JP2926701B2 - フィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線用
等の基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張
付装置における原反フィルムの連結的供給方法及び装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、透光性支持フィル
ム（ベースフィルム；通常はポリエステルに代表される
樹脂フィルム）上に感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥してプリント配線用基板の表面
の導電層に張付ける工程がある。そして、この後工程で
は、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフ
ィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹
脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルム
を剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチ
ングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不
必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定
の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。

【０００３】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルム（原反フィルム）を、搬送手段に
より搬送されてくる基板の先端に、感光性樹脂層が該基
板側となるように導き、基板に対して近接及び離反移動
可能な仮付け手段によって該基板の先端に仮付けした
後、ラミネーションロールにより、フィルムを基板に圧
着しつつ、基板を搬送するようにされている。

【０００４】基板へのフィルム圧着張付けは、張付け長
さが基板長にほぼ対応した長さとなるように行われてお
り、その長さとなるように供給フィルムはフィルム仮付
け手段自体又はその近傍の部材に設けられたフィルム切
断手段で切断される。カバーフィルムは、仮付け手段の
前又は後で剥される。

【０００５】他のフィルム張付装置としては、間欠的に
搬送されてくる基板のフィルム張付け面に、予めカバー
フィルムを剥したフィルムの感光性樹脂層側を連続的に
同期して搬送しつつ張付けた後に、隣接する基板間でフ
ィルムを切断するようにしたものもある。

【０００６】上記のような積層体フィルムはフィルム供
給ロールから巻き出されて供給されるものであるが、フ
ィルム供給ロールの巻き取り長さは有限であるので、当
然、一定量使用することによってフィルム供給ロールを
交換しなければならない。又、フィルム残量が極めて少
なくなった場合や、フィルム張付装置本体に供給するフ
ィルムの種類、銘柄等を用途に応じて変更する必要が生
じた場合にも、フィルム供給ロールを交換し、新しいフ
ィルムを供給する必要がある。

【０００７】従来、この交換は、先行するフィルム供給
ロールにつき交換すべき時期が来ると、フィルム張付装
置を停止させ、先行フィルム供給ロールを取除き、新し
いフィルム供給ロールから引き出したフィルム先端を、
フィルム分離部材、テンションローラから、フィルム供
給経路の各ローラを経て、ラミネーションロールの位置
にまで手作業により通してセットする必要があった。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このため、従来は、例
えば２時間で巻き戻しが終了した上下のフィルム供給ロ
ールの交換作業に１０分を要し、実操業時間に対するい
わゆる段取り時間の占める割合が非常に大きく、フィル
ム張付装置の稼働率を低下させるのみならず、ライン全
体の効率も低下させるという問題点があった。

【０００９】これに対して、実開平３−１５１３１号公
報に開示されるような、フィルムの交換を短時間で行う
ようにしたフィルム張付装置用フィルムロールユニット
があるが、これは、フィルム供給ロールとカバーフィル
ム巻取りロールと、カイドロールをユニット化し、同時
に交換するものであり、新しいフィルムの先端を手作業
によりセットする工程は省略できていない。又、フィル
ムロールの重量が大きいときは適用できない。

【００１０】ここで、近年、プリント配線等の基板の回
路密度が向上し、僅かな埃等が基板やフィルムに付着し
ただけでも不良品となってしまうので、清浄空間、例え
ばクリーンルーム内にフィルム張付装置を設置し、ここ
で運転することが多くなってきている。

【００１１】従来のフィルム張付装置においては、フィ
ルム供給ロールの交換の都度フィルムをセットする作業
が必要であり、この作業中に埃が発生し易いため、クリ
ーンルーム内で運転する場合は、セット終了後、埃が減
少するまで装置を運転することができず、非能率である
という問題点があった。

【００１２】この発明は上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、フィルム供給ロールの交換を、装置
の運転を停止させることなく行うことができ、且つ、先
行原反フィルムの後端と後行原反フィルムの先端との接
続を自動的に行うことができると共に、これら後端と先
端との接続ラインが基板上に位置しないようにするため
のフィルムの切断、切捨て作業を不要としたフィルム張
付装置における原反フィルムの連続的供給方法及び装置
を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この方法発明は、請求項
１のように、支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバー
フィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給
ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、
搬送手段により定間隔で連続的に搬送されてくる基板の
フィルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するようにし
て、基板と同速、同方向に送り込み、ラミネーションロ
ールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
し、圧着後に基板間位置でフィルムを幅方向に切断・分
離するようにされたフィルム張付装置における前記フィ
ルム供給ロールからの原反フィルムの連続的供給方法に
おいて、先行原反フィルムが巻き出される先行フィルム
供給ロールにおけるフィルム残量が一定値以下となった
とき、前記基板間でのフィルム切断予定個所位置を基準
として先行原反フィルム終端切断位置までのフィルム長
さを検出し、該フィルム長さが、基板間の前記フィルム
切断予定個所の基板搬送方向ピッチの整数倍となる個所
を、該終端切断位置で前記先行原反フィルムを切断して
終端を形成し、該終端に、後行原反フィルムの先端を接
続させることにより、上記目的を達成するものである。

【００１４】

【００１５】本装置発明は、請求項２のように、支持フ
ィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層され
てなる連続フィルムをフィルム供給ロールから引き出
し、前記カバーフィルムを剥離させ、搬送手段により定
間隔で連続的に搬送されてくる基板のフィルム張付面側
に感光性樹脂層側が位置するようにして、基板と同速、
同方向に送り込み、ラミネーションロールによりフィル
ムを基板に圧着しつつ、基板を搬送し、圧着後に、分離
用カッターにより基板間位置でフィルムを幅方向に切断
するようにされたフィルム張付装置における前記フィル
ム供給ロールからの原反フィルムを連続的に供給する装
置において、前記先行原反フィルムの、前記カバーフィ
ルム剥離位置よりもフィルム供給ロール側に配置され、
フィルムを幅方向に切断自在で、切断によりフィルム終
端を形成する終端カッターと、セット位置にある先行フ
ィルム供給ロールのフィルム残量が一定値以下となった
とき、これを検出するフィルム残量検知装置と、このフ
ィルム残量検知装置の出力信号があったとき、前記基板
間位置での前記分離カッターによるフィルム切断予定個
所から前記終端カッターまでの距離が、前記フィルム切
断予定個所の基板搬送方向ピッチの整数倍となる位置で
前記終端カッターを駆動させてフィルムを切断させる制
御装置と、を設けたものである。

