JP3395153B2 - シート張付装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線用
の基板、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレ
イ用基板等に例示される基板の表面に薄膜状のシートを
張付けるためのシート張付装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程では、透光性支持フィルム
（ベースフィルム；通常はポリエステルに代表される樹
脂フィルム）上に感光性樹脂層が形成され、且つ、これ
がカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、
カバーフィルムを剥してプリント配線用基板の表面の導
電層に張付ける。そして、この後、配線パターンフィル
ムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性支
持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光す
る。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光され
た感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを
形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチング
により除去し、これにより、所定の配線パターンを有す
るプリント配線板が形成される。又、同様の手順によっ
て、液晶ディスプレイパネルにおける画素、プラズマデ
ィスプレイパネルにおける障壁のパターンが形成され
る。 【０００３】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルムを、搬送手段により搬送されてく
る基板の先端に感光性樹脂層が該基板側となるように導
き、基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け手段に
よって該基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロ
ールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
するようにされている。基板へのフィルム圧着張付け
は、張付け長さが基板長にほぼ対応した長さとなるよう
に行われており、その長さとなるように供給フィルムは
フィルム仮付け手段の近傍の部材に設けられたフィルム
切断手段で切断される。カバーフィルムは、仮付け手段
の前又は後で剥される。 【０００４】前記フィルム仮付け手段は、例えば特開昭
６３−１１７４８７号公報に開示されるように、表面に
フィルムを吸着するための複数の吸着孔（溝）が設けら
れたメインバキュームプレートと、このメインバキュー
ムプレートのフィルム供給方向先端側に設けられた側面
が円弧形状又は三角形状のフィルム仮付け部材とから構
成され、全体として、フィルムの供給及び仮付け動作が
行えるように、基板に対して近接および離反移動するよ
うにされている。 【０００５】又、前記フィルム仮付け手段の、基板側に
隣接した位置には、例えば特公平７−３５１０１号に開
示されるように、先端にフィルム吸着孔（溝）が形成さ
れたフィルム保持部材を設け、フィルム先端をこのフィ
ルム保持部材に吸着した状態で、フィルム通過面から後
退させ、そのとき、フィルム先端部が前記フィルム仮付
け手段の先端における側面が円弧形状又は三角形状のフ
ィルム仮付け部材に巻付け吸着させるようにしている。 【０００６】このフィルム保持部材は、フィルム切断時
に、前記仮付け手段と同期して基板方向にわずかに移動
され、フィルムの切断部近傍位置を吸着保持して、該切
断時にフィルム後端側に張力を与えるものである。 【０００７】フィルム仮付け手段は、フィルムの供給及
び仮付け動作を行う際には、その表面にフィルムを吸着
した状態で基板に対して近接移動し、フィルムの供給及
び仮付け動作が完了するとフィルムの吸着を解除し基板
