフィルム幅方向に 全切断するフルカッターと、を有し、前記片面粘着テープは前記全切断の位置からずらして粘着されることを特徴とするフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給装置。
4. 請求項３において、前記先行フィルム供給ロールにおける先行原反フィルムの残量を検出する残量検出手段と、この残量検出手段の検出信号に基づき、先行原反フィルムにおける終端を算出すると共に、算出した終端となる位置で、前記第１の吸着手段により、先行原反フィルムを吸着させる制御装置と、を有することを特徴とするフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給装置。

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