【００１６】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、前記分離用カッターの位置から前記終端カッターの
位置までのフィルム経路の途中に、フィルムの送り量を
計数するフィルム送り量センサを設け、前記制御装置
は、前記フィルム残量検知装置の出力信号があった後
に、前記分離用カッターによるフィルム切断時からの前
記フィルム送り量センサの計数値に基づき、先行原反フ
ィルムの、前記分離カッターに前記搬送方向ピッチの整
数倍となる個所を予測し、該整数倍となる個所が終端カ
ッターに至るとき、該終端カッターに切断信号を出力す
るようにしたものである。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の例を
図面を参照して説明する。

【００１８】図１及び図２に示されるように、この発明
の実施の形態の例に係るフィルム張付装置１０は、図１
２に示されるような、透光性支持フィルム１２Ａ上に感
光性樹脂層１２Ｂ及びカバーフィルム１２Ｃが積層され
てなる連続したフィルム１２を、フィルム供給ロール１
４から引出し、前記カバーフィルム１２Ｃを剥離させ、
第８図に示される搬送装置１６により間欠的に所定間隔
で搬送されてくる基板１８の下側面であるフィルム張付
面１８Ａ側に前記感光性樹脂層１２Ｂ側が位置するよう
にしてラミネーションロール２０によりフィルム１２を
基板１８に連続的に圧着しつつ基板１８を搬送するよう
にされたものである。フィルム１２は、分離カッターで
あるロータリーカッター２２により各基板間の位置で幅
方向に切断され、各基板１８はフィルム１２が圧着され
た状態で分離される。

【００１９】前記フィルム供給ロール１４は原反フィル
ムの連続的供給装置２３により順次交換され、フィルム
張付装置１０に対して、途切れることなくフィルム１２
が供給されるようになっている。

【００２０】前記フィルム供給ロール１４から巻き出さ
れたフィルム１２は、第１の吸着装置２４、アキュムレ
ータ２６を経て、一対のカバーフィルム剥離装置２８、
２８の一方によりカバーフィルム１２Ｃが剥された後、
前記ラミネーションロール２０に、その感光性樹脂層１
２Ｂを上側にして連続的に供給されるようになってい
る。

【００２１】前記連続的供給装置２３は、図３に拡大し
て示されるように、前記第１の吸着装置２４と、アキュ
ムレータ２６と、交換ロール搬送台３０と、ガイドプレ
ート３２と、前記交換ロール搬送台３０の一部である水
平台３０Ａを図１及び図３において左右方向に駆動する
エアシリンダ３４とを含んで構成されている。

【００２２】前記交換ロール搬送台３０は、フィルム張
付装置１０のハウジング１０Ａ側壁に取付けた上下一対
のバー３７に、上下一対のレール３８を介して、図３に
おいて紙面と直交する方向に水平に移動自在に支持され
るフレーム３０Ｂを備えている。即ち、フィルム張付装
置１０のハウジング１０Ａからフィルム送り方向に対し
て側方に水平に引き出され得るようにされている。

【００２３】又、交換ロール搬送台３０は、図４に示さ
れるように、フレーム３０Ｂの、図４において左右底辺
内側に、レール３９を介して、フレーム３０Ｂに対して
図３で左右方向に往復動自在に支持された前記水平台３
０Ａを備えている。この水平台３０Ａには、交換用の後
行フィルム供給ロール４０を載置するロール台４２と、
巻き芯回収部４４と、第２の吸着装置４６及び第３の吸
着装置４８とをその上面及び先端部に備え、且つ、前記
エアシリンダ３４により図１及び図３において水平方向
に往復動されるようになっている。エアシリンダ３４と
水平台３０Ａは、レール３８と平行、且つ、水平な係止
片５０に摺動自在に係合され、レール３８に沿う水平台
３０Ａの摺動を許容するようにされている。

【００２４】前記ロール台４２はスピンドル５２（図４
参照）によってセット位置に回転自在に支持された前記
フィルム供給ロール（以下先行フィルム供給ロール）１
４と平行且つ水平に後行フィルム供給ロール４０を載置
すると共に、エアシリンダ４２Ａによって該後行フィル
ム供給ロール４０の高さを調整できるようにされてい
る。

【００２５】前記ロール台４２の水平方向の位置は、水
平台３０Ａがエアシリンダ３４によって図１、図３にお
いて左方向に押し出され、ストロークエンドとなったと
きに、後行フィルム供給ロール４０の中心が、スピンド
ル５２の中心軸線の位置にくるようにされている。

【００２６】スピンドル５２は、左右一対であり、図４
に示されるように、エアーシリンダ５２Ａにより軸線方
向に進退自在の状態で軸受け５２Ｂにより回転自在に支
持され、突出したとき、フィルム供給ロールの巻き芯１
４Ａの両端に係合して、これを回転自在に支持するよう
にされている。

【００２７】図４の左側のスピンドル５２の基端には回
転遮光板５３Ａが取付けられ、これを光センサ５３Ｂに
より検出することによって、スピンドル５２が回転して
いるか否かを検出するようにされている。又右側のスピ
ンドル（図示省略）にはブレーキ動作を行うトルクモー
タ（図示省略）が設けられている。

【００２８】前記第１の吸着装置２４は、セット位置に
ある先行フィルム供給ロール１４から巻き出されたフィ
ルム１２を垂直方向に案内する一対のガイドロール５４
Ａ、５４Ｂの間に配置され、これらガイドロール５４
Ａ、５４Ｂ間におけるフィルム１２の走行面と平行且つ
接近して同一垂直面上に配置された上下の吸着面２４
Ａ、２４Ｂを備えている。これら吸着面２４Ａ、２４Ｂ
には、負圧が印加される多数の吸着孔２４Ｃが形成され
ると共に、各吸着面２４Ａ、２４Ｂにおいて、相互に独
立して負圧が印加されるようになっている。

【００２９】前記第２の吸着装置４６は、水平台３０Ａ
上の左右両端に、前記フレーム３０Ｂに接近して垂設さ
れた一対の支持ポスト３０Ｃの上端に、シリンダ装置４
７を介して取り付けられている。ここで、前記第２の吸
着装置４６は前記第１の吸着装置２４の吸着面２４Ａと
同一高さで、且つこれと平行に対向する位置に配置され
た吸着面４６Ａを備えている。この吸着面４６Ａには負
圧が印加される多数の吸着孔４６Ｂが形成されている。

【００３０】又、前記第３の吸着装置４８は、前記第２
の吸着装置４６の吸着面４６Ａの下側位置で、前記支持
ポスト３０Ｃ間に張り渡した支持バー３０Ｄ上に、前記
吸着面４６Ａに対して、吸着面４８Ａが垂直に連続する
ように取付けられている。この吸着面４８Ａには負圧が
印加される多数の吸着孔４８Ｂが形成されている。