に対して離反移動する。このフィルムの吸着が解除され
ると、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れた
状態となる。 【０００８】仮付けした後、ラミネーションロールによ
りフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するのであ
るが、そのラミネーションロールによるフィルム圧着動
作中は、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れ
た状態になっている。 【０００９】前記の搬送されてくる各基板にフィルムを
張付ける場合、基板毎にフィルムの供給及び仮付け動作
と圧着動作という両動作を繰返し行う。 【００１０】前記フィルム仮付け部材の先端には、ヒー
タが設けられていて、これによりフィルム仮付け先端を
加熱して、基板の先端に仮付けできるようにされてい
る。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】ここで、上記のような
フィルム張付装置を用いて、銅等の金属薄膜を、粘着性
樹脂層により多層に重ねて基板に張付ける要請がある。 【００１２】しかしながら、従来のフィルム張付装置に
より、薄膜状の銅あるいは他の金属性シートを積層しよ
うとする場合、積層状態で、金属シートの前記フィルム
保持部材によって吸着されていた部分に皺が発生して、
後工程でのパターン形成等に支障を来たすという問題点
が生じた。 【００１３】この発明は、上記問題点に鑑みてなされた
ものであって、薄膜状金属シートを積層する場合でも、
フィルム保持部材（シート保持部材）に吸着された部分
に、積層状態で皺が発生しないようにしたシート張付装
置を提供することを目的とする。 【００１４】 【課題を解決するための手段】この発明は、粘着性樹脂
が薄膜状に設けられてなる連続シートをシート供給ロー
ルから引き出し、搬送手段により搬送されてくる基板の
先端近傍に、粘着性樹脂層側が該基板側に位置するよう
にして、該基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け
部材、及びこの仮付け部材の前記基板側に隣接して位置
されるシート保持部材に吸着して導いた後、該シート保
持部材を相対的に後退させて、シート先端を前記仮付け
部材先端に巻付け、次いで前記基板の先端に前記仮付け
部材により仮付けした後、ラミネーションロールにより
シートを基板に圧着しつつ、基板を搬送するようにさ
れ、前記圧着開始時に、前記仮付け手段が基板から離間
され、且つ、シート切断時には、前記シート保持部材が
シートまで相対的に前進して前記仮付け手段と共にシー
トを吸着し、前記シート保持部材に接近した位置でカッ
ターによりシートを切断するようにされたシート張付装
置において、前記シート保持部材の少なくともシート吸
着面近傍を加熱する加熱手段を設けることにより上記目
的を達成するものである。 【００１５】 【００１６】 【００１７】 【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して説明する。 【００１８】まず本発明の実施の形態の例に係るシート
張付装置１０の概略構成を図１を参照して説明する。 【００１９】このシート張付装置１０によって切断して
張付けられるシート１２は、図２に示されるように薄膜
状の銅シート１２上に粘着性樹脂層１２Ｂ及びカバーフ
ィルム１２Ｃが積層された３層構造であり、供給ロール
１４に連続的に巻回されている。 【００２０】供給ロール１４から巻き出されたシート１
２は、円筒状のフィルム分離部材１６によりカバーフィ
ルム１２Ｃが剥がされて、粘着性樹脂層１２Ｂ（接着
面）が露出された状態となり、テンションローラ１８を
経て仮付け部材２０の一部を構成するメインバキューム
プレート２２に供給されるようになっている。前記剥が
されたカバーシートは、巻取りローラ２４により巻き取
られるように構成されている。 【００２１】前記供給ロール１４、フィルム分離部材１
６、テンションローラ１８、仮付け部材２０、巻取りロ
ーラ２４等は、基板搬送面Ｉ−Ｉを中心に上下対称に一
