JPH01178433A - カッティングラミネータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は感光性樹脂積層フィルム（以下単にドライフィ
ルムという）を基板に空気を巻き込むことなく均一な密
着性をもつように額縁状に連続的に圧着．積層するよう
にしたカッティングラミネータに関する。

〔従来技術〕

近年、印刷配線板の印刷密度は年々高まっており、高い
解像力を発揮するようなレジスト画像形成技術が重要視
されてきた。高度の信頼性を保持した高い解像力のレジ
スト画像形成技術はドライフィルムの特性以外に印刷配
線板製造行程中、特にラミネートから現像工程まで極め
て重要な意味を有するものであり、その中でもラミネー
ト工程は基板とレジストの接点であり、種々の条件、管
理が必要とされる。すなわち、基板の粗度、基板温度、
ラミネート温度、ラミネート圧力、ラミネート速度等の
条件である。

一方、高密度化されるにつれて、製造等の信頼性、収率
等を上げるため、ラミネートの際の塵埃、レジストチッ
プ、カッティング粉の混入防止をいかに行うかが工業生
産段階での重要な課題となってきている。

そこで、上記した問題点の解決のための額縁カッティン
グ式のラミネータが例えばアメリカ合衆国特許筒３．６
５８，６２９号明細書、特開昭５２−１４８７６号公報
、特開昭５６−４９５９２号公報、特開昭５９−１１０
１８８号公報、特公昭５９−４６１１６号公報等によっ
て提案されているが、額縁カッティング式はドライフィ
ルムをカッティングした後基板ヘラミネートするもので
あるためレジストチップの発生が少なく、基板へ必要長
さだけラミネートが可能のため、ドライフィルムを有効
に使用できるので経済的な方法である。

そして、前記したアメリカ合衆国特許第３．６５８゜６
２９号明細書、特公昭５９−４６１１６号に記載される
ものは、真空ペイルでドライフィルムを保持し、基板に
仮付けしてからラミネートするものであり、基板の大き
さに適応した長さにドライフィルムが切断された後、ド
ライフィルムの後端部が基板の表面と接着する時期が早
まらないようにするために基板表面に近接した位置に曲
面状に形成された真空シューを設けている。

しかしながら、真空シュー２０は第６図に示すように、
基板がラミネートローラ２１に圧着されるピンチ点Ｂま
での間、すなわち、真空シュー２０の先端部と前記のピ
ンチ点Ｂまでの間Ａにおいてはドライフィルムを保持す
ることはできず、そのため真空シュー２０の先端部を前
記のピンチ点まで延長せしめることも考えられるが、真
空シェー２０には吸引のための小孔２２を多数穿設する
必要があるため、その機械加工上小型化への限界があり
、事実上困難であり、したがって、キャリアフィルムが
薄く、腰のないドライフィルムに対しては真空シュー２
０の先端部とピンチ点Ｂの間のドライフィルムの保持が
なされていない区間Ａにドライフィルムの後端が達した
ときにドライフィルムは不安定な状態となり、気泡の巻
き込みやしわの発生確率が高くなる可能性がある。

また、前記した特開昭５６−４９５９２号公報に示され
るものは、感光性樹脂フィルムをすべり台状のガイドの
上をすべらせながら長さ方向の位置を決めラミネートす
るものであるが、キャリアフィルムが薄く柔かく腰のな
いドライフィルムの適用は困難と思われ、更に、前記し
た特開昭５９−１１０１８８号公報に示されるものは、
−枚のドライフィルムで両面をラミネートするものであ
り、額縁状にラミネートする方法に比べ、ドライフィル
ムの引出し時間を必要とし、ラミネートサイクル時間が
両面を張るものに比して大きくとる必要があり生産性に
問題がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、前述した従来技術の問題点なり難点を解決し
、薄くてしかも腰のないキャリアフィルムを使用したド
ライフィルムにも適用できる額縁状にドライフィルムを
圧着するラミネータの提供を目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係るカッティングラミネータは、前記の目的を
達成するために、連続した感光性権脂積層フィルムから
切断されたシートフィルムを基板に圧着させるためのラ
ミネータにおいて、真空シュー又は真空シューの先端部
を静電気を発生する部材で構成したことをその特徴とす
るものである。

〔作用〕

本発明に係るカッティングラミネータは、真空シュー又
は真空シューの先端部を静電気を発生する部材で構成し
たので、真空シューの真空吸着によるドライフィルムの
保持がなくなった後、ドライフィルムの後端は、ドライ
フィルムやラミネートローラとの摩擦により静電気を帯
びる部材で構成される前記の真空シュー先端部によって
ドライフィルムは、基板とラミネートローラとのピンチ
点の近傍まで保持されるものである。

〔実施例〕

本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１図は、
本発明の一実施例で、図において、ｌ。

１は円弧状の外周面を有する断面略扇形を有する同形、
同大の一対の真空シューであり、２，２゜２、・・・・
・・は前記真空シェー１．１の弧状の外周層及び真空ペ
イル３１．３表面に多数穿設されたドライフィルム保持
用の真空吸引用小孔で、前記真空ペイル３．３は前記の
真空吸引用小孔２，２．２゜・・・・・・によってドラ
イフィルムＸを吸引、保持して該ドライフィルムＸを基
板Ｆの仮付は位置まで保持する。

４．４は、前記真空シュー１．１の先端部に形成した静
電気を発生する部材で製作されたフィンであり、５，５
はラミネートローラで基板ＦにドライフィルムＸを圧着
するためのものである。

