JP4006533B2 - フィルム貼付方法とその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はフィルム貼付方法とその装置に係わり、特に、プリント配線用基板、液晶表示パネル用ガラス基板、プラズマ表示パネル用ガラス基板等の搬送路を移動してくる基板にレジストフィルム等の貼り付けたい所望形状を持つフィルムの先端を基板の貼り付け開始個所に一致せしめ、フィルムと基板を圧着ロールの回転によって圧着するフィルム貼付方法とその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板、液晶表示パネル、プラズマ表示パネル等の製造工程において、基板表面に積層体フィルムを貼り付ける工程がある。
【0003】
上記の様な積層体フィルムを貼り付ける工程で使用されるフィルム貼付装置は、所望の形状のフィルムの先端部をロールによって吸引吸着してロールの回転で基板側に搬送し、さらにロールからフィルムに吹き付けをしてフィルムを基板に貼り付け、かつフィルムと基板を下流に移動して本格的な圧着をするものがある。
【特許文献1】
特開昭57−18387号公報(第2図とその関連記載)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記貼付装置では、フィルムを吸引吸着するために吸引口をロールに設けていると、フィルムに吸引口の痕跡が残り、痕跡の段差は後工程で露光処理をする場合には露光不良を起す。また、フィルムは基板近傍で吸引から吹き付けに切り替えられるために、フィルムが基板から浮き上がることがあり、皺の発生や気泡を混入させ、基板製造の歩留まりが低下する問題がある。
【0005】
それゆえ本発明の目的は、基板に貼り付けたいフィルムの先端や後端を圧着ロール外周で保持し皺の発生や気泡の混入を起すことなく正確に基板にフィルムを圧着することができるフィルム貼付方法とその装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明方法の特徴とするところは、搬送路を移動してくる基板に貼り付けたい所望形状を持つフィルムの先端を該基板の貼り付け開始個所に一致せしめ、該フィルムと基板を圧着ロールの回転によって圧着するものにおいて、該圧着ロールにとって搬送路の上流側における外周面部でフィルムの先端部を静電的に吸着し、該圧着ロールの回転により該フィルムを搬送してその先端を基板の貼り付け開始個所に一致せしめ、該フィルムの後端部も該圧着ロールにとって搬送路の上流側における外周面部で静電的に吸着し、該圧着ロールの回転により基板の貼り付け終了位置まで搬送することにある。
【0007】
また、上記目的を達成する本発明装置の特徴とするところは、搬送路を移動してくる基板に貼り付けたい所望形状を持つフィルムの先端を該基板の貼り付け開始個所に一致せしめ、該フィルムと基板を圧着ロールの回転によって圧着するものにおいて、該圧着ロールにとって搬送路の上流側における外周面部近傍に電圧が印加される電極を設け、該圧着ロールにとって搬送路の上流側における外周面部に少なくとも該フィルムの先端部及び後端部が位置する際に該電極に電圧を印加することにより、該フィルムを圧着ロールに静電的に吸着するようになさしめたことにある。
【0008】
本発明によれば、フィルムの先端部と後端部を静電的に吸着していて、静電吸着の位置が基板に近い部署で行なわれるから、吸着力の低下はなく、圧着ロールに確実に保持されているので、皺の発生や気泡の混入を生じない。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図5に基づいて本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置を説明する。
図1〜図5において、1はフィルムロール、2はフィルム、3は巻取りロール、4はガイドロール、5は先端搬送部材、6は後端搬送部材、7はサーボモータ、8はボールネジ、9はベースプレート、10,11はエアシリンダ、12はカッタ機構、13は圧着ロール、14は基板、15は搬送ローラ、16は後端保持部材、17は電極、18は高圧電源を含む制御部である。
【0010】
以下、装置構成について詳細に説明する。