【００３１】更に、前記フレーム３０Ｂには、前記第２
の吸着装置４６の吸着面４６Ａに対向して、その高さ方
向中間位置で該吸着面４６Ａに吸着されたフィルムを水
平且つ幅方向に切断するための先端カッター６０が設け
られている。

【００３２】この先端カッター６０はディスクカッター
であり、ハウジング６０Ａ内に回転自在に支持され、こ
のハウジング６０Ａはフレーム３０Ｂの左右柱部間に水
平、且つ、吸着面４６Ａと平行に張渡されたガイドバー
６０Ｂに摺動自在に支持され、操作ノブ６０Ｃにより手
動で往復動され、このとき吸着面４６Ａに吸着されてい
るフィルムを切断するものである。

【００３３】同様に、前記第１の吸着装置２４における
吸着面２４Ａに対向して、その高さ方向中間位置で、該
吸着面２４Ａに吸着されているフィルムを水平且つ幅方
向に切断する終端カッター６２が設けられている。この
終端カッター６２はディスクカッターであり、ハウジン
グ６２Ａ内に収容され、このハウジング６２Ａはロッド
レスシリンダ６３の摺動部６３Ａに連結され、シリンダ
内に導入されるエアーにより磁性体６３Ｂが移動する
き、摺動部６３Ａと共に、吸着面２４Ａに沿ってフィル
ム幅方向に移動され、これにより終端カッター６２が吸
着面２４Ａに吸着されているフィルム１２を切断するよ
うにされている。

【００３４】前記巻き芯回収部４４は、前記水平台３０
Ａのレール３８と反対側の先端の幅方向２個所に、該水
平台３０Ａよりも低い位置で、上側が開口した断面バケ
ット状に形成され、先端側は斜め上外側に傾いた傾斜面
４４Ａとされ、傾斜面４４Ａの下側にはスライドボール
４４Ｂが取付けられている。

【００３５】前記ガイドプレート３２は、断面が略Ｌ字
形状であって、一端において、前記セット位置の先行フ
ィルム供給ロール１４と平行、且つこれよりも高い位置
で、水平の揺動軸３３により、鉛直面内揺動自在に支持
されている。

【００３６】このガイドプレート３２は、駆動装置６４
により揺動軸３３廻りに揺動されるものであり、常態で
は図３に実線で示されるように、２片が水平及び垂直と
なり、先行フィルム供給ロール１４と非接触となる退避
位置にされ、二点鎖線で示されるように、退避位置から
反時計方向に略３０°揺動されてガイド位置となったと
き、前記巻き芯回収部４４の傾斜面４４Ａに連続する傾
斜ガイド面３２Ｂを構成するようにされている。このと
き、傾斜ガイド面３２Ｂは、フィルム供給ロール１４の
巻き芯１４Ａ両端部の外周に略接触する位置とされるよ
うになっている。

【００３７】図３の符号６６は前記スピンドル５２を、
フィルム供給ロール１４の軸心方向に移動させてその位
置調整を行うためのレール、６７はアキュムレータ２６
の出側に配置されフィルム供給ロールからの原反フィル
ム巻き出し量を検出するためのロータリーエンコーダを
それぞれ示す。

【００３８】前記アキュムレータ２６は、図５に示され
るように、ガイドロール５４Ｂの下流側に配置された固
定ロール２６Ａと、ガイドロール５４Ｂと固定ロール２
６Ａとの間の位置に配置され、レバー２６Ｂにより上下
動されるテンションロール２６Ｃと、ガイドロール５４
Ｂに外接してその間にフィルムを挾持固定可能のピンチ
ロール２６Ｄと、このピンチロール２６Ｄをガイドロー
ル５４Ｂに対して離接させるアクチュエータ２６Ｆと、
を備えて構成され、テンションロール２６Ｃが、レバー
２６Ｂにより上方に付勢されることによってフィルム経
路１３よりも上方にフィルム１２を持上げて、ここにフ
ィルムを一定量蓄えることができるようにされている。
レバー２６Ｂは、ウエイト２６Ｅによって時計方向に付
勢されている。

【００３９】前記カバーフィルム剥離装置２８は、フィ
ルム経路１３の下側、即ちカバーフィルム１２Ｃに対向
した位置に、フィルム移動方向に並んで一対配置され、
どちらか一方のカバーフィルム剥離装置２８における粘
着テープ２８Ａの粘着面が下方からロール２８Ｂにより
カバーフィルム１２Ｃに押付けられることによってこれ
を引剥して、粘着テープ２８Ａと共に、巻き取りロール
２８Ｃに巻き取るようにされている。

【００４０】前記一対のカバーフィルム剥離装置２８、
２８は、各々別個にフィルム張付装置１０のハウジング
１０Ａからフィルム経路に対して側方に引出し且つ挿入
できるようにされ、これによって、フィルム張付け装置
１０の運転中にも、粘着テープ巻き取りが終了したカバ
ーフィルム剥離装置２８を引出して、新しい粘着テープ
２８Ａ及び巻き取りロール２８Ｃを取付け、且つセット
することができるようにされている。

【００４１】前記ロータリーエンコーダ６７は、制御装
置９０にそのカウント値を出力すると共に、該制御装置
９０によりゼロセットされるようになっている。又、前
記制御装置９０は、図６に示されるように前記ロータリ
ーカッター２２を所定タイミングで駆動する信号を出力
し、且つ、前記アキュムレータ２６のアクチュエータ２
６Ｆに信号を出力してピンチロール２６Ｄをガイドロー
ル５４Ｂに圧接させ、その間にフィルムを拘束するよう
に駆動すると共に、後述のように装置各部を制御するよ
うにされている。

【００４２】制御装置９０により前記ピンチロール２６
Ｄを駆動するタイミングは、図７に示されるように、前
記ロータリーカッター２２によるフィルム切断分離位置
からアキュムレータ２６でのフィルム蓄積量最大のとき
のフィルム経路長を含める前記終端カッター６２による
フィルム終端切断位置までのフィルム長さが、フィルム
が圧着された後の基板１８間のフィルム切断予定個所の
基板搬送方向ピッチＰの整数倍となる時とされている。
搬送方向ピッチＰは、基板１８の長さ、及び、圧着後の
フィルムの基板１８前後端からの突出量から割出す。