６．６は感光性樹脂積層フィルムが巻着されたローラ、
７．７は前記ローラ６．６に近接して設けられたカバー
フィルム巻取りコア、８，８はカバーフィルム剥離用ロ
ーラである。また９、９はドライフィルムＸを切断する
ための刃の走行ガイドである。

本発明の実施例は上記したように構成されるものであり
、上下に一対装備された真空シュー等は同一の作動を行
うものであるので、その一方についてその作動を説明す
ると、カバーフィルムがある樹脂積層フィルムであれば
カバーフィルム剥離ローラ８によってカバーフィルムを
剥離し、剥離されたカバーフィルムはカバーフィルム巻
取リコア７に巻取られ、カバーフィルムが除去されたキ
ャリアフィルムと感光層の２層からなるドライフィルム
Ｘは、図示しない吸引ポンプ等と連結される真空ペイル
３の表面に設けられた多数の真空吸引用小孔２．２．２
．・・・・・・により真空ペイル３に吸引保持され、ド
ライフィルムＸの先端が真空ペイル３の動作により搬送
されてくる基板Ｆの先端部に仮付けされる。

仮付後、基板の長さだけドライフィルムＸは供給され、
所定の位置で切断されることはこの種の従来装置と同様
である。

切断されたドライフィルムＸの後端は真空シュー１の外
周の曲面に沿って基板Ｆの搬送とともに送られ、前記基
板Ｆとラミネートローラ５とのピンチ点に向って送られ
て行き、真空により吸着が得られない区間へ達するが、
従来の真空シュー（第６図参照）では、この時点におい
てドライフィルムの保持はなくなり、ドライフィルムは
フリーの状態となるが、本実施例では真空シュー１の先
端部にドライフィルムＸやラミネートローラ５との摩擦
により静電気を帯びる部材で形成されたフィン４が設け
られているので、前記したドライフィルムＸの後端部は
、前記の静電気を帯びたフィン４により基板Ｆとラミネ
ートローラ５とのピンチ点に掻めて接近した位置まで保
持されることとなる。

したがって、キャリアフィルムが薄く、腰のないドライ
フィルムでも後端に気泡の巻き込みしわの発生の確率を
著しく低減できるものである。

第２図乃至第５図のそれぞれは、本発明の他の実施例を
示すもので、これらは何れも上下に設けられる一対の装
置の内の上方部の要部のみを示すものであり、同一部材
又は均等の部材は第１図に示す実施例と同一の符号で示
しである。

第２図及び第３図は真空シュー１の先端部に設は静電気
を帯びる部材で形成したフィン４の他の例を示すもので
、第２図は前記のフィン５を薄い板状となし、基板Ｆと
ラミネートローラ５とのピンチ点に近接した位置までド
ライフィルムＸの後端を保持案内するようにしている。

また、第３図は、真空シュー１の先端部に段部１′を形
成し、該段部ビにフィン４の基部を挿着固定するように
したものである。

第４図は、シュー１に真空吸引用小孔を穿設することな
く、シュ−１全体を静電気を帯びる部材で形成し、その
先端部を尖鋭状とすることによって基板Ｆとラミネート
ローラ５とのピンチ点までドライフィルムの後端部を案
内するようにしたものである。

第５図は、強制的に静電気発生装置１０により、ドライ
フィルムとは逆の静電気を帯びせしめたシュー１を用い
た例であって、第４図、第５図に示す実施例はシューそ
れ自体を静電気を発生する部材とするか、又は、強制的
に静電気発生装置によりドライフィルムとは逆の静電気
を帯びせしめたシューとしたもので、ドライフィルムの
保持を真空吸着に代えて静電気を利用したもので、ドラ
イフィルムの吸引のために真空吸引用小孔を多数穿設す
るという機械加工を必要としないので、シュー先端の加
工の自由度が上がり、シューの先端を薄く加工できるも
ので、前記したピンチ点に接近する位置までドライフィ
ルムの後端部を保持することが可能である。

〔発明の効果〕

本発明に係るカッティングラミネータは、真空シュー又
は真空シューの先端部を静電気を発生する部材で形成し
たので、真空シューの真空吸着によるドライフィルムの
保持がなくなった後においても、ドライフィルムの後端
は、ドライフィルムやラミネートローラとの摩擦によっ
て静電気を帯びる部材で形成した前記の真空シューの先
端部によって、ドライフィルムは、基板とラミネートロ
ーラとのピンチ点の近傍まで保持されることとなるので
、これによりキャリアフィルムが薄く、腰のないドライ
フィルムであっても後端に気泡の巻き込みやしわの発生
の確率を著しく低減することができるものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は本発明の
実施例の概略説明図、第２図乃至第５図はそれぞれ本発
明の他の実施例の要部を示し、第２図は薄板状フィンを
用いた説明図、第３図はフィンの取付状態の一例を示す
説明図、第４図は、シューの他の例を示す要部説明図、
第５図は静電気発生装置を設けた要部説明図、第６図は
従来装置の概略説明図である。 １：真空シュー　　　　　　４：フィン５：ラミネート
ローラ 特許出願人　　旭化成工業株式会社 第２図 第３図 第→図 第５図 篤６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）連続した感光性樹脂積層フィルムから切断された
   シートフィルムを基板に圧着させるためのラミネータに
   おいて、真空シュー又は真空シューの先端部を静電気を
   発生する部材で構成したことを特徴とするカッティング
   ラミネータ。
2. （２）真空シュー又は真空シューの先端部を静電気発生
   装置によってシートフィルムとは逆の静電気を帯びさせ
   たことを特徴とする前記特許請求の範囲第１項記載のカ
   ッティングラミネータ。