フィルムロール1に巻き付けてあるフィルム2は内側からカバーフィルム,レジストフィルム,カバーフィルムの3層で構成されていて、レジストフィルムの粘着性により一体化しているが、フィルムロール1から引き出されたフィルム2のうちカバーフィルムは直ちに剥離して巻き取りロール3で巻き取っている。フィルムロール1及び巻き取りロール3の駆動部にはフィルムロール1の残量に応じてトルクを調節する機能(図示せず)が設けてあり、フィルム2の張力を一定にして搬送することができる。
【0011】
ガイドロール4の下側には、フィルム2の先端部の所定領域を吸着して搬送する先端搬送部材5及びフィルム2の後端部の所定領域を吸着して搬送する後端搬送部材6がある。先端搬送部材5の内部には真空室,上面には吸着孔が設けられている。真空室は、真空ポンプ等の真空発生装置に接続されており、真空ポンプを駆動することにより先端搬送部材5の上面にフィルム2の先端を吸引吸着により保持する。
【0012】
先端搬送部材5は、サーボモータ7と直結したボールネジ8により駆動するベースプレート9上に設置されており、上下方向(フィルム搬送方向)に移動可能となっている。更に、先端搬送部材5は、ベースプレート9に設置しているエアシリンダ10により圧着ロール13と近接する位置まで移動して、フィルム2の先端を圧着ロール13と近接する位置まで搬送可能である。
【0013】
後端搬送部材6も先端搬送部材5と同じくベースプレート9上に設置してあり、サーボモータ7と直結したボールネジ8によりフィルム2を正確に搬送可能であり、ベースプレート9に設けられたエアシリンダ11によりフィルム搬送面からベースプレート9へ近づく方向に退避できる構成としてある。後端搬送部材6には、先端搬送部材5と同様に、後端搬送部材6の内部に真空室,上面に吸着孔が設けられていて、真空室は真空ポンプ等の真空発生装置に接続されており、真空ポンプを駆動することにより後端搬送部材6の上面でフィルム2の後端を吸引吸着して保持する。後端搬送部材6はフィルムの搬送方向に対して直交する方向(フィルム2の幅方向)に溝が設けられており、カッタ機構12でフィルム2を切断する時の受け台としても用いられる。
【0014】
カッタ機構12は、後端搬送部材6の吸着面に対向して設けられており、ロッドレスシリンダ等で駆動する構成としてあり、フィルム2を搬送方向に対して直交するフィルム2の幅方向に切断することができる。
【0015】
上下1対の圧着ロール13は、複数の搬送ローラ15で構成される基板14の搬送経路上にあって、搬送ローラ15で搬送され移動してくる基板14を上下方向から挟むように配置してある。即ち、各々の圧着ロール13は図示していない連結された圧着ロール開閉用シリンダを駆動することで、上下方向に開閉される。
【0016】
圧着ロール13は、金属製のロールとその外周を耐熱性の優れたゴム(シリコンゴム等)で被覆した構成となっており、外表面は円筒形で平坦である。また金属製ロールの中心軸側には筒状のヒータを備えており、同ヒータの外周には水や油等の液体が封入されているジャケットが同心円上に形成されている。ヒータを通電加熱することで、外周のジャケットを熱して、ロール全体を均一に加熱することができるようになっている。なお、図2に示すように、上側の圧着ロール13の金属部分は接地されている。
【0017】
後端保持部材16は後端搬送部材6と搬送ロール15の近傍の間を移動可能に圧着ロール13の外周面に近接して設けてあり、駆動機構(図示せず)によりフィルム2の後端を吸着してフィルム搬送経路と圧着ロールが接する位置よりも圧着ロール外周の基板へ近い任意の位置へ、圧着ロールの回転速度と同速または若干遅い速度で移動する構成となっている。先端搬送部材5がフィルム2の先端を圧着ロール13へ搬送する際、後端保持部材16は先端搬送部材5と干渉しない位置(圧着ロール上面中央)へ退避する。また、後端保持部材16の内部には真空室,上面には吸着孔が設けられており、後端搬送部材6から離れたフィルム2の後端を吸着保持する。
【0018】