【００４３】次に、図８〜図１０を参照して、前記基板
１８を、ラミネーションロール２０に対して定間隔で連
続的に供給するための前記搬送装置１６について説明す
る。

【００４４】この搬送装置１６は、前記搬送ライン１９
と平行な左右一対のレール６８に沿って往復動自在、且
つ、送り込まれてくる基板１８を吸着反転した後、フィ
ルム張付面１８Ａを下向きとして前記搬送ライン１９に
沿って、前記ラミネーションロール２０に先端が噛み込
まれる位置まで搬送する吸着反転搬送台７０と、この吸
着反転搬送台７０によりラミネーションロール２０に押
し込まれる直前に、該基板１８を、その幅方向両端縁に
沿って下方から持ち上げ水平状態に支持する水平支持台
７２とを備えて構成されている。

【００４５】前記吸着反転搬送台７０は、前記レール６
８上に摺動自在に載置されている移動台７０Ａと、この
移動台７０Ａ上の、前記搬送ライン１９の幅方向両側位
置で、エアシリンダ７０Ｂにより上方に一定範囲で移動
自在に支持された左右一対の吸着支持台７０Ｃと、これ
ら吸着支持台７０Ｃ間で、回転軸７０Ｄにより水平上向
きから水平下向きの１８０°の範囲で回転自在に支持さ
れ、且つ、その表面に負圧による吸着孔（図示省略）が
形成され、前記基板１８を吸着自在とされた吸着プレー
ト７０Ｅと、を備えている。

【００４６】図の符号７０Ｆは回転軸７０Ｄを駆動させ
るためのモータ、７０Ｇはこのモータ７０Ｆの回転を回
転軸７０Ｄに伝達するためのベルト、７０Ｈは吸着支持
台７０Ｃが移動台７０Ａに対して、エアシリンダ７０Ｂ
により上下動されるときに、該吸着支持台７０Ｃを鉛直
方向に案内するガイドシャフトをそれぞれ示す。

【００４７】前記移動台７０Ａは、前記レール６８が取
り付けられているフレーム７８よりも下方に突出したベ
ルト取付部７１Ａを備え、このベルト取付部７１Ａに
は、前記レール６８と平行に配置された駆動ベルト７１
Ｂが連結され、該駆動ベルト７１Ｂをモータ７１Ｃによ
って駆動することにより、前記移動台７０Ａをレール６
８に沿って図において左右方向に往復動できるようにさ
れている。

【００４８】又、前記吸着プレート７０Ｅは、その内部
に発熱体（図示省略）が設けられ、吸着した基板１８を
加熱できるようにされている。

【００４９】前記水平支持台７２は、搬送ライン１９上
の基板１８における幅方向両端近傍位置で、エアシリン
ダ７２Ａにより上下動自在に配置された該搬送ライン１
９と平行な左右１対の移動フレーム７２Ｂと、この移動
フレーム７２Ｂの上面に鉛直方向の軸により回転自在に
支持された、各移動フレーム７２Ｂにつき３個の支持ロ
ーラ７２Ｃと、を備えて構成されている。図の符号７２
Ｄは移動フレーム７２Ｂを、基板１８の幅に合わせて、
搬送ライン１９の幅方向に駆動し、位置調整をするため
のエアシリンダを示す。

【００５０】前記支持ローラ７２Ｃは、図９、１０に示
されるように、上向きの傾斜円周面７３を有し、移動フ
レーム７２Ｂによって上方に駆動されたとき、前記基板
１８の幅方向両端下側角部に点接触するようにされてい
る。

【００５１】前記基板幅方向１対の移動フレーム７２
Ｂ、７２Ｂ間には、搬送ライン１９と平行で、且つその
下側に接近した位置に、保温用ヒータ７４が配置され、
吸着プレート７０Ｅに吸着された状態の基板１８を下側
から加熱するようにされている。

【００５２】又、前記搬送ライン１９に沿って前記保温
用ヒータ７４の上流側には第１基板センサ７６Ａが、保
温用ヒータ６８とラミネーションロール２０との間に
は、第２基板センサ７６Ｂがそれぞれ配置されている。

【００５３】前記第１基板センサ７６Ａ及び第２基板セ
ンサ７６Ｂは、吸着プレート７０Ｅによって搬送される
基板１８の前後端を検出すると共に、ラミネーションロ
ール２０に噛み込まれた基板１８の後端を検出して、そ
の信号をそれぞれ前記信号制御装置９０に出力するよう
にされている。

【００５４】前記吸着反転搬送台７０、水平支持台７２
を含む搬送装置１６は、制御装置９０により、前記第１
及び第２基板センサ７６Ａ、７６Ｂ等からの信号に基づ
いて制御されるようになっている。

【００５５】前記ロータリーカッター２２は回転刃２２
Ａと固定刃２２Ｂとから構成され、制御装置９０からカ
ット信号により各基板１８間の位置でフィルム１２をそ
の幅方向に切断するものである。ここで、回転刃２２Ａ
は基板１８の搬送ライン１９に対して上側に、且つ固定
刃２２Ｂは下側にそれぞれ配置され、回転刃２２Ａは図
１において反時計方向に回転駆動され、これによってフ
ィルム１２を蹴り上げることがないようにされている。
もし、回転刃２２Ａがフィルム１２を介して基板１８を
蹴り上げると、基板１８が薄い硝子板のような場合は、
破損してしまうことがある。

【００５６】ロータリカッターの回転刃は通常、円筒状
部材に平板状部材を円筒外周に喰い違い状態で埋め込
み、その先端を、円筒部材と同心円状に切削して切刃を
構成されるものであるが、上記回転刃２２Ａは、図１１
（Ａ）〜（Ｅ）に示されるように、肉厚の円筒状部材か
ら中心部２２Ｃ及びここから突出した、ねじれ角約５°
の切刃２２Ｄを削り出し、且つその刃先に、すくい角α
を形成している。

【００５７】このようにすると、回転刃２２Ａと固定刃
２２Ｂとの間でフィルム１２を切断した際に、いわゆる
ダレの発生が少なく、従って、ダレがフィルムから千切
れて、基板１８の表面に付着することによる不良品の発
生が大幅に低減された。

【００５８】ここで、図１１（Ａ）において２点鎖線で
示されるように、逃げ角βを形成すると更に、鋭くフィ
ルム１２を切断できる。

【００５９】なお、従来のように、円筒状部材に平板状
部材を埋め込んで回転刃を形成した場合は、刃先にすく
い角及び逃げ角を形成することが困難である。

【００６０】又、固定刃２２Ｂは、従来は、矩形断面の
細長い棒状部材を回転刃の先端と接触するように、且つ
その回転軸と平行に配置したものであるが、上記固定刃
２２Ｂは、回転刃２２Ａと同様に、図１１（Ｂ）、
（Ｄ）、（Ｅ）に示されるように、その先端にすくい角
γを形成したり、又図１１（Ｃ）〜Ｅ）のように逃げ角
δを形成して、前記回転刃２２Ａと協動することによっ
てフィルム１２をよりダレが少ない状態で切断できるよ
うにされている。