対ずつ設けられていて、シート１２が基板２６の上面及
び下面に同期して張付けられるようにされている。 【００２２】前記メインバキュームプレート２２は、図
３に示されるように、負圧が印加される多数の吸引溝２
２Ａ及び吸引孔２２Ｂが表面に設けられ、シート１２を
吸着できるようにされ、且つ、図において上下方向のガ
イドレール２８に摺動自在に支持され、エアシリンダ３
０及びメインバキュームプレート駆動用サーボモータ３
５によってガイドレール２８に沿って、上下同期してシ
ート張付位置に近接し、且つ、離反する方向、即ち基板
搬送面Ｉ−Ｉに対して近接、離反することができるよう
にされている。 【００２３】又、前記メインバキュームプレート２２の
基板搬送面Ｉ−Ｉ側先端には、前記メインバキュームプ
レート２２の表面から連続して湾曲し、且つ正面にシー
ト吸着溝２１Ｂが形成されたシート仮付け部材本体２１
が連結されている。このシート仮付け部材本体２１のシ
ート送り方向の先端部２１Ａ近傍にはヒータ（図示省
略）が埋め込まれ、該先端部２１Ａを加熱するようにさ
れている。 【００２４】前記ガイドレール２８は装置本体の取付枠
（図示省略）に固定されたメインバキュームプレート用
支持板３２に取付けられている。 【００２５】前記エアシリンダ３０は、シート幅方向の
左右に一対設けられ、そのシリンダ側の端部が上側のメ
インバキュームプレート２２に、又ロッド側の端部が下
側のメインバキュームプレート２２にそれぞれアーム３
０Ａを介して固着され、上下のアームがラック３４Ａ、
ピニオン３４Ｂ、ラック３４Ｃを介して同期して上下の
メインバキュームプレート２２が駆動されるようになっ
ている。前記ピニオン３４Ｂはメインバキュームプレー
ト用支持板３２に回転自在に支持されている。 【００２６】更に、前記左右のピニオン３４Ｂは、上側
の左右のアーム３０Ａ間に水平に配置された左右同調連
結シャフト３４Ｄに同軸的に固着され、又、この左右同
調連結シャフト３４Ｄの図２において右端にはメインバ
キュームプレート駆動用のサーボモータ３５が接続さ
れ、前記左右のピニオン３４Ｂが同期してサーボモータ
３５によって駆動され得るようになっている。このサー
ボモータ３５は、サーボモータ保持部材３５Ａを介し
て、前記メインバキュームプレート用支持板３２に取付
けられている。 【００２７】前記仮付け部材２０は前記エアシリンダ３
０及びサーボモータ３５により、次のように駆動される
ようにされている。 【００２８】まず、仮付け部材２０は基板搬送面Ｉ−Ｉ
から最も離れた原点から手動切断位置、自動切断位置、
仮付け待機位置の各停止位置を経て仮付け圧着位置まで
順次接近していくが、原点から仮付け待機位置までは、
サーボモータ３５により駆動され、且つ、各停止位置
は、サーボモータ３５の回転に応じて発生するロータリ
ーエンコーダ（図示省略）からのパルス数を計数するこ
とにより決定される。 【００２９】待機位置は基板搬送面Ｉ−Ｉから２０ｍｍ
の位置とされ、前記仮付け部材２０はここから、エアシ
リンダ３０により駆動され、空気圧によりシート１２を
介して基板２６に押圧されるようになっている。 【００３０】前記仮付け部材２０が基板から離間する際
は、エアシリンダ３０とサーボモータ３５により原点近
く、例えば原点から数ｍｍの切替位置まで駆動され、こ
の切替位置から原点まではエアシリンダ３５のみにより
駆動される。エアシリンダ３０とサーボモータ３５を併
用する場合、仮付け部材２０の、仮付け圧着位置から切
替位置までの移動量は、前記と同様にパルス数の計数に
より検出される。 【００３１】前記仮付け待機位置から仮付け圧着位置ま
で、及び切替位置から原点までの距離は、サーボモータ
３５により駆動されれる距離を一定値としたとき、基板
２６の厚さにより異なるが、これはエアシリンダ３５の
ピストンにより吸収される。従って、サーボモータ３５
の回転に応じて発生するパルス数の設定値を、基板２６
の厚さに応じて変更する必要はない。 【００３２】前記メインバキュームプレート用支持板３
２には、前記メインバキュームプレート２２の幅方向両
端外側位置には、上下ガイド部材（図示省略）を介し
て、支持ベース（図示省略）が上下方向移動自在に配置
されている。 【００３３】前記支持ベースには、図４、図５に示され