上側の圧着ロール13にとって搬送ロール15で構成している基板14の搬送路の上流側における外周面部、詳しくは図において左側面中央付近であり、搬送路上の基板に対しフィルムがほぼ鉛直になる外周面部の近傍には吸着機構として電極17を設置してあり、図2に示すように、電極17は制御部18の高圧電源と接続されている。制御部18が内蔵の高圧電源から電極17に高電圧を印加することで、電極17と圧着ロール13の間に搬送されたフィルム2は圧着ロール13に静電的に吸着(静電吸着)することが可能である。また図示していないが、フィルム2,先端搬送部材5,後端搬送部材6,後端保持部材16の動きを邪魔しない形で、電極17及び圧着ロール13を囲む防塵カバーを設けてある。この防塵カバーにより、フィルム貼り付けの際、帯電したフィルム2に装置周囲に浮遊している塵などが付着することを防止している。
【0019】
次に、フィルム貼り付け動作について説明する。
始めに、フィルム貼り付け動作を行うための準備として、手動でフィルムロール1からフィルム2を引出してカバーフィルムを剥離する。剥離したカバーフィルムは巻取りロール3で巻き取れるように巻き掛ける。残りのレジストフィルムとベースフィルムの2層となったフィルム2はガイドロール4を介し後端搬送部材6の先端まで引出し、先端搬送部材5及び後端搬送部材6の吸着面で保持させる。
【0020】
この時、フィルムロール1及び巻取りロール3に設けた駆動モータを作動させて、フィルム2に一定の張力が作用している状態にする。この状態で、後端搬送部材6の溝部をカッタ機構12のカッタ刃が通過するように配置して、カッタ機構12をフィルム搬送方向に対し垂直方向(フィルム2の幅方向)に駆動させフィルム2を切断しフィルム2の先端形状を整える。切断作業が終了すると、フィルム2を吸着していた後端搬送部材6の吸着を停止し、フィルム2の切れ端は廃棄する。この時、図1に示すように、先端搬送部材5は、フィルム2の先端が先端搬送部材5の先端から15mm程度はみ出した状態で、フィルム2を吸着保持している。これでフィルム貼り付けの準備が完了する。
【0021】
準備が完了した状態では、基板搬送面の上下に位置する圧着ロール13は開いた状態にあり、内部に設けたヒータで加熱された状態で基板搬送方向に回転している。
【0022】
フィルム貼り合せを開始すると、まず、サーボモータ7を駆動しベースプレート9を圧着ロール13近くまで移動し、ベースプレート9上に設けたエアシリンダ11により後端搬送部材6をベースプレート9の方向へ移動させ、後端保持部材16を圧着ロール13の上面中央へ退避させる。
【0023】
次に、図3に示すようエアシリンダ10で先端搬送部材5を下方に移動させて、フィルム2の先端が圧着ロール13の左側面中央に位置するようにする。 フィルム2の先端が圧着ロール13の左側面中央に来た時、制御部18の高圧電源から電極17に高電圧を印加する。このとき、フィルム2の先端は、電極17と圧着ロール13の間にあり、先端搬送部材5からはみ出しているフィルム2の先端部が帯電され、接地されている圧着ロール13に吸着される。
【0024】
次に、先端搬送部材5の吸着を解除することで、フィルム2は圧着ロール13の回転により基板14との貼り付け開始位置へ搬送させる。エアシリンダ10により先端搬送部5が上方に後退し、エアシリンダ11により退避していた後端搬送部材6が退避前の位置に戻ると、ベースプレート9を上側(ガイドロール4)の方向へ移動させる。
【0025】
図4に示すように、フィルム2が圧着ロール13の最下位置である搬送されて来る基板14と接触する位置まで搬送された時に、圧着ロール13の回転を停止する。続いて、上述したようにフィルム貼り合せを開始するときにフィルム2の先端を先端搬送部材5から圧着ロール13へ受け渡すため退避していた後端保持部材16が、圧着ロール左側面中央まで移動する。そして、先端搬送部材5と後端搬送部材6の吸着面上のフィルムを吸着保持し、カッタ機構12を駆動しフィルム2を搬送方向に対し垂直方向(フィルム2の幅方向)に切断する。切断したフィルム2の長さ(圧着ロール13の最下位置にあるフィルム2の先端から今回切断した位置までのフィルムの長さ)は基板14に貼り付ける長さになる様にカッタ機構12や先端搬送部材5,後端搬送部材6を設置してあるベースプレート9の位置が調整される。また、圧着ロール13の回転を停止せず、カッタ機構12、先端搬送部材5、後端搬送部材6をフィルム2に同期させて、フィルム2を切断(フィルムの流切り)してもよい。