【００６１】ここで、前記中心部２２Ｃには、前記切刃
２２Ｄの長手方向両端に接触して、一対のリング状の固
定刃サポート２２Ｓが嵌合されている。これら固定刃サ
ポート２２Ｓの外周は、前記切刃２２Ｄの先端円弧面と
同一径とされ、固定刃２２Ｂがばね（図示省略）により
その先端が固定刃サポート２２Ｓに相対的摺動自在に圧
接され、位置決めされる状態で、切刃２２Ｄの先端と接
触するようにされている。

【００６２】図１１（Ａ）に示されるように、上記中心
部２２Ｃの外周には回転刃待機状態で、搬送ライン１９
に対面する円周方向の一部が、該搬送ライン１９と平行
に切除され面取部２２Ｅとされている。この面取部２２
Ｅは、搬送ライン１９上のフィルム１２と回転刃２２と
の干渉を避けて、フィルム１２の損傷を防止している。
図の符号２２Ｆは中心部２２Ｃに嵌装されるシャフト、
２２Ｈは固定刃２２Ｂの支持部材、２２Ｉは、回転刃２
２の回転中心軸と平行に配置され、支持部材２２Ｈを揺
動可能に支持する揺動軸を、それぞれ示す。

【００６３】図１の符号８０は、フィルム張付装置１０
の出側に設けられた反転搬出装置を示し、ここでは、フ
ィルム１２が張付けられ、搬送ロール１９Ａにより搬送
されてきた基板１８が、反転装置８１によって回転軸８
１Ａを中心として１８０°反転され、フィルム１２側が
上向とされた状態で、搬出装置８２上に移載され、該搬
出装置８２はこれを装置外に搬出するものである。

【００６４】ここで、フィルム張付装置１０は、入側の
搬送装置１６及び出側の反転搬出装置８０に対して、ラ
イン側方に移動して引出されるように、基盤側レール８
８に対して、これを上下から挟み込む移動車輪８９を備
え、該基盤側レール８８に沿って図２において下方、図
１においては紙面手前側に引出され得るようにされてい
る。

【００６５】この基盤側レール８８に沿って引出される
フィルム張付装置１０のハウジング１０Ａは、前記ラミ
ネーションロール２０、ロータリーカッター２２と共に
前記連続的供給装置２３及び一対のカバーフィルム剥離
装置２８を内包している。

【００６６】又前述の如く、ハウジング１０Ａに対して
前記連続的供給装置２３、一対のカバーフィルム剥離装
置２８は各々別個独立に側方に引出され得るようにされ
ている。

【００６７】次に上記搬送装置１６を含むフィルム張付
装置１０及び連続的供給装置２３の作用について説明す
る。

【００６８】まず、搬送装置１６により、基板１８を定
間隔でラミネーションロール２０に噛み込ませる作用に
ついて説明する。

【００６９】前工程で加熱された基板１８は、図８
（Ａ）に示されるように、搬送装置１６の入口に待機し
ている吸着反転搬送台７０における吸着プレート７０Ｅ
の上方に送り込まれる。

【００７０】吸着支持台７０Ｃはエアシリンダ７０Ｂに
より上方に駆動され、吸着プレート７０Ｅが、基板１８
を下方から吸着した後、更に上昇する。

【００７１】この上昇限度は、吸着プレート７０Ｅが回
転軸７０Ｄを中心に１８０°反転したとき、該吸着プレ
ート７０Ｅに吸着されている基板１８が前記搬送ライン
１９上に位置するまでとされている。

【００７２】なお、基板１８が搬送装置１６に搬入され
る高さと、前記搬送ライン１９の高さが相違しても、こ
れはエアシリンダ７０Ｂによる吸着支持台７０Ｃの上昇
範囲を変更することによって吸収することができる。

【００７３】吸着プレート７０Ｅは、モータ７０Ｆによ
って駆動される回転軸７０Ｄにより１８０°回転され、
搬送ライン１９上で、下向きに基板１８を吸着した状態
となる。

【００７４】次に、図８（Ｂ）に示されるように、モー
タ７１Ｃにより駆動ベルト７１Ｂ、ベルト取付部７１Ａ
を介して前記移動台７０Ａをレール６８に沿ってラミネ
ーションロール２０方向に駆動する。従って、基板１８
は吸着プレート７０Ｅに水平状態で吸着されたまま、搬
送ライン１９に沿って水平に搬送されることになる。こ
のとき、吸着プレート７０Ｅは内部に発熱装置が設けら
れているので、吸着されている基板１８は吸着プレート
７０Ｅに接触している範囲で加熱される。

【００７５】吸着プレート７０Ｅによって吸着された状
態の基板１８は、これが薄く、且つ大きい場合は、重力
及び熱膨脹により湾曲し易く、図９、１０に示されるよ
うに、その搬送方向及び幅方向の端部が垂れ下がった状
態となる。

【００７６】一方、前記水平支持台７２における移動フ
レーム７２Ｂ及び支持ローラ７２Ｃは搬送ライン１９か
ら下方に待機されているので、周囲が垂れ下がった状態
で、吸着プレート７０Ｅにより水平方向に搬送中の基板
１８と接触して、これを損傷したりすることがない。

【００７７】図１３（Ａ）に示されるように、吸着プレ
ート７０Ｅは、負圧により基板１８を吸着して、第１基
板センサ７６Ａを通り第２基板センサ７６Ｂの位置ま
で、搬送ライン１９に沿って基板１８を水平に搬送し
て、その先端が第２基板センサ７６Ｂの位置にある状態
で停止する（図１３（Ｂ）参照）。

【００７８】この停止状態で、基板１８は下方から保温
用ヒータ７４によって加熱される。基板１８は、搬送装
置１６の前工程で、図において上面側が加熱されている
ので、前述のように熱膨脹及び重力により、搬送方向両
端及び幅方向両端が垂れ下がっているが、該保温用ヒー
タ７４により下方から加熱することによって、熱膨脹に
よる反りを低減させることができる。

【００７９】図１３（Ｂ）の状態に吸着プレート７０Ｅ
が停止すると、図１０に示されるように、直ちに、水平
支持台７２における移動フレーム７２Ｂがエアシリンダ
７２Ａによって上昇され、基板１８の幅方向両端は支持
ローラ７２Ｃの傾斜円周面７３に接触することによって
下方から持ち上げられて水平状態とされる。