るように、シート通過面１３に対して直交する方向に配
置された前後ガイド装置３８が設けられている。この前
後ガイド装置３８は支持ベースに固着された固定レール
３８Ｂと、この固定レール３８Ｂに摺動自在に支持され
た移動ブロック３８Ａとから構成され、該移動ブロック
３８Ａには、浮動機構４０を介してシート保持部材４２
の両端が浮動支持されている。 【００３４】更に詳細には、前記移動ブロック３８Ａに
は、ガイドレール４０Ａが上下方向に取付けられ、又、
このガイドレール４０Ａを上下自在に移動ブロック４０
Ｅが設けられ、該移動ブロック４０Ｅには、これを取り
囲むように、短い四角筒状のガイドフレーム４０Ｂが支
持されている。このガイドフレーム４０Ｂには、前記基
板搬送面Ｉ−Ｉ方向に細長い浮動シャフト４０Ｃが立設
され、この浮動シャフト４０Ｃの先端とストッパープレ
ート４０Ｆとの間には圧縮コイルばね４０Ｄが装架さ
れ、ガイドフレーム４０Ｂがガイドレール４０Ａに対し
て基板搬送面Ｉ−Ｉから離間する方向に浮動支持されて
いる。ストッパプレート４０Ｆは前記移動ブロック３８
Ａと一体に取り付けられている。 【００３５】前記ガイドフレーム４０Ｂは、前記メイン
バキュームプレート２２の幅方向両側、且つ基板搬送面
Ｉ−Ｉ側先端に隣接した位置で、シート保持部材４２の
幅方向両端を支持している。 【００３６】従って、シート保持部材４２は、ガイドレ
ール４０Ａに対して上下方向に浮動支持され、且つ前後
ガイド装置３８によってシート通過面１３に対して進退
自在とされ、更に支持ベースと共に上下方向に一定範囲
で駆動され得るようになっている。 【００３７】前記シート保持部材４２のシート通過面１
３側の端面には、負圧が印加される吸引溝４２Ａと吸引
孔４２Ｂが設けられていて、該端面にシート１２を吸着
することができるようにされている。 【００３８】又、前記シート保持部材４２の、基板搬送
面Ｉ−Ｉ側の面（図５において下側面）には、面発熱体
４４が取り付けられ、これによって、該シート保持部材
４２の、シート通過面１３側の端面が加熱されるように
なっている。この面発熱体４４は、例えば通電すること
によって発熱するセラミクスから構成されている。 【００３９】前記ガイドフレーム４０Ｂは、図４、図５
に示されるように、断面Ｌ字形状の、且つシート通過面
１３に対して直交する方向に一定長さを持ったレール部
材４８Ａを介して前記シート保持部材４２の両端を支持
している。 【００４０】これに対して、前記メインバキュームプレ
ート２２の基板搬送面Ｉ−Ｉ側先端の幅方向両側には、
前記レール部材４８Ａに基板搬送面Ｉ−Ｉと反対方向か
ら接触し、且つ接触しつつレール部材４８Ａが、シート
通過面１３と直交する方向に移動するとき回転される押
圧ローラ４８Ｂが回転自在に支持されている。この押圧
ローラ４８Ｂと前記レール部材４８Ａは押圧機構４８を
構成している。 【００４１】前記シート保持部材４２がメインバキュー
ムプレート２２によって基板搬送面Ｉ−Ｉ方向に押圧さ
れたときの、該シート保持部材４２の基板搬送面Ｉ−Ｉ
側に隣接する、位置にロータリーカッター５４の固定刃
５４Ａが、シート通過面１３に対して直交する方向に進
退自在に配置されている。 【００４２】前記ロータリーカッター５４は、前記固定
刃５４Ａと、この固定刃５４Ａに対して回転することに
より、両者間でシートを切断する回転刃５４Ｂとから構
成されている。この回転刃５４Ｂは、その両端が回転刃
支持部材（図示省略）により前記前後ガイド装置３８に
支持される回転刃支持用移動ブロックによりシート通過
面１３に対して進退自在に支持されている。 【００４３】前記回転刃支持部材は、前記前後ガイド装
置３８の固定レール３８Ｂに対して、回転刃５４Ｂが固
定刃５４Ａと接触してシート１２を切断することができ
る切断位置、及び、シート通過面１３から固定刃５４Ｂ
と反対方向に離間した退避位置で、それぞれ位置固定で
きるようにされている。 【００４４】前記回転刃５４Ｂの上下には、それぞれシ
ート１２へ向けてエアを吹き付けるための空気吹付管６
０Ｂ、６０Ｃが設けられている。これら空気吹付管６０
Ｂ、６０Ｃには、前記シート１２に対向する側に空気吹
出孔（図示省略）が各管の長手方向に沿って、例えば２