【0026】
基板14は搬送ローラ15でフィルム貼り付け位置に搬送される。基板14がフィルム貼り付け位置に到達する(フィルムの先端と基板の貼り付け開始個所を搬送路での基板の移動で一致せしめる)と、圧着ロール開閉用シリンダ(図示せず)により圧着ロール13を閉じ基板14をクランプし熱圧着を開始する。この時、フィルム2は基板14と共に圧着ロール13で搬送されるが、フィルム2の搬送速度と同期して後端搬送部材6を圧着ロール側へ移動させることにより張力を一定に保ちながら貼り付けが可能である。
【0027】
なお、貼り付け時には、フィルム2はベースフィルムとレジストフィルムの2層構造となっており、基板14に対向する面にレジスト面が対向し、ベースフィルム側が圧着ロール13に静電吸着により巻付けられている。フィルム2が吸着する圧着ロール13は加熱されており、フィルム2を加熱する。このため、ベースフィルム上のレジストフィルムは溶融し適度の粘性を有する状態となる。圧着ロール13でフィルム2を基板14へ熱圧着することによりフィルム2は基板14へ密着し貼り付く。この時、フィルム2と基板14の密着力は、圧着ロール13とフィルム2との間に作用している静電吸着力よりも大きいため、フィルム2は圧着ロール13から容易に剥がれ基板14へ貼り付けられる。
【0028】
圧着ロール13の回転と共にフィルム2が基板14に熱圧着されて行き、フィルム2を吸着している後端搬送部材6が後端保持部材16と近接した位置まで移動すると、後端保持部材16は真空吸着を開始し、基板14へ貼り付けられるフィルム2の後端を後端搬送部材6から後端保持部材16へ受け渡たす。
【0029】
そして図5に示すように、後端保持部材16が圧着ロール外周を移動しフィルム2の後端を圧着ロール13に受け渡す位置(フィルム2がガイドロール4から圧着ロール13を経て基板14に至るフィルム搬送経路においてフィルム2が圧着ロール13と接する点よりも基板14に近い任意の位置)で停止する。更に貼り付けが進み、フィルム2の後端が後端保持部材16の吸着面から離れる直前の状態において、先端搬送部材5からフィルム2の先端を圧着ロール13へ受け渡したように、制御部18の高圧電源から電極17に高電圧を印加しフィルム2の後端を帯電させ、圧着ロール13に静電吸着させる。フィルム2の後端は静電吸着により圧着ロール13へ吸着しているため、基板14の貼り付け位置へ落下することなく且つ張力を一定に保ちつつフィルム2の全体を基板14へ貼り付けることが可能であり、皺、気泡が貼り付け部分に混入することはない。
【0030】
フィルム2の後端を圧着ロール13に受渡しすることを完了した後、後端搬送部材6及び後端保持部材16の吸引吸着を解除し、圧着ロール13はフィルム2の後端を基板14に最後まで貼り付けるべく回転をして、貼り付けを完了して基板14を下流に送り出して、次の基板へのフィルム貼り付けの状態に入る。この場合、図3に示すように、後端搬送部材6はエアシリンダ11によりベースプレート9の方向へ、後端保持部材16は駆動機構(図示せず)により先端搬送部材5と干渉しない位置へ退避し、そして、先端搬送部材5がフィルム2の先端を保持したまま、圧着ロール13の近傍まで移動する。次に、圧着ロール開閉用シリンダ(図示せず)により圧着ロール13が開き先端搬送部材5から圧着ロール13に次のフィルムが受け渡、一連の動作が完了する。
【0031】
以上説明したように、圧着ロール13はフィルム2の先端や後端を基板14に近い位置で静電吸着するために、圧着ロール13の回転中に圧着ロール13やフィルム2が帯電した電荷が放電し吸着力が低下することがあっても、すぐに基板14に貼り付けられるので放電は左程進まず、そのために吸着力の低下は少なくて、圧着ロール13はフィルム2を保持しつづけ、フィルム2を落下させることは無いので皺や気泡を混入することはなく、基板14に正確に貼り付けをして行く。圧着ロール13の外表面は円筒形で平坦であるため、基板14に貼り付けたフィルム2に圧着跡はない。
【0032】
フィルム2の圧着ロール13への受け渡しのためにフィルム2の先端及び後端を圧着ロール13で静電吸着するだけでなく、圧着ロール13での吸着保持力をフィルムロール1でフィルム2に掛けているバックテンションに対抗させるためあるいは電極17への印加電圧を低減するなどのために、電極17からフィルムの先端から後端までの全面について圧着ロールへ静電吸着させてもよい。