【００８０】なおこの状態で、上下一対のラミネーショ
ンロール２０、２０間は、基板１８の厚さとほぼ同一の
間隔とされている。

【００８１】又、ラミネーションロール２０は所定速度
で回転され、フィルム１２も該ラミネーションロール２
０によって図１３において右方向に送られている。

【００８２】次に、図１３（Ｃ）に示されるように、吸
着プレート７０Ｅは、移動台７０Ａの移動により、前記
ラミネーションロール２０の周速と等しい速度で基板１
８をラミネーションロール方向に押出し、該基板１８の
先端をラミネーションロール２０、２０間に挿入する。

【００８３】挿入後、図１３（Ｄ）に示されるように、
これら一対のラミネーションロール２０、２０は制御装
置９０からの信号によって接近し、基板１８をクランプ
状態で、所定速度で搬送する。このクランプのタイミン
グは、前記第２基板センサ７６Ｂを基板１８の先端が通
過した時点から所定時間後とされる。

【００８４】基板１８がラミネーションロール２０、２
０間に噛み込まれ、一定距離搬送された後、制御装置９
０からの信号により、図１３（Ｅ）に示されるように、
前記吸着プレート７０Ｅの負圧が解除され、該吸着プレ
ート７０Ｅは、基板１８を解放して搬送ライン１９に沿
って、移動台７０と共に、次の基板１８を吸着搬送すべ
く上流方向に戻る（図１３（Ｆ）参照）。

【００８５】次に、図１４（Ａ）に示されるように、吸
着プレート７０Ｅは次の基板１８を吸着して、これをラ
ミネーションロール２０方向に送り込んでくるが、吸着
している基板１８の先端が第１基板センサ７６Ａの位置
に到達したとき、図１４（Ｂ）に示されるように、該基
板１８を吸着したまま停止する。

【００８６】この停止間に、先行する基板１８がラミネ
ーションロール２０、２０によりフィルム１２が圧着さ
れつつ図の右方向に搬送される。該先行する基板１８の
後端が第２基板センサ７６Ｂを通過するときの該センサ
出力信号に基づいて、図１４（Ｃ）に示されるように、
制御装置９０は吸着プレート７０Ｅを高速で、該基板１
８の先端が第１基板センサ７６Ａに到達する位置まで搬
送させ、図１４（Ｄ）に示されるように、同位置で停止
させる。このとき、先行する基板１８の後端と第２基板
センサ７６Ｂとの間隔は、フィルム１２が圧着されると
きの予定の間隔よりも小さいものとされている。

【００８７】従って、後行基板１８が、その先端が第２
基板センサ７６Ｂの位置で停止している間に、先行する
基板１８は図の右方向に移動する。先行基板１８の後端
と後行基板１８の先端との間の距離が所定値になると、
即ち、先行基板間の間隔がピッチＰとなるとき、図１４
（Ｅ）に示されるように、後行基板１８は吸着プレート
７０Ｅによって、先行する基板１８と等速で図の右方向
に搬送され、従って、前記先行基板１８の後端と後行基
板１８の先端間の距離が所定値に維持されたまま、両基
板は搬送ライン１９に沿って移動されることになる。

【００８８】ここで、前記後行基板１８の移動開始タイ
ミングは、先行基板１８後端の第２基板センサ７６Ｂを
通過した時点から所定時間後とされる。

【００８９】先行基板１８と後行基板１８とが所定値間
隔を維持したまま搬送ライン１９に沿って図１４の右方
向に移動されると、先行基板１８に対するフィルム１２
の圧着が終了し、ラミネーションロール２０は両基板間
の隙間の位置にくると、制御装置９０からの信号によっ
て図１４（Ｆ）に示されるように、アンクランプ状態に
され、両ラミネーションロール２０、２０間の間隔は、
図１３（Ａ）〜（Ｃ）の状態に戻される。

【００９０】ここからは、前記図１３（Ｃ）の状態に戻
り、図１０（Ｆ）までの工程を繰返して、一定間隔で送
り込まれてくる基板１８に、フィルム１２が連続的に張
り付けられることになる。

【００９１】連続的供給装置２３は、フィルム張付装置
１０の運転中に、その交換ロール搬送台３０をレール３
８に沿ってライン外に引出しておき、ここで、交換用の
後行フィルム供給ロール４０をロール台４２に載置し
て、これから巻き出したフィルム１２の先端部を第２、
第３の吸着装置４６、４８の吸着面４６Ａ、４８Ａに吸
着させておく（図１５参照）。

【００９２】次に、図１６に示されるように、先端カッ
ター６０を手動により駆動して、前記吸着面４６Ａによ
り吸着させた状態のフィルム１２の先端部を、吸着面４
６Ａの高さ方向中間位置で幅方向に切断して先端１２Ｅ
を形成する。

【００９３】次に、図１７に示されるように、第３の吸
着装置４８の吸着面４８Ａにフィルム１２を吸着した状
態のまま、該フィルム１２を先端１２Ｅから引張って第
２の吸着装置４６の吸着面４６Ａから引離す。

【００９４】次いで、図１８に示されるように、粘着テ
ープ供給ロール（図示省略）から片面粘着テープ５６を
引出し、その非粘着面５６Ａを、前記第２の吸着装置４
６の吸着面４６Ａに吸着させ、且つ、該片面粘着テープ
５６を、フィルム１２と等しい幅の長さに切断する。

【００９５】次に、図１９に示されるように、前記引離
しておいたフィルム１２の先端１２Ｅを、前記吸着面４
６Ａに吸着された状態の片面粘着テープ５６の粘着面５
６Ｂに接着する。従って、先端１２Ｅは吸着面４６Ａの
高さ方向中間位置において片面粘着テープ５６の粘着面
５６Ｂに接着された状態となる。

【００９６】又、交換ロール搬送台３０を引出したとき
に、予め巻き芯回収部４４内に回収されている巻き芯を
取出し、次に、前記交換ロール搬送台３０をレール３８
に沿ってハウジング１０Ａ内に押し込み、図１９に示さ
れる状態にセットしておく。

【００９７】先行フィルム供給ロール１４からの原反フ
ィルムの巻き出量が一定値以上となったことをロータリ
ーエンコーダ６７が検出すると、その出力信号に基づい
て、制御装置９０は、アキュムレータ２６におけるレバ
ー２６Ｂを図５の時計方向に駆動して（ウエイト２６Ｅ
の拘束を解除する）テンションロール２６Ｃを上行さ
せ、ここにフィルム１２を巻き出す。

【００９８】次に、アキュムレータ２６に所定量のフィ
ルムが蓄積された後に、制御装置９０からロータリーカ
ッター２２にフィルムの切断信号を出力するときロータ
リーエンコーダ６７をゼロセットする。