０ｍｍピッチで多数穿設されている。又、前記回転刃５
４Ｂの下側の一対の空気吹付管のうち、上部の空気吹付
管６０Ｂは、シート切断時における前記仮付け部材２０
の先端部２１Ａに向けて空気流を形成するようにされ、
下部の空気吹付管６０Ｃは、後述のバキュームバー７０
とガイドロール７２の間に空気流を形成するようにされ
ている。 【００４５】図１の符号６２はラミネーションロール、
６４は前記基板搬送機構における駆動用ローラ、６６は
同従動用ローラ、６８は基板押え部材、７０はシート１
２の切断後のシート後端を吸着保持するためのバキュー
ムバー、７２は基板先端位置検出光センサ、７４は基板
後端位置検出光センサをそれぞれ示す。又符号７６は、
シート切断時におけるバキュームバー７０と固定刃５４
Ａとの間に配置され、該固定刃５４Ａの位置で、シート
１２を図において上下方向に案内するためのガイドロー
ルを示す。前記バキュームバー７０はラミネーションロ
ール６２の近傍に回転自在に設けられ、該ラミネーショ
ンロール６２の回転周速度と等速乃至若干遅い速度で、
切断されたシート１２の後端又はその近傍を吸着保持し
ながら基板２６上のシート１２とラミネーションロール
６２との接触面近傍位置まで移動させるものである。 【００４６】前記基板押え部材６８は、基板押えローラ
６８Ａと、これを上下動させる基板押えローラ用エアシ
リンダ６８Ｂとから構成されている。前記ラミネーショ
ンロール６２〜基板押え部材６８の関係は、次の如くで
ある。 【００４７】基板搬送面Ｉ−Ｉの近傍に設けられた基板
先端位置検知光センサ７２で基板２６の先端が検知さ
れ、所定時間後にシート仮付け位置まで同基板２２が搬
送されると、駆動用ローラ６４の回転が停止される。こ
れと同時に前記基板押え部材６８により基板２６を押え
るように、基板押えローラ用エアシリンダ６８Ｂによ
り、基板押えローラ６８Ａが駆動される。 【００４８】前記基板押えローラ６８Ａにより、基板２
６の動きが確実に停止され、仮付け部材２０の先端部で
あるシート仮付け部材本体２１が基板２６に当接して
も、該基板２６が動かず、シート１２の仮付けが確実に
行われる。 【００４９】前記基板押えローラ６８Ａによる基板２６
の押えは、ラミネーションロール６２が基板２６に当接
するまで行われ、ラミネーションロール６２の当接タイ
ミングと同調して基板押えローラ用エアシリンダ６８Ｂ
が解除作動される。 【００５０】次に、図１０〜図１２を参照して前記実施
例に係るシート張付装置の作用について説明する。 【００５１】まず、固定刃５４Ａをシート通過面１３方
向に前進させ、これにより、シート保持部材４２と固定
刃５４Ａがそれぞれ上下に隣接した状態でシート通過面
１３の位置となるようにセットする。又、仮付け部材２
０は、サーボモータ３５により、原点から、基板搬送面
Ｉ−Ｉ方向に駆動し、前記押圧ローラ４８Ｂによって、
レール部材４８Ａを介して、前記シート保持部材４２が
固定刃５４Ａと隣接する状態（手動切断位置）までこれ
を押し下げる（図６（Ａ）参照）。前記シート保持部材
４２の面発熱体４４には予め通電されていて、シート吸
着面の温度が一定値、例えばシート仮付け部材本体２１
の表面と同程度の温度となるようにされている。 【００５２】一方、回転刃５４Ｂは該退避状態に固定す
る。従って、回転刃５４Ｂと固定刃５４Ａ間には隙間が
生じ、ここに、供給ロール１４から引き出し、且つカバ
ーシートが剥離されたシート１２を手動にて引張り、そ
の先端が固定刃５４Ａを越えた状態で、メインバキュー
ムプレート２２、シート仮付け部材本体２１、及び前記
シート保持部材４２に負圧を印加してシート１２を吸着
する。 【００５３】次に、退避状態の回転刃５４Ｂをシート通
過面１３方向に移動し、切断位置に固定してから回転刃
５４Ｂを駆動し、固定刃５４Ａとの間で、固定刃５４Ｂ
からはみ出した先端部を切断し、これを除去する。この
とき、固定刃５４Ａの切刃をシート進行方向と直交させ
ておけばシートの先端が直角に切断される。 【００５４】次に、シート保持部材４２と固定刃５４Ａ
をシート通過面１３から離間するように駆動する。 【００５５】このとき、シート１２の先端は、シート保
持部材４２に吸着されているので、該先端は、図６