【0033】
フィルム2の圧着ロール13への受け渡しのためにフィルム2の先端及び後端を圧着ロール13で静電吸着させる電極を兼用としているが、別置きとして静電吸着の位置をずらしても良い。
【0034】
また、先端搬送部材5や後端搬送部材6更には後端搬送部材16での吸引吸着に代えて、電極17を上下に移動するようにして、圧着ロールでフィルム2を静電吸着させるだけでなく、先端搬送部材5や後端搬送部材6でフィルムを静電的に吸着保持させてもよいし、先端搬送部材5や後端搬送部材6でフィルムを静電的に吸着保持させるための電極を付加しても良い。
【0035】
後端搬送部材16を省略し、後端搬送部材6に後端搬送部材16の機能を持たせてもよい。
【0036】
以上の説明では、基板の上面にフィルムを貼り付けることについて説明したが、搬送路の下方にフィルムロールを配し、基板の下面にフィルムを貼り付ける構成としても良い。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明フィルム貼付方法とその装置によれば、基板に貼り付けたいフィルムの先端や後端を圧着ロール外周で保持し皺の発生や気泡の混入を起すことなく正確に基板にフィルムを圧着することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態になるフィルム貼付装置を示す概略図である。
【図2】 図1に示したフィルム貼付装置における電圧印加部を示す図である。
【図3】 図1に示したフィルム貼付装置においてフィルムの先端を圧着ロールに吸着する状況を示す図である。
【図4】 図1に示したフィルム貼付装置においてフィルムの先端を圧着ロールで基板に貼り付ける状況を示す図である。
【図5】 図1に示したフィルム貼付装置においてフィルムの後端を圧着ロールに吸着する状況を示す図である。
【符号の説明】
1…フィルムロール
2…フィルム
3…巻取りロール
4…ガイドロール
5…先端搬送部材
6…後端搬送部材
7…サーボモータ
8…ボールネジ
9…ベースプレート
10…エアシリンダ
11…エアシリンダ
12…カッタ機構
13…圧着ロール
14…基板
15…搬送ローラ
16…後端保持部材
17…電極
18…制御部
Claims (4)
- 搬送路を移動してくる基板に貼り付けたい所望形状を持つフィルムの先端を前記基板の貼り付け開始個所に一致させ、前記フィルムを基板に圧着ロールの回転によって圧着するフィルム貼付方法において、
前記圧着ロールの前記搬送路に対して上流側の外周面部でフィルムの先端部を静電的に吸着保持し、前記圧着ロールの回転により前記フィルムを搬送してその先端を基板の貼り付け開始個所に一致させ、前記フィルムの後端部も前記圧着ロールの搬送路に対して上流側の外周面部に静電的に吸着保持し、前記圧着ロールの回転により基板の貼り付け終了位置まで搬送することを特徴とするフィルム貼付方法。 - 請求項1に記載のフィルム貼付方法において、フィルムの先端部から後端部までの全てを前記圧着ロールの前記搬送路に対して上流側の外周面部で静電的に吸着保持することを特徴とするフィルム貼付方法。
- 搬送路を移動してくる基板に貼り付けたい所望形状を持つフィルムの先端を前記基板の貼り付け開始個所に一致させ、前記フィルムを基板に前記圧着ロールの回転によって圧着するフィルム貼付装置において、
前記圧着ロールの前記搬送路に対して上流側の外周面部近傍であって前記フィルムより外側の位置に電圧が印加される電極を設け、
前記圧着ロールの前記搬送路の上流側における外周面部に少なくとも前記フィルムの先端部及び後端部が位置する際に前記電極に電圧を印加することにより、前記フィルムを圧着ロールに静電的に吸着保持し、基板の貼り付け位置に搬送し、圧着することを特徴とするフィルム貼付装置。 - 請求項3に記載のフィルム貼付装置において、前記電極は前記搬送路上の基板に対しフィルムがほぼ鉛直になる前記圧着ロールの外周面部の近傍に設けていることを特徴とするフィルム貼付装置。
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