【００９９】このゼロセット後のロータリーエンコーダ
６７の計数値が、フィルム１２のロータリーカッター２
２により切断される個所からアキュムレータ２６を経て
終端カッター６２の位置までの距離が、基板１８間にお
けるフィルム１２の切断予定個所の基板搬送方向ピッチ
Ｐの整数倍に相当する値になったとき、制御装置９０は
アクチュエータ２６Ｆに作動信号を出力してピンチロー
ル２６Ｄをカイドロール５４Ｂに圧接させ、フィルム１
２を挾持、拘束する。

【０１００】従って、その状態で、第１の吸着装置２４
によりフィルム１３を吸着して、図２０に示されるよう
に、終端カッター６２を駆動し、図２１に示されるよう
にフィルム１２の終端１２Ｄを形成すると、この終端１
２Ｄがロータリーカッター２２によるフィルム切断予定
個所となる。

【０１０１】次に、図１９に示されるように、予めガイ
ドプレート３２を図の反時計方向に略３０°駆動して、
その傾斜ガイド面３２Ｂが巻き芯回収部４４の傾斜面４
４Ａと連続するガイド位置にセットしておき、スピンド
ル５２を、先行フィルム供給ロール１４から引出すと、
巻き芯１４Ａ及びこれに僅かに巻き付いている残りのフ
ィルム１２が落下する。従って、スピンドル５２から解
放された巻き芯１４Ａは傾斜ガイド面３２Ｂ及び傾斜面
４４Ａに沿って案内されて、巻き芯回収部４４内に落下
する。

【０１０２】このとき、吸着面２４Ｂの負圧を解除する
ことにより、終端カッター６２によって切断されたフィ
ルム１２のフィルム供給ロール１４側の先端が第１の吸
着装置２４から剥離する。

【０１０３】次いでカイドプレート３２を図３の実線位
置に戻し、続いてエアシリンダ３４により水平台３０Ａ
を図２２に示されるように左方向に押出し、後行フィル
ム供給ロール４０の中心が、セット位置におけるフィル
ム供給ロール中心位置となるようにする。

【０１０４】このとき、第２の吸着装置４６に吸着され
ている片面粘着テープ５６の粘着面５６Ｂの上半分が、
該第２の吸着装置４６に押圧されて、第１の吸着装置２
４に吸着された状態の先行原反フィルム１２の終端１２
Ｄの透光性支持フィルム１２Ａ側面に接着される。ここ
で、シリンダ装置４７により第２の吸着装置４６を第１
の吸着装置２４に押付ければ、接着がより強固になる。

【０１０５】従って、先行原反フィルムの終端１２Ｄ及
び後行原反フィルムの先端１２Ｅは、その透光性支持フ
ィルム１２Ａ側面において、一枚の片面粘着テープ５６
の粘着面５６Ｂに、長手方向に連続して接着されること
になる。

【０１０６】この接着工程の間に、フィルム１２はラミ
ネーションロール２０に送られ、間欠的に搬送されてく
る基板１８のフィルム張付面１８Ａに順次連続的に張付
けられていくが、その間に必要なフィルムは、前記アキ
ュムレータ２６のテンションロール２６Ｃが下降するこ
とによって繰出されたフィルムにより補給される。

【０１０７】先行原反フィルムの終端１２Ｄと後行原反
フィルムの先端１２Ｅとの、片面粘着テープ５６を介し
ての接続中に、セット位置での後行フィルム供給ロール
４０がスピンドル５２により回転自在に支持される。

【０１０８】次に、エアシリンダ４２Ａによりロール台
４２を下げて、更に、エアシリンダ３４により、水平台
３０Ａを図１９に示される状態にまで戻し、その後は、
交換ロール搬送台３０をライン側方に引出して、前記回
収した巻き芯１４Ａを取出すと共に、ロール台４２に新
たなフィルム供給ロールを載せて、前述と同様に、その
先端１２Ｅが第２の吸着装置４６における吸着面４６Ａ
に吸着された片面粘着テープ５６の粘着面５６Ｂに接着
された状態で、再度交換ロール搬送台３０をハウジング
１０Ａ内に押し込み、次のフィルム供給ロール交換まで
待機させておく。

【０１０９】上記連続的供給装置２３は、ラミネーショ
ンロール２０にフィルム１２を供給しつつ、フィルム供
給ロールを交換するものであるが、本発明はこれに限定
されず、基板１８及びフィルムの供給を中断してフィル
ム供給ロールを交換する場合にも適用されるものであ
る。この場合には、前記アキュムレータ２６が不要とな
る。但し、ピンチロール２６Ｄ又はこれに代るフィルム
拘束手段は必要である。

【０１１０】

【０１１１】

【０１１２】

【０１１３】なお、前記ロータリーエンコーダ６７は、
フィルム供給ロール１４のフィルム残量を検出するセン
サと終端１２Ｄ検出のセンサとを兼ねているが、これら
は別個に設けるようにしもよい。

【０１１４】又、上記連続供給装置２３において、片面
粘着テープ５６の粘着面５６Ｂは、第２の吸着装置４６
によって先行原反フィルムの終端１２Ｄに押付けられる
ものであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、
例えば図２３に示されるように、第２の吸着装置４６に
よってフィルム１２の終端１２Ｄと先端１２Ｅが接着さ
れた状態で、これらを第１の吸着装置２４の吸着面２４
Ａに押付けつつフィルム幅方向に移動する押圧ローラ等
の押圧部材６３を前記終端カッター６２に設け、これに
より終端１２Ｄと先端１２Ｅを片面粘着テープ５６に強
力に接着させるようにしてもよい。この場合、終端カッ
ター６２は退避させておく。

【０１１５】又前記連続的供給装置２３においては、先
行原反フィルムの終端と後行原反フィルムの先端とを、
その透光性支持フィルム１２Ａ側のみを片面粘着テープ
５６により接続するようにしているが、本発明はこれに
限定されるものではなく、カバーフィルム１２Ｃ側も片
面粘着テープによって接続するようにしてもよい。

【０１１６】この場合、カバーフィルム剥離装置はカバ
ーフィルムを途切れなく連続して巻き取ることになるの
で、剥離したカバーフィルムを装置外に導出して処理す
るか、装置内で、巻き取りロールを自動的に切換える装
置を設けて巻き取る必要がある。

【０１１７】更に、上記実施例は、感光性樹脂層１２Ｂ
が透光性支持フィルム１２Ａに積層されたものである
が、この透光性支持フィルム１２Ａは必ずしも光を透過
するものでなくても、例えば電子線、Ｘ線、紫外線等を
透過するもので不透明であってもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の例に係る原反フィルムの
連続的供給装置を設けたフィルム張付装置を示す略示側
面図