（Ｂ）に示されるように、仮付け部材２０におけるメイ
ンバキュームプレート２２から、更にシート仮付け部材
本体２１の湾曲面に沿ってこれに押し付けられるように
引張られ、シート保持部材４２から離間して、シート仮
付け部材本体２１に吸着される。 【００５６】シート保持部材４２及び固定刃支持部材５
２がシート通過面１３から一定距離以上離間すると、シ
ート保持部材４２の仮付け部材側面に形成されているレ
ール部材４８Ａが、押圧ローラ４８Ｂから外れることに
なる。 【００５７】従って、圧縮コイルばね４０Ｄが押圧力か
ら解放されて伸長するため、シート保持部材４２及びこ
れを支持するガイドフレーム４０Ｂ、浮動シャフト４０
Ｃが固定刃５４Ａから離間する方向に駆動され、図６
（Ｃ）の状態となる。 【００５８】シート保持部材４２及び固定刃５４Ａの後
退により、仮付け部材２０は、これらと干渉することな
く基板２６方向への移動が可能となり、仮付け部材２０
は、図７（Ａ）で２点鎖線で示されるように、仮付け待
機位置までサーボモータ３５により駆動され、ここで停
止される。 【００５９】次に、基板先端位置検出光センサ７０によ
り基板２６の先端が検出された後に、所定のタイミング
で、仮付け部材２０がエアシリンダ３０により基板２６
方向に駆動され、図７（Ａ）に実線で示されるように、
シート仮付け部材本体２１に巻き付けられているシート
１２の先端が、該先端部２１Ａのヒータによって、基板
２６の先端に押圧、仮付けされる。 【００６０】このとき、シート１２の基板２６の接触工
程をエアシリンダ３０により行うと、基板２６の厚さの
差等を空気圧により吸収できると共に、充分な押圧力を
得て、仮付けを確実に行うことができる。 【００６１】シート１２の先端の仮付けが開始すると、
仮付け部材２０はその負圧が解除され、設定時間経過後
に、図７（Ｂ）に示されるように基板２６から離間する
方向に、切替位置まで、前記エアシリンダ３０及びサー
ボモータ３５によって駆動される。仮付け圧着位置から
前記切替位置までの距離は一定値に設定されているが、
切替位置から原点まではエアシリンダ３０のみにより駆
動されるので、基板２６の厚さの相違による切替位置か
ら原点までの距離の変動が空気圧により吸収される。 【００６２】仮付け部材２０が基板２６から離間する途
中に、ラミネーションロール６２が基板２６の先端位置
に駆動され、基板２６を駆動用ローラ６４によって搬送
することにより、ラミネーションロール６２による、シ
ート１２の基板２６への熱圧着が開始される。 【００６３】この熱圧着開始直前に、前記シート保持部
材４２及び固定刃５４Ａがフィルム通過面１２Ａの位置
まで前進される。このとき、固定刃５４Ａに対して、シ
ート保持部材４２は、図８（Ａ）に示されるように、仮
付け部材２０側に離間した状態とされている。又、ラミ
ネーションロール６２と同期して、前記バキュームバー
７０もシート通過面１３の位置に駆動されている。 【００６４】基板２６の後端が接近すると、基板後端位
置検出光センサ７２が基板後端を検出し（図９のＳ１０
１参照）、仮付け部材動作タイミングカウンタがＯＮさ
れ（Ｓ１０２）、所定時間後に、仮付け部材２０がガイ
ドレール２８に沿って、サーボモータ３５によりシート
１２と同期して基板２６方向に駆動される（Ｓ１０３、
Ｓ１０４）と、該仮付け部材２０に取付けられた前記押
圧ローラ４８Ｂがシート保持部材４２に接触してこれを
押圧するので、シート保持部材４２は圧縮コイルばね４
０Ｄに抗して固定刃５４Ａに隣接する位置にまでシート
１２と同期して基板２６方向に押圧される（Ｓ１０
５）。 【００６５】前記仮付け部材動作タイミングカウンタが
ＯＮ信号を出力したとき、同時に、バキュームタイミン
グカウンタにこのＯＮ信号が入力される（Ｓ１０６）。 【００６６】バキュームタイミングカウンタは所定時間
後にＯＮ信号を出力し、前記仮付け部材２０及びシート
保持部材４２に順次負圧を印加させる（Ｓ１０７、Ｓ１
０８）。又バキュームバー７０にも負圧が印加されて、
前記仮付け部材２０、シート保持部材４２と共に、シー
ト１２がこれらに吸着され得る状態となる。この負圧印
加のタイミングは、仮付け部材２０の基板２６方向への
移動がシート１２と同期したとき、該仮付け部材２０に
ＯＮ、仮付け部材２０がシート保持部材４２を押してこ
れと同期したときに該シート保持部材４２にＯＮとなる
ようにする。 【００６７】前記バキュームタイミングカウンタからの
ＯＮ信号はカッタースタートタイミングカウンタにも出
力され（Ｓ１０９）、所定時間後にサーボモータ５４Ｃ
により回転刃５４Ｂが駆動されると（Ｓ１１０）、固定
刃５４Ａとの間でシート１２が切断される（Ｓ１１
１）。シート切断中、前記仮付け部材２０、先端巻付用
保持部材４２及びシート１２は基板２６方向に移動さ
れ、シート切断終了後に、前記シート保持部材４２が固
定刃５４Ａに隣接する位置まで来て停止される（Ｓ１１
２）。なお、シート切断時における回転刃５４Ｂの切刃
の回転周速をシート１２の移動速度の２倍以上とすると
シート１２の移動中も、これを引張ったり、からまった
りすることなく良好に切断できた。 【００６８】シート１２の後端はここに前記空気吹付管
６０Ｂ、６０Ｃからエアが吹付けられるので、図８
（Ｂ）に示されるようにガイドロール７２に巻き付けら
れるように吹き流される。 【００６９】シート１２の後端はラミネーションロール
６２による圧着が進行中であるので基板２６方向に移動
するが、該後端がガイドロール７２を通過するとき、切
替弁（図示省略）により圧力エア供給を空気吹付管６０
Ｂから６０Ｃに切替える。 【００７０】このためシート１２の後端は、図８（Ｂ）
に２点鎖線で示されるように、バキュームバー７０に巻
き付けられるように吹き流される。ここで、前記空気吹
付管６０Ｂからの空気流が、仮付け部材２０の先端部２
１Ａに向けて噴出している間に、図６（Ａ）から（Ｂ）
に至る工程が進行し、シート１２の先端が、該空気流に
より仮付け部材本体２１の湾曲した吸着面及びシート保
持部材４２の先端吸着面に吹き付けられ、これからのシ
ート１２の脱落が防止される。 【００７１】バキュームバー７０に巻き付けられたシー
ト１２の後端はこれに吸着され、この吸着により、シー
ト１２の後端に引張り力を与えつつ、ラミネーションロ
ール６２によりシート１２を基板２６に熱圧着して、１
回のシート張付工程を終了する。 【００７２】基板２６Ａのシート１２の熱圧着が終了し
た後は、図６（Ａ）に示された最初の状態（原点２２Ａ
の位置）に戻り、次のシート１２を次の基板２６に、前
述と同様の図６（Ａ）から図８（Ｂ）に示される過程で
繰り返し熱圧着されることになる。 【００７３】ここで、前記シート仮付部材本体２１は、
先端部２１Ａ近傍に埋め込まれたヒータ（図示省略）に
よって加熱されていて、吸着したシート１２を加熱する
が、前記シート保持部材４２も、これに取り付けられて
いる面発熱体４４によって加熱されていて、そのシート
吸着面の温度が、シート仮付部材本体２１表面と同程度
に昇温されているので、シート保持部材４２によって先
端が吸着された後、シート仮付部材本体２１に巻き付け
吸着されたシート１２は、シート保持部材４２によって
吸着されていた部分を含めてほぼ均一に加熱される。 【００７４】従って、シート１２に、シート保持部材４
２の吸着によるコールドスポットが生じることがなく、
ラミネーションロール６２によって基板２６に熱圧着さ
れたとき、シート保持部材４２によって吸着されていた
部分に皺が発生することがない。 【００７５】なお、上記シート張付装置１０は、粘着性
樹脂層１２Ｂが塗布された銅シート１２Ａからカバーフ
ィルム１２Ｃを剥離した後に、基板２６に張り付けるも
のであるが、本発明はこれに限定されるものでなく、他
のシート、フィルムを基板に張り付ける場合についても
当然適用されるものである。 【００７６】従って、例えば透光性樹脂フィルムに感光
性樹脂層を積層した後、カバーフィルムで覆った積層体
フィルムを、カバーフィルムを剥がした後に基板に張り
付ける場合についても適用される。 【００７７】又、粘着性樹脂層あるいは感光性樹脂層が
カバーフィルムによって覆われていないシートあるいは
フィルムを張り付ける場合にも適用される。 【００７８】更に、前記シート保持部材を固定とし、仮
付部材を移動させることにより、先端がシート保持部材
に吸着されているシートを仮付部材に巻き付くようにし