【図２】図１の略示平面図

【図３】同原反フィルムの連続的供給装置を拡大して示
す断面図

【図４】同正面図

【図５】同連続的供給装置におけるアキュムレータを拡
大して示す略示側面図

【図６】同装置の制御系を示すブロック図

【図７】前記フィルム張付装置及び原反フィルムの連続
的供給装置の要部を拡大して示す略示側面図

【図８】前記フィルム張付装置に基板を一定間隔で送り
込むための搬送装置及びその作用を示す側面図

【図９】同搬送装置における水平支持装置を拡大して示
す斜視図

【図１０】同水平支持装置の作用を示す略示側面図

【図１１】前記フィルム張付装置におけるロータリーカ
ッターを示す略示断面図

【図１２】本発明装置により供給されるフィルムを拡大
して示す断面図

【図１３】前記搬送装置により基板をラミネーションロ
ールに送り込む過程を示す略示側面図

【図１４】同搬送装置の作用を示す略示側面図

【図１５】同原反フィルムの連続的供給装置における後
行原反フィルムの先端形成過程を示す略示断面図

【図１６】同形成された後行原反フィルムの先端を示す
略示断面図

【図１７】同後行原反フィルムの先端を剥離した状態を
示す略示断面図

【図１８】第２の吸着面に片面粘着テープを吸着させた
状態を示す略示断面図

【図１９】同連続的供給装置におけるフィルム接続直前
の状態を示す略示断面図

【図２０】同連続的供給装置における先行原反フィルム
終端形成過程を示す略示断面図

【図２１】同連続的供給装置における先行原反フィルム
の終端形成後の状態を示す略示断面図

【図２２】同連続的供給装置により、先行原反ロールの
終端と後行原反ロールの先端を接続した状態を示す略示
断面図

【図２３】同連続的供給装置における片面粘着テープの
押圧手段の他の実施例を示す断面図

【符号の説明】

１０…フィルム張付装置 １０Ａ…ハウジング １２…フィルム １２Ａ…透光性支持フィルム １２Ｂ…感光性樹脂層 １２Ｃ…カバーフィルム １２Ｄ…終端 １３…フィルム経路 １４…フィルム供給ロール １４Ａ…巻き芯 １６…搬送装置 １８…基板 １８Ａ…フィルム張付面 １９…搬送ライン ２０…ラミネーションロール ２２…ロータリーカッター ２２Ａ…回転刃 ２２Ｂ…固定刃 ２３…連続的供給装置 ２４…第１の吸着装置 ２４Ａ、２４Ｂ、４６Ａ、４８Ａ…吸着面 ２４Ｃ、４６Ｂ、４８Ｂ…吸着孔 ２６…アキュムレータ ２６Ｄ…ピンチロール ２６Ｆ…アクチュエータ ２８…カバーフィルム剥離装置 ３０…交換ロール搬送台 ３０Ａ…水平台 ３０Ｃ…支持ポスト ３２…ガイドプレート ３２Ｂ…傾斜ガイド面 ３４…エアシリンダ ３６…ハウジング側壁 ３８、６６…レール ４０…後行フィルム供給ロール ４２…ロール台 ４４…巻き芯回収部 ４４Ａ…傾斜面 ４６…第２の吸着装置 ４８…第３の吸着装置 ５２…スピンドル ５４Ａ、５４Ｂ…ガイドロール ５６…片面粘着テープ ５６Ａ…非粘着面 ５６Ｂ…粘着面 ５８…粘着テープ供給装置 ６０…先端カッター ６２…終端カッター ６３…押圧部材 ６４…駆動装置 ６７…ロータリーエンコーダ ７０…吸着反転搬送台 ８０…反転搬出装置 ９０…制御装置

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B65H 19/20,37/04

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバー
   フィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給
   ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、
   搬送手段により定間隔で連続的に搬送されてくる基板の
   フィルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するようにし
   て、基板と同速、同方向に送り込み、ラミネーションロ
   ールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
   し、圧着後に基板間位置でフィルムを幅方向に切断・分
   離するようにされたフィルム張付装置における前記フィ
   ルム供給ロールからの原反フィルムの連続的供給方法に
   おいて、先行原反フィルムが巻き出される先行フィルム
   供給ロールにおけるフィルム残量が一定値以下となった
   とき、前記基板間でのフィルム切断予定個所位置を基準
   として先行原反フィルム終端切断位置までのフィルム長
   さを検出し、該フィルム長さが、基板間の前記フィルム
   切断予定個所の基板搬送方向ピッチの整数倍となる個所
   を、該終端切断位置で前記先行原反フィルムを切断して
   終端を形成し、該終端に、後行原反フィルムの先端を接
   続させることを特徴とするフィルム張付装置における原
   反フィルムの連続的供給方法。
2. 【請求項２】支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバー
   フィルムが積層されてなる連続フィルムをフィルム供給
   ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、
   搬送手段により定間隔で連続的に搬送されてくる基板の
   フィルム張付面側に感光性樹脂層側が位置するようにし
   て、基板と同速、同方向に送り込み、ラミネーションロ
   ールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
   し、圧着後に、分離用カッターにより基板間位置でフィ
   ルムを幅方向に切断するようにされたフィルム張付装置
   における前記フィルム供給ロールからの原反フィルムを
   連続的に供給する装置において、前記先行原反フィルム
   の、前記カバーフィルム剥離位置よりもフィルム供給ロ
   ール側に配置され、フィルムを幅方向に切断自在で、切
   断によりフィルム終端を形成する終端カッターと、セッ
   ト位置にある先行フィルム供給ロールのフィルム残量が
   一定値以下となったとき、これを検出するフィルム残量
   検知装置と、このフィルム残量検知装置の出力信号があ
   ったとき、前記基板間位置での前記分離カッターによる
   フィルム切断予定個所から前記終端カッターまでの距離
   が、前記フィルム切断予定個所の基板搬送方向ピッチの
   整数倍となる位置で前記終端カッターを駆動させてフィ
   ルムを切断させる制御装置と、を設けたことを特徴とす
   るフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給
   装置。
3. 【請求項３】請求項２において、前記分離用カッターの
   位置から前記終端カッターの位置までのフィルム経路の
   途中に、フィルムの送り量を計数するフィルム送り量セ
   ンサを設け、前記制御装置は、前記フィルム残量検知装
   置の出力信号があった後に、前記分離用カッターによる
   フィルム切断時からの前記フィルム送り量センサの計数
   値に基づき、先行原反フィルムの、前記分離カッターに
   前記搬送方向ピッチの整数倍となる個所を予測し、該整
   数倍となる個所が終端カッターに至るとき、該終端カッ
   ターに切断信号を出力するようにされたことを特徴とす
   るフィルム張付装置における原反フィルムの連続的供給
   装置。