てもよい。 【００７９】更に又、前記シート保持部材４２を加熱す
る手段は、該シート保持部材４２に設けられているが、
本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、シート
保持部材４２がシートを吸着しない間のみ、そのシート
吸着面に接近又は接触してこれを加熱するものであって
もよい。又、シートを仮付け部材２０の近傍及びその上
流側で、粘着性樹脂層１２Ｂ側から全面的に、非接触で
加熱しておいてもよい。この場合、十分に加熱しておけ
ば、シート保持部材４２により吸着してもコールドスポ
ットが発性し難い。更に、予めシート保持部材４２によ
り吸着される部分を周囲よりも高温に加熱してもよい。
粘着樹脂層１２Ｂの全面を加熱しておくと、基板２６へ
の粘着性が増大する。 【００８０】又上記シート張付装置１０はエアシリンダ
を各所に利用しているが、これは流体により作動される
シリンダ装置であればよく、油圧シリンダ、水圧シリン
ダ、ガスシリンダ等であってもよい。 【００８１】 【発明の効果】この発明においては、シート保持部材シ
ート保持部材に面発熱体を取り付けて、そのシート吸着
面を加熱するようにしているので、シート吸着時に、シ
ート保持部材によるコールドスポットがシート上に発生
することがなく、シートが均一に加熱され、これによっ
て、該シートを基板に張付けたとき、シート保持部材に
よって吸着されていた部分に皺が発生することがないと
いう優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に係るシート張付装置の実施の形態の例
を示す略示断面図 【図２】同シート張付装置における仮付け部材及びその
駆動機構を示す一部断面とした斜視図 【図３】同シート張付装置におけるシート保持部材及び
仮付け部材を拡大して示す断面図 【図４】同シート張付装置におけるシート保持部材の支
持機構を示す分解斜視図 【図５】同支持機構を拡大して示す側面図 【図６】同シート張付装置の作用の前段を示す略示断面
図 【図７】同シート張付装置の作用の中段を示す略示断面
図 【図８】同シート張付装置の作用の後段を示す略示断面
図 【図９】シート切断時の仮付け部材、シート保持部材の
動作を示す流れ図 【符号の説明】 １０…シート張付装置 １２…シート １２Ａ…銅シート １２Ｂ…粘着性樹脂層 １２Ｃ…カバーフィルム １３…シート通過面 １４…供給ロール ２０…仮付け部材 ２２…メインバキュームプレート ２６…基板 ３２…メインバキュームプレート用支持板 ３６…支持ベース ３８…前後ガイド装置 ３８Ａ…移動ブロック ４０…浮動機構 ４０Ａ…ガイドレール ４０Ｂ…ガイドフレーム ４０Ｃ…浮動シャフト ４０Ｄ…圧縮コイルばね ４２…シート保持部材 ４４…面発熱体 ４８…押圧機構 ４８Ａ…レール部材 ４８Ｂ…押圧ローラ ５４…ロータリーカッター ６０Ａ…空気吹付管 ６２…ラミネーションロール ７０…バキュームバー

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】粘着性樹脂が薄膜状に設けられてなる連続
   シートをシート供給ロールから引き出し、搬送手段によ
   り搬送されてくる基板の先端近傍に、粘着性樹脂側が該
   基板側に位置するようにして、該基板に対して近接及び
   離反移動可能な仮付け部材、及びこの仮付け部材の前記
   基板側に隣接して位置されるシート保持部材に吸着して
   導いた後、該シート保持部材を相対的に後退させて、シ
   ート先端を前記仮付け部材先端に巻付け、次いで前記基
   板の先端に前記仮付け部材により仮付けした後、ラミネ
   ーションロールによりシートを基板に圧着しつつ、基板
   を搬送するようにされ、前記圧着開始時に、前記仮付け
   手段が基板から離間され、且つ、シート切断時には、前
   記シート保持部材がシートまで相対的に前進して前記仮
   付け手段と共にシートを吸着し、前記シート保持部材に
   接近した位置でカッターによりシートを切断するように
   されたシート張付装置において、前記シート保持部材の
   少なくともシート吸着面近傍を加熱する加熱手段を設け
   たことを特徴とするシート張付装置。